JPS6179575A - 研磨基布およびその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野ン 本発明は高精度、高品位の平面加工用の研磨基布に関す
るものでロシ、更に詳しくは耐摩耗性に富み、寸法精度
に優れる研磨基布およびその製造方法に関するものであ
る。

（従来技術） 従来より、研磨用不織布に切９込み＃１ｔ−形成するこ
とにより研磨圧力を均等化したシ、研磨液の供給を均等
化する試みがなされてきた。

（発明が解決しようとする問題点） 前記の従来の研磨用不織布に切９込み溝を形成したもの
では、研磨用不織布が高速回転中に切り込み溝部分から
引きちぎれてしまう等の強度低下が著しいばかりで々く
、研磨用不織布が伸びてしまう等寸法精度が悪いもので
あった。

（発明の目的） 本発明は従来の欠点を改善し、高速回転中に引きちぎれ
たりすることのない耐久性に優れ、しかも寸法安定性に
優れた研磨基布およびその製造方法を提供せんとするも
のである。

（発明の構成） 本発明の研磨基布は織布（１）と短繊維交絡体（２）を
積層一体化してなる繊維基材（３）の空隙部に微細孔構
造を有するポリウレタンエラストマーが充填され、短繊
維交絡体には研磨液供給路用の凹部溝（４）が形成され
、該凹部溝（４）表面付近にはポリウレタンエラストマ
ーの緻密層（５）が形〒されてなるものであｐｌまた本
発明の研磨基布の製造方法は、織布と短繊維交絡体を積
層一体化してなる繊維基材の空隙部に微細孔構造を有す
るポリウレタンエラストマーを充填せしめ、次いで前記
ポリウレタンエラストマー全充填した繊維基材９短繊維
交絡体表面に高周波加熱圧絹によシ研磨液供給路となる
°１凹部溝を形成するものである。

本発明で使用する織布は寸法安定性の良いものが好まし
く、６ナイロン％　６・６ナイロン、ポリエステル、ビ
ニロン、綿、レーヨン等ｔｖ＋成繊ｍ、天然繊維のうち
ポリウレタンエラストマーの溶剤で膨潤または溶解しな
い繊維を織成したものが使用できる。

短繊維交絡体を構成する短繊維としては、６ナイロン、
６・６ナイロン、ポリエステル等の合成繊維やウール等
の天然繊維も使用でき、やはシボリウレタンエラストマ
ーの溶剤で膨潤または溶解−しないものが間開できる。

織布と短ＦＪｌ推交絡体を積層一体化するには、織布上
に短繊維交絡体を積層し、これをニードルパンチにより
一体化せしめれば良い。

本発明で使用するポリウレタンエラストマー−特に限定
されないが耐アルカリ性を要求される研磨基布の場合に
は、ポリプロピレングリコール、ポリテトラメチレング
リコール、ポリブチレンアジペート、ポリカプロラクト
ン、ポリカーボネート等をポリオール成分とするポリウ
レタンエラストマーが好適であり、次亜塩素酸ソーダ等
の酸化剤などに耐える必要のある研腫基布の場合にはポ
リカーボネートをポリオール成分とするポリウレタンエ
ラストマーが好適である。

＃！維基材の空隙部に前記ポリウレタンエラストマーの
微細孔構造のものを充填するには、繊維基材に前記ポリ
ウレタンエラストマーの有機溶剤溶液を含浸せしめ、こ
れを前記ポリウレタンエラストマーは溶解しないが前記
有機溶剤とは相溶性を有する水を主成分とする非溶媒中
に浸漬してポリウレタンエラストマーを湿式凝固させれ
ば良い。

有機溶剤としてはＮ　、　Ｎ−ジメチルホルムアミド、
ジオキサン、テトラヒドロフジ、ン、アセト／等が使用
できるが、とくにＮ、Ｎ−ジメチルホルムアミドが好ま
しい。ポリウレタンエラストマー中には顔料、抗酸化剤
、防黴剤、加水分；イ防止剤、紫外線吸収剤、消光剤−
４鷺添刀■することもできる。

凹部溝を形成するには、凸部で有する高周波電極を微細
孔構造のポリウレタンエラストマーを充填した繊維基材
の短繊維交絡体層側に当接し、−高周波電流全印荷する
と７ともに押圧すれば良い。こノ操作により短繊維又＋
１＋６体層中のポリウレタンエラストマーが織布中に岐
仏圧縮さｎ織布と短繊維交絡体層の接着強度を向上させ
ることができるものである。　　　　　　、 （発明の作用、効果）　　　　　　　　　　　・本発明
の研磨基布は、短繊維交絡体（２）に凹部溝（４）が形
成され、その凹部溝（４）の表面付近にはポリウレタン
エラストマーの緻密層（５）が形成されているので、高
速回転中に引きちぎれたりすることもなく、耐久性に優
れるものでおるばかやでなく、耐水圧が優れ研磨液が抵
抗なく流れ凹部溝（４）におけ１目桔シ現象が発生口な
いし、更に凹′部溝（４’）の表面密度が高くなってい
るので微細孔構造内部への空気の供給が抑制きれ酸化労
化を受けにくくなり経時安定性も著しく向上すると込う
効果を奏する。、またわ１Ｈ＜６基材が織布と短繊維交
絡体を積層一体化したものであるから寸法安定性に優れ
るものでおる。

本発明の研磨基布の製造方法ておいては、微細孔構造を
有するポリウレタンエラストマーヲ空隙部に充ユλしん
短繊維交絡体表ｊに高周波加熱圧縮付近の微細孔構造の
ポリウレタンエラストマーは溶融し、しかも圧縮される
のでポリウレタンエラストマーの緻密層が凹部溝の形成
と同時に形成でき、しかもこの緻密層に凹部溝の深さに
比例して肉厚となるように形成されるので研磨時に補強
効果をも示すものである。また織布と短繊維交絡体ｔ−
積層一体化した繊維基材に微細孔構造のポリウレタンエ
ラストマーを充填したものを使用しているので、高周波
加熱圧縮した場合でも、本発明者が別途試みた短繊維交
絡体層ｊ−のものに微細孔構造のポリウレタンエラスト
マーを充填したもののように凹部溝の対応する裏面に第
２図に見られるような凹みが形成されることもなく、強
度的にもまた平滑性の面からも好ましいものである。

（実施例） 繊維長５１輔、繊度２デニールのポリエチレンテレフタ
レート７０％、繊維長２９門、繊度Ｌ５デニールのポリ
エチレンテレフタレート３０％より成る短繊維交絡体層
（８００ｙ／ｍ’）にポリエチレンテレフタレートマル
チフィラメント全経糸、緯糸とする平織り生地（厚味０
２０ｗｎ）ｋ積層し。

ニードルパンチングにより一体化したのチ、１５０℃の
表面温度を有する金属ロール間全通過させ。

屯５問厚の繊維質基材を得た。次いでボリプチレンアジ
ベー）　、　　ａ　、　４／−ジフェニルメタンジイソ
シアネー）、　　１．４ブタンジオールより合成した１
００％モジュラス１６０Ｋｑ／ｃに熱軟化点１９５℃の
ポリウレタンエラストマーの１０％溶液を含浸し、２０
℃の水中で凝固、脱溶媒し１２０℃で乾燥し、ｅｔｔ推
＊苓材に対して３６％のポリウレタンエラストマーが微
細孔構造を有して充填されてなるシート状物を得九。更
にスプリットマシンで短ｎ＜Ｈ１交絡体層表面ｔ−ｉき
取り、４．０ｍ＋厚の表面平滑性に優れるシート状物を
得た。

次いで巾Ｌ５ｙｏｎの真ちゅう裏板が８闘間隔で格子状
に配列した電極を用いて、６秒間発振させ、押圧したと
ころ、裏面は実質的に凹部を有さない極めて表面平滑性
に優れた研磨基布が得られた。

このものの凹部の溝の深さは２．５ｗｎであった。この
ものをブラウン管研磨用に繰シ返し使用したが何ら問題
点はなかつ念。

（比較例） 横椎長５１ｍ５＋％繊度２デニールのポリエチレンテレ
７タレー）７０％、繊維長２９ａ％繊度Ｌ５デニールの
ポリエチレンテレフタレート３０ｚより成る８５ｏｙ／
、Ｉの短繊維交絡体に実施例と同様ポリウレタンエラス
トマーを含浸し、繊維に対して３６％付着させ、両面を
スプリットマシンで　き取、り７％　４４−０ｒｒｒ厚
の不織布を得念のち、Ｖ字型の切り込みを２５ｍｍの深
さで入れたものにし、同様にブラウン管研磨用に使用し
たが切シ込み部で繊維が切断さｔ″ＬＬ次念凸部のちぎ
れ現象が発生した。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の研磨基布の拡大断面図、第２図は織布
を使用しなかった場合の研磨基布の一部の拡大断面図で
ある。 （（１）・・・織布　　　　　（２）・・・短繊維交絡
体（３）・・・繊維基材　　　（４）・・・凹部溝（５
）・・・緻密層

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）織布と短繊維交絡体を積層一体化してなる繊維基
   材の空隙部に微細孔構造を有するポリウレタンエラスト
   マーが充填され、短繊維交絡体には研磨液供給路用の凹
   部溝が形成され、該凹部溝表面付近にはポリウレタンエ
   ラストマーの緻密層が形成されてなる研磨基布。
2. （２）織布と短繊維交絡体を積層一体化してなる繊維基
   材の空隙部に微細孔構造を有するポリウレタンエラスト
   マーを充填せしめ、次いで前記ポリウレタンエラストマ
   ーを充填した繊維基材の短繊維交絡体表面に高周波加熱
   圧縮により研磨液供給路となる凹部溝を形成することを
   特徴とする研磨基布の製造方法。