JP4104100B2 - ガスセンサ - Google Patents
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Description
【発明の利用分野】
この発明はガスセンサに関し、特にその通気性の制御に関する。
【0002】
【従来技術】
特開平6−300726号は、ガスセンサのキャップに小さな通気孔を設け、その孔径を小さくすると、キャップでガスセンサ内への拡散を制限できることを示している。そしてこの公報では、拡散の制限により、耐久性の向上、ガス選択性の向上が得られることを示している。また通気孔の外側に金網を配置することにより、通気孔の目詰まりを防止できるとしている。しかしこの従来技術は、活性炭等のフィルター付きのガスセンサについては検討していない。
【0003】
【発明の課題】
この発明の基本的課題は、フィルターの破荷を遅らせることと、湿度変動の影響を緩和することにある。
この発明の追加の課題は、外側通気孔の目詰まりを防止し、かつ目詰まり防止用の不織布の損傷を防止することにある。
請求項2の発明の追加の課題は、フィルターを容易にキャップに取り付けられるようにすることにある。
【0004】
【発明の構成】
この発明のガスセンサは、ベースにガスセンサ本体とキャップとを取り付けて、キャップによりガスセンサ本体を覆うとともに、キャップに設けた通気孔からガスセンサ本体へガスを導入するようにし、キャップにフィルターを収容して、フィルターの外側の位置でキャップに外側通気孔を設け、外側通気孔の通気性をフィルターからガスセンサ本体への通気性よりも小さくして、外側通気孔でフィルターへ導入するガスの量を制限する。
外側通気孔の付近で、キャップをフィルター側へ窪ませて凹部とするとともに、外側通気孔を該凹部の底部に配置し、かつフィルターから見た凹部の外側を通気性のある不織布で覆う。
好ましくは、フィルターを活性炭フィルターとし、その内側に通気性部材とリングとを設けて、該リングにより通気性部材をキャップに位置決めして活性炭フィルターを保持するとともに、該リングの中央部の開口を上記外側通気孔よりも大きくする。
【0006】
【発明の作用と効果】
この発明では、ガスセンサのキャップにフィルターを収容し、フィルターの反対側の位置でキャップに外側通気孔を設け、外側通気孔の通気性をフィルターからガスセンサ本体への通気性よりも小さくする。この結果、外部の空気は外側通気孔からフィルターを介してガスセンサ本体へと導かれ、通気性の制限はフィルターの外側の外側通気孔で行われる。フィルターへの外気の導入量を制限しているので、被毒性のガスや雑ガスが侵入した場合、フィルターの破荷が遅れ、ガスセンサの耐久性を向上させ、雑ガスへの感度を減少させることができる。フィルターは一般に多量の水蒸気を吸着し、湿度変動に対するバッファとなる。そしてフィルターへの外気の導入を制限するので、周囲の湿度が変動した際の、ガスセンサ本体の付近での湿度変動を遅らせ、ガスセンサの湿度依存性を改善する事ができる。
【0007】
外側通気孔の目詰まりを防止するため、外側通気孔の外側を不織布で覆い、かつ不織布を設けた部分でキャップをフィルター側へ窪ませて凹部とする。不織布は凹部の中に収容されるので、ガスセンサ製造時やその後の組み付け時などに、不織布に他の部材が触れて剥がれたり損傷したりすることが少ない。また仮に他の部材が触れた場合でも、たとえば他のガスセンサの足が触れた場合でも、不織布では布がほつれて破れるなどのことが少ない。さらに不織布では一般に繊維の層が多層に重なっており、金網や織布などの場合と異なり目詰まりする可能性が少ない。
【0008】
ここでフィルターの取り付けが問題となるが、例えばフィルターを活性炭フィルターとする場合、フィルターの内側に金網や織布、不織布、プラスチックシートなどの通気性部材とリングとを設けて、該リングにより通気性部材をキャップ側に押し付けて位置決めし、リング中央部の開口を外側の通気孔よりも大きくするのが好ましい。このようにすると、活性炭フィルターを外側通気孔と内側の通気性部材との間に保持でき、かつ通気性部材はリングでキャップに保持できる。
【0009】
【実施例】
図1〜図15に実施例とその変形とを示す。図1,図2に、実施例のガスセンサ2の構造を示すと、4は金属や樹脂などのキャップで、ここでは金属製キャップとし、6はキャップ4の頂部に設けた凹部で、8は凹部6の底面中央に設けた外側通気孔であり、その直径はたとえば0.2〜1mmとする。10は、凹部6内に収容し、外側通気孔8を覆うように配置した不織布である。なおキャップ4のサイズは、外形が約8mm、凹部6の直径が約4mm、高さが10mm程度である。
【0010】
不織布10は例えば厚さ0.35mm(凹部6の深さは0.5mm)とし、接着剤12などにより凹部6に取り付ける。不織布10に代えて、金網や織布あるいはフッ素樹脂シートなどのプラスチックフィルムなどを用いても良いが、不織布10は厚くても通気性があり、外側通気孔8が目詰まりする可能性を小さくできる。また不織布10は、金網や織布あるいはフッ素樹脂シートなどと異なり、ガスセンサ2のハンドリング時に、他のガスセンサの足などに触れても、ほつれたり破れたりする可能性が少ない。さらに不織布10を凹部6内に配置したので、不織布10がハンドリング時などに損傷する恐れが少ない。
【0011】
図2に、凹部6に対する不織布10の取り付けを示す。図2の白抜き矢印で示したように、外側通気孔8からは通気孔8の真上の部分のみでなく、その周囲の広い範囲との間で通気性があり、汚れが付着しても、通気孔8が目詰まりする恐れが少ない。すでに述べたように、不織布10にはかなりの厚さがあり、外部からの侵入した汚れは不織布10の表面付近でブロックされ、外側通気孔8まで侵入する恐れは少ない。
【0012】
図1に戻り、14は活性炭フィルターで、ここでは粒状活性炭0.15gをセンサ2の1個当たりに用い、好ましい使用量は0.1〜0.3gである。また、粒状活性炭14に限らず、シート状の活性炭やディスク状などに成型した活性炭、あるいはシリカゲルやアルミナゲルなどの他のフィルターを用いても良い。16は、キャップ4の内側で活性炭フィルター14の底面を支えるように圧入した金属製のリングであり、18は金網である。
【0013】
図1の右側に拡大して示すように、金網18のサイズはキャップ4の内径よりやや広いものを用い、その端部をリング16とキャップ4の内壁との間に挟み込み、内側からリング16を圧入する。このようにするとリング16は、活性炭フィルター14で定まる位置まで前進し、ここで金網18の端部がキャップ4とリング16の間に挟み込まれて固定される。この結果、活性炭フィルター14がこぼれ出すのを防止できる。なおリング16はキャップ4に接着してもよく、金網18はリング16に溶接しても良い。また金網18に代えて、フッ素樹脂シートや織布、不織布などを用いても良い。20は、リング16の中央の開口で、ここでは内側通気孔20と呼ぶ。内側通気孔20の径は外側通気孔8の径よりも十分大きくし、たとえば1mm以上とする。
【0014】
22はガスセンサ本体で、ここではアルミナ基板上に、ヒータ膜とSnO2膜とを積層して、ヒータ膜をパルス的に加熱し、これに伴ってSnO2膜をパルス的に加熱するようにしたガスセンサ本体とした。しかしながらガスセンサ本体22の種類自体は任意であり、固体電解質を用いたもの、あるいはガスによる接触燃焼式触媒の温度変化を用いたものなどでも良い。24はベースで、26はそのステムであり、ガスセンサ本体22の各電極をステム26に接続する。
【0015】
図3にガスセンサ本体22の組み付けに関する変形例を示すと、ベース24の内側にはガラス部28があり、ガラス部28により各ステム26が絶縁されている。この変形例では、ガスセンサ本体22とベース24との間に断熱部30を設け、ガスセンサ本体22からベース24への熱伝導を抑制して、消費電力を減少させる。断熱部30は、発泡ガラスやポリイミド膜などを用いるのが好ましい。
【0016】
図4に、実施例で検討した要素を示す。外側通気孔8の径(直径)をD1とし、内側通気孔20の径をD2とする。通気性を制限することにより、フィルター14から最大限の性能を得るには、2つの考え方がある。第1の考え方では、外側通気孔8の径D1を絞り、フィルターへの通気性を制限する。第2の考え方では、内側通気孔20の径D2を絞り、フィルター14とセンサ本体22との間の通気性を制限する。この考え方では、たとえばフィルター14が汚染した場合でも、破荷によって放出されるガスは内側通気孔20よりも外側通気孔8に向かい、ガスセンサ本体22への被毒ガスや雑ガスの侵入を遅らす可能性がある。そこで発明者は、径D1,D2を制御し、雑ガスに暴露した際の特性の変化や、湿度変動の影響などを検討した。
【0017】
ここで径D1,D2のいずれを絞っても、雰囲気の変化に対する応答は遅くなり、径D1,D2の小さい方が1mm以下となると通気性制限の影響が現れた。またこの径を機械加工で形成しうる下限は約0.3mmで、それ以下ではエッチング加工が必要となる。実施例では径D1,D2の小さい側を常に0.3mmとした。外側通気孔8の直径を0.3mm、内側通気孔20の径を4mmとしたものを実施例とし、外側通気孔8の径を4mm、内側通気孔20の径を0.3mmとしたものを従来例1とし、径D1,D2をいずれも共に4mmとしたものを従来例2とした。
【0018】
なおガスセンサ本体22はCO検出用のガスセンサで、ここでは毎秒1回14ミリ秒の間、図示しないヒータ膜を発熱させて、その上部のSnO2膜を最高温度370℃まで昇温させ、次のパルスヒートの直前の抵抗値からCOを検出するようにしたものを用いた。このガスセンサ本体22はCO検出用であるが、たとえばCOとLPGやCOとメタンなどのセンサでも良い。
【0019】
図5,図6に通気性の制限による応答パターンの変化を示し、図5は径D1を0.3mmとし、径D2を4mmとした実施例のものである。図6は、径D1,D2をそれぞれ4mmとした従来例2のものである。通気孔の直径を0.3mmとすると、応答性能が低下する。
【0020】
図7〜9は溶剤暴露の影響を示し、試験条件として、3000ppmのデカノールを用い、この雰囲気中にガスセンサ2を4日間保持し、雰囲気温度を−10℃〜50℃の間で周期的に変化させて、フィルター14の汚染を進めるようにした。図7〜9は、溶剤暴露の前と、3日後のCO30〜1000ppmに対する抵抗値の変化を示し、図7が実施例の結果を、図8が従来例1の結果を、図9が従来例2の結果を示す。通気性の制限により、溶剤暴露の影響が減少し、活性炭フィルター14の外側で通気性を制限した図7の方が、内側で通気性を制限した図8よりも、溶剤暴露の影響が小さい。図7と図8の比較から明らかなように、活性炭フィルター14の外側で通気性を絞り、活性炭フィルター14の汚染を防止する方が、活性炭フィルター14の内側で通気性を絞り、活性炭フィルター14の汚染は許容しながら、汚染後にフィルター14から蒸発するガスがガスセンサ本体22へ達しないようにする事よりも優れている。
【0021】
図10〜図12は、20℃相対湿度65%中での、空気中、エタノール中、水素中およびCO中での抵抗値の変化を示すものである。また破線に、20℃相対湿度15%でのCO中の抵抗値を示す。図10は実施例の結果を、図11は従来例1の結果を、図12は従来例2の結果を示す。通気性の制限により、常温常湿中と常温低湿中とでの抵抗値の差が小さくなり、特にフィルター14の外側で通気性を制限すると、常温常湿中から常温低湿中への抵抗値の変化を特に小さくできた。
【0022】
金属酸化物半導体を用いたCOセンサは、一般に低湿中において高濃度のCOへの感度が小さくなるという問題がある。このことは図12の300〜1000ppm領域に現れている。そして活性炭フィルター14の外側で通気性を制限すると、低湿中で高濃度のCOに対し、センサ抵抗のCO濃度依存性が減少することを防止できることがわかった。
【0023】
図13〜図15に、常温低湿中1週間の通電の前後での、CO中での抵抗値の挙動を示す。図13は実施例の結果を、図14は従来例1の結果を、図15は従来例2の結果を示し、図13の○や□や△は、常温常湿中で通電を続けた際の比較用のセンサの結果である。通気性の制限により湿度依存性が減少し、図13と図14とを比較すると、活性炭フィルター14の内側で通気性を制限するよりも、外側で通気性を制限した方が、湿度依存性を小さくできることが分かる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 実施例のガスセンサの断面図
【図2】 図1の要部拡大断面図
【図3】 ガスセンサ本体のベースへの取り付けの変形例を示す断面図
【図4】 ガスセンサでの外側通気孔径D1と内側通気孔径D2の意味を示す断面図
【図5】 実施例での応答パターンを示す特性図
【図6】 通気孔の径を十分大きくした従来例(従来例2)での応答パターンを示す特性図
【図7】 実施例のガスセンサへの溶剤暴露の影響を示す特性図
【図8】 内側通気孔で通気性を制限した従来例(従来例1)のガスセンサへの溶剤暴露の影響を示す特性図
【図9】 従来例2のガスセンサへの溶剤暴露の影響を示す特性図
【図10】 実施例での常温常湿中と常温低湿中とでのCOガスへの濃度依存性を示す特性図
【図11】 従来例1での常温常湿中と常温低湿中とでのCOガスへの濃度依存性を示す特性図
【図12】 従来例2での常温常湿中と常温低湿中とでのCOガスへの濃度依存性を示す特性図
【図13】 実施例での常温低湿中通電の前後での抵抗値の変化を示す特性図
【図14】 従来例1での常温低湿中通電の前後での抵抗値の変化を示す特性図
【図15】 従来例2での常温低湿中通電の前後での抵抗値の変化を示す特性図
【符号の説明】
2 ガスセンサ
4 キャップ
6 凹部
8 外側通気孔
10 不織布
12 接着剤
14 活性炭フィルター
16 リング
18 金網
20 内側通気孔
22 ガスセンサ本体
24 ベース
26 ステム
28 ガラス部
30 断熱部
Claims (2)
- ベースにガスセンサ本体とキャップとを取り付けて、前記キャップによりガスセンサ本体を覆うとともに、キャップに設けた通気孔からガスセンサ本体へガスを導入するようにしたガスセンサにおいて、
前記キャップにフィルターを収容して、フィルターの外側の位置でキャップに外側通気孔を設け、外側通気孔の通気性をフィルターからガスセンサ本体への通気性よりも小さくして、外側通気孔でフィルターへ導入するガスの量を制限すると共に、
外側通気孔の付近で、前記キャップをフィルター側へ窪ませて凹部として、前記外側通気孔を該凹部の底部に配置し、かつフィルターから見た凹部の外側を通気性のある不織布で覆ったことを特徴とする、ガスセンサ。 - 前記フィルターを活性炭フィルターとし、その内側に通気性部材とリングとを設けて、該リングにより通気性部材をキャップに位置決めして活性炭フィルターを保持するとともに、該リングの中央部の開口を前記外側通気孔よりも大きくしたことを特徴とする、請求項1のガスセンサ。
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