JPS6157866A - 半導体装置測定システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は、半導体装置測定システムに関する。

〔発明め技術的背景〕

従来、所謂ＥＰ−ＲＯＭと称せられる半導体装置へのデ
ータの書込み及び書込んだデータの確認試験は１手作業
で行われていた。すなわち。

第２図に示すようなスティックＩＶＣ収容された半導体
装置２　（ＦｉＰ−ＲＯＭ）を−個づつ取り出し、これ
を第３図に示すような特性測定器３のソケット４に手作
業で挿入して特性試験を行うものである。測定終了後に
は、特性測定器３の表示結果ｒｃ軛い、データ書込みの
良品、不良品に分けて収納していた。

〔背景技術の問題点〕

このような従来の手作業によって半導体装置の特性試験
を行うものでは１次のような問題があった。

■　半導体装置２をソケット４に挿入したり。

ソケット４から抜く時にリードの足面がりが発生し１品
質を低下する。

■　半導体装置２ｔ−逆向きの状態でソケット４に挿入
してブータラ書き込むと、半導体装置２が破損する。

■　半導体装置２を手で扱うため、八本の静電気による
破損が起きる。

■　人為的な誤作業により、良品、不良品を試験結果通
りに分けて収納しない事態が起き。

良品中に不良品が混入する。

■　半導体装置２の挿入、引き抜きには熟練を要し、測
定作業に必要な時間が長い。

〔発明の目的〕

本発明は、製品の品質同上及び省人効果の達成を図った
半導体装置測定システムを提供することをその目的とす
るものである。

〔発明の概要〕

本発明は、供給部と測定部間及び測定部と収納部間で半
導体装置の搬送を行うロボットヲ設けたことにより、製
品の品質同上及び省人効果を達成した半導体装置測定シ
ステムである。

〔発明の実施例〕

以下１本発明の実施例について図面全参照して説明する
。

第１図は１本発明の一実施例の概略構成を示す説明図で
ある。図中１１は、筐体である。筐体１１上には、特性
測定器１２．半導体装置収納部１３及び操作パネル１４
が設けられている。

半導体装置収納部１３の上方には、半導体装置供給部１
５が設けられている。操作パネル１４の直下の筐体１１
内には、制御部１６が設けられている。特性測定器１２
の測定部の上方には。

この測定部と半導体装置供給部１５及び半導体装置収納
部１３間を自在に移動する搬送ロボット１７が設けられ
ている。また、筐体１１の上方には１作業者の安全を守
るためのカバー１８が取付けられている。

ここで、半導体装置供給部１５は、半導体装置１９を複
数個収納したステック２０を多Ｒｉｃ積層して構成した
ものである。この供給部には。

スティック２０を一本づつ分離して切出し傾斜させる部
分と、自重によってシュート上を落下する半導体装置１
９１ＦＩニ一個づつ分離切出し、所足の位置に位置決め
する部分が設けられている０この切出された半導体装置
１９の位置決め領域ハ、搬送ロボット１７の可動範囲内
に設定されている。

半導体装置収納部１３は、測定後の半導体装置１９の良
品と不良品とを別々に収納する夫々のスティック２０を
複数個並設したものである。

スティック２０の入口部は、搬送ロボット１７の可動範
囲内にある。測定後の半導体装置１９は、搬送ロボット
１７によりスティック２０内に搬入されるようＫなって
いる。

特性測定器１２は１例えば４個の測定部からなり、各々
の測定部には、半導体装置１９を挿入するソケット２１
が複数個設けられている。

半導体装置１９は、これらのソケット２ノに挿入されて
データ書込み、データ読出しを行われ各ソケット２１毎
に良否の判定を下さ扛るようになっている。各ソケット
２１の位置は一搬送ロボット１７の可動範囲内に設定さ
れている０搬送ロボツト１７は５例えば直角座標型ロボ
ットで構成されており、左右方向動作１前後方同動作、
上下方回動作１手首動作をするよりになっている。これ
らの動作によって自在に移動する移動アーム２２には、
半導体装置Ｊ９を吸着作用にて着脱するチャック部２３
が設けられている。つまり、チャック部２３の動きによ
って半導体装置１９が、半導体装置供給部１５からソケ
ット２１へ搬送され、更にソケット２１から半導体装置
収納部１３に搬送されるようになっている。

操作パネル１４は、ｆＭ送コロボット１フの動作開始及
び終了の指定を与えるスイッチ類を有している０また。

警報発生時には、その内容を表示する機能を有している
。

Ｍ両部１６は、マイクロコンピュータを用いて半導体装
置供給部１５．半導体装置収納部１３、チャック部２３
．操作パネル１４の動作を制御すると共に、これに連動
して搬送ロボット１７の動作を制御するようになってい
る。また、特性測定器１２とも信号の授受を行ない一ソ
ケット２１上の各半導体装置１９の良否判定信号を受け
て、それを所足のスティック２ｏへ送る信号を出力する
と共に、測定結果を統計的に分析する機能を有している
。

このように構成された半導体装置システム２５によれば
１次のような効果を有する。

■　搬送ロボット１７によづ′て半導体装置１９の搬送
を行うので、搬送作業は機械的に規則正しく行われ、半
導体装置１９のピン曲りを防止して安定した品質の製品
を供給することができる。

■　搬送ロボット１７によりで半導体装置１９を扱うの
で１人手作業の場合のような静電気の影響を皆無にして
半導体装置１９の破損及び品質劣化全防止できる。

■　ソケット２１の位置情報を座標値データとして搬送
ロボット１７Ｖｃ予め登録しておけば。

たとえ測定器そのもの或はソケット２ノの配置が変化し
ても、搬送ロボット１７の可動軸〒 開門であれば座標値データを再設定するだけで容易に対
処できるので、柔軟性が高い。

■　括′”性測定器１２からの良否信号全コンピュータ
で処理するので、良否信号の間違った扱いを皆無にする
ことができる。

■　半導体装置１９のソケット２ノへの挿入或はソケッ
ト２ノからの引き抜きを機械的操作で容易にしかも速い
連関で行ない１作業性を同上させることができる。

〔発明の効果〕

以上説明した如く、本発明に係る半導体装置測定システ
ムによれば、製品の品質同上及び省人効果を達成できる
ものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は１本発明の一実施例の概略構成を示す説明図、
第２図は、半導体装置とこれを収容するステックの斜視
図、第３図は、特性測定器に半導体装置を挿入する状態
を示す説明図である０ １ノ・・・筺体、１２・・・特性測定器、１３・・・半
導体装置収納部、１４・・・操作パネル、１５・・・半
導体装置供給部、１６・・・制御部、１７・・・搬送ロ
ボット、１８・・・カバー、１９・・・半導体装置、２
０・・・スティック、２１・・・ソケット、２２・・・
移動アーム、２３・・・チャック部、２５・・・半導体
装置測定システム。 出願人代理人　弁理士　鈴　江　武　彦第１図 否 第２図 第３図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 半導体装置が着脱されるソケットを有し、該半導体装置
   の特性試験を行う特性測定器と、該特性測定器の近傍に
   設けられた半導体装置供給部及び半導体装置収納部と、
   前記ソケットと該半導体装置供給部間及び前記ソケット
   と該半導体装置収納部間を自在に移動する搬送ロボット
   と、該搬送ロボットに取付けられた前記半導体装置のチ
   ャック部と、該チャック部、前記搬送ロボット、前記特
   性測定器、前記半導体装置収納部及び前記半導体装置供
   給部の動作を制御する制御部とを具備することを特徴と
   する半導体装置測定システム。