JPS61102526A - フ−リエ変換赤外分光光度計 - Google Patents
フ−リエ変換赤外分光光度計Info
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- JPS61102526A JPS61102526A JP22489384A JP22489384A JPS61102526A JP S61102526 A JPS61102526 A JP S61102526A JP 22489384 A JP22489384 A JP 22489384A JP 22489384 A JP22489384 A JP 22489384A JP S61102526 A JPS61102526 A JP S61102526A
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- 238000005033 Fourier transform infrared spectroscopy Methods 0.000 title claims description 10
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 9
- 238000005070 sampling Methods 0.000 abstract description 17
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 abstract description 2
- 230000004907 flux Effects 0.000 abstract 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 6
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 4
- 230000007274 generation of a signal involved in cell-cell signaling Effects 0.000 description 3
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 2
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000002329 infrared spectrum Methods 0.000 description 1
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 1
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
- G01J3/45—Interferometric spectrometry
- G01J3/453—Interferometric spectrometry by correlation of the amplitudes
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
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- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明はフーリエ変換赤外分光光度計に関し、特に、干
渉光信号のサンプリングを正確に行うことができるフー
リエ変換赤外分光光度計に関する。
渉光信号のサンプリングを正確に行うことができるフー
リエ変換赤外分光光度計に関する。
[従来の技術]
フーリエ変換赤外分光光度計では、検出した赤外干渉光
のサンプリングを行っているが、このサンプリングの開
始は、同一試料の測定においては常に同じタイミングで
行わねばならない。通常、干渉計において赤外干渉光と
共に白色光の干渉光を得、この白色干渉光の強度が特定
のレベルとなった時にトリガパルスを発生させ、このト
リガパルスに基づいて赤外干渉光のサンプリングを行う
ようにしている。第3図(a)は白色干渉光信号Wしを
示しており、該干渉光信号WLが所定の比較レベルLど
なったとき、第3図(b)に示す如く、トリガパルスP
が発生させられる。
のサンプリングを行っているが、このサンプリングの開
始は、同一試料の測定においては常に同じタイミングで
行わねばならない。通常、干渉計において赤外干渉光と
共に白色光の干渉光を得、この白色干渉光の強度が特定
のレベルとなった時にトリガパルスを発生させ、このト
リガパルスに基づいて赤外干渉光のサンプリングを行う
ようにしている。第3図(a)は白色干渉光信号Wしを
示しており、該干渉光信号WLが所定の比較レベルLど
なったとき、第3図(b)に示す如く、トリガパルスP
が発生させられる。
[発明が解決しようとする問題点]
このトリガパルスの発生のタイミングは非常に重要であ
り、例えば、フーリエ変換赤外分光光度計においては、
SN比を向上させるため、周一試料に対して多数回干渉
光を照射し、その信号を積算するようにしているが、該
サンプリングのタイミングが積算の途中でずれると、積
算の結果得られた信号の波形は乱れてしまい、フーリエ
変換して得られたスペクトルは甚だ不正確なものとなっ
てしまう。
り、例えば、フーリエ変換赤外分光光度計においては、
SN比を向上させるため、周一試料に対して多数回干渉
光を照射し、その信号を積算するようにしているが、該
サンプリングのタイミングが積算の途中でずれると、積
算の結果得られた信号の波形は乱れてしまい、フーリエ
変換して得られたスペクトルは甚だ不正確なものとなっ
てしまう。
ところで、干渉計は経時変化するものであり、長期間の
間には該干渉計によって干渉させられた光の強度も変化
する。第4図(a)は干渉計の経時変化によって干渉光
信号WLの強度が減少した状態を示している。このよう
な干渉光信号では第1 4図(b)に示す如く、
2番目のピーク信号によってトリがパルスP1が発生し
、第3図(a)に示した干渉光信号と略同じタイミング
でパルスが発生するが、特定試料の測定中に更に干渉光
信号の強度が低下し、第4図(C)の状態となると、2
番目のピークの強度は比較レベルLより低くなり、3番
目のピークによってトリガパルスP2が発生することに
なる。従って、このような状態では、試料からの赤外干
渉光信号のサンプリングの開始を常に同タイミングで行
うことはできず、サンプリングされ積算された信号に基
づいて得られたスペクトルは不正確なものとなる。
間には該干渉計によって干渉させられた光の強度も変化
する。第4図(a)は干渉計の経時変化によって干渉光
信号WLの強度が減少した状態を示している。このよう
な干渉光信号では第1 4図(b)に示す如く、
2番目のピーク信号によってトリがパルスP1が発生し
、第3図(a)に示した干渉光信号と略同じタイミング
でパルスが発生するが、特定試料の測定中に更に干渉光
信号の強度が低下し、第4図(C)の状態となると、2
番目のピークの強度は比較レベルLより低くなり、3番
目のピークによってトリガパルスP2が発生することに
なる。従って、このような状態では、試料からの赤外干
渉光信号のサンプリングの開始を常に同タイミングで行
うことはできず、サンプリングされ積算された信号に基
づいて得られたスペクトルは不正確なものとなる。
本発明は、上述した点に鑑みてなされたもので、測定中
は常に同じタイミングで赤外干渉光のサンプリングを行
うことのできるフーリエ変換赤外分光光度計を提供する
ことを目的としている。
は常に同じタイミングで赤外干渉光のサンプリングを行
うことのできるフーリエ変換赤外分光光度計を提供する
ことを目的としている。
[問題点を解決するための手段]
本発明に基づくフーリエ変換赤外分光光度計は、赤外光
源と、参照光源と、該赤外光源からの赤外光を干渉させ
る干渉計と、該参照光源からの参照光を干渉させる干渉
計と、該干渉させられた赤外光を検出する検出器と、該
干渉させられた参照光を検出する検出器と、該参照干渉
光検出器からの検出信号の強度レベルに基づいて該参照
干渉光信号の特定のピークの強度を検知する手段と、該
検知された特定ピーク強度に基づいて比較信号を作成す
る手段と、該参照干渉光信号と該比較信号とを比較し、
トリガパルスを発生する手段とを備えており、該トリガ
パルスに基づいて該赤外干渉光信号のサンプリングを行
うように構成したことを特徴としている。
源と、参照光源と、該赤外光源からの赤外光を干渉させ
る干渉計と、該参照光源からの参照光を干渉させる干渉
計と、該干渉させられた赤外光を検出する検出器と、該
干渉させられた参照光を検出する検出器と、該参照干渉
光検出器からの検出信号の強度レベルに基づいて該参照
干渉光信号の特定のピークの強度を検知する手段と、該
検知された特定ピーク強度に基づいて比較信号を作成す
る手段と、該参照干渉光信号と該比較信号とを比較し、
トリガパルスを発生する手段とを備えており、該トリガ
パルスに基づいて該赤外干渉光信号のサンプリングを行
うように構成したことを特徴としている。
[作用]
干渉計によって干渉された赤外光は試料に照射され、例
えば、試料を透過した干渉光は検出される。一方、白色
光等の参照光も干渉計によって干渉させられ、検出器に
よって検出される。該検出された参照干渉光の特定のピ
ーク強度がホールドされ、例えば、該ホールドされたピ
ーク強度を一定の割合で減じた強度の信号が比較レベル
として設定される。該比較レベルと参照干渉光は比較さ
れ、該参照干渉光強度が該比較レベルとなった時にトリ
ガパルスが発生し、このトリガパルスに基づいて赤外干
渉光信号のサンプリングが開始される。
えば、試料を透過した干渉光は検出される。一方、白色
光等の参照光も干渉計によって干渉させられ、検出器に
よって検出される。該検出された参照干渉光の特定のピ
ーク強度がホールドされ、例えば、該ホールドされたピ
ーク強度を一定の割合で減じた強度の信号が比較レベル
として設定される。該比較レベルと参照干渉光は比較さ
れ、該参照干渉光強度が該比較レベルとなった時にトリ
ガパルスが発生し、このトリガパルスに基づいて赤外干
渉光信号のサンプリングが開始される。
[実施例]
以下本発明の一実施例を添附図面に基づいて詳述する。
第1図において、1は赤外光源であり、該赤外光源1か
ら発生した赤外光は、集光レンズ2によって平行光束と
され、半透明鏡3.固定鏡4.移動鏡5から成るマイケ
ルソン型干渉計に導かれる。
ら発生した赤外光は、集光レンズ2によって平行光束と
され、半透明鏡3.固定鏡4.移動鏡5から成るマイケ
ルソン型干渉計に導かれる。
該干渉計によって干渉された赤外光は、試料が封入され
た試料セル6に照射され、該試料セル6を透過した赤外
光が集光鏡7によって集光され、検出器8によって検出
される。9はレーザ光源であり、該光1IPi9から発
生したレーザ光は反射鏡10によって反射されて該マイ
ケルソン型干渉計に導かれ、該干渉計によって干渉させ
られたレーザ光は、検出器11によって検出される。1
2は白色光源であり、該光源12からの白色光は反射鏡
13によって反射された後、ビームスプリッタ14によ
って2光束に分けられる。該ビームスプリッタ14によ
って分けられた一方の光は固定鏡15によって反射され
、又、他方の光は前記マイケルソン型干渉計の移動鏡5
に入射して反射される。
た試料セル6に照射され、該試料セル6を透過した赤外
光が集光鏡7によって集光され、検出器8によって検出
される。9はレーザ光源であり、該光1IPi9から発
生したレーザ光は反射鏡10によって反射されて該マイ
ケルソン型干渉計に導かれ、該干渉計によって干渉させ
られたレーザ光は、検出器11によって検出される。1
2は白色光源であり、該光源12からの白色光は反射鏡
13によって反射された後、ビームスプリッタ14によ
って2光束に分けられる。該ビームスプリッタ14によ
って分けられた一方の光は固定鏡15によって反射され
、又、他方の光は前記マイケルソン型干渉計の移動鏡5
に入射して反射される。
該固定鏡15と移動鏡5によって反射された2種の光は
該ビームスプリッタ14上で干渉させられ、該干渉光は
検出器16によって検出される。
該ビームスプリッタ14上で干渉させられ、該干渉光は
検出器16によって検出される。
該赤外干渉光の検出器8によって検出された信号は増幅
器17によって増幅された後、A−D変換器18によっ
てディジタル信号に変換される。
器17によって増幅された後、A−D変換器18によっ
てディジタル信号に変換される。
該A−D変換器18の出力信号はコンピュータ19を介
してメモリ20の所定の記憶領域に記憶される。該レー
ザ干渉光検出器11によって検出された信号は波形整形
回路21に供給されて波形整形された後、サンプリング
パルス発生回路22に供給される。該白色干渉光検出器
16のによって検出された信号は、第1の比較回路23
.ピークホールド回路24.第2の比較回路25に供給
される。該第1の比較回路23は基準信号発生回路26
からの信号と該白色干渉光信号とを比較しており、該比
較回路23からの信号はフリップフロップ回路27に供
給されるが、該79717071回路27の出力信号は
該ピークホールド回路24の動作を停止するために用い
られる。該ピークホールド回路24にホールドされた値
はA−D変換器28によってディジタル信号に変換され
、該コンピュータ19に供給される。該コンピュータ1
つは供給された値に対して所定の演算を行い、その結果
をレジスタ29にセットする。該レジスタ29にセット
された値はD−A変換器30によってアナログ信号に変
換され、該D−A変換器30からの信号は、前記第2の
比較回路25において白色干渉光信号と比較される。該
白色干渉光信号が該D−A変換器30からの信号強度と
等しくなったとき、該比較回路25に接続されたトリガ
パルス発生回路31からトリガパルスが発生し、このパ
ルスは前記サンプリングパルス発生回路22に供給され
る。32は記録計であり、該記録計には、コンピュータ
1つによってフーリエ変換されて得られた試料の赤外ス
ペクトルが記録される。
してメモリ20の所定の記憶領域に記憶される。該レー
ザ干渉光検出器11によって検出された信号は波形整形
回路21に供給されて波形整形された後、サンプリング
パルス発生回路22に供給される。該白色干渉光検出器
16のによって検出された信号は、第1の比較回路23
.ピークホールド回路24.第2の比較回路25に供給
される。該第1の比較回路23は基準信号発生回路26
からの信号と該白色干渉光信号とを比較しており、該比
較回路23からの信号はフリップフロップ回路27に供
給されるが、該79717071回路27の出力信号は
該ピークホールド回路24の動作を停止するために用い
られる。該ピークホールド回路24にホールドされた値
はA−D変換器28によってディジタル信号に変換され
、該コンピュータ19に供給される。該コンピュータ1
つは供給された値に対して所定の演算を行い、その結果
をレジスタ29にセットする。該レジスタ29にセット
された値はD−A変換器30によってアナログ信号に変
換され、該D−A変換器30からの信号は、前記第2の
比較回路25において白色干渉光信号と比較される。該
白色干渉光信号が該D−A変換器30からの信号強度と
等しくなったとき、該比較回路25に接続されたトリガ
パルス発生回路31からトリガパルスが発生し、このパ
ルスは前記サンプリングパルス発生回路22に供給され
る。32は記録計であり、該記録計には、コンピュータ
1つによってフーリエ変換されて得られた試料の赤外ス
ペクトルが記録される。
上述した如き構成において、マイケルソン型干渉計をW
成する移動鏡5を図中矢印方向に移動させると、該移動
に応じて検出器8.11.16からは、夫々第2図(a
)、(b)、(C)の如き信号が得られ、該第2図(a
)の信号は増幅器17によって増幅されてA−D変換器
18に供給される。該第2図(b)のレーザ干渉光信号
は波形整形回路21によって第2図(d)に示す信号に
整形され、サンプリングパルス発生回路22に供給され
る。該第2図(C)の白色干渉光は、比較回路23にお
いて基準信号発生回路26からの基準レベルSLと比較
され、該比較回路23から第2図(e)に示す信号が得
られる。該第2図(e)の信号はフリップフロップ回路
27に供給され、該フリップフロップ回路によって第2
図(f)の信号が得られ、この信号はピークホールド回
路24に供給される。該ピークホールド回路24は該フ
リップフロップ回路27の出力信号がハイレベルとなっ
たとき、ピークホールドの動作を停止するように構成さ
れているため、該ピークホールド回路24からは、第2
図(g)に示す信号が得られる。該ピークホールド回路
24によってホールドされた値(aV)はA−D変換器
28によってディジタル信号に変換され、コンピュータ
19に供給される。該コンピュータ1つは供給された値
aVに対して所定の演算、例えば、0.8X a Vを
行い、その結果をレジスタ29にセットする。該レジス
タ29にセットされた値はD−A変換器30によってア
ナログ信号に変換された後、比較強度レベルとして第2
の比較回路25に供給される。
成する移動鏡5を図中矢印方向に移動させると、該移動
に応じて検出器8.11.16からは、夫々第2図(a
)、(b)、(C)の如き信号が得られ、該第2図(a
)の信号は増幅器17によって増幅されてA−D変換器
18に供給される。該第2図(b)のレーザ干渉光信号
は波形整形回路21によって第2図(d)に示す信号に
整形され、サンプリングパルス発生回路22に供給され
る。該第2図(C)の白色干渉光は、比較回路23にお
いて基準信号発生回路26からの基準レベルSLと比較
され、該比較回路23から第2図(e)に示す信号が得
られる。該第2図(e)の信号はフリップフロップ回路
27に供給され、該フリップフロップ回路によって第2
図(f)の信号が得られ、この信号はピークホールド回
路24に供給される。該ピークホールド回路24は該フ
リップフロップ回路27の出力信号がハイレベルとなっ
たとき、ピークホールドの動作を停止するように構成さ
れているため、該ピークホールド回路24からは、第2
図(g)に示す信号が得られる。該ピークホールド回路
24によってホールドされた値(aV)はA−D変換器
28によってディジタル信号に変換され、コンピュータ
19に供給される。該コンピュータ1つは供給された値
aVに対して所定の演算、例えば、0.8X a Vを
行い、その結果をレジスタ29にセットする。該レジス
タ29にセットされた値はD−A変換器30によってア
ナログ信号に変換された後、比較強度レベルとして第2
の比較回路25に供給される。
第2図(h)は該第2の比較回路25に供給される白色
干渉光信号WLとこの比較強度レベルCL(0,5xa
V)とを示しており、WLがCLと等しくなったとき、
該比較回路に接続されたトリガパルス発生回路31から
第2図(1)に示すトリガパルスPが発生し、このパル
スは前記サンプリングパルス発生回路22に供給される
。該サンプリングパルス発生回路22は、該トリガパル
スの供給時から波形整形回路21からの第2図(d>に
示す信号をサンプリングパルスとしてA−D変換器18
に供給することから、赤外干渉光信号のサンプリングは
、該トリガパルスの発生時から開始されることになる。
干渉光信号WLとこの比較強度レベルCL(0,5xa
V)とを示しており、WLがCLと等しくなったとき、
該比較回路に接続されたトリガパルス発生回路31から
第2図(1)に示すトリガパルスPが発生し、このパル
スは前記サンプリングパルス発生回路22に供給される
。該サンプリングパルス発生回路22は、該トリガパル
スの供給時から波形整形回路21からの第2図(d>に
示す信号をサンプリングパルスとしてA−D変換器18
に供給することから、赤外干渉光信号のサンプリングは
、該トリガパルスの発生時から開始されることになる。
該サンプリングされた赤外干渉光信号は、コンピュータ
ー9を介してメモリ20の所定の記憶領域に記憶され、
その後、多数回マイケルソン型干渉計の移動R5を往復
移動させることによって得られる多数の信号は同一の記
憶領域に積算して記憶されることになる。該移動鏡の多
数回の往復移動が終了し、その間該メモリ20に積算し
て記憶された信号に基づいてフーリエ変換処理を行えば
、波数に応じたスペクトルを得ることができ、この得ら
れたスペクトルは記録計32に記録される。
ー9を介してメモリ20の所定の記憶領域に記憶され、
その後、多数回マイケルソン型干渉計の移動R5を往復
移動させることによって得られる多数の信号は同一の記
憶領域に積算して記憶されることになる。該移動鏡の多
数回の往復移動が終了し、その間該メモリ20に積算し
て記憶された信号に基づいてフーリエ変換処理を行えば
、波数に応じたスペクトルを得ることができ、この得ら
れたスペクトルは記録計32に記録される。
尚、上述した比較強度レベルCLを設定する一連の作業
は、例えば、毎日の装置稼働開始時にのみ行い、その後
はこの設定されたCLを固定して測定を行えば良い。こ
の理由は、特定のピーク強度(aV)を検知した場合、
CLはその強度の8割(0,8aV)となるが、1日程
度の連続稼働によっては、干渉光信号強度が8割にまで
減少することはないからである。又、白色干渉光信号の
第2のピークの強度が基準レベルSLより低くなった場
合には、第3のピークの強度が検知され、この証3のピ
ーク強度に基づいて比較強度レベルOLが設定される。
は、例えば、毎日の装置稼働開始時にのみ行い、その後
はこの設定されたCLを固定して測定を行えば良い。こ
の理由は、特定のピーク強度(aV)を検知した場合、
CLはその強度の8割(0,8aV)となるが、1日程
度の連続稼働によっては、干渉光信号強度が8割にまで
減少することはないからである。又、白色干渉光信号の
第2のピークの強度が基準レベルSLより低くなった場
合には、第3のピークの強度が検知され、この証3のピ
ーク強度に基づいて比較強度レベルOLが設定される。
このように上述した実施例では、参照干渉光信号の特定
のピークの強度を検知し、このピーク強度を一定の割合
で減じた値を比較強度レベルとして該参照干渉光信号と
比較するようにしているため、干渉計の経時変化によっ
て参照干渉光信号の強度が低下しても、一連の連続した
測定中では、観測赤外干渉光信号のサンプリングを開始
させるためのトリガパルスの発生タイミングを常に一定
とすることができ、正確なスペクトルを得ることができ
る。尚、本発明は上述した実施例に限定されることなく
幾多の変形が可能である。例えば、参照干渉光信号の特
定のピーク強度を検知した場合、比較強度レベルとして
一定m減じた値を用いたが、一定量増加させた値を比較
強度レベルとし、検知したピークに隣り合う、より強度
の大きなピークに基づいてトリガパルスを発生させるよ
うに構成しても良い。又、干渉計の構成は第1図図示の
ものに限定されず、例えば、半透明鏡3とビームスプリ
ッタ14とを一体とすることも可能である。更に、比較
強度レベルCLをディジタル的に設定したが、ピークホ
ールドした値によってモータドライブのポテンショボリ
ュームを駆動する等、アナログ的に該レベルを設定して
も°良い。
のピークの強度を検知し、このピーク強度を一定の割合
で減じた値を比較強度レベルとして該参照干渉光信号と
比較するようにしているため、干渉計の経時変化によっ
て参照干渉光信号の強度が低下しても、一連の連続した
測定中では、観測赤外干渉光信号のサンプリングを開始
させるためのトリガパルスの発生タイミングを常に一定
とすることができ、正確なスペクトルを得ることができ
る。尚、本発明は上述した実施例に限定されることなく
幾多の変形が可能である。例えば、参照干渉光信号の特
定のピーク強度を検知した場合、比較強度レベルとして
一定m減じた値を用いたが、一定量増加させた値を比較
強度レベルとし、検知したピークに隣り合う、より強度
の大きなピークに基づいてトリガパルスを発生させるよ
うに構成しても良い。又、干渉計の構成は第1図図示の
ものに限定されず、例えば、半透明鏡3とビームスプリ
ッタ14とを一体とすることも可能である。更に、比較
強度レベルCLをディジタル的に設定したが、ピークホ
ールドした値によってモータドライブのポテンショボリ
ュームを駆動する等、アナログ的に該レベルを設定して
も°良い。
[効果]
以上詳述した如く、本発明においては、観測赤外干渉光
信号のサンプリングのタイミングを常に一定とすること
ができ、正確なスペクトルを得ることができる。
信号のサンプリングのタイミングを常に一定とすること
ができ、正確なスペクトルを得ることができる。
第1図は本発明の一実施例を示す図、第2図は第1図に
示した実施例の動作を説明するために用いた信号波形図
、第3図および第4図はトリガパルスの発生のタイミン
グを示す図である。 1・・・赤外光源 2・・・集光レンズ′ 3・・
・半透明鏡 4・・・固定鏡5・・・移!Ill鏡
6・・・試料セルフ・・・集光鏡 8・
・・検出器9・・・レーザ光源 11・・・検出器12
・・・白色光源 14・・・ビームスプリッタ 15・・・固定鏡 16・・・検出器17・・・増
幅器 18・・・A−D変換器19・・・コンピュ
ータ 20・・・メモリ 21・・・波形整形回路22・
・・サンプリングパルス発生回路23・・・比較回路 24・・・ピークホールド回路 25・・・比較回路 26・・・基準信号発生回路 27・・・フリップフロップ回路 28・・・A−D変換器 29・・・レジスタ 30・・・D−A変換器31・
・・トリガパルス発生回路 32・・・記録計
示した実施例の動作を説明するために用いた信号波形図
、第3図および第4図はトリガパルスの発生のタイミン
グを示す図である。 1・・・赤外光源 2・・・集光レンズ′ 3・・
・半透明鏡 4・・・固定鏡5・・・移!Ill鏡
6・・・試料セルフ・・・集光鏡 8・
・・検出器9・・・レーザ光源 11・・・検出器12
・・・白色光源 14・・・ビームスプリッタ 15・・・固定鏡 16・・・検出器17・・・増
幅器 18・・・A−D変換器19・・・コンピュ
ータ 20・・・メモリ 21・・・波形整形回路22・
・・サンプリングパルス発生回路23・・・比較回路 24・・・ピークホールド回路 25・・・比較回路 26・・・基準信号発生回路 27・・・フリップフロップ回路 28・・・A−D変換器 29・・・レジスタ 30・・・D−A変換器31・
・・トリガパルス発生回路 32・・・記録計
Claims (3)
- (1)赤外光源と、参照光源と、該赤外光源からの赤外
光を干渉させる干渉計と、該参照光源からの参照光を干
渉させる干渉計と、該干渉させられた赤外光を検出する
検出器と、該干渉させられた参照光を検出する検出器と
、該参照干渉光検出器からの検出信号の強度レベルに基
づいて該参照干渉光信号の特定のピークの強度を検知す
る手段と、該検知された特定ピーク強度に基づいて比較
信号を作成する手段と、該参照干渉光信号と該比較信号
とを比較し、トリガパルスを発生する手段とを備えてお
り、該トリガパルスに基づいて該赤外干渉光信号のサン
プリングを行うように構成したフーリエ変換赤外分光光
度計。 - (2)該比較信号の強度は、該検知されたピークの強度
を所定量減じた値とされている特許請求の範囲第1項記
載のフーリエ変換赤外分光光度計。 - (3)該比較信号の強度は、該検知されたピークの強度
を所定量増加させた値とされている特許請求の範囲第1
項記載のフーリエ変換赤外分光光度計。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22489384A JPS61102526A (ja) | 1984-10-25 | 1984-10-25 | フ−リエ変換赤外分光光度計 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22489384A JPS61102526A (ja) | 1984-10-25 | 1984-10-25 | フ−リエ変換赤外分光光度計 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61102526A true JPS61102526A (ja) | 1986-05-21 |
Family
ID=16820805
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP22489384A Pending JPS61102526A (ja) | 1984-10-25 | 1984-10-25 | フ−リエ変換赤外分光光度計 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS61102526A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0254128A (ja) * | 1988-08-19 | 1990-02-23 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光検出装置 |
JPH03279824A (ja) * | 1990-03-29 | 1991-12-11 | Anritsu Corp | 光波長測定装置 |
-
1984
- 1984-10-25 JP JP22489384A patent/JPS61102526A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0254128A (ja) * | 1988-08-19 | 1990-02-23 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光検出装置 |
JPH03279824A (ja) * | 1990-03-29 | 1991-12-11 | Anritsu Corp | 光波長測定装置 |
JPH0827213B2 (ja) * | 1990-03-29 | 1996-03-21 | アンリツ株式会社 | 光波長測定装置 |
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