JPS6191659A - 直線検出装置 - Google Patents
直線検出装置Info
- Publication number
- JPS6191659A JPS6191659A JP59212881A JP21288184A JPS6191659A JP S6191659 A JPS6191659 A JP S6191659A JP 59212881 A JP59212881 A JP 59212881A JP 21288184 A JP21288184 A JP 21288184A JP S6191659 A JPS6191659 A JP S6191659A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- area
- circuit
- straight line
- divided
- binary
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
- G03F1/68—Preparation processes not covered by groups G03F1/20 - G03F1/50
- G03F1/82—Auxiliary processes, e.g. cleaning or inspecting
- G03F1/84—Inspecting
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- Image Analysis (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、直線検出装置、％に、プリント基板の製造に
使用する原画フィルムのパターン幅を測定する際に、パ
ターンエッチ位置を直線で近似して、両＠巌間の距＃を
求めるのに使用する直線検出装置に関する。
使用する原画フィルムのパターン幅を測定する際に、パ
ターンエッチ位置を直線で近似して、両＠巌間の距＃を
求めるのに使用する直線検出装置に関する。
、 〔従来の技術〕
従来の直線検出回路では、光電変換スキャナで走査して
得られた検査対象物のパターンよりパターンエッチ位置
をラスタースキャン毎にｌ出し、このパターンエッヂ位
置を最小２乗法に基づいて直線近似を行ない、直線検出
する方法が用いられていた。
得られた検査対象物のパターンよりパターンエッチ位置
をラスタースキャン毎にｌ出し、このパターンエッヂ位
置を最小２乗法に基づいて直線近似を行ない、直線検出
する方法が用いられていた。
上述した従来のｌｆＪ’ ｌｈ近似装置では、ラスター
スキャン毎にパターンエッヂ位置をすべて求めてぃ°る
ため、データａが美大となシ、さらに、これらの値よシ
最小２乗法を用いて直線近似を行なうために処理時間が
美大してなるという欠点がめった。
スキャン毎にパターンエッヂ位置をすべて求めてぃ°る
ため、データａが美大となシ、さらに、これらの値よシ
最小２乗法を用いて直線近似を行なうために処理時間が
美大してなるという欠点がめった。
１１１の２値化画像に変換する２値化回路と、前記光電
菱換スキャナの撮像エリア内に検出エリアを設定するた
めのウィンド発生回路と、前記検出エリアを２１向の水
平エリアに等分割するためのエリア分割回路と、各分割
されたエリア内で２値化値ｌ１１の１ｒ１５Ｉ数で水平
方向の接続関係にもとづいてパターンエッヂまでカウン
トする面積カウント回路と、各カウントされた面積を各
分割エリアの幅で割っ１、パターンエッヂ位置として；
Ｑ出しこれら２点の位置よりパターンの直線を検出する
直線検出回路とを含んで構成される。
菱換スキャナの撮像エリア内に検出エリアを設定するた
めのウィンド発生回路と、前記検出エリアを２１向の水
平エリアに等分割するためのエリア分割回路と、各分割
されたエリア内で２値化値ｌ１１の１ｒ１５Ｉ数で水平
方向の接続関係にもとづいてパターンエッヂまでカウン
トする面積カウント回路と、各カウントされた面積を各
分割エリアの幅で割っ１、パターンエッヂ位置として；
Ｑ出しこれら２点の位置よりパターンの直線を検出する
直線検出回路とを含んで構成される。
次に、本発明の実施例について、図面を参照して詳細に
読切する。
読切する。
第２図は、本発明で提案する直線検出装置の原理説明図
でりる。
でりる。
光電変換スキャナｌＯによって撮像された検査対象物の
パターンは、２１＋ｒｔ化回路１２によって２値化画像
ＩＫ変換される。さらに、光電変換スキャナｌＯの撮像
エリア２内に１ウィンド発生回路１４によって検査エリ
ア３が設定され、この検査エリアは、エリア分割回路１
６によって２個の水平エリア４に等分割される。
パターンは、２１＋ｒｔ化回路１２によって２値化画像
ＩＫ変換される。さらに、光電変換スキャナｌＯの撮像
エリア２内に１ウィンド発生回路１４によって検査エリ
ア３が設定され、この検査エリアは、エリア分割回路１
６によって２個の水平エリア４に等分割される。
分割された各水平エリア内で、２値化値１１１の個数が
水平方向の接続関係にもとづいてパターンエッヂ５まで
面積カウント回路１８によってカウントされる。（伯績
カウントエリア６は、面積カウント回路１８によってカ
ウントされるカウント値を図示している。′前記カウン
ト値は、前述の各分割エリアの幅で割られ、エッチ位＆
７が算出される。即ち、前述の面積カウントエリアを台
形面積で近似を行なって、その時の台形辺８の中心位置
が、エッヂ位置７となる。
水平方向の接続関係にもとづいてパターンエッヂ５まで
面積カウント回路１８によってカウントされる。（伯績
カウントエリア６は、面積カウント回路１８によってカ
ウントされるカウント値を図示している。′前記カウン
ト値は、前述の各分割エリアの幅で割られ、エッチ位＆
７が算出される。即ち、前述の面積カウントエリアを台
形面積で近似を行なって、その時の台形辺８の中心位置
が、エッヂ位置７となる。
さらに、前記エッヂ位置２点の座標によシ一般に公知の
式で、近似直線９が求められる。
式で、近似直線９が求められる。
第１図は、本発明で提供する直線検出装置の一実施例を
示すブロック図である。
示すブロック図である。
光電変換スキャナ１０を走査して挽み出された検査対象
物のビデ第１ｇ号１１は、２値化回路１２によって、２
値化画像信号１３に変換される。また、ウィンド発生回
路１４によシ前記光電変侠スキャナの撮像エリア内に、
検査エリア１５を設定する。この検査エリアは、エリア
分割回路１６によって２個の水平エリア１７に等分割さ
れる。
物のビデ第１ｇ号１１は、２値化回路１２によって、２
値化画像信号１３に変換される。また、ウィンド発生回
路１４によシ前記光電変侠スキャナの撮像エリア内に、
検査エリア１５を設定する。この検査エリアは、エリア
分割回路１６によって２個の水平エリア１７に等分割さ
れる。
面積カウント回路１８では、前述の各分割された水平エ
リア内で、２値化値１１１の個数を水平方向の従続関係
にもとづいてパターンエッヂまでカウントし、面積カウ
ント値１９として出力する。
リア内で、２値化値１１１の個数を水平方向の従続関係
にもとづいてパターンエッヂまでカウントし、面積カウ
ント値１９として出力する。
仁のｏｉ＋Ｍカウント値は、直線検出回路２０によって
洛分割エリアの幅で割シ、パターンエッヂ位置として算
出し、これら２点の位置よシバターンの１に線が検出さ
れ、直線検出信号２１が出力される。
洛分割エリアの幅で割シ、パターンエッヂ位置として算
出し、これら２点の位置よシバターンの１に線が検出さ
れ、直線検出信号２１が出力される。
本発明の直線検出装置は、分割された各水平エリア内の
２値化値１１１の個数を求めて、等測的な台形面積で近
似して、エッチ位置を２箇所算出しているため、従来の
直線検出装置で問題とされていた、データ個数が多くて
、最小２乗法による直線近似の処理時間が美大となる問
題を解決できるという効果がある。
２値化値１１１の個数を求めて、等測的な台形面積で近
似して、エッチ位置を２箇所算出しているため、従来の
直線検出装置で問題とされていた、データ個数が多くて
、最小２乗法による直線近似の処理時間が美大となる問
題を解決できるという効果がある。
第１図は本発明の一実施例を示すブロック図、第２図は
第１図に示す実施例の原理説明図である。 ｌ・・・・・・２値化画像、２・・・・・・撮像エリア
、３・・・・・・検査エリア、４・・・・・・水平エリ
ア、５・・・・・・パターンエッヂ、６・・・・・・面
積カウントエリア、７・・・・・・エッヂ位置、８・・
・・・・台形辺、９・・・・・・近似直線、１０・・・
・・・光電変換スキャナ、１１・・・・・・ビデオ信号
、１２・・・・・・２値化回路、１３・・・・・・２値
化１６号、１４・・・・・・ウィンド発生回路、１５・
・・・・・検出エリア、１６・・・・・・エリア分割回
路、１７・・・・・水平エリア、１８・・・・・・面積
カウント回路、１９・・・・・・面積カウント値、第１
図 ／４ １５ １ｂ 第２図
第１図に示す実施例の原理説明図である。 ｌ・・・・・・２値化画像、２・・・・・・撮像エリア
、３・・・・・・検査エリア、４・・・・・・水平エリ
ア、５・・・・・・パターンエッヂ、６・・・・・・面
積カウントエリア、７・・・・・・エッヂ位置、８・・
・・・・台形辺、９・・・・・・近似直線、１０・・・
・・・光電変換スキャナ、１１・・・・・・ビデオ信号
、１２・・・・・・２値化回路、１３・・・・・・２値
化１６号、１４・・・・・・ウィンド発生回路、１５・
・・・・・検出エリア、１６・・・・・・エリア分割回
路、１７・・・・・水平エリア、１８・・・・・・面積
カウント回路、１９・・・・・・面積カウント値、第１
図 ／４ １５ １ｂ 第２図
Claims (1)
- 検査対象物を、充電変換スキャナで走査して読み出した
パターンを“０”、“１”の２値化画像に変換する２値
化回路と、前記光電変換スキャナの撮像エリア内に検出
エリアを設定するためのウインド発生回路と、前記検出
エリアを２個の水平エリアに等分割するためのエリア分
割回路と、各分割されたエリア内で２値化値“１”の個
数を、水平方向の接続関係にもとづいてパターンエッヂ
までカウントする面積カウント回路と、各カウントされ
た面積を各分割エリアの幅で割ってパターンエッヂ位置
として算出しこれら２点の位置よりパターンの直線を検
出する直線検出回路とを含むことを特徴とする直線検出
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59212881A JPS6191659A (ja) | 1984-10-11 | 1984-10-11 | 直線検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59212881A JPS6191659A (ja) | 1984-10-11 | 1984-10-11 | 直線検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6191659A true JPS6191659A (ja) | 1986-05-09 |
| JPH0346044B2 JPH0346044B2 (ja) | 1991-07-15 |
Family
ID=16629804
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59212881A Granted JPS6191659A (ja) | 1984-10-11 | 1984-10-11 | 直線検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6191659A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014016361A (ja) * | 2013-09-25 | 2014-01-30 | Hitachi High-Technologies Corp | パターン寸法算出方法、及び画像解析装置 |
-
1984
- 1984-10-11 JP JP59212881A patent/JPS6191659A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014016361A (ja) * | 2013-09-25 | 2014-01-30 | Hitachi High-Technologies Corp | パターン寸法算出方法、及び画像解析装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0346044B2 (ja) | 1991-07-15 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |