JPH034511B2 - - Google Patents

Info

Publication number
JPH034511B2
JPH034511B2 JP60013049A JP1304985A JPH034511B2 JP H034511 B2 JPH034511 B2 JP H034511B2 JP 60013049 A JP60013049 A JP 60013049A JP 1304985 A JP1304985 A JP 1304985A JP H034511 B2 JPH034511 B2 JP H034511B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
silicon carbide
sintered body
weight
less
sintering
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP60013049A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPS61174182A (en
Inventor
Kyotaka Tsukada
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ibiden Co Ltd
Original Assignee
Ibiden Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ibiden Co Ltd filed Critical Ibiden Co Ltd
Priority to JP60013049A priority Critical patent/JPS61174182A/en
Publication of JPS61174182A publication Critical patent/JPS61174182A/en
Publication of JPH034511B2 publication Critical patent/JPH034511B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Ceramic Products (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、寸法精度および摺動特性の優れた炭
化珪素複合体の製造方法に関し、特に本発明は、
所望の形状に成形した生成形体を実質的に焼成収
縮を生じさせることなく焼結させた多孔質炭化珪
素焼結体の開放気孔中に合成樹脂が充填された寸
法精度および摺動特性の優れた炭化珪素質複合体
の製造方法に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a method for manufacturing a silicon carbide composite with excellent dimensional accuracy and sliding properties, and in particular, the present invention relates to a method for producing a silicon carbide composite having excellent dimensional accuracy and sliding properties.
A porous silicon carbide sintered body formed into a desired shape and sintered with virtually no firing shrinkage, with synthetic resin filled in the open pores to provide excellent dimensional accuracy and sliding properties. The present invention relates to a method for producing a silicon carbide composite.

炭化珪素は一般に極めて優れた化学的および物
理的性質を有しており、メカニカルシールや軸受
け等の耐磨耗材料、酸およびアルカリ等の強い腐
食性を有する溶液のポンプ部品又は水道管のパツ
キン等の耐食材料として広く使用することができ
る材料である。
Silicon carbide generally has extremely excellent chemical and physical properties, and is used as wear-resistant materials such as mechanical seals and bearings, pump parts for highly corrosive solutions such as acids and alkalis, and seals for water pipes. It is a material that can be widely used as a corrosion-resistant material.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

ところで、炭化珪素焼結体は高い硬度を有し、
耐磨耗性に優れているが、自己潤滑性に乏しく、
特にメカニカルシールや軸受け等の磨耗現象を伴
う機械構成部品として使用する上で装置の耐久性
や信頼性に欠ける問題があつた。
By the way, silicon carbide sintered body has high hardness,
Although it has excellent wear resistance, it has poor self-lubricating properties.
In particular, when used as a mechanical component that is subject to abrasion phenomena such as mechanical seals and bearings, there has been a problem that the device lacks durability and reliability.

前述の如き問題を解決する材料として、特開昭
58−161982号公報に「含ふつ素重合体をセラミツ
クスに結合させたセラミツクス複合体」に係る発
明が開示されており、同公報明細書中に炭化珪素
焼結体とフツ素樹脂との複合体が記載されてい
る。
As a material to solve the above-mentioned problems, JP-A-Sho
No. 58-161982 discloses an invention related to a "ceramics composite in which a fluorine-containing polymer is bonded to ceramics," and the specification of the publication discloses a composite of a silicon carbide sintered body and a fluororesin. is listed.

しかしながら、前述の発明には、フツ素樹脂と
の複合化に適した炭化珪素焼結体の特性について
は何ら記載されていない。
However, the above-mentioned invention does not describe any characteristics of the silicon carbide sintered body suitable for compounding with a fluororesin.

〔発明が解決しようとする問題点〕[Problem that the invention seeks to solve]

前述の如き合成樹脂との複合体には多孔質炭化
珪素焼結体が使用される。そして、従来知られて
いる多孔質炭化珪素焼結体の製造方法としては、
一般に再結晶焼結法が知られている。しかしなが
ら、再結晶焼結法は炭化珪素の粗粒と微粒を有機
質バインダーで固め、これを2000〜2400℃の再結
晶化温度域で焼成して微粒の炭化珪素を再結晶化
せしめ結合作用を発揮させることによつて粗粒と
粗粒とを結合する方法であり、2000〜2400℃と極
めて高い焼結温度を必要とするばかりでなく、出
発原料として粗粒を使用するため、表面の面粗度
が大きく、特に高い寸法精度の焼結体を格別の機
械加工を施すことなく製造することは困難であ
る。
A porous silicon carbide sintered body is used for the composite with the synthetic resin as described above. The conventionally known method for producing porous silicon carbide sintered bodies is as follows:
A recrystallization sintering method is generally known. However, in the recrystallization sintering method, coarse and fine silicon carbide particles are solidified with an organic binder, and this is fired at a recrystallization temperature range of 2000 to 2400°C to recrystallize the fine silicon carbide particles and exert a binding effect. This method combines coarse particles by sintering, and not only does it require an extremely high sintering temperature of 2,000 to 2,400°C, but since coarse particles are used as the starting material, the surface roughness is reduced. It is difficult to produce a sintered body with a high degree of dimensional accuracy and particularly high dimensional accuracy without special machining.

上述の如く、従来知られた多孔質炭化珪素焼結
体の製造方法では、高い寸法精度の要求される多
孔質炭化珪素焼結体を格別の機械加工を施すこと
なく安価にかつ容易に製造する方法は知られてい
なかつた。
As described above, in the conventionally known method for manufacturing a porous silicon carbide sintered body, a porous silicon carbide sintered body that requires high dimensional accuracy can be manufactured easily and inexpensively without special machining. The method was unknown.

ところで、本発明者らは前述の如き従来知られ
た焼結方法とは異なる焼結方法、すなわち所望の
形状に成形した生成形体を実質的に焼成収縮を生
じさせることなく焼結し、寸法精度および強度の
要求される製造用炭化珪素焼結体を格別の機械加
工を施すことなく安価に製造することのできる方
法を提供することを目的とし、焼成時に収縮し易
い微細な炭化珪素粉末を出発原料としても、焼結
に伴う焼成収縮を抑制することのできる焼結方法
を開発すべく種々研究を積み重ねた結果、炭化珪
素粉末に含有される不純物成分を制御し、特定の
雰囲気および温度範囲内で焼結することによつて
実質的な焼成収縮を生じさせることなく表面精度
の高い高強度の炭化珪素焼結体を製造することの
できる方法を新規に知見するに至り、先に、特開
昭61−122165号により「平均粒径が5μm以下の
炭化珪素粉末を生成形体に成形した後、前記生成
形体を1700〜2100℃の温度範囲内の非酸化性雰囲
気下で実質的に収縮させることなく焼結すること
を特徴とする7Kg/mm2以上の平均曲げ強度を有す
る炭化珪素焼結体の製造方法」を提案している。
By the way, the present inventors have developed a sintering method different from the conventionally known sintering methods as described above, that is, sintering a green body formed into a desired shape without substantially causing firing shrinkage, and achieving dimensional accuracy. The purpose is to provide a method for manufacturing silicon carbide sintered bodies that require strength and strength at low cost without special machining, starting from fine silicon carbide powder that easily shrinks during firing. As a raw material, as a result of various research efforts to develop a sintering method that can suppress firing shrinkage caused by sintering, we have been able to control the impurity components contained in silicon carbide powder and sinter it within a specific atmosphere and temperature range. We discovered a new method for manufacturing high-strength silicon carbide sintered bodies with high surface precision without causing substantial firing shrinkage by sintering with No. 61-122165 states, "After forming silicon carbide powder with an average particle size of 5 μm or less into a green body, substantially shrinking the green body in a non-oxidizing atmosphere within a temperature range of 1700 to 2100°C. ``A method for producing a silicon carbide sintered body having an average bending strength of 7 Kg/mm 2 or more, which is characterized by sintering without bending.''

しかしながら、前記炭化珪素焼結体は多孔質体
であり、特に耐磨耗性あるいは気密性の要求され
る用途に適用することは困難であつた。
However, the silicon carbide sintered body is a porous body, and it has been difficult to apply it particularly to applications requiring wear resistance or airtightness.

〔問題点を解決するための手段〕[Means for solving problems]

そこで、本発明者らは上述の問題点を解決する
ことを目的とし、前記炭化珪素焼結体についてさ
らに研究を重ねた結果、前記炭化珪素焼結体の開
放気孔中に合成樹脂を充填することにより、寸法
精度および表面精度を損うことなく、摺動特性お
よび気密性を向上させた炭化珪素質複合体を製造
することのできることを新規に知見するに至り、
本発明を完成した。
Therefore, with the aim of solving the above-mentioned problems, the present inventors conducted further research on the silicon carbide sintered body, and found that the open pores of the silicon carbide sintered body were filled with a synthetic resin. As a result, we have discovered that it is possible to manufacture silicon carbide composites with improved sliding properties and airtightness without compromising dimensional accuracy and surface accuracy.
The invention has been completed.

本発明は、実質的に収縮させることなく焼結
し、三次元網目構造の開放気孔を形成させた多孔
質炭化珪素質焼結体の開放気孔の中に合成樹脂が
充填されてなる寸法精度および摺動特性の優れた
炭化珪素質複合体の製造方法である。
The present invention provides dimensional accuracy and accuracy in which a synthetic resin is filled into the open pores of a porous silicon carbide sintered body that is sintered without substantially shrinking and has a three-dimensional network structure of open pores. This is a method for producing a silicon carbide composite with excellent sliding properties.

以下、本発明を詳細に説明する。 The present invention will be explained in detail below.

前記多孔質炭化珪素質焼結体は、実質的に収縮
されることなく焼結させた炭化珪素質焼結体より
なるものであることが必要である。その理由は、
焼結時に収縮させた、炭化珪素質焼結体は強度お
よび耐磨耗性の面では好ましいが、収縮を伴う焼
結法によつて製造される焼結体の寸法は生成形体
の密度および焼結時の収縮量に大きく影響を受け
るため、寸法精度に優れた焼結体を製造するため
には焼結時の収縮を均一に生起させなければなら
ない。ところで、前述の如き収縮を均一に生起さ
せるためには均一な密度を有する生成形体を得る
ことが重要であるが、そのような均一な密度を有
する生成形体を得ることは極めて困難であり、極
めて寸法精度の優れた焼結体を焼成収縮を生起さ
せて製造することが困難であるからである。
The porous silicon carbide sintered body needs to be made of a silicon carbide sintered body that is sintered without being substantially shrunk. The reason is,
A silicon carbide sintered body that is shrunk during sintering is preferable in terms of strength and wear resistance, but the dimensions of a sintered body produced by a sintering method that involves shrinkage depend on the density of the formed body and the sintered body. Since it is greatly affected by the amount of shrinkage during sintering, it is necessary to uniformly cause shrinkage during sintering in order to produce a sintered body with excellent dimensional accuracy. By the way, in order to cause the above-mentioned contraction uniformly, it is important to obtain a formed body having a uniform density, but it is extremely difficult to obtain a formed body having such a uniform density. This is because it is difficult to produce a sintered body with excellent dimensional accuracy by causing firing shrinkage.

なお、前記実質的に収縮させることなく焼結さ
せた炭化珪素質焼結体の焼成収縮率は2%以下で
あることが有利であり、なかでも1%以下である
ことがより好適である。
The sintering shrinkage rate of the silicon carbide sintered body sintered without substantially shrinking is advantageously 2% or less, and more preferably 1% or less.

前記多孔質炭化珪素質焼結体は、結晶の平均粒
径が10μm以下、開放気孔率が18〜56容積%であ
ることが好ましい。前記結晶の平均粒径が10μm
以下であることが好ましい理由は、前記結晶の平
均粒径が10μmよりも大きいと焼結体表面の面粗
度が大きく寸法精度が劣化するからである。また
前記開放気孔率が18〜56容積%であることが好ま
しい理由は、前記開放気孔率が18容積%よりも低
いと合成樹脂を充填することが困難であるからで
あり、一方56容積%よりも高いと多孔質炭化珪素
質焼結体の強度が低く粒越が脱離し易いからであ
る。
The porous silicon carbide sintered body preferably has an average crystal grain size of 10 μm or less and an open porosity of 18 to 56% by volume. The average grain size of the crystals is 10 μm
The reason why the average grain size of the crystals is preferably less than 10 μm is because the surface roughness of the sintered body becomes large and the dimensional accuracy deteriorates. The reason why the open porosity is preferably 18 to 56% by volume is that if the open porosity is lower than 18% by volume, it is difficult to fill the synthetic resin. This is because if the amount is too high, the strength of the porous silicon carbide sintered body will be low and grains will easily separate.

前記多孔質炭化珪素質焼結体は、寸法精度の優
れていることが必要であり、平均アスペクト比が
5以下の炭化珪素結晶によつて構成される三次元
網目構造を有する炭化珪素質焼結体よりなるもの
であることが好ましい。
The porous silicon carbide sintered body needs to have excellent dimensional accuracy, and is a silicon carbide sintered body having a three-dimensional network structure composed of silicon carbide crystals with an average aspect ratio of 5 or less. Preferably, it consists of a body.

本発明において使用する合成樹脂としては、ア
セタール樹脂、ナイロン樹脂、ポリエチレン樹
脂、ポリカーボネート樹脂、ポリブチレンテレフ
タレート樹脂、スチレンアクリロニトリル樹脂、
ポリプロピレン樹脂、ポリウレタン樹脂、ポリフ
エニレンサルフアイド樹脂、エポキシ樹脂、シリ
コン樹脂およびフツ素樹脂から選択される樹脂を
単独あるいは混合して使用することができ、なか
でもアセタール樹脂、ナイロン樹脂、ポリエチレ
ン樹脂、ポリブチレンテレフタレート樹脂および
フツ素樹脂は自己潤滑性に優れており、摺動特性
を著しく向上させることができる。
The synthetic resins used in the present invention include acetal resin, nylon resin, polyethylene resin, polycarbonate resin, polybutylene terephthalate resin, styrene acrylonitrile resin,
Resins selected from polypropylene resins, polyurethane resins, polyphenylene sulfide resins, epoxy resins, silicone resins, and fluororesins can be used alone or in combination, and among them, acetal resins, nylon resins, polyethylene resins, Polybutylene terephthalate resin and fluororesin have excellent self-lubricating properties and can significantly improve sliding properties.

本発明により得られる炭化珪素質複合体は、前
記多孔質炭化珪素質焼結体の開放気孔100容積部
に対し、合成樹脂を少なくとも10容積部充填され
たものであることが好ましい。その理由は、合成
樹脂の充填量が10容積部より少ないと炭化珪素質
焼結体からの結晶粒の脱離を防止する効果が充分
でなく、摺動特性を向上させることが困難である
からである。
The silicon carbide composite obtained by the present invention is preferably one in which at least 10 parts by volume of the synthetic resin is filled with respect to 100 parts by volume of the open pores of the porous silicon carbide sintered body. The reason for this is that if the filling amount of the synthetic resin is less than 10 parts by volume, the effect of preventing the detachment of crystal grains from the silicon carbide sintered body will not be sufficient, and it will be difficult to improve the sliding properties. It is.

次に本発明の寸法精度および摺動特性の優れた
炭化珪素質複合体の製造方法について説明する。
Next, a method of manufacturing a silicon carbide composite having excellent dimensional accuracy and sliding properties according to the present invention will be explained.

本発明によれば、平均粒径が5μm以下の炭化
珪素粉末を生成形体に成形した後、前記生成形体
を1700〜2100℃の温度範囲内で実質的に収縮させ
ることなく焼結して三次元網目構造の開放気孔を
有する多孔質炭化珪素質焼結体を製造し、次い
で、前記開放気孔内に合成樹脂を充填する方法に
よつて寸法精度および摺動特性の優れた炭化珪素
質複合体を製造することができる。
According to the present invention, silicon carbide powder having an average particle size of 5 μm or less is molded into a green body, and then the green body is sintered within a temperature range of 1700 to 2100°C without substantially shrinking to form a three-dimensional A silicon carbide composite with excellent dimensional accuracy and sliding properties is produced by producing a porous silicon carbide sintered body having open pores in a network structure, and then filling the open pores with a synthetic resin. can be manufactured.

前記平均粒径が5μm以下の炭化珪素粉末を使
用する理由は、5μmより大きい粒度の炭化珪素
は焼成収縮を抑制する上では好ましいが、焼結体
内の粒と粒との結合箇所が少なくなるため、高強
度の炭化珪素焼結体を得ることが困難になるばか
りでなく、表面の面粗度を劣化させるからであ
る。
The reason why silicon carbide powder with an average particle size of 5 μm or less is used is that silicon carbide with a particle size larger than 5 μm is preferable for suppressing firing shrinkage, but it reduces the number of bonding points between grains in the sintered body. This is because not only is it difficult to obtain a high-strength silicon carbide sintered body, but also the surface roughness is deteriorated.

ところで、前記炭化珪素の結晶系にはα型、β
型および非晶質のものがあるが、その何れか、お
よびそれらの混合物をも使用することができ、な
かでもβ型のものは5μm以下のものを微粉末状
で取得し易く、しかも比較的高強度の焼結体を製
造することができるため有利に使用することがで
き、なかでもβ型炭化珪素を50重量%以上含有す
る炭化珪素粉末を使用することが有利である。
By the way, the crystal system of silicon carbide has α type and β type.
There are two types: type and amorphous, and any of them or a mixture thereof can be used. Among them, β type is easy to obtain in fine powder form with a diameter of 5 μm or less, and is relatively easy to obtain. It can be advantageously used because a high-strength sintered body can be produced, and in particular, it is advantageous to use silicon carbide powder containing 50% by weight or more of β-type silicon carbide.

前記炭化珪素粉末は、ホウ素、アルミニウムお
よび鉄の含有量の合計が元素に換算して0.3重量
%以下であることが有利である。その理由は、前
記ホウ素、アルミニウムおよび鉄の含有量の合計
が元素に換算して0.3重量%より多いと、炭化珪
素粉末中に含有されている遊離炭素との相互作用
によつて焼結時に焼成収縮し易く、実質的な収縮
を生じさせることなく焼結体を製造することが困
難になるからである。
Advantageously, the silicon carbide powder has a total content of boron, aluminum and iron of 0.3% by weight or less in terms of elements. The reason for this is that if the total content of boron, aluminum and iron is more than 0.3% by weight in terms of elements, sintering will occur during sintering due to interaction with free carbon contained in silicon carbide powder. This is because it tends to shrink, making it difficult to manufacture a sintered body without causing substantial shrinkage.

なお、前記炭化珪素粉末にホウ素、アルミニウ
ムおよび鉄の含有量が上記範囲内である場合に
は、出発原料中に5重量%以下の遊離炭素を含有
させるべく炭素質物質を添加することができる。
前記遊離炭素は結晶粒の粗大化を抑制する作用を
有しており、出発原料中に存在させることによ
り、焼結体の結晶粒径を均一化し比較的高強度の
焼結体を得ることができる。前記遊離炭素の含有
量を5重量%以下とする理由は、5重量%よりも
多いと炭化珪素粉末粒子間に過剰の炭素が存在す
ることになり、粒と粒との結合を著しく阻害する
ため、焼結体の強度が劣化するからである。
In addition, when the content of boron, aluminum, and iron in the silicon carbide powder is within the above range, a carbonaceous substance can be added to make the starting material contain 5% by weight or less of free carbon.
The free carbon has the effect of suppressing the coarsening of crystal grains, and by making it present in the starting raw material, it is possible to make the crystal grain size of the sintered body uniform and obtain a sintered body with relatively high strength. can. The reason why the free carbon content is set to 5% by weight or less is that if it is more than 5% by weight, excessive carbon will exist between the silicon carbide powder particles, which will significantly inhibit the bonding between the particles. This is because the strength of the sintered body deteriorates.

前記炭素質物質としては、焼結開始時に炭素を
存在させられるものであればよく、例えばフエノ
ール樹脂、リグニンスルホン酸塩、ポリビニルア
ルコール、コンスターチ、糖類、コールタールピ
ツチ、アルギン酸塩のような各種有機物質あるい
はカーボンブラツク、アセチレンブラツクのよう
な熱分解炭素を有利に使用することができる。
The carbonaceous material may be any material that allows carbon to be present at the start of sintering, such as various organic materials such as phenolic resin, lignin sulfonate, polyvinyl alcohol, cornstarch, sugar, coal tar pitch, and alginate. Alternatively, pyrolytic carbon such as carbon black or acetylene black can be advantageously used.

前記炭化珪素粉末は、前記ホウ素、アルミニウ
ムおよび鉄の含有量の合計が元素に換算して0.3
重量%を越える場合には炭素質物質および遊離炭
素の含有量が固定炭素量に換算して0.6重量%以
下であることが有利である。その理由は、ホウ
素、アルミニウムおよび鉄の含有量の合計が元素
に換算して0.3重量%を越える場合に、炭素質物
質および遊離炭素の含有量が固定炭素量に換算し
て0.6重量%よりも多いと、先にも説明した如く、
前記ホウ素、アルミニウムあるいは鉄と炭素との
相互作用によつて焼結時に焼成収縮し易く、実質
的な収縮を生じさせることなく焼結体を得ること
が困難になるからである。また、前記ホウ素、ア
ルミニウムおよび鉄の含有量が余り多いと焼結体
の物性を劣化させるため、なるべく少ないことが
望ましく、その含有量の合計は元素に換算して2
重量%以下であることが有利である。
The silicon carbide powder has a total content of boron, aluminum, and iron of 0.3 in terms of elements.
When the content exceeds 0.6% by weight, it is advantageous that the content of carbonaceous substances and free carbon is 0.6% by weight or less in terms of fixed carbon content. The reason is that when the total content of boron, aluminum and iron exceeds 0.3% by weight in terms of elements, the content of carbonaceous substances and free carbon exceeds 0.6% by weight in terms of fixed carbon content. As I explained earlier, if there are many,
This is because the interaction between boron, aluminum, or iron and carbon tends to cause sintering shrinkage during sintering, making it difficult to obtain a sintered body without substantial shrinkage. In addition, if the contents of boron, aluminum, and iron are too large, they will deteriorate the physical properties of the sintered body, so it is desirable that the contents be as low as possible, and the total content should be 2
% by weight or less.

前記生成形体は1700〜2100℃の温度範囲内で焼
成される。その理由は前記温度が1700℃より低い
と粒と粒とを結合するネツクを充分に発達させる
ことが困難で、高い強度を有する焼結体を得るこ
とができず、一方2100℃より高いと一旦成長した
ネツクのうち一定の大きさよりも小さなネツクが
くびれた形状となつたり、著しい場合には消失し
たりして、むしろ強度が低くなるし、また一部の
粒子が粗大化するため表面の面粗度が劣化するか
らである。
The resulting body is fired within a temperature range of 1700-2100°C. The reason for this is that if the temperature is lower than 1700°C, it is difficult to sufficiently develop the bonds that connect the grains, making it impossible to obtain a sintered body with high strength, whereas if the temperature is higher than 2100°C, once the Among the nets that have grown, those that are smaller than a certain size become constricted or, in severe cases, disappear, resulting in a decrease in strength, and some particles become coarser, causing the surface to become rougher. This is because the roughness deteriorates.

前記生成形体は非酸化性雰囲気中で実質的に収
縮させることなく焼成される。その理由は、焼結
時における収縮は焼結体の強度を向上させる上で
は好ましいが、一般的には焼結時の収縮量は生成
形体の密度に大きく影響するため、均一な収縮を
生成させるためには均一な密度を有する生成形体
を得ることが重要である、しかし、そのような均
一な密度を有する生成形体を得ることは極めて困
難であるため、極めて寸法精度の高い焼結体を焼
成収縮を生起させて製造することが困難であるか
らである。
The resulting shaped body is fired in a non-oxidizing atmosphere without substantial shrinkage. The reason for this is that shrinkage during sintering is preferable for improving the strength of the sintered body, but generally speaking, the amount of shrinkage during sintering has a large effect on the density of the formed body, so it is necessary to generate uniform shrinkage. In order to achieve this, it is important to obtain a green body with a uniform density. However, it is extremely difficult to obtain a green body with such a uniform density, so it is necessary to sinter a sintered body with extremely high dimensional accuracy. This is because it is difficult to manufacture by causing shrinkage.

なお、前述の如き寸法精度の高い焼結体を得る
上で実質的に収縮させることなく焼結する際の焼
成収縮率は2%以下であることが好ましく、なか
でも、1%以下であることがより好適である。
In addition, in order to obtain a sintered body with high dimensional accuracy as described above, the firing shrinkage rate when sintering without substantially shrinking is preferably 2% or less, particularly 1% or less. is more suitable.

また、前記生成形体は1700〜2100℃の温度範囲
内において少なくとも10分間雰囲気中のCOある
いはN2の少なくともいずれかのガス分圧が100Pa
以上に維持された雰囲気中で焼成されることが有
利である。その理由は、前記温度範囲内において
少なくとも10分間雰囲気中のCOあるいはN2の少
なくともいずれかのガス分圧を100Pa以上にする
ことによつて、ネツクの成長を促進させ、かつ炭
化珪素の焼結時における焼成収縮を効果的に抑制
することができるからである。
In addition, the formed body has a gas partial pressure of at least one of CO or N 2 in the atmosphere of 100 Pa for at least 10 minutes within a temperature range of 1700 to 2100°C.
It is advantageous that the firing is carried out in an atmosphere maintained above. The reason for this is that by increasing the partial pressure of at least one of CO or N2 in the atmosphere to 100 Pa or higher for at least 10 minutes within the above temperature range, the growth of the nets can be promoted and the sintering of silicon carbide can be accelerated. This is because shrinkage during firing can be effectively suppressed.

本発明によれば、前記生成形体を焼成雰囲気を
制御することのできる耐熱性容器内に装入し、焼
成することが有利である。このようにして耐熱性
の容器内に装入して焼成雰囲気を制御しつつ焼成
することが有利である理由は、隣接する炭化珪素
結晶同志の結合およびネツクの成長を促進させる
ことができるからである。前述の如く耐熱性の容
器内に生成形体を装入して焼成雰囲気を制御しつ
つ焼成することによつて隣接する炭化珪素結晶同
志の結合およびネツクの成長を促進させることが
できる理由は、炭化珪素粒子間における炭化珪素
の蒸発−再凝縮および/または表面拡散による移
動を促進することができるためと考えられる。
According to the present invention, it is advantageous to charge the green body into a heat-resistant container in which the firing atmosphere can be controlled and fire it. The reason why it is advantageous to charge the silicon carbide in a heat-resistant container and fire it while controlling the firing atmosphere is because it can promote the bonding between adjacent silicon carbide crystals and the growth of nets. be. The reason why bonding between adjacent silicon carbide crystals and the growth of nets can be promoted by charging the formed body into a heat-resistant container and firing while controlling the firing atmosphere as described above is because the carbonization This is thought to be because movement of silicon carbide between silicon particles by evaporation-recondensation and/or surface diffusion can be promoted.

前記耐熱性容器としては、黒鉛や炭化珪素など
の材質およびこれらと同等の機能を有するものを
有利に使用することができる。
As the heat-resistant container, materials such as graphite and silicon carbide, and materials having functions equivalent to these materials can be advantageously used.

また、前記生成形体を焼成雰囲気を制御するこ
とのできる耐熱性容器中に装入して焼成すること
により、焼成時における炭化珪素の揮散率を5重
量%以下に制御することが有利である。
Furthermore, it is advantageous to control the volatilization rate of silicon carbide to 5% by weight or less during firing by charging the formed body into a heat-resistant container in which the firing atmosphere can be controlled and firing it.

前記生成形体は45〜80容積%の密度を有するも
のであることが有利である。その理由は、前記生
成形体の密度が45容積%より低いと炭化珪素粒子
相互の接触点が少ないため、必然的に結合箇所が
少なく高強度の焼結体を得ることが困難であるか
らであり、一方80容量%より高い生成形体は製造
することが困難であるからである。
Advantageously, the product form has a density of 45 to 80% by volume. The reason for this is that if the density of the formed body is lower than 45% by volume, there will be fewer points of contact between the silicon carbide particles, which will inevitably result in fewer bonding points, making it difficult to obtain a high-strength sintered body. , on the other hand, because formed forms with higher than 80 volume % are difficult to manufacture.

また、前記1700℃に至るまでの昇温過程のうち
1500℃以上で少なくとも30分間雰囲気中のCOお
よびN2のガス分圧の合計を100Pa以下に維持する
ことにより、炭化珪素の粒子と粒子との間のネツ
クを均一に生成させて強固に接合することができ
る。
Also, in the temperature increase process up to 1700℃ mentioned above,
By maintaining the total gas partial pressure of CO and N2 in the atmosphere at 100Pa or less at 1500℃ or higher for at least 30 minutes, the nets between silicon carbide particles are uniformly generated and bonded firmly. be able to.

本発明によれば、多孔質炭化珪素質焼結体の開
放気孔内に合成樹脂を充填する。その理由は、多
孔質珪素質焼結体の開放気孔内に合成樹脂を充填
することによつて、多孔質炭化珪素質焼結体から
の結晶粒の脱離を防止することができ、摺動特性
を著しく向上させることができるからである。
According to the present invention, the open pores of the porous silicon carbide sintered body are filled with a synthetic resin. The reason for this is that by filling the open pores of the porous silicon carbide sintered body with synthetic resin, detachment of crystal grains from the porous silicon carbide sintered body can be prevented, and sliding This is because the characteristics can be significantly improved.

前記合成樹脂を多孔質体の気孔中へ充填する方
法としては、樹脂を加熱して溶融させて含浸する
方法、樹脂を溶剤に溶解させて含浸する方法、樹
脂をモノマー状態で含浸した後ポリマーに転化す
る方法あるいは、微粒化した樹脂を分散媒液中に
分散し、この分散液を多孔質体に含浸し、乾燥し
た後、樹脂の溶融温度で樹脂を焼きつける方法が
適用できる。
Methods for filling the synthetic resin into the pores of the porous body include heating the resin to melt it and impregnating it, dissolving the resin in a solvent and impregnating it, and impregnating the resin in a monomer state and then turning it into a polymer. Alternatively, a method of dispersing a finely divided resin in a dispersion medium, impregnating a porous body with this dispersion, drying, and then baking the resin at the melting temperature of the resin can be applied.

本発明によれば、前記合成樹脂を前記多孔質炭
化珪素質焼結体の開放気孔100容積部に対し、少
なくとも10容積部充填することが有利である。そ
の理由は、合成樹脂の充填量が10容積部より少な
いと炭化珪素質焼結体からの結晶粒子の脱離を防
止する効果が充分でなく、耐摩耗性を向上させる
ことが困難であるからである。
According to the present invention, it is advantageous to fill at least 10 parts by volume of the synthetic resin into 100 parts by volume of open pores of the porous silicon carbide sintered body. The reason for this is that if the amount of synthetic resin filled is less than 10 parts by volume, the effect of preventing the detachment of crystal particles from the silicon carbide sintered body is insufficient, and it is difficult to improve wear resistance. It is.

次に本発明を実施例および比較例について説明
する。
Next, the present invention will be explained with reference to Examples and Comparative Examples.

実施例 1 出発原料として使用した炭化珪素粉末は94.6重
量%がβ型結晶で残部が実質的に2H型結晶より
なり、0.29重量%の遊離炭素、0.17重量%の酸
素、0.03重量%の鉄、0.03重量%のアルミニウム
を主として含有し、0.28μmの平均粒径を有して
おり、ホウ素は検出されなかつた。
Example 1 The silicon carbide powder used as a starting material consisted of 94.6% by weight of β-type crystals and the remainder substantially of 2H-type crystals, and contained 0.29% by weight of free carbon, 0.17% by weight of oxygen, 0.03% by weight of iron, It mainly contained 0.03% by weight of aluminum, had an average particle size of 0.28 μm, and no boron was detected.

前記炭化珪素粉末100重量部に対し、ポリビニ
ルアルコール5重量部、水300重量部を配合し、
ボールミル中で5時間混合した後乾燥した。
5 parts by weight of polyvinyl alcohol and 300 parts by weight of water are blended with 100 parts by weight of the silicon carbide powder,
The mixture was mixed in a ball mill for 5 hours and then dried.

この乾燥混合物を適量採取し、顆粒化した後金
属製押し型を用いて3000Kg/cm2の圧力で成形し
た。この生成形体の寸法は250mm×250mm×30mm
で、密度は2.0g/cm3(62容積%)であつた。
An appropriate amount of this dry mixture was taken, granulated, and then molded using a metal mold at a pressure of 3000 kg/cm 2 . The dimensions of this generated feature are 250mm x 250mm x 30mm
The density was 2.0 g/cm 3 (62% by volume).

前記生成形体を黒鉛製ルツボに装入し、タンマ
ン型焼成炉を使用して1気圧の主としてアルゴン
ガス雰囲気中で焼成した。昇温過程は450℃/時
間で2000℃まで昇温し、最高温度2000℃で10分間
保持した。焼結中のCOガス分圧は常温〜1700℃
が80Pa以下、1700℃よりも高温域では300±50Pa
の範囲内となるようにアルゴンガス流量を適宜調
整して制御した。
The formed body was placed in a graphite crucible and fired in a Tammann type firing furnace in an atmosphere of mainly argon gas at 1 atm. The temperature was raised to 2000°C at a rate of 450°C/hour and held at the maximum temperature of 2000°C for 10 minutes. CO gas partial pressure during sintering ranges from room temperature to 1700℃
is 80Pa or less, 300±50Pa at higher temperatures than 1700℃
The argon gas flow rate was appropriately adjusted and controlled so that it was within the range of .

得られた焼結体の密度は2.05g/cm3、開放気孔
率は36容積%で、その結晶構造は走査型電子顕微
鏡によつて観察したところ、平均アスペクト比が
2.5の炭化珪素板状結晶が多方向に複雑に絡み合
つた三次元構造を有しており、生成形体に対する
線収縮率はいずれの方向に対しても0.25±0.02%
の範囲内で、焼結体の寸法精度は±0.05mm以内で
あつた。また、この焼結体の平均曲げ強度は18.5
Kg/mm2と極めて高い値を示した。
The density of the obtained sintered body was 2.05 g/cm 3 , the open porosity was 36% by volume, and the crystal structure was observed with a scanning electron microscope, and the average aspect ratio was
It has a three-dimensional structure in which 2.5 silicon carbide plate crystals are intricately intertwined in multiple directions, and the linear shrinkage rate of the formed shape is 0.25 ± 0.02% in any direction.
Within the range of , the dimensional accuracy of the sintered body was within ±0.05 mm. Also, the average bending strength of this sintered body is 18.5
It showed an extremely high value of Kg/mm 2 .

この焼結体を外径が30mm、内径が15mm、厚さが
5mmのリング状に加工した後、平均粒径が0.26μ
mのポリテトラフルオロエチレン微粒子を60重量
%分散させた懸濁水に真空下で浸漬し含浸させた
後、380〜400℃の温度で焼着し、複合体を得た。
この複合体中に充填されたポリテトラフルオロエ
チレンは0.85gであり、焼結体の空隙に占める割
合は50.1容積%であつた。
After processing this sintered body into a ring shape with an outer diameter of 30 mm, an inner diameter of 15 mm, and a thickness of 5 mm, the average grain size was 0.26μ.
The composite was impregnated by immersing it in suspension water in which 60% by weight of polytetrafluoroethylene fine particles (m) were dispersed under vacuum, and then baked at a temperature of 380 to 400°C to obtain a composite.
The amount of polytetrafluoroethylene filled in this composite was 0.85 g, and its proportion in the voids of the sintered body was 50.1% by volume.

この複合体のステンレス鋼(SUS304)に対す
る乾式摺動試験を500mm/secの摺動速度で摺動さ
せるリングオンリング法で10Kgf/cm2の端面荷重
を負荷して行つたところ、摩擦係数は0.15〜
0.22、摩耗係数は3.1×10-4mm/Km・(Kgf/cm2
であり、極めて優れた摺動特性を有していること
が認められた。
When this composite was subjected to a dry sliding test on stainless steel (SUS304) using the ring-on-ring method in which the composite was slid at a sliding speed of 500 mm/sec and an end face load of 10 Kgf/cm 2 was applied, the friction coefficient was 0.15. ~
0.22, wear coefficient is 3.1×10 -4 mm/Km・(Kgf/cm 2 )
It was recognized that the material had extremely excellent sliding properties.

なお、前記摩耗係数(K)は下記関数式によつて求
められる値である。
Note that the wear coefficient (K) is a value determined by the following functional formula.

K=h/PVT K:摩耗係数(mm/Km・(Kgf/cm2)) h:摩耗深さ(mm) T:摺動時間(sec)、 P:端面荷重(Kgf/cm2) V:摺動速度(Km/sec) 比較例 1 実施例1と同様であるが、ポリテトラフルオロ
エチレンを複合化せずに摺動試験を行つたとこ
ろ、摩擦係数は0.5〜0.7、摩耗係数は2.3×10-1
(mm/Km・(Kgf/cm2)であつた。
K=h/PVT K: Wear coefficient (mm/Km・(Kgf/cm 2 )) h: Wear depth (mm) T: Sliding time (sec) P: End face load (Kgf/cm 2 ) V: Sliding speed (Km/sec) Comparative example 1 A sliding test was performed in the same manner as in Example 1, but without compounding polytetrafluoroethylene, and the friction coefficient was 0.5 to 0.7, and the wear coefficient was 2.3 × 10-1
(mm/Km・(Kgf/cm 2 )).

実施例 2 実施例1と同様であるが、成形圧を40Kg/cm2
変えて焼結体を得た。
Example 2 A sintered body was obtained in the same manner as in Example 1, except that the molding pressure was changed to 40 Kg/cm 2 .

得られた焼結体の密度は1.76g/cm3、開放気孔
率は55容積%であり、生成形体に対する線収縮率
はいずれの方向に対しても0.36±0.03%の範囲内
で、焼結体の寸法精度は±0.08mm以内であつた。
また、この焼結体の平均曲げ強度は720Kg/mm2
極めて高強度であつた。
The density of the obtained sintered body was 1.76g/cm 3 , the open porosity was 55% by volume, and the linear shrinkage of the formed body was within the range of 0.36±0.03% in any direction. The dimensional accuracy of the body was within ±0.08 mm.
Furthermore, the average bending strength of this sintered body was extremely high at 720 Kg/mm 2 .

次いでこの焼結体を外径が30mm、内径が15mm、
厚さが5mmのリング状に加工した後、加熱溶融し
たポリアセタール樹脂を含浸して複合体を製造し
た。この複合体中に充填されたポリアセタール樹
脂の焼結体の空隙に占める割合は98容積%であつ
た。
Next, this sintered body has an outer diameter of 30 mm, an inner diameter of 15 mm,
After processing it into a ring shape with a thickness of 5 mm, it was impregnated with heated and melted polyacetal resin to produce a composite. The proportion of the polyacetal resin filled in this composite in the voids of the sintered body was 98% by volume.

この複合体を実施例1と同様の方法で摺動特性
を測定したところ、摩擦係数は0.18〜0.25、摩耗
係数は6.2×10-4mm/Km・(Kgf/cm2)であり、優
れた摺動特性を有していることが認められた。
When the sliding properties of this composite were measured in the same manner as in Example 1, the friction coefficient was 0.18 to 0.25, and the wear coefficient was 6.2×10 -4 mm/Km・(Kgf/cm 2 ), which was excellent. It was recognized that the material had sliding properties.

実施例 3 実施例1と同様であるが、ナイロン樹脂、ポリ
カーボネート樹脂、ポリブチレンテレフタレート
樹脂およびエポキシ樹脂をそれぞれ加熱溶融して
多孔質体に含浸して複合体を得た。
Example 3 In the same manner as in Example 1, a composite was obtained by heating and melting a nylon resin, a polycarbonate resin, a polybutylene terephthalate resin, and an epoxy resin and impregnating them into a porous body.

得られた複合体はいずれも優れた摺動特性を有
していることが認められた。
It was found that all of the obtained composites had excellent sliding properties.

実施例 4 実施例1と同様であるが、ポリエチレン樹脂、
スチレンアクリロニトリル樹脂、ポリフエニレン
サルフアイド樹脂、およびシリコン樹脂をベンゼ
ンに溶解させて多孔質体に含浸して複合体を得
た。
Example 4 Same as Example 1, but using polyethylene resin,
A styrene acrylonitrile resin, a polyphenylene sulfide resin, and a silicone resin were dissolved in benzene and impregnated into a porous body to obtain a composite.

得られた複合体はいずれも優れた摺動特性を有
していることが認められた。
It was found that all of the obtained composites had excellent sliding properties.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

以上述べた如く、本発明により得られた炭化珪
素質複合体は寸法精度および摺動特性に極めて優
れており、メカニカルシールや軸受け等の如き寸
法精度の要求される耐摩耗部品を格別の機械加工
を施すことなく製造することができ産業上極めて
有用である。
As mentioned above, the silicon carbide composite obtained by the present invention has extremely excellent dimensional accuracy and sliding properties, and is suitable for special machining of wear-resistant parts that require dimensional accuracy such as mechanical seals and bearings. It is extremely useful industrially as it can be manufactured without any additional treatment.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1 平均粒径が5μm以下の炭化珪素粉末を生成
形体に成形した後、1700〜2100℃の温度範囲内
で、少なくとも10分間雰囲気中のCOあるいはN2
の少なくともいずれかのガス分圧が100Pa以上に
維持された雰囲気中で実質的に収縮させることな
く焼結して三次元網目構造の開放気孔を有する多
孔質焼結体を製造し、次いで前記開放気孔内に合
成樹脂を充填することを特徴とする寸法精度およ
び摺動特性の優れた炭化珪素質複合体の製造方
法。 2 前記炭化珪素粉末は、ホウ素、アルミニウム
および鉄の含有量の合計が元素に換算して0.3重
量%以下である特許請求の範囲第1項記載の製造
方法。 3 前記炭化珪素粉末は、ホウ素、アルミニウム
および鉄の含有量の合計が元素に換算して0.3重
量%を越え、2.0重量%以下であり、炭素質物質
の含有量が固定炭素含有量に換算して0.6重量%
以下である特許請求の範囲第1項記載の製造方
法。 4 前記多孔質炭化珪素質焼結体の焼結に伴う収
縮率は2%以下とする特許請求の範囲第1〜3項
のいずれか1項に記載の製造方法。 5 前記合成樹脂を前記多孔質炭化珪素質焼結体
の開放気孔100容積部に対し、少なくとも10容積
部充填する特許請求の範囲第1〜4項のいずれか
1項に記載の製造方法。
[Claims] 1. After molding silicon carbide powder with an average particle size of 5 μm or less into a green body, CO or N 2 in the atmosphere is heated for at least 10 minutes within a temperature range of 1700 to 2100°C.
A porous sintered body having open pores with a three-dimensional network structure is produced by sintering without substantially shrinking in an atmosphere in which the partial pressure of at least one of the gases is maintained at 100 Pa or more, and then the open pores are sintered without substantially shrinking. A method for producing a silicon carbide composite with excellent dimensional accuracy and sliding properties, characterized by filling pores with a synthetic resin. 2. The manufacturing method according to claim 1, wherein the silicon carbide powder has a total content of boron, aluminum, and iron of 0.3% by weight or less in terms of elements. 3 The silicon carbide powder has a total content of boron, aluminum, and iron exceeding 0.3% by weight and 2.0% by weight or less in terms of elements, and a content of carbonaceous substances in terms of fixed carbon content. 0.6% by weight
The manufacturing method according to claim 1, which is as follows. 4. The manufacturing method according to any one of claims 1 to 3, wherein the porous silicon carbide sintered body has a shrinkage rate of 2% or less during sintering. 5. The manufacturing method according to any one of claims 1 to 4, wherein at least 10 parts by volume of the synthetic resin are filled into 100 parts by volume of open pores of the porous silicon carbide sintered body.
JP60013049A 1985-01-26 1985-01-26 Silicon carbide base composite body with high size precisionand sliding properties and manufacture Granted JPS61174182A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP60013049A JPS61174182A (en) 1985-01-26 1985-01-26 Silicon carbide base composite body with high size precisionand sliding properties and manufacture

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP60013049A JPS61174182A (en) 1985-01-26 1985-01-26 Silicon carbide base composite body with high size precisionand sliding properties and manufacture

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS61174182A JPS61174182A (en) 1986-08-05
JPH034511B2 true JPH034511B2 (en) 1991-01-23

Family

ID=11822263

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP60013049A Granted JPS61174182A (en) 1985-01-26 1985-01-26 Silicon carbide base composite body with high size precisionand sliding properties and manufacture

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS61174182A (en)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63147881A (en) * 1986-12-12 1988-06-20 宇部興産株式会社 Silicon carbide-organic high polymer composite material
JPS63147880A (en) * 1986-12-12 1988-06-20 宇部興産株式会社 Silicon carbide-carbon composite material
JP2665773B2 (en) * 1988-07-29 1997-10-22 イビデン株式会社 Manufacturing method of sliding material
KR100239940B1 (en) * 1997-10-07 2000-02-01 한종웅 method for manufacturing refractories material having SiC
JP2010235387A (en) * 2009-03-31 2010-10-21 Ngk Insulators Ltd Silicon carbide material and method of manufacturing the same
WO2021251020A1 (en) * 2020-06-10 2021-12-16 東亞合成株式会社 Ceramic/resin composite material, and manufacturing method and usage for same

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5466911A (en) * 1977-11-08 1979-05-29 Hitachi Chemical Co Ltd Cone material for stepless speed change device
JPS55136189A (en) * 1979-04-11 1980-10-23 Ngk Spark Plug Co Synthetic resin silicon nitride complex body and its manufacture
JPS6158861A (en) * 1984-08-27 1986-03-26 イ−グル工業株式会社 Silicon carbide material and manufacture

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5466911A (en) * 1977-11-08 1979-05-29 Hitachi Chemical Co Ltd Cone material for stepless speed change device
JPS55136189A (en) * 1979-04-11 1980-10-23 Ngk Spark Plug Co Synthetic resin silicon nitride complex body and its manufacture
JPS6158861A (en) * 1984-08-27 1986-03-26 イ−グル工業株式会社 Silicon carbide material and manufacture

Also Published As

Publication number Publication date
JPS61174182A (en) 1986-08-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4692418A (en) Sintered silicon carbide/carbon composite ceramic body having fine microstructure
US4777152A (en) Porous silicon carbide sinter and its production
US20070032371A1 (en) Silicon carbide based, porous structural material being heat-resistant and super-lightweight
US4753903A (en) Silicon carbide sintered body and a manufacturing method therefor
US4571414A (en) Thermoplastic molding of ceramic powder
US4551496A (en) Thermoplastic molding of sinterable silicon carbide
JPH01172290A (en) Heat resistant complex body and production thereof
US20060269683A1 (en) Silicon carbide-based, porous, lightweight, heat-resistant structural material and manufacturing method therefor
EP1284251B1 (en) Silicon carbide-based, porous, lightweight, heat-resistant structural material and manufacturing method therefor
US4530808A (en) Binder removal from thermoplastically formed SiC article
JPH034511B2 (en)
JPH0229637B2 (en)
EP0178753B1 (en) Process for producing a sintered silicon carbide/carbon composite ceramic body having ultrafine grain microstructure
JPH0513116B2 (en)
US5071685A (en) Ceramic articles, methods and apparatus for their manufacture
JPH0157075B2 (en)
JPS61143686A (en) Silicon carbide sintered body for heat-resistant jig having excellent dimensional accuracy
JPH034514B2 (en)
JPH0518790B2 (en)
JPH04293998A (en) Sliding member
JPS62138377A (en) Silicon carbide base composite material
JPH0228548B2 (en)
JPS62148384A (en) Silicon carbide base composite material
JP3966911B2 (en) In-furnace members and jigs
JPS61251586A (en) Sliding material of ceramic composite body

Legal Events

Date Code Title Description
R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

EXPY Cancellation because of completion of term