JPS6189551A - 円筒状物体のピンホ−ル検査装置 - Google Patents
円筒状物体のピンホ−ル検査装置Info
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- JPS6189551A JPS6189551A JP21057884A JP21057884A JPS6189551A JP S6189551 A JPS6189551 A JP S6189551A JP 21057884 A JP21057884 A JP 21057884A JP 21057884 A JP21057884 A JP 21057884A JP S6189551 A JPS6189551 A JP S6189551A
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- cylindrical object
- pinhole
- discharge
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
- G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
- G01N27/20—Investigating the presence of flaws
- G01N27/205—Investigating the presence of flaws in insulating materials
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、絶縁性をもち少なくとも一端面側か開放され
ている円筒状物体に、ピンホールが１′ｒ在しているか
否かを検査するための検査装置ムこ１．ｖｌするもので
ある。
ている円筒状物体に、ピンホールが１′ｒ在しているか
否かを検査するための検査装置ムこ１．ｖｌするもので
ある。
（従来技術〕
円筒状物体の側壁面に、ピンホールがあイ）が否かを検
査するだめの検査装置、Ｌ Ｌで、火花放電・発利用す
るものが公知である。このような検査装置では、円筒状
の被検査物体の側壁を異種の電極で挟み、これらの電極
間に高電圧を印加して、その放電電流を監視することに
よりピンホールの有無を検査する。ずなわち、ピンホー
ルがある場合には、そのピンボールを介して火花放電が
生じやすくなるので、その放電電流の監視によりピンホ
ールの有無が判断できるようになる。
査するだめの検査装置、Ｌ Ｌで、火花放電・発利用す
るものが公知である。このような検査装置では、円筒状
の被検査物体の側壁を異種の電極で挟み、これらの電極
間に高電圧を印加して、その放電電流を監視することに
よりピンホールの有無を検査する。ずなわち、ピンホー
ルがある場合には、そのピンボールを介して火花放電が
生じやすくなるので、その放電電流の監視によりピンホ
ールの有無が判断できるようになる。
上述のようなピンホール検査装置としては、特開昭５４
−２８１８９号、 ４４ｒ開昭５５−．１４３４２４号
、特開昭５５−１５１２５６号などの各公報に示された
ものがある。しかしながら、上記の特開昭５４−２８１
８９号公報記載の装置では、被検査物体に一方の電極を
接触させて、これを回転させながら全周の検査を行うの
で、被検査物体や電極にキズ、変形が生じやすいととも
に、検査時間が長くなるという欠点がある。特開昭５５
−１４３４２４号公報記載の装置においては、検査のた
めに容器状の被検査物体に導電性の液体を使用するので
、その充填作業や検査後の乾燥作業等の検査工数が増え
、やはり検査の高速化の点で問題がある。また、特開昭
５５−１５１２５６号公報記載の装置では、被検査物体
の端面付近の検査ができないとともに、被検査物体の表
面を中継して両電極間に放電電流が流れるいわゆる沿面
放電を併用することから、この沿面放電による電圧１；
Ｙ下が著しく、ピンホールの検出精度が低下するという
欠点がある。
−２８１８９号、 ４４ｒ開昭５５−．１４３４２４号
、特開昭５５−１５１２５６号などの各公報に示された
ものがある。しかしながら、上記の特開昭５４−２８１
８９号公報記載の装置では、被検査物体に一方の電極を
接触させて、これを回転させながら全周の検査を行うの
で、被検査物体や電極にキズ、変形が生じやすいととも
に、検査時間が長くなるという欠点がある。特開昭５５
−１４３４２４号公報記載の装置においては、検査のた
めに容器状の被検査物体に導電性の液体を使用するので
、その充填作業や検査後の乾燥作業等の検査工数が増え
、やはり検査の高速化の点で問題がある。また、特開昭
５５−１５１２５６号公報記載の装置では、被検査物体
の端面付近の検査ができないとともに、被検査物体の表
面を中継して両電極間に放電電流が流れるいわゆる沿面
放電を併用することから、この沿面放電による電圧１；
Ｙ下が著しく、ピンホールの検出精度が低下するという
欠点がある。
本発明の目的は、上述のような従来の検査装置のもつ欠
点を一掃することにあり、円筒状の被検査物体の端面側
までも高速で検査できるようにするとともに、検査工程
中に被検査物体や電極にキズなどが入ることのないよう
なピンホール検査装置を提供することを目的とする。
点を一掃することにあり、円筒状の被検査物体の端面側
までも高速で検査できるようにするとともに、検査工程
中に被検査物体や電極にキズなどが入ることのないよう
なピンホール検査装置を提供することを目的とする。
上記目的を達成するために、本発明の検査装置において
は、一方の電極を円筒状の被検査物体の中空部内に所定
間隙をもって挿入できるように、被検査物体の内周径よ
りも若干小径となるように設定するとともに、他方の電
極そして被検査物体表面を経由して前記一方の電極に至
る沿面放電を解消するために、他方の電極の端面に対向
して絶縁性の抑え板を配置し、この抑え板に被検査物体
の端面を押しつけて検査位置に保持するようにしたごと
を特徴とするものである。
は、一方の電極を円筒状の被検査物体の中空部内に所定
間隙をもって挿入できるように、被検査物体の内周径よ
りも若干小径となるように設定するとともに、他方の電
極そして被検査物体表面を経由して前記一方の電極に至
る沿面放電を解消するために、他方の電極の端面に対向
して絶縁性の抑え板を配置し、この抑え板に被検査物体
の端面を押しつけて検査位置に保持するようにしたごと
を特徴とするものである。
本発明を適用したピンボール検査装置の第一実施例の縦
断面を°示ず第１図およびその溝断面を示す第２図にお
いて、円柱体として構成された負電極１ば、電流計２を
介して直流の高圧電源３の負極に接続されている。この
負電極１の外側には、第２図にも示すように、円筒状の
被検査物体５が配置される。前記負電極１の外周径は、
被検査物体５の内周径よりも若干小さく設定されている
ので、これらの間には図中り、で示すように若干のクリ
アランスができるようになる。このクリアランスＬ１、
さらに負電極１の左端面側の面取り部６により、負電極
■を取り囲むように被検査物体５を挿入する時に、互い
がキズつくことを防止できる。
断面を°示ず第１図およびその溝断面を示す第２図にお
いて、円柱体として構成された負電極１ば、電流計２を
介して直流の高圧電源３の負極に接続されている。この
負電極１の外側には、第２図にも示すように、円筒状の
被検査物体５が配置される。前記負電極１の外周径は、
被検査物体５の内周径よりも若干小さく設定されている
ので、これらの間には図中り、で示すように若干のクリ
アランスができるようになる。このクリアランスＬ１、
さらに負電極１の左端面側の面取り部６により、負電極
■を取り囲むように被検査物体５を挿入する時に、互い
がキズつくことを防止できる。
負電極１の外周を覆うように挿入された被検査物体５は
、一方の端面５ａが絶縁性の抑え板７に密着されるよう
に加圧装置８を介して、やはり絶縁性をもった他方の抑
え板９により押圧され、被検査物体５は抑え板７と抑え
板９との間に密着して挟持される。また、前記負電極１
の両端は細径に構成されており、その段付き部の端面１
ａ、１ｂと抑え仮７．９との間には、ｄ、で示すクリア
ランスが生ずるようになっている。なお、抑え板７は、
固定部に対して弾性支持されているのが望ましく、この
ため例えば図示のようにばね１０か利用されたり、ある
いは抑え板７さらには抑え板９自体を、弾性をもったゴ
ムにより構成する。このように、抑え板７．９自体を弾
性ゴムにすると、被検査物体５の端面を密着して保持す
る上でも非常に有効である。なお、抑え板７，９の端面
に、被検査物体５あるいは負電極１の位置決め用の突起
や四部を形成しておくことが好ましい。
、一方の端面５ａが絶縁性の抑え板７に密着されるよう
に加圧装置８を介して、やはり絶縁性をもった他方の抑
え板９により押圧され、被検査物体５は抑え板７と抑え
板９との間に密着して挟持される。また、前記負電極１
の両端は細径に構成されており、その段付き部の端面１
ａ、１ｂと抑え仮７．９との間には、ｄ、で示すクリア
ランスが生ずるようになっている。なお、抑え板７は、
固定部に対して弾性支持されているのが望ましく、この
ため例えば図示のようにばね１０か利用されたり、ある
いは抑え板７さらには抑え板９自体を、弾性をもったゴ
ムにより構成する。このように、抑え板７．９自体を弾
性ゴムにすると、被検査物体５の端面を密着して保持す
る上でも非常に有効である。なお、抑え板７，９の端面
に、被検査物体５あるいは負電極１の位置決め用の突起
や四部を形成しておくことが好ましい。
こうして、負電極１．被検査物体５を取り伺けた後、第
２図に示したように、２つのブロフク１２ａ、１２ｂと
から構成された正電極１２を、被検査物体５の全周を覆
うように設置する。この正電極１２は、被検査物体５の
外周径よりも若干人きい内周径をもって形成された中空
部を備えている。したかって、正電極１２を取り付けた
状態では、図示のように、被検査物体５との間にＬ２の
クリアランスが生ずることになる。また、前記抑え板７
．９のそれぞれは、正電極１２の両端面とクリアランス
ｄ２をもって対向する位置まで延びている。なお、正電
極１２としては、これを１個の円筒形状としたり、３個
以上の分割個数とすることも可能である。また、そのチ
ャッキングを行う手段としても、図示した並進式のめな
らず回転式など他の種々の方式を採用できる。
２図に示したように、２つのブロフク１２ａ、１２ｂと
から構成された正電極１２を、被検査物体５の全周を覆
うように設置する。この正電極１２は、被検査物体５の
外周径よりも若干人きい内周径をもって形成された中空
部を備えている。したかって、正電極１２を取り付けた
状態では、図示のように、被検査物体５との間にＬ２の
クリアランスが生ずることになる。また、前記抑え板７
．９のそれぞれは、正電極１２の両端面とクリアランス
ｄ２をもって対向する位置まで延びている。なお、正電
極１２としては、これを１個の円筒形状としたり、３個
以上の分割個数とすることも可能である。また、そのチ
ャッキングを行う手段としても、図示した並進式のめな
らず回転式など他の種々の方式を採用できる。
以上のようにして、各電極ｌ、１２および被検査物体５
のチャッキングを行った後、各電極１゜１２間に所定レ
ベルの高電圧を印加すると、被検査物体５が良品でその
全側面にピンホール、クラック等が存在していない場合
には放電が行われない。しかしながら、被検査物体５の
側面に図中１５で示したようなピンホールが存在すると
、正電極１２．負電極１との間に印加される電圧か前記
所定レベルであっても、このピンボール１５を介して火
花放電が発生する。そして、この火花放電による放電電
流を電流計２により検出するようにすれば、電流計２を
監視することて被検査物体５にピンホールなどの欠陥部
分があるか否かが判別できることになる。
のチャッキングを行った後、各電極１゜１２間に所定レ
ベルの高電圧を印加すると、被検査物体５が良品でその
全側面にピンホール、クラック等が存在していない場合
には放電が行われない。しかしながら、被検査物体５の
側面に図中１５で示したようなピンホールが存在すると
、正電極１２．負電極１との間に印加される電圧か前記
所定レベルであっても、このピンボール１５を介して火
花放電が発生する。そして、この火花放電による放電電
流を電流計２により検出するようにすれば、電流計２を
監視することて被検査物体５にピンホールなどの欠陥部
分があるか否かが判別できることになる。
ところで上述の構成によれば、正電極１２の端面と抑え
板７．９との間、また負電極１の端面と抑え板７，９と
の間にそれぞれクリアランスｄｌ。
板７．９との間、また負電極１の端面と抑え板７，９と
の間にそれぞれクリアランスｄｌ。
ｄ２が設けられており、そして被検査物体５の両端が前
記抑え板７．９に間隙なく完全に密着されることから、
両電極１．１２が被検査物体５の両端部分まで延長され
ていても、沿面放電の発生を確実に防くことができる。
記抑え板７．９に間隙なく完全に密着されることから、
両電極１．１２が被検査物体５の両端部分まで延長され
ていても、沿面放電の発生を確実に防くことができる。
したがって、検査中に沿面放電による思わぬ電圧低下を
きたして検査精度を劣化させるようなことがなく、しか
も被検査物体５の端部側まで高精度に検査することがで
きる。
きたして検査精度を劣化させるようなことがなく、しか
も被検査物体５の端部側まで高精度に検査することがで
きる。
また、ピンホール検出のだめの火花放電を、印加電圧を
低くしても確実に生じさせるだめには、被検査物体５と
負電極１．正電極１２とのそれぞれのクリアランスＬ＋
、Ｌ２を小さく設定すればよい。しかし、これらをあま
り小さくし過ぎると、チャッキング作業時に互いに擦れ
合ってキズが入る原因になりやすいので、クリアランス
Ｌ、、Ｌ２を０．５ｍｍ前後に抑え、印加電圧を３００
０Ｖ〜ａｏｏｏｖ程度にすれば、良好なピンホール検査
を行うことができる。なお、この場合のクリアランスｄ
、、ｄ２の値としては、Ｏ〜３Ｒ＋ｍ程度でよい。
低くしても確実に生じさせるだめには、被検査物体５と
負電極１．正電極１２とのそれぞれのクリアランスＬ＋
、Ｌ２を小さく設定すればよい。しかし、これらをあま
り小さくし過ぎると、チャッキング作業時に互いに擦れ
合ってキズが入る原因になりやすいので、クリアランス
Ｌ、、Ｌ２を０．５ｍｍ前後に抑え、印加電圧を３００
０Ｖ〜ａｏｏｏｖ程度にすれば、良好なピンホール検査
を行うことができる。なお、この場合のクリアランスｄ
、、ｄ２の値としては、Ｏ〜３Ｒ＋ｍ程度でよい。
第３図に示した本発明の第二実施例は、一方の端面側に
底面２０ａが設りられている円筒状の被検査物体２０を
、その底面２０ａも含めて検査するためのものである。
底面２０ａが設りられている円筒状の被検査物体２０を
、その底面２０ａも含めて検査するためのものである。
なお、第一実施例と共通の部材については、共通の符号
を付しである。この第二実施例においては、底面２０ａ
の検査も同時に行うようにするために、正電極１２に底
面検査用の付加電極１３が接続されている。また、抑え
板７はとしては、例えばネオプレンゴム等の弾性をもつ
ゴム板が用いられている。
を付しである。この第二実施例においては、底面２０ａ
の検査も同時に行うようにするために、正電極１２に底
面検査用の付加電極１３が接続されている。また、抑え
板７はとしては、例えばネオプレンゴム等の弾性をもつ
ゴム板が用いられている。
前記正電極１２そして付加電極工３の内面には、多数の
突起１８が形成されている。このような突起１８が設け
られていると、突起１８の回りに著しい不平等電界が生
ずるので、より低い電圧レー・ルで放電を発生させるこ
とができるようになる。
突起１８が形成されている。このような突起１８が設け
られていると、突起１８の回りに著しい不平等電界が生
ずるので、より低い電圧レー・ルで放電を発生させるこ
とができるようになる。
このように、検査時の印加電圧を低く設定ずろことがで
きれば、電源装置の保守管理上好ましいとともに、沿面
放電を防く意味でも有りｊとなる。なお、上記第一、第
二実施例において、負電極１゜正電極１２の極性を逆に
して使用したり、電源として交流を利用することも可能
である。
きれば、電源装置の保守管理上好ましいとともに、沿面
放電を防く意味でも有りｊとなる。なお、上記第一、第
二実施例において、負電極１゜正電極１２の極性を逆に
して使用したり、電源として交流を利用することも可能
である。
上述のように、本発明の検査装置によれば、ｔ＋’ｃ来
装置では発生しやすかった沿面放電が防止さ′！１゜る
ので、円１ｆｊｌ状の被検査物体にピンホール等の欠陥
部が存在するか否かが、その！＞ｌＬｔ部側までも高Ｍ
ｉ度で検出できるようるこなろ。さらに被検査物体と電
極とを接触させることなく、しかも被検）′ｉ物体の全
周を（灸査ずイ）にあたっ′（、これらをｒ〔１トＩｉ
ｌ；さ−已たりする必要もないので、被検査物体や電極
表面を楊つり〈）ことかなく、高辻で全周の検査かでき
る。
装置では発生しやすかった沿面放電が防止さ′！１゜る
ので、円１ｆｊｌ状の被検査物体にピンホール等の欠陥
部が存在するか否かが、その！＞ｌＬｔ部側までも高Ｍ
ｉ度で検出できるようるこなろ。さらに被検査物体と電
極とを接触させることなく、しかも被検）′ｉ物体の全
周を（灸査ずイ）にあたっ′（、これらをｒ〔１トＩｉ
ｌ；さ−已たりする必要もないので、被検査物体や電極
表面を楊つり〈）ことかなく、高辻で全周の検査かでき
る。
したかって、本発明の検査装置による検査上［′？を製
造下、［：ｄ中にＩＩＩ入れ、その検査情＋■を実時間
で利用することも可能となる。
造下、［：ｄ中にＩＩＩ入れ、その検査情＋■を実時間
で利用することも可能となる。
第１図は、本発明の第一実施例の縦断面図てあ・３゜
第２図は、第１図に示した第一実施例の４！′７．断面
図である。 第３図は、本発明の第二実施例の縦断面図である。 ■・・・負電極 ２・・・電流計３・・・高圧電
源 ５・・・被検査物体７．９・・抑え板 Ｉ
２・・正電極１５・・ピンホール Ｉ８・・突起 ２０・・被検査物体。 手続ネ市正書 昭和５９年１２月１０日
図である。 第３図は、本発明の第二実施例の縦断面図である。 ■・・・負電極 ２・・・電流計３・・・高圧電
源 ５・・・被検査物体７．９・・抑え板 Ｉ
２・・正電極１５・・ピンホール Ｉ８・・突起 ２０・・被検査物体。 手続ネ市正書 昭和５９年１２月１０日
Claims (4)
- （１）絶縁性の円筒状物体の内周壁に沿う外周形状をも
ち、前記円筒状物体の中空部に挿入される円柱型の一方
の電極と、前記円筒状物体の外周壁に沿う内周形状をも
ち、円筒状物体の外周面を覆って配置される中空型の他
方の電極とを備え、前記両電極間に流れる放電電流によ
り、円筒状物体に存在するピンホールを検出するための
検査装置において、 前記一方の電極の外周径を円筒状物体の内周径よりも所
定量小さく設定するとともに、前記他方の電極の端面に
対向して配置された絶縁性の抑え板に円筒状物体の端面
を密着して押しつけることにより円筒状物体を検査位置
に保持するようにしたことを特徴とする円筒状物体のピ
ンホール検査装置。 - （２）前記一方の電極の少なくとも一端面側の外周径を
さらに細径としたことを特徴とする特許請求の範囲第１
項記載の円筒状物体のピンホール検査装置。 - （３）前記一方の電極あるいは他方の電極の表面に多数
の突起を形成したことを特徴とする特許請求の範囲第１
項もしくは第２項記載の円筒状物体のピンホール検査装
置。 - （４）前記他方の電極は、分離可能な複数個のブロック
により構成されていることを特徴とする特許請求の範囲
第１項乃至第３項のいずれかに記載の円筒状物体のピン
ホール検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21057884A JPS6189551A (ja) | 1984-10-09 | 1984-10-09 | 円筒状物体のピンホ−ル検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21057884A JPS6189551A (ja) | 1984-10-09 | 1984-10-09 | 円筒状物体のピンホ−ル検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6189551A true JPS6189551A (ja) | 1986-05-07 |
Family
ID=16591628
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21057884A Pending JPS6189551A (ja) | 1984-10-09 | 1984-10-09 | 円筒状物体のピンホ−ル検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6189551A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2015146689A1 (ja) * | 2014-03-25 | 2015-10-01 | Ntn株式会社 | 軸受部品の内部欠陥検査装置および内部欠陥検査方法 |
-
1984
- 1984-10-09 JP JP21057884A patent/JPS6189551A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2015146689A1 (ja) * | 2014-03-25 | 2015-10-01 | Ntn株式会社 | 軸受部品の内部欠陥検査装置および内部欠陥検査方法 |
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