JPS6165122A

JPS6165122A - フ−リエ変換赤外分光光度計

Info

Publication number: JPS6165122A
Application number: JP18705284A
Authority: JP
Inventors: Takashi Ishihama; 石浜　傑
Original assignee: Jeol Ltd
Current assignee: Jeol Ltd
Priority date: 1984-09-06
Filing date: 1984-09-06
Publication date: 1986-04-03

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野］本発明は、例えば、赤外干渉光を試料に照射し、該試料
を透過した赤外光を検出し、検出信号をフーリエ変換し
て試料の赤外吸収スペクトルを、１１ｊ定するようにし
たフーリエ変換赤外分光光度計に関する。

し従来技術］従来のフーリエ変換赤外分光光度計においては、マイケ
ルソン型干渉計によって作られた赤外干渉光を試料に照
射し、該試料を透過した赤外光を検出し、該検出信号を
Ａ−Ｄ変換（サンプリング）した後にコンピュータに供
給してフーリエ変換するようにしている。このサンプリ
ングにおいては、レーザ光を干渉計に供給して干渉させ
、該干渉したレーザ光を検出し、このレーザ干渉光に基
づいて一連のパルス信号を得、このパルス信号に基づい
て該干渉光のサンプリングを行うようにしている。この
サンプリングは、干渉計を構成する移動鏡の位置に対応
して行わねばならず、従って、該一連のパルス信号と移
＠鏡の絶対位置との関連付りを行わねばならない。その
ため、従来では、白色光源からの白色光を干渉計に入射
させて該白色光の干渉光を得るようにしている。すなわ
ち、該白色光の干渉光信号が所定強度となった時の移動
鏡の位置は、予め明らかとなっていることから、該白色
光の干渉光の検出信号が所定強度と′なった時から、該
一連のパルス信号に基づいて赤外光の干渉光のサンプリ
ングを行い、上記一連のパルス信号と移＠Ｉ鏡の絶対位
置との関連付けを行うよう　。

にしている。

［発明が解決しようとする問題点コ上述した従来のフーリエ変換赤外分光光度計では、光源
として赤外光源、レーザ光源、白色光源が必要であると
共に、白色光を赤外光と同じ干渉計に入射させると、分
光器の迷光となるため、移動鏡を共通化した第２の干渉
計を設け、該第２の干渉計によって白色光の干渉光を得
るように構成している。従って、構成が複雑となり、装
置が高価となる上に、精密な２種の干渉計の調整、メン
テナンスには熟練が必要とされる。

本発明は、単一の干渉計で赤外干渉光のサンプリングを
行うことを可能とし、安価な、調整が容易なフーリエ変
換赤外分光光度計を提供しようとするものである。

［問題点を解決するための手段１本発明に基づ（フーリエ変換赤外分光光度計は、赤外光
源と、レーザ光源と、該赤外光源からの光とレーザ光源
からのレーザ光が入射する半透明鏡。

固定鏡、移動鏡から成るマイケルソン型干渉計と、該干
渉計によって干渉させられた赤外光を検出する赤外光検
出器と、該干渉計によって干渉させられたレーザ光を検
出するレーザ光検出器と、該レーザ干渉光に基づいて一
連のパルス列信号を成形する手段と、該一連のパルス列
信号に基づいて該赤外光検出器からの信号をサンプリン
グするＡ−Ｄ変換器と、該サンプリングされた信号が記
憶されるバッファメモリと、該赤外光検出器からの信号
に基づいてサンプリングの基準点を設定する手段と、該
サンプリングの基準点に基づいて、該バッファメモリに
記憶されたデータの内所定数のデータを主メモリに転送
する手段と、該主メモリに記憶されたデータをフーリエ
変換する手段とを備えたことを特徴としている。

［作用］干渉計によって得られた赤外干渉光は、検出器によって
検出され、レーザ干渉光に基づくサンプリングパルスが
供給されているＡ−Ｄ変換器によってサンプリングされ
、バッファメモリに記憶される。該検出された赤外干渉
光の強度レベルからサンプリングの基準点が設定され、
該基準点に基づいて該バッファメモリ内に記憶されてい
るデータの一部が主メモリに転送されて記憶される。該
赤外干渉光の信号レベルが所定の強度となる時の干渉計
の移動鏡の位置は予め明らかとなっている一定位置であ
り、該主メモリに記憶されたデータは、移動鏡の絶対位
置と関連付けられることになる。コンピュータは該主メ
モリに記憶されたデータに基づいてフーリエ変換処理を
行い、試料の赤外スペクトルを得るようにしている。

［実施例〕以下、本発明の実施例を添附図面に基づいて詳述する。

第１図において、１は赤外光源、２はレーザ光源であり
、該赤外光源１から発生した赤外光と、該レーザ光源２
から発生したレーデ光は、半透明鏡３．固定鏡４．移動
鏡５から成るマイケルソン型干渉計に導かれる。該干渉
計によって干渉させられた赤外光は、試料が封入された
試料セル６に照射され、該試料セル６を透過した赤外光
が集光′　　鏡７によって集光され、検出器８によって
検出される。又、該干渉計によって干渉させられたレー
ザ光は、検出器９によって検出される。１０は、該干渉
計を構成する移動鏡の移動開始点を検出するために設け
られたフォトセンサであり、該移動鏡５が所定の位置に
配置されたときに信号を発生する。該赤外光検出器８に
よって検出された信号は、トリガパルス発生回路１１と
増幅器１２に供給される。該増幅器１２によって増幅さ
れた信号は、Ａ−Ｄ変換器１３によってＡ−Ｄ変換（サ
ンプリング）され、サンプリングされたディジタル１ｇ
号はバッファメモリ１４に供給されて記憶される。

該レーザ干渉光検出器９からの信号はパルス成形回路１
５に供給されて成形され、該成形された信号はカウンタ
１６とゲート回路１７に供給される。該カウンタ１６に
は前記トリガパルス発生回路１１からの信号も供給され
ており、該カウンタは該トリガパルスの供給によりパル
ス成形回路１５からのパルスのカウントを開始する。該
ゲート回路１７は、該フォトセンナ１０からの信号に基
づいてパルス成形回路１５からの成形パルスを通過さＶ
１該カウンタ１６のカウント値が所定の値となった際に
パルスを発生するパルス発生回路１８からのパルスによ
って成形パルスの通過を阻止する。１９はコンピュータ
であり、該コンピュータ１９はバッファメモリ１４に記
憶されているデータを主メモリ２０に転送したり、該主
メモリ内に記憶されたデータに基づいて、フーリエ変換
処理等を行っている。２１は、該コンピュータ１９によ
ってフーリエ変換され、得られた赤外スペクトルを記録
する記録計である。

上述した如き構成において、赤外光源１から発生した赤
外光は、干渉計によって干渉させられ、その干渉光は、
検出器８によって検出され、又、レーザ光源２からのレ
ーザ光は該干渉計によって干渉させられ、検出器９によ
って検出される。ここで、該干渉計を構成する移動鏡５
を直線的に移動させれば、該赤外光検出器８からは第２
図（ａ）に示す信号が得られ、該レーザ光検出器９から
は、第２図（ｂ）に示す信号が得られる。該第２図（ｂ
）に示すレーザ干渉光信号は、パルス成形回路１５によ
って第２図（Ｃ）に示す信号に成形され、該一連のパル
ス信号はカウンタ１６とゲート回路１７に供給される。

該ゲート回路１７には、該フォトセンサ１０からの移動
鏡５の移動開始点を示す第２図（ｄ）に示す信号が供給
され、該ゲート回路１７（よ該フォトセンサ１ｏからの
信号の供給により、該パルス成形回路１５からのパルス
を通過させ、ナンプリングパルスとして該Ａ−Ｄ変換器
１３に供給する。第２図（ｅ）は、このサンプリングパ
ルスを示している。該赤外光検出器８の信号が第２図（
’ａ＞に示す所定のトリガレベルＬに達すると、該トリ
ガパルス発生回路１１は、第２図＜ｆ＞に示すトリガパ
ルスを発生し、該カウンタ１６に供給する。該カウンタ
は該トリガパルスの供給により、パルス成形回路１５か
らのパルスのカウントを開始する。該カウンタ１６のカ
ウント値が所定の値になると、パルス発生回路１８は、
第２図（Ｃｌ）に示すパルスを発生し、ゲート回路１７
とコンピュータ１９に供給する。該ゲート回路１７は該
パルスの供給により、サンプリングパルスのＡ−Ｄ変換
器１３への供給を停止する。この結果、該バッファメモ
リ１４内には、第２図（ｅ）に示したサンプリングパル
スに基づいてサンプリング（Ａ−Ｄ変換）されたディジ
タル信号が記憶される。該コンピュータ１９は、第２図
（Ｑ）のパルスに基づいて、バッファメモリ１４に記憶
されているデータの内、最終データから数えて所定の数
Ｍのデータを主メモリ２０に転送する。

上述した如く、干渉計を構成する移動鏡５の一回の移動
により、フーリエ変換に必要なデータが主メモリ２０に
記憶される。ここで、該主メモリへのデータの記憶は、
干渉光信号が所定の強度となったｋも重点に関連付【プ
て行われてあり、該データは、干渉計の移ｅ鏡の絶対位
置に対応して記憶されることになる。更に、該移動鏡は
多数回移動させられ、その都度、上述した過程でデータ
がサンプリングされ、各データは主メモリ２０の共通の
番地に積算して記憶させられる。所定の回数、データの
積算が終了した後に、コンピュータ１９は、該積算され
たデータに基づいてフーリエ変換処理を行い、その結果
、得られた赤外スペクトルは記録計２１に記録される。

以上、本発明を詳述したが、本発明は上述した実施例に
限定されず、幾多の変形が可能である。

例えば、単一の赤外光検出器の出力信号に基づいて、カ
ウンタのトリガパルスを発生さけるように構成したが、
干渉計によって干渉させられた赤外光の一部を別個の検
出器に導き、該検出器の出力信号に基づいて、トリガパ
ルスを作成するように構成しても良い。又、サンプリン
グの基準点を赤外光検出器の出力信号の強度レベルを監
視することによって求めたが、移動鏡の移動に基づいて
サンプリングされた一連のデータをバッファメモリに記
憶させ、コンピュータによって該記憶されたデータの最
高強度の番地を求め、該番地を基準点としてその前後の
所定範囲のデータを主メモリに転送するように構成して
も良い。

［効果］以上詳述した如く、本発明によれば、干渉計によって干
渉させられた赤外光の検出信号の強度レベルから基準点
を求め、該基準点に基づいてバッファメモリに記憶され
たデータの一部を主メモリに転送するように構成してい
るため、サンプリングの基準を決めるための白色光の干
渉δ１が不要となり、構造が簡単となり、装置の調整も
容易となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例であるフーリエ変換赤外分光
光度計を示す図、第２図は第１図の実施例を説明するた
めに用いた信号波形図である。１・・・赤外光源　　　２・・・レーザ光源３・・・半
透明鏡　　　４・・・固定鏡５・・・移動鏡　　　　６
・・・試料セルフ・・・集光鏡８・・・赤外光検出器９・・・レーザ光検出器１０・・・フォトセンサ１１・・・トリガパルス発生回路１２・・・増幅器　　　１３・・・Ａ−Ｄ変換器１４・
・・バッファメモリ１５・・・パルス成形回路１６・・・カウンタ　　　１７・・・ゲート回路１８・
・・パルス発生回路１９・・・コンピュータ　２０・・・主メモリ２１・・
・記録計第１図

Claims

【特許請求の範囲】

（１）赤外光源と、レーザ光源と、該赤外光源からの光
とレーザ光源からのレーザ光が入射する半透明鏡、固定
鏡、移動鏡から成るマイケルソン型干渉計と、該干渉計
によって干渉させられた赤外光を検出する赤外光検出器
と、該干渉計によって干渉させられたレーザ光を検出す
るレーザ光検出器と、該レーザ干渉光に基づいて一連の
パルス列信号を成形する手段と、該一連のパルス列信号
に基づいて該赤外光検出器からの信号をサンプリングす
るＡ−Ｄ変換器と、該サンプリングされた信号が記憶さ
れるバッファメモリと、該赤外光検出器からの信号に基
づいてサンプリングの基準点を設定する手段と、該サン
プリングの基準点に基づいて、該バッファメモリに記憶
されたデータの内所定数のデータを主メモリに転送する
手段と、該主メモリに記憶されたデータをフーリエ変換
する手段とを備えたフーリエ変換赤外分光光度計。
（２）該サンプリングの基準点を設定する手段は、該赤
外光検出器からの信号に基づいてトリガ信号を作成する
トリガパルス発生回路を含み、該トリガパルスの発生か
ら所定時間後に該赤外光検出器からの信号のサンプリン
グを停止し、該バッファメモリに記憶されたデータの内
、最終データから所定数のデータを該主メモリに転送す
るように構成した特許請求の範囲第１項記載のフーリエ
変換赤外分光光度計。
（３）該移動鏡の基準位置を検出する手段を設け、該検
出手段からの信号に基づいて該赤外光検出器からの信号
のサンプリングを開始するように構成した特許請求の範
囲第１項乃至第２項記載のフーリエ変換赤外分光光度計
。