JPS6175567A - 光起電力装置 - Google Patents

光起電力装置

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JPS6175567A
JPS6175567A JP59197502A JP19750284A JPS6175567A JP S6175567 A JPS6175567 A JP S6175567A JP 59197502 A JP59197502 A JP 59197502A JP 19750284 A JP19750284 A JP 19750284A JP S6175567 A JPS6175567 A JP S6175567A
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JP
Japan
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photovoltaic
photovoltaic element
power generation
film
output voltage
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JP59197502A
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Takeo Fukatsu
深津 猛夫
Masaru Takeuchi
勝 武内
Kazuyuki Goto
一幸 後藤
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Sanyo Electric Co Ltd
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Sanyo Electric Co Ltd
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    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L31/00Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L31/04Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices
    • H01L31/042PV modules or arrays of single PV cells
    • H01L31/0445PV modules or arrays of single PV cells including thin film solar cells, e.g. single thin film a-Si, CIS or CdTe solar cells
    • H01L31/046PV modules composed of a plurality of thin film solar cells deposited on the same substrate
    • HELECTRICITY
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    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (イ)産業上の利用分野 本発明は光照射を受けると起電力を発生する光起電力装
置に関する。
(ロ)従来の技術 基板の絶縁表面に於いて単位発電膜を電気的に1n列接
続せしめた光起電力装置は例えは米国特許第4.281
,208号に開示上れており、」二記単位発電膜の数を
選択することによ−って任意の出力電圧が得られる。断
る単位発電膜は一つのpin接合の如き半導体接合を備
え−しいる。
一方、特開昭56−33889号公報に開示された直列
接続型光起電力装置の単位発電膜は2つの半導体接合を
重醤七しめた所謂タンデム接合型構造をなし、光入射側
の第1の半導体接合に於いて吸収されることなく透過し
た光を背面側の第2の半導体接合に導き、この透過光を
第2の半導体接合で有効に光電変換せしめるもの1゛あ
る。従って、このタンプ11接合型構造によれば第1の
半導体接合に於いて吸収きれずに光電変換に寄与するこ
となく透過していた光を第2の半導体接合で吸収し有効
に光電変換41シめるために、光起電力装置全体の光電
変換効率の向上が期待できる。
然し乍ら、−ト記タンテム接合型構造によれは光電変換
効率の向上が期待できるものの、そのための条件は厳し
い。即ち、第1の半導体接合に於いて発生した電流と、
第2の半導体接合に於いて発生した電流とを等しくしな
ければならないことである。周知の如く直列接合型光起
電力装置にあっては、一つの半導体接合に於いて発生し
た電流が他の半導体接合で発生した電流と相違すると、
総合的に出力される電流値C:l小さい1jの電流値に
強制的に規制されるために大きな電流を発生しても光電
変換に鳴動に寄ケしない。例えばタンデム接合型構造の
第1の半導体接合に於いて10mA/Cm2の電流を発
生し5、第2の半導体接合で6mA/clT12の電流
を発生した場合、総合的に出力される電流値は両者の相
加平均である(10+ 6 >÷2 = 8 mA/c
+T12ではなく10mA/cn+2が小なる6mA/
cTn2に規制されるために6mA/clT12となる
従来斯る電流規制に対処ず−く第1の半導体接合を備え
る第1発電膜部分と、第2半導体接合を備える第2発電
膜部分の膜厚に対し″(最適設訓が施されている。具体
的には、第2発電膜部分は第1発電膜部分の背面に位置
するために、照射きれる光Wi:i第1発電膜部分に比
して必然的に少なくなり、第1発電膜部分で吸収される
光量を可及的に少なくし、第2の発電膜部分への先掛を
多くする工夫か施されている。断る第1発電膜811分
で吸収される光量を少なくすることは、該発電膜部分で
の電流」を抑圧する7−とを意味し、膜厚を小さくする
ことによって達成している。
然るに、背面の第2発電膜部分・\の光透過を実現可能
な小さな膜厚にあっては、電流量の膜厚依存性が犬さく
、少しの膜厚変動でも電流量の変化量は大きくなるため
に、予め最適設計された膜厚を得るべく厳しく製造条件
を制御しなげればならない。特に上述の如き光起電力装
置は大面積な基板トに形成されるために上記厳格な?!
造条件の制御は極めて困髄−rあると共に、成る一定範
囲内での膜厚変動は免れない。
更に出力電流はスペウトル依仔性が犬きく、仮に夏の直
射日光下のスペクトルに於いてタンデム接合型構造に於
ける第1半導体接合と第2半導体接合の出力電流が等し
くなるへく設計されておれば、春、秋、冬の直射日光下
のスペクトルではそのバランスは崩れ、また晴天、曇天
についてもスベク)・ルは相違するために出力%t r
AEのバランス変動を招かざるを得ない。
即ち1年を通じて絶えずスペクI・ルが変動する以ト、
常時第1半導体接合と第2半導体接合に於いて発生ずる
出力MHIを等しくすることは不可能である。
(ハ)発明が解決しようとする問題点 本発明は複数のt導体接合をタンデム接合した際、上述
の如き電流規制を受は装置全体の光電変換効率を向上せ
1.ぬることができない点を、タンデム接合と異なる構
造を採用することにより解決しようとするものである。
(ニ) 問題点を解決するための手段 本発明光起電力装置は−1−述の如き問題点を解決する
ために、基板の絶縁表面に於いて複数の第1眼位発電膜
を電気的に直列接続した第1の光起電力素子と、該光起
電力素子を被覆する透光性絶縁膜と、該絶縁膜上に於い
て複数の第2単位発電膜を電気的に直列接続した第2光
起電力素子と、を具備し、上記第1単位発電膜と第2単
位発電膜との重列接続段数を両光起電力素子の出力電圧
値がほぼ等しくなるべく設定すると共に、上記両光起電
力素子−を一ト記基板の絶縁表面に於いて電気的に並列
接続せしめた構成にある。
また、L配糖1、第2単位発電膜の入射光に対する吸収
波長帯域は異なると共に、直列接続段数も相違する構成
にある。
(ホ) 作用 一ヒ述の如く光照射方向から見て透光性絶縁膜を挾んで
積層された互いに直列接続型の第1光起電力素子と第2
光起電力素子とを、両者の直列接続段数を出力電圧が等
しくなるべく設定した後基板の絶縁表面に於いて電気的
に並列接続せしめることによって、第1光起電力素子の
単位発電膜が発生する電流値と、第2光起電力素子の単
位発電膜が発生する電I流値と、が相違しても、電流規
制を受けずに済む。
(へ) 実施例 第1図はオ発明光起電力装置をボし、(1)はカラス、
耐熱高分子フィルム等の絶縁材料或いはステ〉レス、ア
ルミニウム等の金属材料に絶縁処理を施すことによって
絶縁表面を備えた基板で、以後の説明に於いてはガラス
を使用することによって基板(1)を介して光照射がな
される実施例につき説明する。
(2)は上記基板(1)の絶縁表面に於いて互いに直列
接続きれた第1光起電力素子、(3〉は該光起電力素子
(2)−ヒに被着された5102、Si3N+等の透光
性絶縁膜、(4)は該絶縁膜(3)上に更に積層され互
いに直列接続された光電変換に有効に寄与する吸収波長
帯域が第1光起電力素子(2)のそれと異なる第2光起
電力素子で、−F配給縁膜(3)は両光起電力素子(2
>(4)間の絶縁を図るべく約1叩程度の厚みを備えて
いる。
上記第1光起電力素子(2)は例えば動作出力型圧0.
6Vの第i tp位発電膜(5a)−(5e)を5個直
列接続τ↓し7めた5段直列接続構造をな[2、各単位
3’8電膜(5a)〜(5e)は光照射側から見て、S
nO2、ITO等の透光性導電酸化物からなる第1透明
電極層(6a)〜(6e)と、シリコン化合物雰囲気中
でのグロー放電により形成され膜面に平行な一〜−一つ
のpin接合の如き半導体接合を備えたアモルファスシ
リコン系の光活性層(7a)〜(7e)と、該光活性層
(7a)〜(7e)に於いて吸収されなかった光を背面
の第2光起電力素Fi4)に導くへく1−配送光性4電
酸化物から形成された第2透明電極層(8a)〜(8e
)と、積層構造を持ち、各単位発電膜(5a)〜(5e
)は各々の隣接間隔部に於いて右隣りの第1透明N極層
<6b)−(6e)上に、左隣りの第2透明N極層(8
a)〜(8d)が延在することにより当該第1光起電力
素子(2)の電気的な直列接続が施されでいる。
一方、上記第2光起電力素子(4〉は上記5段直列接続
型の第1光起電力素子(2)の出力電圧とほぼ同一の出
力電圧を得るべく動作出力電圧0.5Vの第2単位発電
膜(9a)〜〈9f)を6個IM列接続ゼしめた6段直
列接続構造をなし、上記第2m位発電膜(9a)〜(9
f)の各々は第1光起電力素子(2)側から見て、透光
性導電酸化物からなる第3透明電極層(10a)〜(1
0f>と、一つの半導体接合を備えたアモルファスシリ
コン系の光活性1!(lla)〜(llf)と、オーミ
ンク金属製の背面型極層(12a)〜(12f)と、の
積層構造を持ち、第1光起電力素子(2)と同様に各単
位発電膜(9a)〜(9f)が互いに隣接ける隣接間隔
部に於いて電気的な直列接続が施されている。
そして、透光性絶縁膜(3)を挾んで積層された5段直
列接続型の第1光起電力素子(2)は、第2単位発電膜
(9a〉〜(9f)の直列接続段数を1段増やすことに
より出力電圧が等しくなるへく補正された第2光起電力
素子(4)と、基板(1)の絶縁表面に於いて透光性絶
縁膜(3)から露出した第1光起電力素子(2)の電気
的両端部(13)(14)上に、第2光起電力素子く4
)の同極性の電気的両端部(15)(16)が延在する
ことによって電気的に並列接続きれている。
周知の通り上述の如きアモルファスシリコン系の半導体
からなる光活性層(7a)〜(7e)、(lla)〜(
llf)の出力電圧はその組成及び構造等が決定jれは
イの製造工程に於ける膜厚の製造/−ラッギ範囲内に於
いて出力電流と異なりはとんと変動せず、またスペクト
ル依存性もないので、予め設計した出力電圧を容易に得
ることができる。下表はシリコン化合物雰囲気中での高
周波グロー放電により形成されるpin接合型アモルフ
ァスシリコン系の主に光電変換に寄与するi型層の組成
と動作電圧との関係を示している。尚、他のp型、n型
の各層は全てアモルファスシリコン(a−8i)である
たたし、 a−5iC:アモルファスシリコンカーバイ
ドa−5iN :アモルファスシリコンナイ)・ライド
a−3iGe:アモルファスシリコンゲルマニウムa−
5iSn ’アモルファスシリコンスズ上記動作電圧の
変動範囲は具体的な製造条件、例えは高周波電源出力、
基板温度等に起因し、またa−5iを除く合金系のもの
にあってはその組成比にも影響きれるが、同時に製造さ
れたものにあっては膜厚が変動すると卵もほぼ同一電圧
を出力する。
第2図は上記i型層の組成の異なる光活性層の吸収波長
帯域を示している。043〜0.45!1n+にピーク
波長が存在する曲線Aはa−8iC或いはa−5iNの
ものであり、0.52−0.54111Tlにピーク波
長が存在する曲線Bl′i′a−8iのものであり、そ
しテ0.58〜0.60urnにピーク波長が存在する
曲線Cはa−8iGe或いはa−8iSnのものである
例えば本発明の好適な実施例にあっては、第1光起電力
素′f−(2)の光活性層(7a)〜(7e〉は動作電
圧0.6V、AM−1,1100ff1/cI′I12
照射下で動作型lAE 10mA/cm 2を出力する
第2図に於いて曲線Bの吸収波長帯域の膜厚1000人
〜3000人程度のP(a−5i)/ i (a−5i
)/ n (a−8i)構j告からなり、また第2光起
電力素了(4)の光活性層(lla)〜(llf>は動
作電圧0.5V、AM−1,100m1+I/cyn2
照射下で動作電流6mA/Cm”を出力する第2図に於
いて曲線Cの吸(1波長帯域の膜厚3000〜8000
人程度のP(a−5i)/ i (a−8iGe’j・
ijいはa−8iSn)/ n (a−Si)構)告か
らなっている。
従って、F記具体的構造に於いて第1光起電力素子〈2
〉がAM−1,1,OOm W 、/cm 2の照創下
で出力する動作電圧は30v″′cその時の動作M、流
は10mA/CT112であり、まノー第2光起電力素
了(4)の動作電圧は3.Ovと第1光起電力素了(2
)のそれと等しく、動作電流は相違する6+nA/Cm
2である。
(ト)発明の効果 本発明光起電力装置は以−1−の説明から明らかな如く
、透光性絶縁膜を挾んで積層された互いに直列接続Qの
第1光起電力素了と第2光起電力素子とを、多層構造の
出力電流値が相違し犬9!な出力電流が強制的に小きい
出力電流値に規制きれることのない並列接続すると共に
画素子間の総合出力電圧をほぼ等17<シたので、電流
規制或いは電圧規制を受はす”に済み、斯る規制に基づ
く光電変換効率の低Fを回避することができる。また出
力電圧は出力電流と異なり組成や構造等が決定すれば製
造バラツキ程度で段別電圧から外れることはなく、製造
条件の厳格な制御が緩和され量産性の向上が図れると共
に、出力電圧はスペクトル依存性がほとんどないので常
時高光電変換効率を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明光起電力装置の一実施例を示す断面図、
第2図はpin接合型アモルファスシリ:Iン系に於け
る波長と吸収率との関係を示す曲線図で、く1)は基板
、(2)は第1光起電力素子、(3)は透光性絶縁膜、
(4)は第2光起電力素子、を夫々示している。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)基板の絶縁表面に於いて複数の第1単位発電膜を
    電気的に直列接続した第1の光起電力素子と、該光起電
    力素子を被覆する透光性絶縁膜と、該絶縁膜上に於いて
    複数の第2単位発電膜を電気的に直列接続した第2の光
    起電力素子と、を具備し、上記第1単位発電膜と第2単
    位発電膜との直列接続段数を両光起電力素子の出力電圧
    値がほぼ等しくなるべく設定すると共に、上記両光起電
    力素子を上記基板の絶縁表面に於いて電気的に並列接続
    せしめたことを特徴とする光起電力装置。
  2. (2)上記第1、第2単位発電膜の入射光に対する吸収
    波長帯域は異なると共に、直列接続段数も相違すること
    を特徴とした特許請求の範囲第1項記載の光起電力装置
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