JPS6158861A - Silicon carbide material and manufacture - Google Patents

Silicon carbide material and manufacture

Info

Publication number
JPS6158861A
JPS6158861A JP59176760A JP17676084A JPS6158861A JP S6158861 A JPS6158861 A JP S6158861A JP 59176760 A JP59176760 A JP 59176760A JP 17676084 A JP17676084 A JP 17676084A JP S6158861 A JPS6158861 A JP S6158861A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
silicon carbide
weight
sintered body
density
boron
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP59176760A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
誠 小宮
桝谷 裕樹
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Eagle Industry Co Ltd
Original Assignee
Eagle Industry Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Eagle Industry Co Ltd filed Critical Eagle Industry Co Ltd
Priority to JP59176760A priority Critical patent/JPS6158861A/en
Publication of JPS6158861A publication Critical patent/JPS6158861A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Ceramic Products (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、メカニカルシール、プレーンベアリングなど
の!封摺動部品として特に有用な、炭化ケイ素質材料お
よびその製造法に関するものである。
[Detailed Description of the Invention] Industrial Application Field The present invention is applicable to mechanical seals, plain bearings, etc. The present invention relates to a silicon carbide material particularly useful as a sealing sliding component and a method for producing the same.

従来の技術 高温構造材料として、近年、多くのセラミックスが開発
され実用化されるに至ったが、その一つである炭化ケイ
素質のものは、高温における強度が大きく強度劣化も少
ないこと、熱衝撃に強いこと、耐摩耗性にすぐれている
こと、軽量であること、耐食性がすぐれていること、な
ど多くの長所を持ち、製造技術面でも無加圧焼結法が発
明されて容易に高品質のものを製造できるようになった
ため、ガスタービン用部品、自動車エンジン用部品、メ
カニカルシール、各種軸受など、広い範囲での用途開発
が進められている。
Conventional technology In recent years, many ceramics have been developed and put into practical use as high-temperature structural materials. One of them, silicon carbide, has high strength at high temperatures and little strength deterioration, and is resistant to thermal shock. It has many advantages such as being strong against water, having excellent abrasion resistance, being lightweight, and having excellent corrosion resistance.In terms of manufacturing technology, the invention of the pressureless sintering method has made it easy to produce high quality products. Now that it has become possible to manufacture various products, development is progressing in a wide range of applications, including gas turbine parts, automobile engine parts, mechanical seals, and various bearings.

上記無加圧成形法は、1、Y開明50−78609号公
報、特開昭51−148712号公報などに開示されて
いるように、サブミクロンの炭化ケイ素微粉末中に、焼
結助剤として、ホウ素および/またはアルミニウムにj
灸算して0.2〜2%の目Cン素、アルミニウムおよび
/またはそれらの化合物と、炭素に換算して0.2〜4
%の炭素および/または炭化性有磯材料とを、いずれも
サブミクロンの微粉末の形で均一に混合してなる易焼結
性粉末を、成形後、無加圧で、密度3.0以上の高密度
焼結体に焼結させる方法である。
In the above-mentioned pressureless molding method, as disclosed in 1. Y Kaimei No. 50-78609, Japanese Patent Kokai No. 51-148712, etc., a sintering aid is added to submicron silicon carbide fine powder. , boron and/or aluminum
0.2 to 2% carbon, aluminum and/or their compounds when calculated as moxibustion, and 0.2 to 4% when calculated as carbon.
% of carbon and/or carbonizable rock material, both in the form of submicron fine powder, is molded into a powder with a density of 3.0 or more without pressure. This is a method of sintering into a high-density sintered body.

発明が解決しようとする問題点 上記従来の炭化ケイ素質材料の製法は、特に高温におけ
る強度、耐熱性、耐酸化性を重視する構造材料の製造を
意図したものであって、その限りにおいては十分すぐれ
たものである。しかしながら、この製法による炭化ケイ
素質材料は、メカニカルシールやプレーンベアリングな
どの摺動部品として使用した場合、潤滑不十分な使用条
件においては摩擦係数が非常に高くなり、摺動相手材を
早く摩耗させたり傷っけたりし、主た自身も摩耗やクラ
ックを生じ易いという欠点がある。
Problems to be Solved by the Invention The above-mentioned conventional methods for producing silicon carbide materials are intended for producing structural materials that place particular importance on strength, heat resistance, and oxidation resistance at high temperatures, and to this extent, they are not sufficient. It is excellent. However, when silicon carbide materials manufactured using this method are used as sliding parts such as mechanical seals or plain bearings, under conditions of insufficient lubrication, the coefficient of friction becomes extremely high, causing the sliding material to wear out quickly. It has the disadvantage that it is easily damaged and the main body itself is prone to wear and cracks.

特開昭59−131577号公報には、焼結体中に大き
な遊離炭素相を形成させ、直径5−以上の炭素相i8面
が焼結体全表面の1.5〜45%を占めるようにするこ
とにより低゛摩擦係数の炭化ケイ素質材料を得る方法が
記載さhているが、本発明は、これとは全く別の手段に
よって炭化ケイ素質材料の上記欠点を解消しようとする
ものである。
JP-A-59-131577 discloses that a large free carbon phase is formed in a sintered body so that the i8 plane of the carbon phase with a diameter of 5 or more occupies 1.5 to 45% of the entire surface of the sintered body. A method for obtaining a silicon carbide material with a low coefficient of friction by .

問題点を解決するための手段 種々検討の結果、上記無加圧焼結法において焼結温度を
低くおさえるなどの方法により低密度の(したがって高
い気孔率をイエする)焼結体を作り、これに熱硬化性合
成4A(脂を含浸して硬化させると、低)Y擦係故の材
料が得られることか見いだされた。
As a result of various studies to solve the problem, we created a sintered body with low density (and therefore high porosity) by keeping the sintering temperature low in the above-mentioned pressureless sintering method. It has been found that a thermosetting synthetic 4A (low Y friction material can be obtained when impregnated with fat and cured).

本発明は上記知見に基づくものであって二発明からなり
、その第一は、主として炭化ケイ素からなる1艮密度焼
結体の微細気孔に熱硬化性合成JA(脂が充填されてな
る炭化ケイ素質材料の発明である。また本発明の第二は
、上記本発明の第一による炭化ケイ素質材料の′!i!
遣法1こ関するものであって、ホウ素またはアルミニウ
ムの単体または化合物からなる1種以上の物質を合計量
で0.2〜2重量%(但し化合物の場合はホウ素または
アルミニウムに換算した値)、炭素または炭化性有機材
料からなるサブミクロン粉末0.2〜4重量%(但し炭
化性有機材料の場合は炭素に換算した値)および炭化ケ
イ素のサブミクロン粉末から実質的になる焼結性粉末状
混合物を成形し、得らhた成形物を密度2.4〜2.8
67cm”の焼結本が形rltされるまで非酸化性雰囲
気中で加熱して焼結させ、得られた焼結体に熱硬化性合
成樹脂を含浸し硬化させることを特徴とする。
The present invention is based on the above findings and consists of two inventions. The second aspect of the present invention is the invention of the silicon carbide material according to the first aspect of the present invention.
Method 1: A total amount of 0.2 to 2% by weight of one or more substances consisting of boron or aluminum alone or as a compound (however, in the case of compounds, the value converted to boron or aluminum), Sinterable powder consisting essentially of 0.2 to 4% by weight of submicron powder made of carbon or carbonizable organic material (however, in the case of carbonizable organic material, the value converted to carbon) and submicron powder of silicon carbide The mixture is molded, and the resulting molded product has a density of 2.4 to 2.8.
It is characterized in that it is heated and sintered in a non-oxidizing atmosphere until a 67 cm" sintered book is shaped, and the resulting sintered body is impregnated with a thermosetting synthetic resin and hardened.

本発明による炭化ケイ素質材料は、上記招成に基づき炭
化ケイ素相と熱硬化性合成樹脂相との2相からなるもの
であって、摺動材料として使われたとき、摺動部表面に
現われた熱硬化性合成樹脂部分がオイルポット類似の潤
滑作用を行う。
The silicon carbide material according to the present invention is composed of two phases, a silicon carbide phase and a thermosetting synthetic resin phase, based on the above composition, and when used as a sliding material, it appears on the surface of the sliding part. The thermosetting synthetic resin part has a lubricating effect similar to that of an oil pot.

次に、本発明の第二による上記炭化ケイ素質材料の製造
法について説明する。
Next, a method for producing the silicon carbide material according to the second aspect of the present invention will be explained.

原料として用いる炭化ケイ素および焼結助剤であるホウ
素(またはその化合物)、アルミニウム(またはその化
合物)、炭素および炭化性有機材料の各サブミクロン粉
末としては、従来の製法において使われてきたものと同
じものを使用することができ、特殊なものは不要である
The submicron powders of silicon carbide used as a raw material, sintering aids such as boron (or its compounds), aluminum (or its compounds), carbon, and carbonizable organic materials are those used in conventional manufacturing methods. You can use the same one; nothing special is needed.

ホウ素およびアルミニウムは単体の形で用いるほか、化
合物の形で用いてもよく、またホウ素およびアルミニウ
ムのいずれか一方を用いても両者を併用してもよい、適
当なホウ素化合物およびアルミニウム化合物の具体例と
しては、炭化ホウ素、窒化ホウ素、リン化ホウ素、ホウ
化アルミニウム、酸化アルミニウムなどがある。
Boron and aluminum may be used in the form of a single substance or in the form of a compound, and boron and aluminum may be used either alone or in combination. Specific examples of suitable boron compounds and aluminum compounds Examples include boron carbide, boron nitride, boron phosphide, aluminum boride, and aluminum oxide.

炭化性有機材料としては、各種溶剤に溶解し、高温で分
解して炭素を生じ、その場合の炭素収率の大きいものが
好ましい、その具体例としては、フェノール樹脂、7ラ
ン樹脂、ポリフェニレン樹脂、コールタールピッチなど
がある。
The carbonizable organic material is preferably one that dissolves in various solvents and decomposes at high temperatures to produce carbon, with a high carbon yield. Specific examples thereof include phenol resin, 7-run resin, polyphenylene resin, There is also coal tar pitch.

以上の焼結原料の好適配合比は下記のとおりである。The preferred blending ratio of the above sintering raw materials is as follows.

■ ホウ素またはアルミニウムの単体または化合物から
なるサブミクロン粉末二0.2〜2重量%(但し化合物
の場合はホウ素またはアルミニウムに換算した値)。2
種以上のものを併用する場合は合計量で上記範囲に入る
ようにする。
(2) 0.2 to 2% by weight of submicron powder consisting of boron or aluminum alone or as a compound (however, in the case of a compound, the value is converted to boron or aluminum). 2
If more than one species is used together, the total amount should be within the above range.

■ 炭素または炭化性有機材料からなるサブミクロン粉
末:0.2〜4重量%(但し炭化性有は材料の場合は炭
素換算値)。
(2) Submicron powder made of carbon or carbonizable organic material: 0.2 to 4% by weight (however, in the case of carbonizable materials, the carbon equivalent value).

■ 炭化ケイ素のサブミクロン粉末二上記諸成分の残部
とする。
(2) Submicron silicon carbide powder is the remainder of the above components.

なお上記焼結原料のほかに、成形を容易にし焼結前の成
形体に取扱いに必要な強度を与えるために、バイングー
、側光ばステアリン酸、ポリビニルアルコール、7エ/
−ル樹脂、アクリル樹脂などを用いることができる。
In addition to the above-mentioned sintering raw materials, in order to facilitate molding and give the molded body before sintering the strength necessary for handling, baingu, side light stearic acid, polyvinyl alcohol, and
- resin, acrylic resin, etc. can be used.

上記■〜■の各原料はボールミル等を用いて均一に混合
し、更に成形用パイングーを添加し混合してか呟所望の
形に成形する。成形は、常温におけるプレス成形やラバ
ープレスによるほか、成形用パイングーをやや多量に添
加して熱間押出成形または射出成形するなど、成形形状
に応じ種々の成形方法を採用して行うことができる。
Each of the above raw materials (1) to (2) is mixed uniformly using a ball mill or the like, and then pine goo for molding is added, mixed, and molded into a desired shape. The molding can be carried out by various molding methods depending on the molded shape, such as press molding or rubber press at room temperature, hot extrusion molding or injection molding by adding a rather large amount of molding pine goo.

成形体の焼結は、真空あるいはアルゴンガス等の非酸化
性雰囲気において行う。焼結温度としては約1700〜
2000°Cが適当である。焼結処理は、焼結本の密度
が約2.4〜2.8  H/amコ(理論密度の約75
〜90%)になるまで行うが、そのために必要な焼結時
間は、焼結材料の配合や成形条件、焼結温度等により異
なるので、実験により確認することが必要である。焼結
体の密度は次の熱硬化性合rig、樹脂含浸工程におけ
る樹脂含浸量に影響し、2.8 Fi7cm”をこえる
高密度にすると気孔がほとんど無くなって1j4脂を充
分含浸することができず、一方、密度が2 、4 g/
c11+’に満たないときは、焼結体が多孔質に過ぎ、
434脂を含浸しても強度や耐摩耗性の劣る製品となる
The compact is sintered in a vacuum or in a non-oxidizing atmosphere such as argon gas. The sintering temperature is about 1700~
2000°C is suitable. The sintering process is performed so that the density of the sintered book is approximately 2.4 to 2.8 H/am (the theoretical density is approximately 75
90%), but the sintering time required for this varies depending on the composition of the sintering materials, molding conditions, sintering temperature, etc., and must be confirmed through experiments. The density of the sintered body affects the amount of resin impregnated in the next thermosetting synthesis rig and resin impregnation process, and if the density is higher than 2.8 Fi7cm, there will be almost no pores and it will be possible to sufficiently impregnate 1J4 fat. On the other hand, the density is 2.4 g/
When less than c11+', the sintered body is too porous;
Even if impregnated with 434 fat, the product will have poor strength and wear resistance.

焼結を終わったあと冷却して得られる焼結体は、上述の
ように比較的低密度のものであるから、微細な連通気孔
を持つ。
The sintered body obtained by cooling after sintering has a relatively low density as described above, so it has fine communicating holes.

この気孔を有する焼結体を熱硬化性合rk、樹脂中に浸
漬して気孔部を樹脂で満たし、その後、樹脂が硬化する
温度に加熱して樹脂を硬化させると、本発明の炭化ケイ
素質材料が得られる。なお上記範囲の密度を有する焼結
体の気孔のすべてを樹脂で満たすことができた場合、製
品中の樹脂量は約9〜17重量%となる。実際にはすべ
ての気孔を樹脂で満たすことは困難で、上記含浸量に遠
しないことが多いが、差支えない。
This sintered body having pores is immersed in a thermosetting resin to fill the pores with the resin, and then heated to a temperature at which the resin hardens to harden the resin. Materials are obtained. Note that if all the pores of a sintered body having a density within the above range can be filled with resin, the amount of resin in the product will be about 9 to 17% by weight. In reality, it is difficult to fill all the pores with resin, and the amount of impregnation is often not close to the above-mentioned amount, but there is no problem.

発明の効果 本発明による炭化ケイ素質材料は、上述のように炭化ケ
イ素材と適量の熱硬化性合成141脂相との2相からな
り、後者が潤滑作用をするから、炭化ケイ素材のみから
なる従来の炭化ケイ素質材料と比べるとはるかに低い摩
擦係数を示す。一方、表面の大部分を占める炭化ケイ素
材は、多くの用途において実用上充分な、すぐれた耐摩
耗性を実現しているか1本発明の炭化ケイ素質材料は潤
滑性と耐摩耗性とを兼備し、摺動部品の素材としてトわ
めてすぐれたものである。そして本発明の製法によれば
、この好ましい特性を有する炭化ケイ素質材料炭化ケイ
素質材料を、従来の無加圧焼結法による炭化ケイ素質材
料の製造技術をそのまま利用して、高密度焼結体とする
必要がないよんだけむしろ容易に、製造することができ
る。
Effects of the Invention As mentioned above, the silicon carbide material according to the present invention is composed of two phases: a silicon carbide material and an appropriate amount of thermosetting synthetic 141 fat phase, and since the latter has a lubricating effect, it is made of only a silicon carbide material. It exhibits a much lower coefficient of friction than conventional silicon carbide materials. On the other hand, does the silicon carbide material that occupies most of the surface have excellent wear resistance that is sufficient for practical use in many applications?1 The silicon carbide material of the present invention has both lubricity and wear resistance. However, it is an extremely excellent material for sliding parts. According to the manufacturing method of the present invention, the silicon carbide material having this preferable characteristic is subjected to high-density sintering by directly utilizing the conventional pressureless sintering method for manufacturing silicon carbide material. It is not necessary to make a body, but it can be manufactured easily.

刃屓廻 以下実施例および比較例を示して本発明を説明する。な
お各側において炭化性有機材料の景は炭素換算値である
The present invention will now be described with reference to Examples and Comparative Examples. Note that the values of carbonizable organic materials on each side are carbon equivalent values.

実施例 平均粒径0.4u…の炭化ホウ素微粉末1.5重量%、
ノボラック型フェノール樹脂5.6重量%、ステアリン
酸1重量%、残部が平均粒径0.3IJmの炭化ケイ素
粉末からなる原料混合物を、アセトンを分散媒として湿
式ボールミルで混合してから乾燥し、粉砕した。得られ
た粉末は1 、 OLon/am”の圧力で内径43I
Il+nX外径65.5+omX厚さ10IIIalの
リングに成形し、真空中18SO’Cに加熱して焼結さ
せた。得られた焼結体は密度が2 、68 H/cu+
’の、多孔質のものであった。
Example: 1.5% by weight of boron carbide fine powder with an average particle size of 0.4u...
A raw material mixture consisting of 5.6% by weight of novolac type phenolic resin, 1% by weight of stearic acid, and the remainder silicon carbide powder with an average particle size of 0.3 IJm was mixed in a wet ball mill using acetone as a dispersion medium, then dried and pulverized. did. The obtained powder had an inner diameter of 43 I at a pressure of 1.0 Lon/am”.
It was molded into a ring with Il+nX outer diameter of 65.5+om and thickness of 10IIIal, and was sintered by heating to 18SO'C in vacuum. The obtained sintered body has a density of 2.68 H/cu+
', it was porous.

これにフラン樹脂を含浸したのち加熱して樹脂を硬化さ
せると、密度2 、88 g7cm”、樹脂含有量7重
量%の炭化ケイ素質材料が得られた。
This was impregnated with furan resin and then heated to harden the resin, yielding a silicon carbide material with a density of 2.88 g7 cm'' and a resin content of 7% by weight.

比較例 実施例の場合と同じ原料から同じ成形方法で得られた成
形体を、真空中で2100°Cで焼結し、密度が3 、
15 g7cm”の、緻密な焼結体を得た(樹脂含浸は
行わなかった。)。
Comparative Example A molded body obtained from the same raw materials and the same molding method as in the example was sintered at 2100°C in a vacuum, and the density was 3.
A dense sintered body of 15 g 7 cm" was obtained (no resin impregnation was carried out).

上記各側による焼結体について、100’Cの熱水中に
おける摺動試験を行なった。試験条件は、液圧7 Kg
/am2・G、回転数3600rpm%PV値(面圧×
周速) 54.6Kg/cm”−m/sec。
A sliding test in hot water of 100'C was conducted on the sintered bodies from each side. The test conditions were a hydraulic pressure of 7 kg.
/am2・G, rotation speed 3600 rpm%PV value (surface pressure ×
Circumferential speed) 54.6Kg/cm”-m/sec.

試験時間100時開とし、相手材料にはフェノール樹脂
を含浸したカーボンを用いた。試験結果を表1に示す。
The test was opened at 100 o'clock, and carbon impregnated with phenol resin was used as the mating material. The test results are shown in Table 1.

表1 試料摩耗量   相手材摩耗量Table 1 Sample wear amount  Mating material wear amount

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)主として炭化ケイ素からなる低密度焼結体の微細
気孔に熱硬化性合成樹脂が充填されてなる炭化ケイ素質
材料。
(1) A silicon carbide material formed by filling the micropores of a low-density sintered body mainly made of silicon carbide with a thermosetting synthetic resin.
(2)ホウ素またはアルミニウムの単体または化合物か
らなる1種以上の物質を合計量で0.2〜2重量%(但
し化合物の場合はホウ素またはアルミニウムに換算した
値)、炭素または炭化性有機材料からなるサブミクロン
粉末0.2〜4重量%(但し炭化性有機材料の場合は炭
素に換算した値)および炭化ケイ素のサブミクロン粉末
から実質的になる焼結性粉末状混合物を成形し、得られ
た成形物を密度2.4〜2.8g/cm^3の焼結体が
形成されるまで非酸化性雰囲気中で加熱して焼結させ、
得られた焼結体に熱硬化性合成樹脂を含浸し硬化させる
ことを特徴とする炭化ケイ素質材料の製造法。
(2) A total amount of 0.2 to 2% by weight of one or more substances consisting of a simple substance or a compound of boron or aluminum (however, in the case of a compound, the value converted to boron or aluminum), from carbon or a carbonizable organic material A sinterable powder mixture consisting essentially of 0.2 to 4% by weight of submicron powder (in the case of a carbonizable organic material, calculated as carbon) and submicron powder of silicon carbide is molded. The molded product is heated and sintered in a non-oxidizing atmosphere until a sintered body with a density of 2.4 to 2.8 g/cm^3 is formed,
A method for producing a silicon carbide material, which comprises impregnating the obtained sintered body with a thermosetting synthetic resin and curing it.
(3)炭化ケイ素が全体の78〜90重量%を占める特
許請求の範囲第1項記載の炭化ケイ素質材料。
(3) The silicon carbide material according to claim 1, in which silicon carbide accounts for 78 to 90% by weight of the total weight.
JP59176760A 1984-08-27 1984-08-27 Silicon carbide material and manufacture Pending JPS6158861A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP59176760A JPS6158861A (en) 1984-08-27 1984-08-27 Silicon carbide material and manufacture

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP59176760A JPS6158861A (en) 1984-08-27 1984-08-27 Silicon carbide material and manufacture

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS6158861A true JPS6158861A (en) 1986-03-26

Family

ID=16019327

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP59176760A Pending JPS6158861A (en) 1984-08-27 1984-08-27 Silicon carbide material and manufacture

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS6158861A (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61174182A (en) * 1985-01-26 1986-08-05 イビデン株式会社 Silicon carbide base composite body with high size precisionand sliding properties and manufacture
JPH02116675A (en) * 1988-10-26 1990-05-01 Showa Denko Kk Production of sintered sic body

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61174182A (en) * 1985-01-26 1986-08-05 イビデン株式会社 Silicon carbide base composite body with high size precisionand sliding properties and manufacture
JPH034511B2 (en) * 1985-01-26 1991-01-23 Ibiden Co Ltd
JPH02116675A (en) * 1988-10-26 1990-05-01 Showa Denko Kk Production of sintered sic body

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7166550B2 (en) Ceramic composite body of silicon carbide/boron nitride/carbon
JP5735501B2 (en) Hard non-oxide or oxide ceramic / hard non-oxide or oxide ceramic composite hybrid seal parts
US5610110A (en) Sintered SiC shaped articles and mechanical packings comprised thereof
US5707567A (en) Process for producing a self-sintered silicon carbide/carbon graphite composite material having interconnected pores which maybe impregnated
US4419161A (en) Method of producing composite ceramic articles
US4019913A (en) Process for fabricating silicon carbide articles
US4957811A (en) Components of silicon-infiltrated silicon carbide having a porous surface, and process for the production thereof
JPH10251063A (en) Graphite composite silicon carbide sintered body, graphic composite silicon carbide sintered composite material and mechanical seal
JPS6350310B2 (en)
JPS6158861A (en) Silicon carbide material and manufacture
JPS59131577A (en) Silicon carbide material and manufacture
JP2851717B2 (en) Sliding member
JPH0510303B2 (en)
JPS63147881A (en) Silicon carbide-organic high polymer composite material
EP1359132A1 (en) Composites, applications, and process for manufacturing said composites
JPS60112670A (en) Silicon carbide material and manufacture
CN107540380A (en) The bearing material of porous SiC and its manufacture method of hole composition with three forms
JPS6331433B2 (en)
JPS62275066A (en) Manufacture of silicon carbide sintered body
JPH0735301B2 (en) Manufacturing method of sliding material for mechanical seal
JPH02129071A (en) Production of silicon carbide ceramics
JP2543093B2 (en) Sliding parts for seals
JPS63242982A (en) Manufacture of ceramic-carbon composite material
JPS6227030B2 (en)
JPS62176956A (en) Manufacture of silicon carbide base composite body