JPS6159825A - 電子ビ−ム露光装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野〕 本発明は、電子ビーム露光装置の改良に閲する．特に、
自重を小さくし，１！子ビーム露光装置の必須附属装置
である防様台を小型ｆＩ’Ｅｔになす改良に関する。

〔従来の技術〕

電子ビームを照射してフォトレジストを露光する電子ビ
ーム露光装置は，（イ）電子レンズ等を使用すれば極め
て細い電子ビームを得ることができること、（口）電子
ビームの走査制御は極めて正確・精密になしうる等の理
由により、微細パターンを正確に露光することを可能に
する。

（発明が解決しようとする問題点） しかし、一方、電子ビームを正確に制御することが必須
であるから，外部磁界の影愕を排除することが必須であ
る．そのため、電子ビーム露光装置の外壁特にその露光
室の外壁は強磁性材料一般には鉄または鉄系合金をもっ
て構成されていた。

磁気シールドのためである．その結果、露光室の１重は
数百κｚ−ｔｏｎに達し，同様に鉄または鉄系合金をも
って構成される鏡筒の自重も加えると１トン以上に及ぶ
場合もある。

一方、所望のＶ＆細領領域、電子ビームを正確に照射す
るためには、電子ビーム露光装置を無Ｗ幼に保持するこ
とが望ましいので，電子ビーム露光装置は通常防振台上
に乗せて使用される．防振台は本来大きな自重を有する
ものであり、１トン以上である場合が多い．その結果，
防振台を含めた場合、電子ビーム露光装置の自重は２ト
ン以上にも達するという欠点がある。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明は、この欠点をｇＶ　Ｊｉ’！することにり）す
、その手段は、外壁が軽金属または軽金属合金をもって
構成され該外壁の内面に強心性材よりなるは気シールド
の施されてなる電子ビーム露光装置よりなる。

露光室の外壁の厚さはかなり厚く鉄系材の場合でも３０
ｒａｍＬ度で自重も大きいので、これを軽量化する効果
は大きいが、鏡筒はその外壁がｌく鉄系材の場合でもＩ
Ｏａ＋署程度で自重も小さいので、これを軽量化する効
果は比佼的小さい、しかし、露光室に加えて鏡筒も軽量
化すれば、その効果は当然発揮されるので、鏡筒も、そ
の外壁を軽金属または軽金属合金をもって４’ｉ成し、
その外壁の内面に強磁性材よりなるｒＪ磁気シールド旋
すことが望ましい。

〔作用） 本発明に係る電子ビーム露光装置は、その露光室の構造
材がアルミニウムまたはアルミニウム系合金をもっても
１．１成されており、その内面にパーマロイ等透磁率が
極めて大　きな強心性材　の内−長すがなされてｔａ気
ンールトとされているので、従来の場合と同様、外部Ｃ
ａ界の影響は十分排除されるが、その自重は大幅に減少
される。鉄系材を構造材に使用する場合と同一の機ｔλ
的強度を保有させるために軽量材よりなる外壁の厚さは
、鉄系材の場合に比べて、いくらか厚くする必要がある
が、パーマロイ等よりなる磁気シールドの厚さは１ｍｍ
程度で十分である。透磁率が極めて大きいからである。

もし、露光室に加えて鏡筒の外壁も軽量化すれば、ｂＪ
、筒の目玉が減少するに加えて露光室の自重も減少する
効果がある。

電子ビーム露光装置のｒ１丑が減少すると、これを支え
る防振台の目玉も減少することができるから、防振台も
軽量化することができる。

〔実施例〕

以下１図面を参照しつ−１本発明の実施例に係る電子ビ
ーム露光袋Ｊｅについてざらに詳細に説す１する。

第１図参照 １は鏡筒であり厚１０ＩＩ田程度のアルミニウム板１ａ
の内面に厚さ１扇−程度のパーマロイ板１ｂが内張すさ
れた板状材をもって構成される。２は電子銃であり、３
は電子レンズ系であり、４はＸ軸方向偏向Ｊ装置であり
、５はＹ　４１１１＋方向侶向装置である。６は露光室
であり厚さ３０〜４０ｕｒａ程度のアルミニウム板６ａ
の内面に厚さ１ム履程度のパーマロイ板６ｂが内張すさ
れた板状材をもって構成される。７はステージであり、
露光される半導体ウェーハが乗せられ、Ｘ軸、Ｙ軸方向
に３動・調整が可能とされている。

以上の如く構成された電子ビーム露光：＋８置は。

軽量材をもって外壁が製造されているので、自重は鉄系
材の場合に比し約５０％程度に減少される（比重比は２
．７／７．０ｆｆ＝　０．３４であるが、パーマロイの
内張りが追加され、重量がバ・）加される要素もあるか
らである）。

８はｖｉ振台であり、材料は問わない、電子ビーム露光
装置の重量が５０％程度に減少するので、このＵｊ振台
８の自重も大ＩＲＪに減少される。

９は空気ばねであり、建屋床ＩＯを伝播して来る振動を
防振２台８に伝達させない目的を有する。

〔発明の効果） 以上説明せるとおり１本発明によれば、露光室の外壁が
（所望により鏡筒の外壁も）軽金属または軽金属合金を
もって構成されその内面にパーマロイ等透磁率が極めて
大きな強磁性材の内張りがなされて磁気シールドとされ
ているので、自重の軽い電子ビーム露光装置が提供され
、これに附属する防振台の自重も減少することができる
。

【図面の簡単な説明】

図は、本発明の実施例に係る電子ビーム露光装置の概念
的構成１Δである。 ■・・＠鏡筒、　ｌａａ・・アルミニウム板。 １ｂ・・・パーマロイ板、　　２・　・　・１Ｅ子銃。 ３・・パ１シ子レンズ系、　　４　・　・　・　Ｘ軸方
向偏光装置、　５・・・Ｙ　４ｊｌ＋方向ｃＩ８Ｉ装置
、６・・・〜’；＋光１１、６ａＩＩＯ４アルミニウム
坂、　６ｂ−−・パーマロイ板、　７・　−・ステージ
、　８・・・防振台、　９・　・・空気ばね、１０＠・
・建屋床。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　装置の外壁が軽金属または軽金属合金をもって構成さ
   れ該外壁の内面に強磁性材よりなる磁気シールドの施さ
   れていることを特徴とする電子ビーム露光装置。