JPS6192500A - 溶融可能なリンクのアレイのための短絡検出装置 - Google Patents

溶融可能なリンクのアレイのための短絡検出装置

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JPS6192500A
JPS6192500A JP60157948A JP15794885A JPS6192500A JP S6192500 A JPS6192500 A JP S6192500A JP 60157948 A JP60157948 A JP 60157948A JP 15794885 A JP15794885 A JP 15794885A JP S6192500 A JPS6192500 A JP S6192500A
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JP
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short circuit
fusible links
voltage
transistor
fusible
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JP60157948A
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アルバート・チヤン
マーク・フイツツパトリツク
ゲイリー・グールズベリー
サイラス・ツイ
アンドリユー・ケイ・チヤン
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    • G11C29/50008Marginal testing, e.g. race, voltage or current testing of impedance
    • GPHYSICS
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は、PROM (プログラマブル・リード・オン
リー・メ−しり−)及びPAI  (プログラマブル・
アレイ・ロジック)等に用いられる溶融可能リンクアレ
イに於ける短絡を検査するための装置に関す−る。
〈従来の技術〉 溶融可能なリンクを用いるアレイに於ては、一般に、ヒ
ユーズとも呼ばれる溶融可能リンクによりそれぞれ1ビ
ツトの情報か表される。各ヒユーズが存在するか否かに
応じて各ビットの論理状態が決定される。このようなデ
バイスは、すべてのヒユーズかそのままの状態で、即ち
すべてのビットが論理1状態であるように製造される。
デバイスのニー11−は、このヒユーズをそのままにし
、又はヒユーズを「とばす」ことにより回路を開き(ヒ
ツトをプログラムし)、当該ビットの論理状態を)u択
することかてさる。
理想的には、すべてのデバイスに於いて、パッケージさ
れ販売される前にあっては、ずぺてのヒユーズが存在し
、販売後に、ユーザーにより選択されたヒユーズかとば
されるようになっている。
しかしなから、デバイスによってはヒユーズか欠落して
いる場合があり、またうまくとばないヒユーズか存在す
る場合かある。
〈発明か解決しようとする問題点〉 アレイ中にヒユーズか欠落していることを検出するのは
比較的容易であって、デバイスをパッケージする前に発
見することかできる。これは、デバイスの出力ピンの論
理状態を検査することにより発見することかできる。欠
落したヒユーズの論理状態は、正常なヒユーズとは異な
る論理状態を呈する。従って、製造過程に於けるウェー
ファーの選別レベルに於てヒユーズの欠落を検査するこ
とかできる。
一方、ヒユーズか存在するが、旨くとばないというよう
な場合が、いくつもの理由により発生可能である。例え
ば、ヒユーズの厚さか通常よりも大ぎく、そのヒユーズ
をとばすために、プログラマ−か供給し得る以上の電力
を必要とする場合かある。従って、このようなヒユーズ
をプログラムしようとしても、ヒユーズはとぶことなく
そのまま存在し続けることとなる。
また金属片がツー1ヘラインとヒツトラインとの間を短
絡させる場合もおる。例えば、小さな金属片が、アレイ
トランジスタのエミッタとヒラ1〜ラインとの間を短1
18さu/、1脇合かある。また、小さな金属パかツー
1〜ラインとヒツトラインとを15略させる場合−b市
る。い覆れにしても、このような金属片は、ヒユーズの
ようにとぶことかない。このような金属片を溶融してと
ばぞうとするためには、極めて大きな電力か必要となり
、プログラム用の電力かヒユーズに供給された場合でも
、別の導電路を提供1−ることにより当該ヒユーズかと
ばされるのを防止する結果となる。
これらが、一般に「ヒユーズの短絡」と称される場合の
例である。従来は、このようなヒユーズの短絡を検出覆
−る手段か知られていなかった。
要するに、ヒユーズの欠落は、デバイスの出力ピンの論
理状態か誤っていることを検出することにより発見する
ことができる。しかしなから、ヒユーズか短絡している
場合には、デバイスをプログラムする前の段階に於ては
、デバイスの出力ピンか正常な論理状態を呈するが、デ
バイスをプログラムしIこ後は旨くとばなかったヒユー
ズに対応する出力ピンの論理状態が依然としてヒユーズ
が存在する場合に対応することとなる。ここで問題とな
ることは、デバイスがパッケージされ一ユーザーに販売
された後までヒユーズの短絡を発見することかできずに
、製造者にと〕で多大なコスト、時間を必要とさせるば
かりでなく、製造者の評判を損うという点にある。本発
明はこのような問題を解決しようとしてなされたもので
ある。
〈問題点を解決するための手段〉 本発明は、溶融可能なリンクに於けるヒユーズの7n絡
を、デバイスをパッケージする前に発見し得るような検
査装置を提供するものである。アレイ中の各溶融可能リ
ンクは個々に検査され、短絡箇所か判別される。更に、
検査装置か正常に動作しているか否かをテストするため
に、アレイ中に意図的に短縮されたヒユーズを設けるこ
ともできる。
〈実施例〉 以下、本発明の好適実施例を添付の図面について詳しく
説明する。
第1図に示された64KPROMの構造は、多くのバイ
ポーラFROMに於てO1!型的なものである。8個の
X−インプットバッファ11は、1:256デコーダ1
2に入力され、デコーダ12はメモリーセルアレイ15
のワードラインの一つを選択する。5個のY−人力バッ
フ7・13は、1:32デコーダ14に供給され、該デ
コーダ14の出力線256ライン:8ラインのマルチプ
レクサ16に供給される。このマルチプレクサ16はア
レイ中の8ビツトラインを選択する。マルチプレクサ1
6の8本の出力線は8個の出力バッファ17に接続され
、一つの出力線か一つの出力に対応する。
第1図の7レイ及びマルチプレクサを単純化して第2図
に示す。各出力は32ビツトラインをアクセスづる。第
2図に於て、B1はアクレスされ(−行余白) たピッ1〜ラインを表し、B2は31水の選択されなか
ったビットラインを表す。QYlはマルチプレクサトラ
ンジスタであって、導通時にはB1を選択する。QY、
2は31個のマルチプレクサトランジスタを表し、非導
通でおるために82により表されるビットラインを選択
しない。QYl及びQY2のエミッタは共通に接続され
、かつ一つの出力のための電流源11に接続されている
。電流源11は、通常の動作時に於けるヒユーズの存在
或いは欠落を検出し、その情報を出力ハツフ1に伝送す
る。ヒツトラインB3は選択された7本のビットライン
を表し、7個のQYi  (ここではQY3)を介して
7つの電流源出力に接続されている。B4は各出力につ
いて選択されなかった31本のビットラインを表す。
Wlは選択されたワードラインを表す。W2は選択され
なかった255本のワードラインを表す。
QAlか導通で必り、「1は、11により検出された情
報のビットを表し、該情報は出力に伝送さく一行余白) れる。QA2は出力に接続された31個のアレイトラン
ジスタを表し、これらは、Q)I2かオフでおるために
オフである。QA3は、他の7つの出力に接続されたア
レイトランジスタを表す。これらのトランジスタはオン
でおり、QA3から、他の6つの出力のための電流源を
表すI2に向(ブて、ヒユーズF を通過する電流を供
給する。Qハ、4j、、t、、Wlについて選択されな
かった他のアレイトランジスタのすへてを表す。W2は
選択されなかった255本のワードラインを表し、従っ
てQA1′〜QA4′はオフでおる。
次に本発明に基づくヒユーズ短絡検出装置の回路の作動
の要領について説明する。
QRはWlについての7レイトランジスタである。QR
lは、W2により表される残りの255本のワードライ
ンのそれぞれについて設けられたアレイトランジスタを
表す。[Rはこれらのアレイ1〜ランジスタに(t K
Uされたヒユーズを表す。QRアレイトランジスタのそ
れぞれには二つのヒユーズが設けられ、通常のアレイト
ランジスタには一つのヒユーズのみか設けられている。
BRは、すべてのQRに対して、対応するヒユーズを介
しで接続されたビットラインを表す。QYRはBRに付
設されたマルチプレクサトランジスタを表し、IREF
は基準電流aを表す。QFS1〜QFS4はピッ1〜ラ
インごとに設Gりられた垂直P N Pトランジスタを
表わし、QFS、、は基準ヒツトラインBRに付設され
た同様の垂直PNPトランジスタを表す。ヒユーズのた
めのこの短絡検出装置のすべてのデバイス、抵抗器など
は、アレイ及びマルチプレクサ中に用いられている対応
するデ′バイスと極力同一であるように設計される。
これは、デバイス間のミスマツチか本発明に基づく装置
の性能を損わないようにするためである。
第2図は、ヒユーズF1について三つの可能な短絡状態
の態様を示づ。
第1の短絡状態に於ては、短絡かヒユーズ短絡回路に発
生している。即らヒユーズ゛か通常よりも厚いため、プ
ログラム用の電流か該ヒユーズをとばすことかできない
第2の短絡状態は、トランジスタQA1のエミッタとビ
ットラインB1との間を短絡ざぜるような、ラインS2
により表されるような金属の小片を原因とするものでお
る。
第3の短絡状態は、B3により表される金属片が、ワー
ドラインW1とヒツトラインB1との間を短絡させるこ
とによりyで牛する。
本発明に基づきヒユーズのグ、0絡を検出するに際して
は、ヒユーズを一つずつ選択して検出過程を行う。基本
的には、8個のセンス増幅器の内の7飼を非作動状態と
し、作動状態のままにされたセンス増幅器か一つのヒユ
ーズに電流を供給する。
同時に、ヒユーズ短絡回路(第3図)かjストパッドに
加えられる。その結果、(第2図に於てIREFにより
示される)基準電流源か動作を間知りる。IREFは、
出力端のセンス増幅器電流源に)う慄カマツーrするよ
うにKQH−1されている。
本発明は、短絡部分か(41めて低い抵抗1直を右り−
ることを利用して短絡を検出するものでおる。その動作
は路次の通りである。
第2図に於て、まり例えに工゛ワードライン\J■1及
びビットラインB1を恵沢し、ヒユーズ短絡検出回路を
作動きける。次に、例えば「1が通常の抵抗値を有する
正常なヒユーズであるとする。垂直PNP+−ランジス
タQ F S 1のベースの電圧(まV BQFSI =VcLVBcoAt    i I RF・・・・・
・・・・(1) により表される。(1μし ■   は、トランク・ 
  BEQ八1 へタQA1のベース−エミッタ間電圧、V′C1lユ、
〜\11を特定の電圧レヘルに保持づるための一定のク
ランプ電圧、RFはヒユーズF1の抵抗値である。) QRのエミッタに接続された二つのヒユーズF6は、そ
れぞれFlと等しくなるように設計されている。更に、
QRはQAlと同一でおるように6U2’lされでいる
。従って、他のすへてのトランジスタQFS・に対する
垂直PNPトランジスタQFSHのベースの電圧は、 (−行余白) ・・・・・・・・・(2) となる。但し、\/    =V    てあり、まB
[QRBEQ八ま たflEF  ””  +1である。
従って となり、式(3〉から式(1)を引くと、・・・・・・
・・・(4) となる。
以上の式から、QFSlのベース電圧が、OFように、
第3図に示されている出力増幅器に供給される。
ここて、例えばヒユーズ1:1か上記したg’lのいJ
れかで短絡したと仮定する。従ってヒユーズの抵抗値か
低くなる。口の抵抗値をRFSとする。
QFSlのベース電圧1ま、 BQFSI −VCL       V8EQAI        
1.I  RFS・・・・・・・・・(5) となるu Q F S Rのベース電圧は、依然(3)
式%式% となる。式(5)から式(3)を引くと、■VBQFS
R BQFSI ・CL   −BEQAI    I 1RFS=  
 V     −\l −Vc+−+  VB[QAl   +  1./2 
 (、II  RF  ’j−<”!、/23 rlR
,−11F?、F。
−に1<R,/2 −  RF3> ・・・・・・・・・(6) を得る。
従って、Rlsの餡か小さくノれは小さい程、1〜ノン
ジスタQトS及びQFSl、のベース間の電圧差が大き
くなり、ヒユーズの短絡の発売かそれだけ用意になる。
一般に、R1は8071−ムのA−ターで必り、RFS
は約271−ム、叩らR1の約2゜5%でおる。この差
は、第3図に示された出力増幅器に供給される。
基i)(ヒツトライン町及びデス1〜されるビットライ
ンの電圧信号は、第2図に於て符号A及びBにより示さ
れるラインを介して出力増幅器に供給される。第3図は
、Q 58 A及び058Bのへ一スに供給されるこれ
らのラインA及びBを示ゴ。
Q58A及びQ58Bは、エミッタか共通に接続されか
つ電流源に接続されているトランジスタを表す。電流源
は、Q59A、059B及びQ60と、Q59Aのコレ
クタに供給される電圧を定める4、1キロΔ゛−ムの抵
抗器とを何している。
ヒユーズの短絡を7ストするに際して、八及びBに於C
ブる化1王は1菫かに異なっている。Q58A及び05
8Bのエミッタ電圧が同一でおるために、A及びBの電
圧の高低に応じてQ58A及び058Bのいり゛れかか
より1白い電圧VBEを石する。トランジスタQ58の
いずれかが、トランジスタQ59にとって必要となるす
べての電流を供給し得るようにするためには、ベース−
エミッタ間の電圧に僅かな差異か存在すれば良い。こう
することにより、他方の1〜ランジスタQ58が小実−
り非導通状態となる。
トランジスタQ58のコレクタ電流の差異は、二つの3
キロA−ム抵抗器によ゛リトランジスタQ61のベース
間に於ける電圧差に変換される。この電圧差はトランジ
スタQ62のベースに供給される。Q62A及び062
Bは、エミッタか共通接続された別のトランジスタのえ
Jを表すが、これらはNPNではなく、横方向のPNP
トランジスタである。エミッタ電流源は、トランジスタ
Q63AS063B及びトランジスタQ64と16゜4
キロオームの抵抗器とを有している。正常なヒユーズに
対しては、Q62Aはオンとなり、Q62Bがオフとな
る。その結果、電流ミラーQ65A及び065Bへの電
流か遮断される。Q6bL3のコレクタ(066のベー
ス)の電圧は、トランジスタQ66及σQ69かオンさ
れるまて上背し、TP5か論理O状態となる。
短絡したヒコーズについては、062 Bかオンとなり
、Q62AかΔノとなる。ベース電流か電流ミラーQ6
5△及びQ65Bに供給され、Q62BもQ65△のコ
レクタ電流を供給づる。Q65BはQ62AまたG、1
Q66から]レクタ電流を供給されないため、065B
の]レクタ電圧は、そのショットキークランプダイオー
ドかオンとなるまで減少し続ける。このようにして、0
62Bも065Bのコレクタ電流を供給する。Q66の
ベースは約0.3ボルトの飽和電圧値にあるため、Q6
6及びQ69かオフとなる。Q66のコレクタの電圧は
上昇し、ダーリントンペアQ67及びQ68かオンとな
り、TP5に論理1状態か発生し、ヒユーズか短絡して
いることか示される。
以上本発明の好適実施例について説明したが、当業者で
あれば本発明の概念から逸脱することなく仲々の変形変
更を加えて本発明を実りりることかできる。
【図面の簡単な説明】
第1図は曲型的なバイポーラFROMを表すブロック図
て必る。 第2図は第1図に示されたアレイ及びマルチプレグ1ノ
を示J゛回路図である。 第3爾は第2図の回路に用いられたヒユーズのための短
絡検出回路を示す回路図である。 11・・・X−インプットバッファ・ 12・・・デコーダ 13・・・Y−インプットバッファ1 14・・・デコーダ   15・・・アレイコロ・・・
マルチプレクサ17・・・出力バッファ・特許出願人 
 モノリシック・メモリーズ・インコーポレイデツ1− 代  狸  人  弁理上 人 g−,3,陽 −図面
の浄@(内′B4;変更なし) FIG、1

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)公称抵抗値R_F’を有すると共に、短絡時には
    前記公称抵抗値R_F’よりもかなり低い抵抗値R_F
    _Sを有するようなディスクリートな複数の溶融可能リ
    ンクを有するアレイの短絡を検出するための装置であつ
    て、 前記溶融可能リンクの一つを他の溶融可能リンクから電
    気的に分離するための手段と、 公称抵抗値R_Fをそれぞれ有すると共に互いに並列に
    接続された一対の基準溶融可能リンクと、前記基準溶融
    可能リンクに接続された基準電圧源と、 分離された前記溶融可能リンク及び前記一対の溶融可能
    リンクに或る電圧を加えるための手段と、分離された前
    記溶融可能リンクに加えられた電圧と、互いに並列に接
    続された前記一対の基準溶融可能リンクに加えられた電
    圧とを比較することにより、分離された前記溶融リンク
    に短絡が発生しているか否かを指示するための手段とを
    備えることを特徴とする短絡検出装置。
  2. (2)公称抵抗値R_F’を有すると共に、短絡時には
    前記公称抵抗値R_F’よりもかなり低い抵抗値R_F
    _Sを有するようなディスクリートな複数の溶融可能リ
    ンクを有するアレイの短絡を検出するための装置であっ
    て、 前記溶融可能リンクの一つを他の溶融可能リンクから電
    気的に分離するための手段と、 公称抵抗値R_Fをそれぞれ有すると共に互いに並列に
    接続された一対の基準溶融可能リンクと、前記基準溶融
    可能リンクに接続された基準電圧源と、 分離された前記溶融可能リンク及び前記一対の溶融可能
    リンクに或る電圧を加えるための手段と、分離された前
    記溶融可能リンクに加えられた電圧が、互いに並列に接
    続された前記一対の基準溶融可能リンクに加えられた電
    圧よりも大きいか或いは小さいかを判別するための手段
    とを備えることを特徴とする短絡検出装置。
  3. (3)前記溶融可能リンクか、個々に選択可能なビット
    ラインとワードラインとからなるアレイをなしており、
    前記溶融可能リンクの個々の位置か前記ビットライン及
    び前記ワードラインの交叉点のいずれか一つにより特定
    されるものであって、前記溶融リンクの一つを電気的に
    分離するための前記手段が、前記ビットライン及び前記
    ワードラインからそれぞれ一つのビットライン及びワー
    ドラインを選択するための手段を有することを特徴とす
    る特許請求の範囲第2項に記載の短絡検出装置。
  4. (4)前記した一対の基準溶融可能リンクが前記ワード
    ラインについてそれぞれ備えられていることを特徴とす
    る特許請求の範囲第3項に記載の短絡検出装置。
  5. (5)電圧源と、分離された前記溶融可能リンクを介し
    て前記電圧源に接続された第1のトランジスタと、互い
    に並列に接続された前記一対の基準溶融可能リンクを介
    して前記電圧源に接続された第2のトランジスタと、前
    記第1のトランジスタに発生した電圧と前記第2のトラ
    ンジスタに発生した電圧とを比較することにより、分離
    された前記溶融可能リンクに短絡が発生したか否かを検
    出する手段とを備えることを特徴とする特許請求の範囲
    第3項に記載の短絡検出装置。
  6. (6)前記電圧源と前記第1のトランジスタとの間に接
    続された第3のトランジスタと、前記電圧源と前記第2
    のトランジスタとの間に接続された第4のトランジスタ
    とを備えることを特徴とする特許請求の範囲第5項に記
    載の短絡検出装置。
  7. (7)前記基準電圧源の電圧がV_C_Lであり、短絡
    の発生していない溶融可能リンクについての前記第1の
    トランジスタのベースの電圧が V_C_L−V_B_E_Q_A_1−I_1R_F(
    但し、V_B_E_Q_A_1は前記第3のトランジス
    タのベース−エミッタ間電圧、I_1は分離された前記
    溶融可能リンクを流れる電流値である)であつて、短絡
    の発生した溶融可能リンクについての前記第1のトラン
    ジスタのベースの電圧が V_C_L−V_B_E_Q_A_1−I_1R_F_
    Sであることを特徴とする特許請求の範囲第6項に記載
    の短絡検出装置。
  8. (8)短絡の発生した溶融可能リンク及び短絡の発生し
    ていない溶融可能リンクのいずれについても、前記第2
    のトランジスタのベースの電圧がV_C_L−V_B_
    E_Q_R−(1/2)I_1R_F(但し、V_B_
    E_Q_Rは前記第4のトランジスタのベース−エミッ
    タ間電圧である)であることを特徴とする特許請求の範
    囲第7項に記載の短絡検出装置。
  9. (9)製造時に意図的に短絡されたテストリンクが前記
    アレイ中に設けられており、前記アレイの正常動作可能
    性を確認するための前記テストリンクをテストするため
    の手段が備えられていることを特徴とする特許請求の範
    囲第2項に記載の短絡検出装置。
JP60157948A 1984-07-30 1985-07-17 溶融可能なリンクのアレイのための短絡検出装置 Pending JPS6192500A (ja)

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US06/635,861 US4670708A (en) 1984-07-30 1984-07-30 Short detector for fusible link array using a pair of parallel connected reference fusible links

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