JPS6165748A - ウエハ−吸着装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、例えばスライシングマシン等により切り出さ
れるウェハーの吸着装置に関する。

周知のようにシリコン、ゲルマニウム、ＧＧＧ。

サファイヤ、ガラス、セラミック、フェライト等の４子
材料は、棒状の結晶体（以下インゴットと称する）から
スライシングマシンにより短片状ウェハーに切り出して
使用される。これらの（子材料（Ｊ硬質かつ脆性を有し
、取り出しに際し往々番として折損または疵全発生する
おそれがある。このためウェハーの枚葉取り出しには吸
着手段が用いられているが吸盤全ウェハーに押しつける
ことはウェハーを回転するカッタに押しつけるとと＼な
り、ウェハーの切断直に＠を発生する等の問題がある。

このため吸盤はウェハーに対し微小間扁全存して対向し
、吸引力によ°り切断されたウエノ１−全吸着すること
が好ましいが、大なる吸引力を必要とすると共に、ウェ
ハーに対し吸盤の吸着面全正確に平行する必要があり、
片当りするときは吸引力が低下し、把持が不確実となる
欠点がある。

この解決手段として吸盤の吸着面全ウニ／′１−と平行
にするための微調整手段全役けることも堤案されている
が、操作にきわめて手斂全要する欠点がある。他の手段
として、吸盤の前面全スライシングマシンのカッタによ
り切１祈することによりウェハーの１２１Ｉ断面と平行
に形成することも堤案されている。しかしこれら何れの
方法においても微細間隙を存して吸着子るためには相当
の吸引力全必要とし、しかも切断されるウェハーと回転
するカッタとの間には切削液が介入して表面張力により
真空状態となり、ウェハーはカッタに密着し、従って往
々にして確実な吸着が行なわれず、ウエノλ−？落下さ
せる等の問題がある。

また切断するウェハーの厚みが変化すればその都度再調
整しなければならず多大な手数？要する欠点があった。

本発明はかかる点に４みてなされたもので％膚少な吸引
動力によりウェハーに対する吸、１Ｆを良好ならしめ把
持全確実ならしめると共に、ウェハーに対しカッタより
離間方向のトルクを付与し、カッタとの接触による疵の
発生の防止並びにカッタとの密着に対し剥離作用を付与
すること全目的とするもので、吸着装置に接続される真
空室が形成される吸着本体には、該真空室に連通ずる貫
通孔に嵌挿される吸盤を備え、この吸盤先端には弱い弾
性の吸着パッドが取付けられ、かつ吸盤１ｉｆＩ百には
真空室に連なる吸気口を開口すると共に、上記吸盤には
ウェハーに対する吸着力より弱い力にて後方に付勢する
付勢手段が設けられたことｋ　’％旨とするものである
。

以下１本発明を図面に示す一実施例に基づいて詳細ｌど
説明する。

本実施例は、前記電子材料よりなるインゴットａを切断
し、ウェハーｂ２形成するスライシングマシンＡに本発
明を適用した例を示すもので、カッタＣは内周に切刃全
線えたドーナツ伏の薄板を以て構成され、インゴットλ
はカッタＣの内腔にかつ水平に位置せしめ、インボッ）
ａｐＱ々に上昇してウェハーｂを切断する周知構造のも
のである。

上記ウェハーｂＢ吸着すべき吸着装置ｌは、インゴット
友の上昇と同期して該吸着装置１を上昇せしめる昇降手
段２にアーム８全介して連設される。この昇降手段２は
適宜構造のものが適用できるが、図はその１例と示す。

この昇降手段２はスライシングマシンＡの取付台Ｆ≦ζ
取寸けられる支持ブラケット６と、このブラケット６に
取付けられる支持板６１により図において左右方向に摺
動可能に支持される本体フレーム６とを備え、本体フレ
ーム６は左右移行用シリンダ丁により左右方向、即ち吸
着装置ｌをウェハーｂに対し近接離間せしめる。本体フ
レーム６は昇降モータ８および昇降モータ８の回動によ
り昇降される昇降杆９を備え、これらは木′体フレーム
６番ど貫挿される主軸１０に固着される支持ブロック１
１に取付けられ、前記アーム３は昇降杆９の下端に連結
される。１２は主Ｑｔｏの回動用ロータリアクチュエー
タである。これによりアーム３は昇降モータ８の回動に
より鎖線８＠で示す下降位置から、インゴット１の上昇
と同期して実線で示す上昇位置に上昇される。そして少
くともウェハーｂの切断終了直前において左右移行用シ
リンダ７により吸着装置１　をウェハーｂに近接し、ウ
ェハーｂの吸着完了後は再び吸着装置ｌ全後退せしめる
。次いで鎖線８ａの位置に降下せしめると共に、主軸１
０ｉ中心として１４ｓｂに示す回動位置に回動し、吸着
した内で八−ｈ　％　、ａ宵の烏美玉の（（ヅ云省収）
に俳謄する。

上記吸着装置１は、吸気手段（図示省４）に連結される
取付孔２１を橢えた吸着本体２０と、この本体２０に取
付けられる吸！！２２とを備え、吸着本体２Ｇには裏蓋
２８との間に上記取付孔２１に連通される真空室２４が
形成されている。

吸１２２は吸着本体２０の上記真空室２４に連設された
貫通孔２１５に摺動自在に嵌挿され、後記には中央に連
ＪＩ孔２７が穿孔される規制板２６が取付けられ、規制
板２６には吸察２２を後方（ウェハーｂとは反対方向）
に付勢する゛付勢手段２８が設けられる。この付勢手段
２８としては１例えば弱いばねが用いられる。その他１
弦力による吸引力または反撥力を用いるようにしてもよ
く、あるいはベローズ、ダイヤプラム、差動トランス全
利用してもよい。この付勢手段２８Ｉどより常時は吸盤
２２は後方に付勢され、前部フランジ２９は吸　　゛着
本体２０の前面に当接されている。１及盤２２の前面に
は、上記連通孔２７を介して真空室２４に連なる吸気口
８０が形成され、かつ前端外周に）ま先・喘が拡開され
た盃状の弱い弾性の吸着パッド８１が嵌着されている。

上記吸気口３ｏは図示の如く十字形とすることが好まし
く、これは切断されたウェハーｂがカッタＣに密着した
とき、ウェハーｂの回：ｕｂ並びにカッタＣに追随して
移行するの？阻止するために、回動または移行方向と略
直角の縁線？臂せしめることが効果的である。

上記構成において、吸着装置１は昇降手段２にヨリイン
コツトａの上昇に追随して徐々に上昇される。そして少
くともウェハーｂの切落される直前において吸着装置ｌ
は昇降手段２の左右移行用シリング７の作１肋によりウ
ェハーｂに対し近接位なに押し出され、同時に吸気作用
が印加される。

これにより吸着パッド８１はウェハーｂに対し若干の隙
間があっても弾性が弱いため隙間に発生する吸引気流に
よりウェハーｂ側に湾曲し、全周面７％ウェハーｂに密
着する。次いで吸盤２２内の真空圧が増加するに従い、
吸着パッド８１は偏平となり吸盤２２を付勢手段！！８
に抗して前進せしめる。従ってウェハーｂｌどは付勢手
段２８の反力により引張り力が及ぼされ、カッタＣとの
当接面Ｉこは離間方向のトルクが働き、切り落されたと
きは付勢手段２８の作用にてウェハーｂはカッタＣとは
離間され、カッタＣとの接触による疵等を発生すること
が防止される。

上記実施例はスライシングマシンに本発明全適用した例
？示したが、その他例えば墳み重ねられたウェハーの枚
葉取出し５こ際しても本発明全適用することができる。

この場合においても柔軟な吸着パッドが吸引風三番こよ
りウェハーに密着し、真空圧の上昇により吸盤が前進し
直接ウェハーに密着するから、確実に把持することがで
きる。

以上の如く本発明によるときは柔軟な吸着パッドを備え
たから、比較的少い吸引風擾によっても湾曲してウェハ
ーに吸着させることができ、これにより内部の真空圧が
高められる故吸引動力の減少？計ることができる。しか
も真空圧の上昇に伴い吸盤は付勢手段に抗して前進し直
接ウエノ）−全吸着するから、ウェハーの把持は確実で
ある。

従って従来の吸盤の押しつけによるウニ／Ｘ−の破損等
を防止することができると共に切断するウェハーの厚み
が変ってもウェハーと吸盤との間隙の微調整゛全必要と
せず、取扱い及び操作が容易である等の効果全盲する。

【図面の簡単な説明】

第１図は一邦切欠したスライシングマシンの要部の概略
説明図、第２図は吸着装置の樅断面閾、第８図は＠２図
に沿いて裏蓋全除去して示す右側面図、７１４４図は第
２図において吸着パッドを除去して示す左側面図である
。 １１０．吸着装置 ２０　、　、、吸着本体 ２２８．　、吸盤 ２４　、　、　、真空室 ２５１．　、貫通孔 ２８、、、＃警手段 ｇｏ　８．、吸気口 ａｔ　、　、　、吸着パッド Ａ−−スライシングマシン λ４４．インゴット ｂ、０．ウェハー Ｃ１６，カッター 特許出願人　　　　大阪チタニウム製造株式会社特許出
願人　　　九州１子金属株式会社特許出願人　　　　日
本スピンドル製造株式会社代　　理　　人　　　　池　
　　１）　　万　喜　ｉ生″：゛・　−１− 外　　１名 第１図 Δ 第４図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 吸気装置に接続される真空室が形成される吸着本体には
   、該真空室に連通する貫通孔に嵌挿される吸盤を備え、
   この吸盤先端には弱い弾性を有する吸着パッドが取付け
   られ、かつ吸盤前面には真空室に連なる吸気口を開口す
   ると共に、上記吸盤にはウエハーに対する吸着力より弱
   い力にて後方に付勢する付勢手段が設けられたことを特
   徴とするウエハー吸着装置。