JPS617456A - 湿度センサ - Google Patents
湿度センサInfo
- Publication number
- JPS617456A JPS617456A JP12805884A JP12805884A JPS617456A JP S617456 A JPS617456 A JP S617456A JP 12805884 A JP12805884 A JP 12805884A JP 12805884 A JP12805884 A JP 12805884A JP S617456 A JPS617456 A JP S617456A
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- JP
- Japan
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- humidity
- box
- electrode
- sensitive part
- housing
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
- G01N33/0004—Gaseous mixtures, e.g. polluted air
- G01N33/0009—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment
- G01N33/0011—Sample conditioning
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
- G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
- G01N27/12—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid
- G01N27/121—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid for determining moisture content, e.g. humidity, of the fluid
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は湿度の計測、あるいは制御に用いられる湿度セ
ンサに関するものである。
ンサに関するものである。
従来例の構成とその問題点
近年、空調分野をはじめとし各産業分野で湿度センサに
対するニーズが高まっているが、その信頼性に多くの問
題がある。特に塩分粒子、ホコリ等の無機固体粒子等が
存在する汚染環境に対する信頼性が懸案となっている。
対するニーズが高まっているが、その信頼性に多くの問
題がある。特に塩分粒子、ホコリ等の無機固体粒子等が
存在する汚染環境に対する信頼性が懸案となっている。
以下、第5aalbを参照しながら、上述したような従
来の湿度センサについて説明を行なう。
来の湿度センサについて説明を行なう。
感湿部1、クリーニング用のヒータ2、電極3、保持部
5、リード線9は第1図の構成と同じものであるので、
同一符号をつけて詳細は省略する。
5、リード線9は第1図の構成と同じものであるので、
同一符号をつけて詳細は省略する。
8は内包する感湿部1、ヒータ2を機械的損傷から保護
するためのプロテクタで、加熱クリーニング後の放熱を
良くするためにその周囲に多数の透孔8aが設けである
。
するためのプロテクタで、加熱クリーニング後の放熱を
良くするためにその周囲に多数の透孔8aが設けである
。
以上のように構成された湿度センサについて、以下その
動作について説明する。 ・上記構成において、まず
前記湿度センサを測定雰囲気に接触させる。雰囲気中の
水蒸気は、拡散あるいは、気流によって感湿部1に到達
し吸着をする。その際の吸着量に応じて感湿部1はその
電気的特性を変化させる。この変化を、あらかじめリー
ド線6を介して電極3に電圧を印加しておけば、雰囲気
中の湿度を電気的に検出することができる。
動作について説明する。 ・上記構成において、まず
前記湿度センサを測定雰囲気に接触させる。雰囲気中の
水蒸気は、拡散あるいは、気流によって感湿部1に到達
し吸着をする。その際の吸着量に応じて感湿部1はその
電気的特性を変化させる。この変化を、あらかじめリー
ド線6を介して電極3に電圧を印加しておけば、雰囲気
中の湿度を電気的に検出することができる。
しかしながら1、上記のような構成では以下のような欠
点を有している。その第一点は、雰囲気中に、塩分粒子
やホコリ等の加熱クリーニングによって除去不能な無機
固体粒子が存在する場合、前記無機固体粒子はプロテク
タ8の透孔8aを通じて、容易に感湿部や電極に付着し
、素子の劣化を生じ再生不能となることである。第2の
欠点は、加熱クリーニング時、ヒータが500’C以上
の高温に々るため、雰囲気に引火性物質が存在すると爆
発や火災の危険性があり、使用上安全性に問題があるこ
とである。
点を有している。その第一点は、雰囲気中に、塩分粒子
やホコリ等の加熱クリーニングによって除去不能な無機
固体粒子が存在する場合、前記無機固体粒子はプロテク
タ8の透孔8aを通じて、容易に感湿部や電極に付着し
、素子の劣化を生じ再生不能となることである。第2の
欠点は、加熱クリーニング時、ヒータが500’C以上
の高温に々るため、雰囲気に引火性物質が存在すると爆
発や火災の危険性があり、使用上安全性に問題があるこ
とである。
したがって、塩分粒子やホコリ等の無機固体粒子、及び
爆発性物質などが存在する環境でも、安全性が高く、シ
かも高い信頼性を有する加熱クリーニング型の湿度セン
サの開発が望まれている。
爆発性物質などが存在する環境でも、安全性が高く、シ
かも高い信頼性を有する加熱クリーニング型の湿度セン
サの開発が望まれている。
発明の目的
本発明は上記欠点を鑑み、防爆、火災に対して安全性を
有するとともに、塩分粒子やホコリ等の無機固体粒子が
存在する汚染環境に対して高い信頼性、を有する加熱ク
リーニング型の湿度センサを提供するものである。
有するとともに、塩分粒子やホコリ等の無機固体粒子が
存在する汚染環境に対して高い信頼性、を有する加熱ク
リーニング型の湿度センサを提供するものである。
発明の構成
この目的を達成するために本発明の湿度センサは、感湿
部、該感湿部の加熱部、前記感湿部及び加熱部の保持部
、該保持部と結合し、前記感湿部及び加熱部を内包し、
かつ開口を有する第1の筐体と前記第1の筐体を包含し
、多数の透孔を有する第2の筐体とから構成され、前記
第1の筐体の内外を結ぶ開口が感湿部ないし筐体中央部
からの立体角が 〜□の範囲に設けたものである。
部、該感湿部の加熱部、前記感湿部及び加熱部の保持部
、該保持部と結合し、前記感湿部及び加熱部を内包し、
かつ開口を有する第1の筐体と前記第1の筐体を包含し
、多数の透孔を有する第2の筐体とから構成され、前記
第1の筐体の内外を結ぶ開口が感湿部ないし筐体中央部
からの立体角が 〜□の範囲に設けたものである。
この構成によって、感湿部及び電極を雰囲気中の塩分粒
子やホコリ等の無機固体粒子の付着から守り加熱時の表
面温度を低く保持することにより耐火災、防爆性に秀れ
た湿度センサを提供するものである。
子やホコリ等の無機固体粒子の付着から守り加熱時の表
面温度を低く保持することにより耐火災、防爆性に秀れ
た湿度センサを提供するものである。
実施例の説明
以下本発明の一実施例について、図面を参照しながら説
明する。
明する。
第一図a、bは本発明の一実施例における湿度センサの
構成を示すものである。第1図において、1は湿度を検
知するだめの感湿部、2は感湿部を加熱するためのクリ
ーニング用のヒータ、3は湿度を電気信号に変換するだ
めの電極、4は感湿部1、ヒータ2、電極3を収納した
有底円筒状の第1の筐体で、ヒータ2を取付けた円柱状
の保持部5で閉蓋されている。そして、この第1の筐体
は側面に縦方向へスリット状の開ロアを形成し、感湿部
1を雰囲気と直接接触させる。6は第1の筐体4を包含
した有底円筒状の第2の筐体で、保持部5で底部が閉蓋
され、また上部がキャップ6aで閉蓋され、側面を金網
で形成している。′そして、この第2の筐体は幅が1m
+++以下の多数の透孔8を形成している。上記保持部
6は感湿1部1及びヒータ2を固定する。9は電圧印加
、及び信号出力用のり−ド線で、電極3よシ導出し、保
持部5を貫通している。
構成を示すものである。第1図において、1は湿度を検
知するだめの感湿部、2は感湿部を加熱するためのクリ
ーニング用のヒータ、3は湿度を電気信号に変換するだ
めの電極、4は感湿部1、ヒータ2、電極3を収納した
有底円筒状の第1の筐体で、ヒータ2を取付けた円柱状
の保持部5で閉蓋されている。そして、この第1の筐体
は側面に縦方向へスリット状の開ロアを形成し、感湿部
1を雰囲気と直接接触させる。6は第1の筐体4を包含
した有底円筒状の第2の筐体で、保持部5で底部が閉蓋
され、また上部がキャップ6aで閉蓋され、側面を金網
で形成している。′そして、この第2の筐体は幅が1m
+++以下の多数の透孔8を形成している。上記保持部
6は感湿1部1及びヒータ2を固定する。9は電圧印加
、及び信号出力用のり−ド線で、電極3よシ導出し、保
持部5を貫通している。
以上のように構成された湿度センサについて、以下その
動作について説明する。
動作について説明する。
上記構成において、開ロアを鉛直下向にして所装置に設
ければ、感湿部1及び電極3はその周囲を第1、及び第
2の筐体に覆われ、透孔8及び開ロアを通して雰囲気と
接触し湿度を検知する。このようにすれば雰囲気中の塩
分粒子やホコリ等の無機固体粒子は、水蒸気の如く拡散
により移動できないため、無風状態では自由落下し、第
1.第2の筐体の上面に堆積し、開口6から侵入して感
湿部1や電極3に付着しない。また有風の場合も、感湿
部1及び電極3が開ロアより上部にあること、さらに開
ロアがその立体角が□ラジアン以下で、1 。
ければ、感湿部1及び電極3はその周囲を第1、及び第
2の筐体に覆われ、透孔8及び開ロアを通して雰囲気と
接触し湿度を検知する。このようにすれば雰囲気中の塩
分粒子やホコリ等の無機固体粒子は、水蒸気の如く拡散
により移動できないため、無風状態では自由落下し、第
1.第2の筐体の上面に堆積し、開口6から侵入して感
湿部1や電極3に付着しない。また有風の場合も、感湿
部1及び電極3が開ロアより上部にあること、さらに開
ロアがその立体角が□ラジアン以下で、1 。
しかも風向に対して片方しか設けられず、第1の筐体4
の通風しがたい構成となっているなどの理由によシ、万
一鉛直上方に風が吹き上げても、感湿部1、及び電極3
に付着し難い。このように、IA−ド七 a)−レト會
菅LF I 入 酔ン亜鯉 1 °活r(徊を妬
Q rr七合り賞−市孤機固体粒子の付着を免れる
。第2図は上記構成の湿度センサに開ロアに対し真横よ
り海水を0.55m/ s 程度の風速で噴霧した場
合の前記第1の筐体の開ロアの立体角とセンサの劣化量
の関係を示することにより、たとえ横向の風が吹いても
、塩分粒子によるセンサの劣化を著しく低下させること
ができる。ところでタバコや油蒸気等の有機物質が感湿
部1や電極3に付着して、センサが劣化した場合、ヒー
タ2を用いて前記有機物を加熱除去し、劣化した特性を
回復することができる。しかし、何らかの原因でヒータ
が通電状態で長時間放置され、第1の筐体4の表面温度
がioo°C以上に過熱されることが考えられるが、そ
の場合、第2の筺体6で第1の筐体4を覆っているため
、本実施例の湿度センサの実質的な表面温度は第2の筐
体6の表面温度と見なすことができる。
の通風しがたい構成となっているなどの理由によシ、万
一鉛直上方に風が吹き上げても、感湿部1、及び電極3
に付着し難い。このように、IA−ド七 a)−レト會
菅LF I 入 酔ン亜鯉 1 °活r(徊を妬
Q rr七合り賞−市孤機固体粒子の付着を免れる
。第2図は上記構成の湿度センサに開ロアに対し真横よ
り海水を0.55m/ s 程度の風速で噴霧した場
合の前記第1の筐体の開ロアの立体角とセンサの劣化量
の関係を示することにより、たとえ横向の風が吹いても
、塩分粒子によるセンサの劣化を著しく低下させること
ができる。ところでタバコや油蒸気等の有機物質が感湿
部1や電極3に付着して、センサが劣化した場合、ヒー
タ2を用いて前記有機物を加熱除去し、劣化した特性を
回復することができる。しかし、何らかの原因でヒータ
が通電状態で長時間放置され、第1の筐体4の表面温度
がioo°C以上に過熱されることが考えられるが、そ
の場合、第2の筺体6で第1の筐体4を覆っているため
、本実施例の湿度センサの実質的な表面温度は第2の筐
体6の表面温度と見なすことができる。
第3図は、直径I)mmφ、高ζ30咽の密閉された円
筒の側面に巾1M、長さ30朔のスリット状の開口を設
け、その中に4,5Wのヒータを入れ、室温25℃、風
速0.05 m/ s以下の雰囲気で連続的に加熱をし
た場合の円筒表面飽和温度と円筒の直径Dφの関係を示
すものである。Dφ=20聴以上にすれば、表面温度を
70℃以下とすることが可能となる。したがって、加熱
クリーニングの際、何らかの原因で、第1の筐体の表面
温度が100℃以上の高温に過熱されても、側面に多数
の透孔を有する直径2ommφ程度の第2の筐体6が前
記第1の筐体4を覆っているため、センサの表面温度7
0℃以下の温度に制限できる。
筒の側面に巾1M、長さ30朔のスリット状の開口を設
け、その中に4,5Wのヒータを入れ、室温25℃、風
速0.05 m/ s以下の雰囲気で連続的に加熱をし
た場合の円筒表面飽和温度と円筒の直径Dφの関係を示
すものである。Dφ=20聴以上にすれば、表面温度を
70℃以下とすることが可能となる。したがって、加熱
クリーニングの際、何らかの原因で、第1の筐体の表面
温度が100℃以上の高温に過熱されても、側面に多数
の透孔を有する直径2ommφ程度の第2の筐体6が前
記第1の筐体4を覆っているため、センサの表面温度7
0℃以下の温度に制限できる。
一方、雰囲気中の水蒸気は、無風状態でも拡散により、
透孔8及び開ロアを通じて感湿部1に到達し、吸着する
。その際の吸着量に応じて、その電気的特性を変化させ
る。その変化量をリード線9を介して電圧印加された電
極3によシミ気信号に変換される。
透孔8及び開ロアを通じて感湿部1に到達し、吸着する
。その際の吸着量に応じて、その電気的特性を変化させ
る。その変化量をリード線9を介して電圧印加された電
極3によシミ気信号に変換される。
以上の如く、本実施例の湿度センサは、雰囲気中の無機
固体粒子の付着を免かれ、まだ加熱クリーニング時のセ
ンサ外皮温度を常に70°C以下の温度に制限し、安全
性を保ちつつ雰囲気の湿度を検出する。
固体粒子の付着を免かれ、まだ加熱クリーニング時のセ
ンサ外皮温度を常に70°C以下の温度に制限し、安全
性を保ちつつ雰囲気の湿度を検出する。
なお、上記の一実施例では、第2の筐体6の側面に透孔
8を設けたが、第4図aの如く、多数のスリン)8aを
設けてもよい。また、第2の筐体そのものを第4図すの
如く、全体を綱状にして透 。
8を設けたが、第4図aの如く、多数のスリン)8aを
設けてもよい。また、第2の筐体そのものを第4図すの
如く、全体を綱状にして透 。
孔8bを形成してもよい。
また、上記実施例の開ロア及び透孔8をIMmにするこ
とにより、第1,2の筐体に防爆性が付与され、センサ
全体として2重の防爆構造を持つことになシ、加熱クリ
ーニング時に、周囲に引火性物質が存在しても、爆発の
危険を免かれることができる。
とにより、第1,2の筐体に防爆性が付与され、センサ
全体として2重の防爆構造を持つことになシ、加熱クリ
ーニング時に、周囲に引火性物質が存在しても、爆発の
危険を免かれることができる。
発明の効果
以上のように、本発明は感湿部及び電極を感湿口を有す
る第一の筐体に収納し、さらに前記第一の筐体を包含す
る多数の透孔を有する第2の筐体を設けることにより、
塩分粒子やホコリ等の無機固体粒子の感湿部や電極への
付着によるセンナの劣化を防止できる。第2の筐体に設
けられ光透孔の巾を1mm以下とすることにより、セン
サの表面温度を70′C以下に保持し、しかも防爆構造
が筐体に付与され、加熱クリーニング時に火災や爆発が
防止でき、使用上の安全性が確保できる。
る第一の筐体に収納し、さらに前記第一の筐体を包含す
る多数の透孔を有する第2の筐体を設けることにより、
塩分粒子やホコリ等の無機固体粒子の感湿部や電極への
付着によるセンナの劣化を防止できる。第2の筐体に設
けられ光透孔の巾を1mm以下とすることにより、セン
サの表面温度を70′C以下に保持し、しかも防爆構造
が筐体に付与され、加熱クリーニング時に火災や爆発が
防止でき、使用上の安全性が確保できる。
第1図aは本発明の一実施例における湿度センサの構成
を示す一部破断の縦断面図、第1図すは第1図aの横断
面図、第2図は本実施例の湿度センサに海水噴霧した場
合の開口の立体角とセンサの劣化量の関係を示すグラフ
、第3図は連続加熱した場合のスリット付の円筒の直径
Dφと表面飽和温度の関係を示すグラフ、第4図a、b
は、第1図における第2の筐体、及び透孔の他の例を示
す側面図、第5図a は従来の加熱クリーニング型の
湿度センサの構成を示す一部破断の縦断面図、第5図す
は第5図aの横断面図である。 1・・・・・・感湿部、2・・・・・・ヒータ、3・・
・・・・電極、4・・・・・第1筐体、5・・・・・・
開口、6・・・・・・第2筐体、8・・・・・・透孔。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか1名第1
図 第2図 藺T:Inてンイ参り槍 5yle−3(ラジアンノ第
3図 第4図
を示す一部破断の縦断面図、第1図すは第1図aの横断
面図、第2図は本実施例の湿度センサに海水噴霧した場
合の開口の立体角とセンサの劣化量の関係を示すグラフ
、第3図は連続加熱した場合のスリット付の円筒の直径
Dφと表面飽和温度の関係を示すグラフ、第4図a、b
は、第1図における第2の筐体、及び透孔の他の例を示
す側面図、第5図a は従来の加熱クリーニング型の
湿度センサの構成を示す一部破断の縦断面図、第5図す
は第5図aの横断面図である。 1・・・・・・感湿部、2・・・・・・ヒータ、3・・
・・・・電極、4・・・・・第1筐体、5・・・・・・
開口、6・・・・・・第2筐体、8・・・・・・透孔。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか1名第1
図 第2図 藺T:Inてンイ参り槍 5yle−3(ラジアンノ第
3図 第4図
Claims (4)
- (1)感湿部と、該感湿部の加熱部と、前記感湿部及び
加熱部の保持部と、該保持部と結合し、前記感湿部及び
加熱部を内包し、かつ開口を有する第1の筐体と、前記
第1の筐体を包含し多数個の透孔を有する第2の筐体と
からなる湿度センサ。 - (2)第2筐体が網状である特許請求の範囲第1項記載
の湿度センサ。 - (3)第2筐体の透孔がスリットで構成される特許請求
の範囲第1項記載の湿度センサ。 - (4)第1筐体の開口が、感湿部からの立体角が1/1
000〜1/10ラジアンである特許請求の範囲第1項
記載の湿度センサ。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12805884A JPS617456A (ja) | 1984-06-21 | 1984-06-21 | 湿度センサ |
PCT/JP1985/000342 WO1986000409A1 (en) | 1984-06-21 | 1985-06-18 | Humidity sensor |
EP85903047A EP0191106B1 (en) | 1984-06-21 | 1985-06-18 | Humidity sensor |
DE8585903047T DE3579686D1 (de) | 1984-06-21 | 1985-06-18 | Feuchtigkeitsfuehler. |
US06/834,308 US4737707A (en) | 1984-06-21 | 1985-06-18 | Humidity sensor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12805884A JPS617456A (ja) | 1984-06-21 | 1984-06-21 | 湿度センサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS617456A true JPS617456A (ja) | 1986-01-14 |
JPH0554624B2 JPH0554624B2 (ja) | 1993-08-13 |
Family
ID=14975432
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP12805884A Granted JPS617456A (ja) | 1984-06-21 | 1984-06-21 | 湿度センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS617456A (ja) |
-
1984
- 1984-06-21 JP JP12805884A patent/JPS617456A/ja active Granted
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0554624B2 (ja) | 1993-08-13 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
EXPY | Cancellation because of completion of term |