JPS6156408A

JPS6156408A - 電解コンデンサ用アルミ箔のエツチング装置

Info

Publication number: JPS6156408A
Application number: JP59179082A
Authority: JP
Inventors: 菅原　昌宏
Original assignee: Marcon Electronics Co Ltd
Current assignee: Marcon Electronics Co Ltd
Priority date: 1984-08-27
Filing date: 1984-08-27
Publication date: 1986-03-22
Also published as: JPS6223447B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［発明の技術分野］この発明は電解コンデンザ用電極箔として使用するアル
ミ箔のエツチング装置に関する。

［発明の技術的背景とその問題点］電解コンデンサ用電極箔として使用されるアルミ頭部の
表面は、電気化学的や機械的に必ずしも一定ではなく、
そのままエツチングしても粗面化した場合のばらつきの
原因となっていた。このためにエツチングの前処理とし
て硫酸のような高伝心疫を有する溶液中でアルミ箔を負
極とし、電解用ｌ１ｌｓ極電極としてカーボンを用いて
電気分解を行うとアルミ箔表面から水素が発生して表面
を均一化することが知られていた。しかしながらこの電
気分解を継続して行うと電解用電極として使用したカー
ボンにＭ素が発生し、このためカーボンが分解してエツ
チング液中に拡散し、カーボンが早期に崩壊するととも
にエツチング液が汚損して使用不能となる問題点があっ
た。またカーボンの代替として白金、ニッケルなども使
用してみたが、これら金属の１１合も溶解現象を生じて
実質的には使用できず、前記カーボンの場合と同様の傾
向となる欠点があった。

［発明の目的］この発明の目的は、前処理としての逆電槽に長寿命の電
解用電極を用いることによって、アルミ芯に通電負荷を
課し表面状態を均一にすることができる′７８ｗＩコン
デンサ用アルミ箔のエツチング装置を得ることである。

［発明の概要］１　　　　　　この発明になる電解コンデンサ用アルミ
箔のエツチング装置は、アルミ箔を陽極、電解用電極を
負極として電源に接続されたエツチング槽と、該エツチ
ング槽の前にアルミ箔を負極、電解用電極を陽極として
電源に接続された逆電槽とを設置し、該通電槽の電解用
電極がＴｉ、Ｔａ、Ｎｂの中の１種からなる基体金属に
Ｒｕ、Ｉｒ、Ｐｄ、Ｒｈ。

Ｔａ、Ｎｂ、Ｖの中の１種または２種以上からなる化合
物を焼成コーティングした酸化物を形成したものからな
ることを特徴とするものである。

［発明の実施例］笈庭■ユ第１図に示すように、電源（１）の負極にはコンタクト
ローラー（２）が接続され、陽極には逆電１ａ（３）の
電解用電極（４）（５）（６）が接続されている。１該
電解用電極（４）（５０６）はＴｉ、Ｔａ、Ｎｂの中の
１種からなる基体金属にＲｕ、Ｉｒ、Ｐｄ。

Ｒｈ、Ｔａ、Ｎｂ、Ｖの中の１種または２種以上からな
る化合物を焼成コーティングした酸１ヒ物を形成したも
のからなる。そして該逆電槽（３）の１１２辛には電源（７）の負極に接続されたエツチング液の　　
　　□電解用電極（８）（９）（１０）を有するエツチ
ング槽（１１）が設置され、該エツチング槽（１１）の
後には図示しないが水洗槽やエツチング槽などが配され
る。

なお（１２）はガイドローラー、　（１３）は逆１１１
（４ｆ！（３）中の液中ローラー、　（１４）は硫１５
重囚％水溶液などのように高伝導度を′ｊｒする前処理
液、　（１５）はエツチング槽（１１）中の液中ローラ
ー、　（１（ｉ）はエツチング液である。この装置にお
いて、アルミ箔（１７）はまず電源（１）のｆｉ極に接
続されたコンタクトローラー（２）に接し、ガイドロー
ラー（１２）を経て逆電槽（３）内の電解用電極（４）
（５）間を下降し液中ローラー（３）で反転して電ＩＪ
ＩＩ（５）（６）間を上シ♀するが、負極を有するアル
ミ箔（１７）は陽ｔ！ｉ電極（４）（５）（６）と前処
理液（１４）により、その表面で生ずる電気分解にＪ：
つて油脂などを除去するとともに、アルミ箔（１７）表
面に生成されている酸化皮膜を破壊し、均一な表面を作
成する。この逆電槽（３）における電気分シｉｖは１ニ
ツチングが通常アルミ箔に陽極、電解用電極に負極を課
電して行われるのに対し、通電を課電して行われる。こ
の逆電槽（３）中の電気分解によって表面を均一に生成
されたアルミ箔（１１）は次いでエツチング槽（１１）
に入り、電解用電１４（８）（９）間を通って液中ロー
ラー（１５）に達し、反転シてＹｉ４Ｍ（９）（１０）
間を上昇してエツチング液（１６）と電極（８）（９）
（１０）によって電気化学的に表面を粗面化される。こ
の第１図に示す装置を使用し電解用電極（４）（５０Ｂ
）、の基体金属にＴｉ、該基体金属に焼成コーティング
した酸化物はＲｕの化合物を用いてエツチングした場合
のアルミ１（１７）の特性その他を、第１図と同じ構成
ではあるが、逆電槽ゝの電解用電極の材料としてＮｉを
使用した従来例と比較すると第１表のようである。

なお逆電槽において電解用電極に節電した電流密度は５
Ａ／ｄ尻、エツチング槽（１１）の電解用電極（８）（
９）　（１０）はカーボンを用（＼、エツチング液（１
６）組成は塩酸３．５ｆｆｉｆｎ％水溶液（液温６０℃
）を使用した。

（以下余白）第　　１　　表第１表において装置の稼働率は逆電槽の電解用電極の溶
解に」；る前処理液の汚損によって機械を停止し、これ
を除去するに要する時間をみたものである。

前記のような本発明になるエツチング装置においては、
逆電槽（３）中のアルミ箔（１７）と前処理液（１４）
どの電気分解にＪ：ってアルミ箔（１７）表面状態を均
一・にすることができるので、エツチング倍率のバラツ
キを小さく抑えることができるとともに、電解用電極の
寿命が飛躍的に長くなる特長を右す１　　　　るもので
ある。

友五■ユ前記実施例１はコンタクトローラー（２）にアルミ箔（
１７）を接触させて館主する構成について述べだが、実
施例２ではコンタク１〜ローラーに変えて給電槽を通し
てｆｆｌ電する場合について述べる。ずなわち第２図に
示すように電源（２１）の陽極に接続した電解用電極（
２２）（２３）（２４）および前処理液（２５）を有す
る逆電槽（２６）の後に電源（２７）の負極に接続した
給電電極（２８）（２９）（３０）および給電液（３１
）を有する給電槽（３２）を配し、さらに該給電槽（３
２）の後に電解用型！！ｉ　（３３）　（３４）（３５
）とエツチング液（３６）を有するエツチング槽（３７
）を配詔する。この装置において、逆電槽（２Ｇ）の電
解用電極（２２）（２３０２４）および必要によっては
給電槽（３２）の給電電極（２８）（２９）（３０）は
Ｔｉ、Ｔａ、Ｎｂ−の中の１種からなる基体金属にＲｕ
、Ｉｒ、Ｐｄ、Ｒｈ、Ｔａ、Ｎｂ。

■の中の１種または２種以」―からなる化合物を焼成コ
ーティングした酸化物を形成したものを用いる。この給
電電極にカーボン、ステンレス、　Ｃｕ。

Ｎｉなどの金属を用いても短時間に崩壊や溶解を　　　
　（：［生ずるためである。アルミ箔（３８）は逆電槽
（２Ｇ）の前処理液（２５）中に入り電極（２２Ｈ２３
）間を下降して液中ローラー（３９）で反転して電極（
２３）（２４）間を上界−４るが、該アルミ箔（３８）
に負極、電極（２２）（２３）（２４）に陽極が接続さ
れているので、アルミ箔（３８）は前処’！ｎ　：Ｂ　
（２！ｉ）と作用して電気分解を生じ表面の油脂などを
除去するとともに、アルミ箔に生成されている酸化皮膜
を破壊して均一な表面状態を生成する。ぞしてこの電気
分解により生ずる水素や酸素によっても電極（２２）（
２３Ｈ２４）が溶解する程度は低く前処理液（２５）を
汚損することはないので連わ“Ｃ運転が可能である。該
逆電槽（２６）を出たアルミ箔（３８）は給電１凸（３
２）に入り、給電液（３１）中の給電電極（２８）（２
９）間を走行して液中ローラー（４０）にて反転するが
、給電電極（２８）（２９）（３０）には電源（２７）
の陽極が接続され、陽極はエツチング槽（３７）中の電
解用゛電極（３３）　（３４）　（３５）に接続されて
いるので、前記アルミ箔（：ｌ　Ｉｔ　）に対し、ｇ！
極電荷を付与することになる。したがってエツチング槽
（３７）においてはアルミｆｉｓｈ（３８）を陽極、電
極（３３）（３４）（３５）を負極どした電気化学反応
によりアルミ箔（３８）表面を粗面化する作用が生ずる
。前記逆電槽（２６）において表面を均一化されたアル
ミ箔（３８）は給電槽（３２）中でも単に給電のために
走行するだけであるから、その表面状・態に大きな変化
を生ずることはなく、エツチングを阻害しない。そして
給電槽（３２）を使用することにより、従来のコンタク
トローラーによる館主で生じていたコンタクトローラー
とアルミ箔との接触不良による火花および、火花などに
よるアルミ箔の溶解などを皆無にすることができるとと
もにスパークなどがないので饋電電流を大きく設定でき
る利点もある。この実施例２においても第２表に示ずよ
うに前述の実施例１で表に示したとほぼ同様な結果を得
た。なお給電電極はＴａ′４ｒＵ体金病としてこれにＰ
ｄからなる化合物を焼成コーティングした酸化物を形成
したものを用い、給電液は５％アジピン′駁′アレモン
水溶液を用いた以外は実施例１と同じである。

（以下余白）第　　２　　表なお上記ブ；施例では逆電槽の電解用電極として基体金
属としてＴｉ、酸化物としてＲｕの化合物を用いた場合
について述べたが、基体金属としてＴａ、Ｎｂ、該基体
金属に焼成コーティングする酸化物としＴｌｒ、Ｐｄ、
Ｒｈ、Ｔａ、Ｎｂ、Ｖの中の１種または２種以上からな
る化合物Ｃも同様の効果を得ることがでさる。

［発明の効果］この発明になるエツチング装置によれば逆電槽に長寿命
の電解用電極を用いることによって前処理としてアルミ
箔に逆電を課すことが可能となり、１　　　　表面状態
の均一なアルミ箔をエツチング槽に送ることかでき、し
たがってエツチング槽率のバラツキの小さいアルミ箔を
提供することができる。

４、図面（１）１ｍＦ１１な説明第１図は本発明になる電解コンデンザ用アルミ箔のエツ
チング装置の一実施例を示す断面構成図、第２図は本発
明になる電解コンデンザ用アルミ箔のエツチング装置の
他の実施例を示す断面構成図である。

（１）（７）・・・・・・・・・・・・電源（２）・・
・・・・・・・・・・・・・コンタクトローラー（３）
・・・・・・・・・・・・・・・逆電槽（４）（５）（
（３）・・・・・・逆電槽の電解用電極（８）（９）（
１０）・・・・・・エツチング用の電解用電極（１１）
・・・・・・・・・・旧・・・・・エツチング慴（２８
）　（２９）（３０）・・・・・・給電電極（３２）・
・・・・・・・・・・・・・・・・・給電槽特　　許　
　出　　願　　人７ＡｔＤ＞工、工、　　　　１手　　続　　補　　正　　甜　　　　（自発）昭和６０
年９月２０日

Claims

【特許請求の範囲】

（１）アルミ箔を陽極、電解用電極を負極として電源に
接続されたエッチング槽と、該エッチング槽の前にアル
ミ箔を負極、電解用電極を陽極として電源に接続された
逆電槽とを設置し、該逆電槽の電解用電極がＴｉ、Ｔａ
、Ｎｂの中の１種からなる基体金属にＲｕ、Ｉｒ、Ｐｄ
、ＲｈＴａ、Ｎｂ、Ｖの中の１種または２種以上からな
る化合物を焼成コーティングした酸化物を形成したもの
からなることを特徴とする電解コンデンサ用アルミ箔の
エッチング装置。
（２）逆電槽に電源の負極に接続されたコンタクトロー
ラーを設置し、アルミ箔を接触させたことを特徴とする
特許請求の範囲第（１）項記載の電解コンデンサ用アル
ミ箔のエッチング装置。
（３）逆電槽の直前またはエッチング槽との間に電源の
負極に接触されＴｉ、Ｔａ、Ｎｂの中の１種からなる基
体金属にＲｕ、Ｉｒ、Ｐｄ、Ｒｈ、Ｔａ、Ｎｂ、Ｖの中
の１種または２種以上からなる化合物を焼成コーティン
グした酸化物を形成したものからなる給電電極を有する
給電槽を設置したことを特徴とする特許請求の範囲第（
１）項記載の電解コンデンサ用アルミ箔のエッチング装
置。