JPS6168386A - 結晶性物質をるつぼを持たない帯域溶融を行うための装置用のまたは結晶性物質を引上げる装置用の結晶物質またはるつぼのための保持機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、るつぼを持た゛ない帯域溶融を行うための、
および装置を軸方向で摺動させるために設けられている
磁石（軸方向安定化磁石）を介して懸架されていてかつ
保持体に設けられた磁化可能な鉄心を備えたるつぼから
引き上げを行うための装置用の棒およびるつぼ一保持機
構に関する。

上記の様式の保持機構は、これがるつぼと持たない帯域
溶融方法のためのものである限シ、ドイツ連邦共和国特
許公報第２５０６７５５号から公知である。この場合、
溶融物を成長軸に沿って移送するのく必要な軸方向の摺
動は帯域溶融室の外側に設けられた帯行電磁石によって
行われる。しかし、強磁性の鉄心を軸方向で移動させる
場合この鉄心は帯域溶融壁に沿って滑動する。従って自
然発生的な結晶成長を阻害する働きをする揺動および振
動は避けられない。また、帯域溶融室の壁に当接する強
磁性の鉄心を介して来る、例えば帯行電磁が運動する際
に生じる揺動並びに他の障害が外部から結晶性物質へ伝
導することも避けられない。

本発明の課題は、結晶性の物質および／又は−０１！＋
ｏｃｈｒａｌｓｋｉ法による引き上げ方法にあっては一
溶融るつぼ或いは−るつぼを持たない帯域溶融方法を実
施する場合は一貯留棒を、これらの作業様式にあって外
部から来る或いは移動の除虫じる揺動、或いは他の障害
が結晶性物質へ伝導することがないように保持しかつ軸
方向に摺動可能にする、冒頭に記載した様式の保持機構
を造ることである。

上記の課題は本発明により以下のようにして解決される
。即ち、磁性化可能な鉄心のために、この磁性化可能な
鉄心に接触することなくこの鉄心を取り囲んでいる電磁
石、電気的な制御装置および位置センサとから成る少な
くとも一つの半径方向安定装置が設けられており、この
場合電磁石が電気的な制御装置により、磁化可能な鉄心
のその標準位置からの偏倚に応動する位置センサの信号
の関数としてこの制御装置により発生される信号で負荷
されるように構成されていることによって解決される。

磁化可能な鉄心を軸方向の位置で非接触状態で固定する
ことにより、−摩擦を伴わない軸方向での摺動けさてお
くとして一磁化可能な鉄心および保持機構に固定される
結晶性物質および／又はるつぼ或いは貯留棒が揺動およ
び振動をとおむることかない。

半径方向安定装置により磁化可能な鉄心が軸方向で移動
した場合でも半径方向の標準位置に留まることが可能と
なるので、従って鉄心は磁力によシ軸方向で案内される
。従って本発明による保持機構にあっては、例えばドイ
ツ連邦共和国特許公報筒２５０６７５５号から公知の装
置にあって強磁性の鉄心の領域内で容器内壁を介して行
われる磁化可能な鉄心のよシ以上の移動は必要はなぐ、
同様に結晶性物質を含んでいる容器も必要としない。従
って本発明による保持機構は結晶成長器にあっては結晶
性物質と含んでいる容器を設備してもまたしなくとも使
用することが出来る。

形成する結晶性物質を含んでいる容器或いは室（例えば
高気密な圧力室）が設けられている場合は、もちろん容
器壁或いは室壁を磁化可能な鉄心を取り囲んでいる領域
内で磁化不能な材料で形成しなければならない。特に保
持機構を機械的に半径方向で案内する際にもしくけ保持
機構を軸方向で摺動させるための機械的な装置にあって
必要となるような滑シパッキン部材および他のパツキン
部材を必要としない。従って本発明による保持機構は室
内を覆っている雰囲気の極端な純度要件が充たされてい
なければならない結晶成長工程に特に適している。

本発明による保持機構の、特に容器或いは室を有する装
置にあって、特別有利な実施例は、半径方向安定装置が
環状に形成されておシかつ磁化可能な鉄心と、この鉄心
と自己の間に環状の間隙を形成することによって、取り
囲んでいることである。この場合、半径方向安定装置の
電磁石が環状間隙内で本質的に半径方向に指向されてい
る予磁化部を備えているのが有利である。この場合この
予磁化部として永久磁石が設けられている。

後に述べた保持機構のための実施例にあっては、容易に
１３−以上の間隙幅を有する環状の間隙の形成が可能で
あシ、従って結晶性の物質のだめの成長室を肉厚な高圧
容器によってカプセル化することも可能と々る。この場
合円筒形の間隙内に、付加的な調温要素のだめの空間、
例えば容器壁を加熱するだめの、或いは半径方向安定装
置の要素および磁石を冷却するための、並びに容器壁お
よび保持機構を耐腐食性に内張すするための空間が十分
に形成される。このような構成は例えば、いわゆる■−
■−化合物一一このうち特にＧａＡｓ　、工ｎＰ　　お
よびＧａＰが挙げられる□から成る単結晶の成長の際に
必要でちる。これらの結晶群は溶融物から蒸発する傾向
を示す揮発性の成分を含んでいる。従ってこれらの成分
は成長室の気体室内では、同時に溶融物内での貧化の下
に、富化される。貧化工程は、溶融物内の平衡圧もしく
は解離圧以上でなければならない室圧力を維持すること
Ｋよって低減される。この圧力は例えばガリウムひ化物
の１２５９℃の溶融温度にあっては揮発性のひ素に関し
て０．８９ａｔに過ぎないが、インジウム亜燐酸塩の１
０７０℃の溶融温度にあっては燐酸に関して／、Ｑａｔ
になる。更に易揮発性の成分の昇華或いは凝縮を回避す
るためく、成長室を区画するすべての面を昇華点もしく
は凝稲点以上の温度に保持しなければならない。これは
、室壁を加熱することによって行われるが、この場合内
部の室壁表面と保持機構は石英ガラス或いはグラファイ
トによって内張され、これくよって高温度にあって極め
て反応性のひ素蒸気および燐酸蒸気−よる腐食作用が回
避される。

本発明による保持機構の他の実施例にあっては軸方向安
定化磁石は、これが安定装置の電磁石の直ぐ上方に存在
し、これＫよりその磁場が電磁石と磁化可能な鉄心との
間の環状の間隙を本質的に半径方向で貫通し、かり予磁
化を誘起するように設けられている。

軸方向安定化磁石の軸方向での摺動のために必要な運動
は、軸方向安定化磁石が軸方向で別個に摺動可能な一保
持機構を懸架しかつこの保持機構を軸方向で摺動させる
ための一固定枠に設けることによって誘起される。これ
に対して本発明による保持機構の特別優れた実施例にあ
っては、磁化可能な鉄心を軸方向で摺動させるための装
置は中空円筒形の固定子と駆動要素としての磁化可能な
鉄心とから成る電磁石による９＝アモータから成る。こ
の場合軸方向の摺動は磁場力を介してのみ行われる。こ
の場合機械的に運動可能な部分は設けられない。

更に本発明による他の有利な実施例は、自己と磁化可能
な鉄心との間に形成される環状の間隙を備えている環状
の回転磁界固定子が設けられていることである。このよ
うＫして、結晶性の物質を造る際に品質の点から回転運
動が望ましい場合、磁化可能な鉄心の軸方向の摺動運動
にこの回転磁界固定子によって回転運動が重塁される。

動力測定装置が設けられる本発明による保持機構の極め
て有利な他の実施例により、結晶性の物質の重量の変化
の支障のない正確な決定が可能となる。成長工程に関与
する送シ要素を非接触状態で支承することによって、こ
の送り要素に作用する力、例えば結晶重量変化のような
力が歪みを生じるような摩擦効果を伴うことなく固定子
およびその固定枠に伝達される。こう言ったことから成
長要素の重量を吸収する固定子要素と枠との間に設けら
れている動力測定装Ｆ？、はこの重量変化を測定する。

更にこの動力測定装置□これが成長装置の外空間に設け
られていても□或いはスリップリングは腐食、圧力およ
び成長温反により何等阻害をこおむることかなく、従っ
て重量の変化を相応する騒音レベル、信号ドリフトおよ
び重塁される摩擦力を伴うことなく極めて高い精度と安
定性とをもって検出することが可能となる。

この測定装置の構造は比較的簡単かつ低費用で構成出来
る。公知方法に比してスリップリング、容器切シ通し、
遮蔽部材、付加的な冷却装置並びに測定装置を腐食から
守るための処置並びに測定値障害を補正するための処置
を必要としない。この場合、動力測定装置を軸方向安定
化磁石の或いはｌＪニアモータの直ぐ下方に、しかも例
えばりニアモータと半径方向安定装置の電磁石とを取、
り囲んでいる中空円筒形の全固定子の下方にも設けるこ
とが可能である。

結晶性物質の重量変化の正確な測定は特にＣｚｏｃｈａ
ｌｓｋｉ　　によるるつぼ溶融方法にとって重要である
。

経済的な理由および結晶品質の理由から、生成する結晶
性物質の有用な結晶長さに関して一定の径がえられるよ
うに努力が払われている。

この場合作用要素一本質的に成長する結晶性の物質の径
が依存しているー、即ち結晶の溶融温度および軸方向の
摺動の速度は、結晶製造が継続しているその日までの間
絶えず調整しなければならない。この場合、直径経過を
自動的に調整するための可能性は、成長する結晶もしく
は溶融物の重量変化を調整値として利用することである
。この場合、実測−重量変化が検出され、この重量変化
が標準−重量変化と比較され、その間の差が熱効率およ
び軸方向の摺動の速度の自動的な調節に使用される。測
定されるべき重量変化が極めて小さく、かつその除虫じ
る力が公知の装置にちって軸方向摺動の除虫じる摩擦力
と並ぶ大きさなので、従来は動力測定装置による重力変
化の不正のない測定は成功しなかった。なぜなら、動力
測定装置を成長室内に設けた場合でも動力測定装置が障
害を招く熱的な或いは腐食性ですらある作用をこおむシ
、これらの作用が著しい信号ドリフトを招くからである
。更に、成長工程の間結晶が回転している場合に必要で
あるスリップリングを設けなくて済む。従って、多重の
漏洩を招く電気的なかつ機械的な切り通しを形成しなく
て済む。

結晶性物質の（もしくは磁化可能な鉄心の）軸の半径方
向の摺動は、半径方向安定装置の外側に存在している電
磁石が機械的に半径方向で移動されることによって達せ
られる。

以下に本発明による保持機構を図面に図示した一実施例
につき詳しく説明する。

第１図に図示した装置は溶融るつぼ用の抵抗加熱部２を
備えている溶融るつぼ１を有している。この溶融るつぼ
は半径方向安定装置のための固定されている支台３と結
合されている固定枠４上に設置されている。電磁石７用
の高さ調節可能な保持板６を備えている固定枠５も固定
された支台３に設けられている。更に装置は結晶９のた
めの固定部８を備えており、この固定部に磁化可能な鉄
心１０が固定されている。この磁化可能な鉄心はその下
端部において錆びないかつ磁化可能な鋼から成る長く延
びた中空の円筒体１０ａとその上方に設けられた円筒形
の永久磁石１０１）とから成る。電磁石７は、磁化可能
な鉄心の永久磁石１０ｂを作業位置で取り囲み、従って
この磁化可能な鉄心が一電極が接続された場合−軸方向
に固定されるような高さに設けられている。保持板６の
高さ方向の摺動は図示していないスピンドル駆動部或い
は液圧シリンダで行われる。機枠４に固定されている二
つの半径方向安定装置は強磁性の鉄心１２を備えた各々
四つのコイル１１から成シ、これらのフィルはそれぞれ
対になって相対して設けられており、それらのうち二つ
のコイルのみが図示されている。これらのコイルはそれ
ぞれ対の状態で電気制御装置１３と電気的に結合されて
おり、この制御装置により直流で付加されている。この
直流の強さは誘導的なセンサ１４から発せられるかつこ
の制御装置１３与えられる測定信号に依存している。こ
の場合誘導的なセンサから制御装置１３に与えられる測
定信号は増幅され、相ずれされ出力信号として制御され
た直流の形でコイル１１に与えられる。

結晶９を造る場合、結晶は溶融物１５から引き上げられ
る。この目的のため、磁化可能な鉄心１０が固定部８と
これに固定された結晶９と共に懸架されている接続され
る電磁石７が軸方向に摺動される。

第２図に図示したー第１図に図示した装置とは異なる一
装置にあっては結晶が懸架されておらず、るつぼが磁力
により懸架されている。

この目的のため、るつぼ１の下方には磁化可能な鉄心１
ａが設けられており、この磁化可能な鉄心は作業位置に
おいてその上端部において軸方向安定化磁石として作用
する環状の永久磁石１６によって囲繞されている。この
永久磁石の下方には強磁性鉄心１８ａを備えているリン
グコイル１７ａが存在しておシ、これらのリングコイル
は制御装置１３ａと界磁板１４＆と電気的に結合してい
る。永久磁石はリングコイル１９内にお圓で半径方向に
指向される予磁化を誘起する。リングコイル１７ｂ１鉄
心１８１）、界磁板１ａｂおよび制御装置１３１）とか
ら成る他の半径方向安定装置は磁化可能な鉄心１０の下
端部に存在している。

リングコイルは他の点ではドイツ連邦共和国公開特許公
報第２４２０８１４号に記載されているリングコイルに
相当する。

第２図に図示した実施例にあっては、結晶は固定部８を
越えて運動しないように固定されている枠２０に固定さ
れている。永久磁石１６と環状コイル１７は高さ調節可
能な共通の機枠２１に固定されている。従ってるつぼ１
は結晶製造の際軸方向で摺動可能である。

るつぼのための加熱装置は第２図とこれに続く図面には
図示されていない。この加熱装置は抵抗加熱器或いは例
えばＩ（Ｆ−コイルであっても良い。

もちろん保持機構の実施例に応じてるつばも結晶も磁力
によ＃）懸架されていても良い。

第３図に図示した装置にあっては容器２２によって形成
されている外部に対してカプセル化され九成長室が設け
られている。この成長室は磁化可能な鉄心１０を取り囲
んでおり、この磁化可能な鉄心は、高い作業温度を可能
にするため、高いキューり温度を有する鋼合金から成る
。

これに対して半径方向安定装置の環状〈形成された電磁
石要素は容器の外側に設けられている。

容器壁はリングコイル１９の磁石の領域内に存在してい
る。この容器壁は少なくともこの領域内において磁化不
能な物質、例えば石英ガラス或いは磁化不能な鋼合金の
ような物質から成る。

環状に形成されたりニアモータ２３は作業位置において
その上端部において磁化可能な鉄心１０を取り囲んでい
る。このリニアモータはコイル１１、強磁性の鉄心１２
、制御装置１３および誘導的なセンサ１４および回転固
定子２４とから成る半径方向安定装置と磁気的に支承固
定子２５を介して固く結合されている。この支承固定子
２５の下端部には一支台２６に直接載って動力測定装置
２７が設けられている。

リニアモータ２３は磁化可能な鉄心１０を軸方向で固定
するために１かつ同時にこＯ磁化可能な鉄心を軸方向で
摺動させるために働く、従って軸方向の摺動は磁力を介
してのみ行われ、スピンドル等のような機械的な手段を
必要としない。

リニアモータはプランジャ形コイルシステムから成夛、
この場合磁化可能な鉄心１０の安定した軸方向の高さ位
置はコイル電流の関数に相当する。磁化可能な鉄心１０
の長さは固定子の軸方向の寸法を越えるストローク長さ
分だけ延長されており、従って全ストローク領域（わた
って作業機能が保証される。

回転磁界固定子２４は磁化可能な鉄心１０に回転モーメ
ントを与え、この回転モーメントは磁化可能な鉄心およ
びこれに伴い結晶をその垂直な軸線を中心にして回転さ
せる。必要とする駆動出力は極めて僅かである。なぜな
ら軸受およびパツキンを必要としないからである。磁化
可能な鉄心の材料を駆動領域において適当に選択しかつ
適当な形状に構成することにより、例えばリアクタンス
モータおよびヒステリシスモーフのような同期モータお
よび誘導電動機のような非同期モータを公知の様式で使
用することが出来る。ヒステリシスモーフには磁化可能
な鋼材から成る円筒形で環状のロータ要素を必要とする
にすぎない。駆動出力が僅かに過ぎないのでこの鋼材の
ヒステリシ表特性に対して何等高い要件は課せられない
。従って、この鋼材は鉄心の材料から造ることが可能で
ある。

従って、磁化可能な鉄心は支承要件および駆動要件を充
足する一貫した鋼製円筒体として形成することが可能で
ある。

動力測定装置２７上には、溶融室の外側に設けられた固
定子の重量がそれに固定された支承要素および駆動要素
とともに、並びに磁化可能な鉄心１０、固定部８および
結晶９から成シかつ磁気的（固定子と連動する引き上げ
棒の重量がかかつている。結晶重量の変化は障害となる
ような摩擦力の作用を伴うことなく動力測定装置に作用
する支持力の変化として作用する。優れた実施例にあっ
てはこの装置は等辺の三角形の頂点に設けられた三つの
動力セルから成る。

支持力成分に比例する三つの電気的な出力が同時に付加
されることにより、非対称的な、周期的な、例えばすり
こぎ運動および不釣り合いから訴因される干渉信号が消
去される。引き上げ工程に条件ずけられる熱を伴う、腐
食作用を行うかつ室圧力に依存する測定結果に対する他
のかての影響９累が排除されそいるので、動力測定装ｆ
は結晶重量の時間的な変化を極めて高い精度と安定性で
測定する。

動力測定装置の使用の下に総合信号（ａｇｇｒｅｇａｔ
ｅｇｉｇｎａｘ）が図示していない直径調節回路におい
て電気的な比較器により所望の直径経過を示している標
準値と比較され、差信号が制御装置に与えられ、この制
御装置が公知の様式の適当な方法で引き上げ棒の熱効率
或いは送り速度を再調節する。

溶融室内において腐食作用を行う物質を使用して作業を
行わなければならない場合、磁化可能な鉄心は石英ガラ
ス或いはグラファイトから成る耐腐食作用性の被覆が施
されている。

調節ねじ２８により、固定子２５は支台２６と容器２２
に対して相対的に半径方向く摺動される。この調節装置
はるつぼ軸線および結晶軸線の整向、およびこれら両軸
線間での成長工程にとって望ましい偏心性の゛確定を可
能にする。

装置の第４図に図示した実施例にあっては一一第２図に
図示した実施例と同様に□、半径方向安定装置の電磁石
は環状間隙１９内で本質的（半径方向を指向している予
磁化部を備えている。この予磁化部のために上方の半径
方向安定装置のリングコイル１７は軸方向安定化磁石と
して働く永久磁石１６の下方に設けられている。このよ
うな極端な予磁化は電磁石によっても行い得るが、しか
し永久磁石１６の使用が特に有利である。なぜなら、こ
の永久磁石は電力を必要とせず、支障無く働き、かつそ
の環状く形成されているので一定の安定した同心的な軸
線位置が可能となシ、これＫよシ磁化可能な鉄心に作用
する定常的なかつ半径の磁力が零となる。

磁化可能な鉄心に作用する磁力は予磁化力と制御界磁力
との積から成るので、高い永久的な予磁化界磁力により
電磁石によって発生される制御界磁力が僅かな割く大き
な環状間隙（＜１３ｍ）にわたって大きな力学的な安定
化力が得られる。

第５図は帯域溶融方法を実施するための装置の実施例を
示している。この実施例にあっては、結晶棒９のための
固定部８および貯留棒２９のための固定部８ａには各々
一つの磁化可能な鉄心１０が設けられている。上記の装
置部分が設けられている成長室は四方が閉じている円筒
状のアンプルであシ、このアンプルの壁３０は例えば石
英ガラスから成る。この成長室は円筒形部分を囲んでい
る加熱コイル３１によって調温される。

磁化可能な鉄心１０の懸架と半径方向の摺動を実施する
ために装置３２が設けられており、この装置の細部はこ
れまでの図面に図示されている装置細部（相当する。こ
れらの装置は図面に示していない手段により熱放射に対
して遮蔽されており、かつ冷却されている。

結晶を造る場合、第５図に図示した実施例にあっては貯
留棒２９は上方から下方へと、抵抗加熱コイル３３から
成る溶融コイルを通して案内されている。二者択一的’
Ｋ　！融コイル自体も運動可能である。側棒部分９と２
９の送シ速度が異なっているので、溶融帯域３４内で延
伸および停留が可能である。回転軸の所望の側方への位
置ずれは支承固定子を機械的に適当に調節することによ
って行うことが可能である。回転磁界固定子により、磁
化可能な鉄心１０を回転させることが可能である。

【図面の簡単な説明】

第１図は磁力により懸架されていてかつ軸方向に摺動可
能な結晶を有しているるつぼ溶融方法を実施するための
装置のための保持機構の簡単な実施例の図、 第２図は磁力により懸架されておりかつ軸方向で摺動可
能な溶融るつぼを備えているるつぼ溶融方法を実施する
ための装置のための保持機構の簡単な実施例の図、 第３図は成長室、結晶のための保持体の固定と軸方向の
摺動のためのりニアモータ並びに結晶の重量変動を測定
するための動力測定装置を備えているるつは溶融方法を
実施するための技装置のための保持機構の簡単な実施例
の図、第４図は保持機構の他の実施例の図、 第５図は帯域溶融方法を実施するための装置のための保
持機構の実施例の図。 図中符号は、 １０・・・磁化可能な鉄心 １１・・・電磁石 １３・・・制御装置 １４・・・位置決めセンサ アーヒエンーフエルラウテンノ＼イデ、−セ、１６７

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、るつぼを持たない帯域溶融を行うための、および装
   置を軸方向で摺動させるために取り付いている磁石（軸
   方向安定化磁石）を介して懸架されていてかつ保持体に
   設けられた磁化可能な鉄心を備えたるつぼから引き上げ
   を行うための装置用の棒およびるつぼ−保持機構におい
   て、 磁化可能な鉄心（１０）のために、この磁化可能な鉄心
   に接触することなく鉄心を取り囲んでいる電磁石（１１
   ）、電気的な制御装置（１３）および位置センサ（１４
   ）とから成る少なくとも一つの半径方向安定装置が設け
   られており、この場合電磁石が電気的な制御装置により
   、磁化可能な鉄心のその標準位置からの偏倚に応動する
   位置センサの信号の関数としてこの制御装置により発生
   される信号で負荷されるように構成されていることを特
   徴とする棒およびるつぼのための保持機構。 ２、形成する結晶性物質を含んでいる室が設けられてお
   り、この室の壁が磁化可能な鉄心を取り囲んでいる領域
   において磁化不能な材料から成る、特許請求の範囲第１
   項に記載の棒およびるつぼのための保持機構。 ３、半径方向安定装置が環状に形成されており、磁化可
   能な鉄心（１０）を、この磁化可能な鉄心と自己との間
   に環状間隙を形成しつつ、取り囲んでいる、特許請求の
   範囲第１項或いは第２項に記載の棒およびるつぼのため
   の保持機構。 ４、半径方向安定装置の電磁石（１１）が環状間隙内で
   本質的に半径方向に指向している予磁化部を有している
   、特許請求の範囲第３項に記載の棒およびるつぼのため
   の保持機構。 ５、電磁石（１１）の予磁化のために永久磁石（１６）
   が設けられている、特許請求の範囲第４項に記載の棒お
   よびるつぼのための保持機構。 ５、電磁石（１１）の予磁化のために永久磁石（１６）
   が設けられている、特許請求の範囲第４項に記載の棒お
   よびるつぼのための保持機構。 ６、軸方向安定化磁石（１６）が半径方向安定装置の電
   磁石（１６）の直ぐ上方に、その磁界が電磁石と磁化可
   能な鉄心（１０）との間の環状間隙を本質的に半径方向
   で貫通しているように設けられている、特許請求の範囲
   第４項から第５項のいずれか一つに記載の棒およびるつ
   ぼのための保持機構。 ７、軸方向の摺動運動のための装置が電磁石によるリニ
   アモータ（２３、１０）であり、このリニアモータが駆
   動要素としての中空円筒形の固定子と磁化可能な鉄心（
   １０）とから成る、特許請求の範囲第３項から第５項の
   いずれか一つに記載の棒およびるつぼのための保持機構
   。 ８、自己と磁化可能な鉄心（１０）との間に形成されて
   いる環状間隙を有する環状の回転磁界固定子（２４）が
   設けられている、特許請求の範囲第２項から第７項のい
   ずれか一つに記載の棒およびるつぼのための保持機構。 ９、動力測定装置（２７）が結晶性物質（９）の重量を
   収受するように設けられている、特許請求の範囲第２項
   から第８項までのいずれか一つに記載の棒およびるつぼ
   のための保持機構。