JPS6223447B2 - - Google Patents
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- JPS6223447B2 JPS6223447B2 JP59179082A JP17908284A JPS6223447B2 JP S6223447 B2 JPS6223447 B2 JP S6223447B2 JP 59179082 A JP59179082 A JP 59179082A JP 17908284 A JP17908284 A JP 17908284A JP S6223447 B2 JPS6223447 B2 JP S6223447B2
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Landscapes
- Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
Description
［発明の技術分野］
この発明は電解コンデンサ用電極箔として使用
するアルミ箔のエツチング装置に関する。 ［発明の技術的背景とその問題点］ 電解コンデンサ用電極箔として使用されるアル
ミ原箔の表面は、電気化学的や機械的に必ずしも
一定ではなく、そのままエツチングしても粗面化
した場合のばらつきの原因となつていた。このた
めにエツチングの前処理として硫酸のような高伝
導度を有する溶液中でアルミ箔を負極とし、電解
用陽極電極としてカーボンを用いて電気分解を行
うとアルミ箔表面から水素が発生して表面を均一
化することが知られていた。しかしながらこの電
気分解を継続して行うと電解用電極として使用し
たカーボンに酸素が発生し、このためカーボンが
分解してエツチング液中に拡散し、カーボンが早
期に崩壊するとともにエツチング液が汚損して使
用不能となる問題点があつた。またカーボンの代
替として白金、ニツケルなども使用してみたが、
これら金属の場合も溶解現象を生じて実質的には
使用できず、前記カーボンの場合と同様の傾向と
なる欠点があつた。 ［発明の目的］ この発明の目的は、前処理としての逆電槽に長
寿命の電解用電極を用いることによつて、アルミ
箔に逆電負荷を課し表面状態を均一にすることが
できる電解コンデンサ用アルミ箔のエツチング装
置を得ることである。 ［発明の概要］ この発明になる電解コンデンサ用アルミ箔のエ
ツチング装置は、アルミ箔を陽極、電解用電極を
負極として電源に接続されたエツチング槽と、該
エツチング槽の前にアルミ箔を負極、電解用電極
を陽極として電源に接続された逆電槽とを設置
し、該逆電槽の電解用電極がTi、Ta、Nbの中の
１種からなる基体金属にRu、Ir、Pd、Rh、Ta、
Nb、Ｖの中の１種または２種以上からなる化合
物を焼成コーテイングした酸化物を形成したもの
からなることを特徴とするものである。 ［発明の実施例］ 実施例 １ 第１図に示すように、電源１の負極にはコンタ
クトローラー２が接続され、陽極には逆電槽３の
電解用電極４，５，６が接続されている。該電解
用電極４，５，６はTi、Ta、Nbの中の１種から
なる基体金属にRu、Ir、Pd、Rh、Ta、Nb、Ｖ
の中の１種または２種以上からなる化合物を焼成
コーテイングした酸化物を形成したものからな
る。そして該逆電槽３の後には電源７の負極に接
続されたエツチング用の電解用電極８，９，１０
を有するエツチング槽１１が設置され、該エツチ
ング槽１１の後には図示しないが水洗槽やエツチ
ング槽などが配される。 なお１２はガイドローラー、１３は逆電槽３中
の液中ローラー、１４は硫酸５重量％水溶液など
のように高伝導度を有する前処理液、１５はエツ
チング槽１１中の液中ローラー、１６はエツチン
グ液である。この装置において、アルミ箔１７は
まず電源１の負極に接続されたコンタクトローラ
ー２に接し、ガイドローラー１２を経て逆電槽３
内の電解用電極４，５間を下降し液中ローラー３
で反転して電極５，６間を上昇するが、負極を有
するアルミ箔１７は陽極電極４，５，６と前処理
液１４により、その表面で生ずる電気分解によつ
て油脂などを除去するとともに、アルミ箔１７表
面に生成されている酸化皮膜を破壊し、均一な表
面を作成する。この逆電槽３における電気分解は
エツチングが通常アルミ箔に陽極、電解用電極に
負極を課電して行われるのに対し、逆電を課電し
て行われる。この逆電槽３中の電気分解によつて
表面を均一に生成されたアルミ箔１７は次いでエ
ツチング槽１１に入り、電解用電極８，９間を通
つて液中ローラー１５に達し、反転して電極９，
１０間を上昇してエツチング液１６と電極８，
９，１０によつて電解化学的に表面を粗面化され
る。この第１図に示す装置を使用し電解用電極
４，５，６の基体金属にTi、該基体金属に焼成
コーテイングした酸化物はRuの化合物を用いて
エツチングした場合のアルミ箔１７の特性その他
を、第１図と同じ構成ではあるが、逆電槽の電解
用電極の材料としてNiを使用した従来例と比較
すると第１表のようである。 なお逆電槽において電解用電極に饋電した電流
密度は5A／ｄm2、エツチング槽１１の電解用電
極８，９，１０はカーボンを用い、エツチング液
１６組成は塩酸3.5重量％水溶液（液温60℃）を
使用した。
するアルミ箔のエツチング装置に関する。 ［発明の技術的背景とその問題点］ 電解コンデンサ用電極箔として使用されるアル
ミ原箔の表面は、電気化学的や機械的に必ずしも
一定ではなく、そのままエツチングしても粗面化
した場合のばらつきの原因となつていた。このた
めにエツチングの前処理として硫酸のような高伝
導度を有する溶液中でアルミ箔を負極とし、電解
用陽極電極としてカーボンを用いて電気分解を行
うとアルミ箔表面から水素が発生して表面を均一
化することが知られていた。しかしながらこの電
気分解を継続して行うと電解用電極として使用し
たカーボンに酸素が発生し、このためカーボンが
分解してエツチング液中に拡散し、カーボンが早
期に崩壊するとともにエツチング液が汚損して使
用不能となる問題点があつた。またカーボンの代
替として白金、ニツケルなども使用してみたが、
これら金属の場合も溶解現象を生じて実質的には
使用できず、前記カーボンの場合と同様の傾向と
なる欠点があつた。 ［発明の目的］ この発明の目的は、前処理としての逆電槽に長
寿命の電解用電極を用いることによつて、アルミ
箔に逆電負荷を課し表面状態を均一にすることが
できる電解コンデンサ用アルミ箔のエツチング装
置を得ることである。 ［発明の概要］ この発明になる電解コンデンサ用アルミ箔のエ
ツチング装置は、アルミ箔を陽極、電解用電極を
負極として電源に接続されたエツチング槽と、該
エツチング槽の前にアルミ箔を負極、電解用電極
を陽極として電源に接続された逆電槽とを設置
し、該逆電槽の電解用電極がTi、Ta、Nbの中の
１種からなる基体金属にRu、Ir、Pd、Rh、Ta、
Nb、Ｖの中の１種または２種以上からなる化合
物を焼成コーテイングした酸化物を形成したもの
からなることを特徴とするものである。 ［発明の実施例］ 実施例 １ 第１図に示すように、電源１の負極にはコンタ
クトローラー２が接続され、陽極には逆電槽３の
電解用電極４，５，６が接続されている。該電解
用電極４，５，６はTi、Ta、Nbの中の１種から
なる基体金属にRu、Ir、Pd、Rh、Ta、Nb、Ｖ
の中の１種または２種以上からなる化合物を焼成
コーテイングした酸化物を形成したものからな
る。そして該逆電槽３の後には電源７の負極に接
続されたエツチング用の電解用電極８，９，１０
を有するエツチング槽１１が設置され、該エツチ
ング槽１１の後には図示しないが水洗槽やエツチ
ング槽などが配される。 なお１２はガイドローラー、１３は逆電槽３中
の液中ローラー、１４は硫酸５重量％水溶液など
のように高伝導度を有する前処理液、１５はエツ
チング槽１１中の液中ローラー、１６はエツチン
グ液である。この装置において、アルミ箔１７は
まず電源１の負極に接続されたコンタクトローラ
ー２に接し、ガイドローラー１２を経て逆電槽３
内の電解用電極４，５間を下降し液中ローラー３
で反転して電極５，６間を上昇するが、負極を有
するアルミ箔１７は陽極電極４，５，６と前処理
液１４により、その表面で生ずる電気分解によつ
て油脂などを除去するとともに、アルミ箔１７表
面に生成されている酸化皮膜を破壊し、均一な表
面を作成する。この逆電槽３における電気分解は
エツチングが通常アルミ箔に陽極、電解用電極に
負極を課電して行われるのに対し、逆電を課電し
て行われる。この逆電槽３中の電気分解によつて
表面を均一に生成されたアルミ箔１７は次いでエ
ツチング槽１１に入り、電解用電極８，９間を通
つて液中ローラー１５に達し、反転して電極９，
１０間を上昇してエツチング液１６と電極８，
９，１０によつて電解化学的に表面を粗面化され
る。この第１図に示す装置を使用し電解用電極
４，５，６の基体金属にTi、該基体金属に焼成
コーテイングした酸化物はRuの化合物を用いて
エツチングした場合のアルミ箔１７の特性その他
を、第１図と同じ構成ではあるが、逆電槽の電解
用電極の材料としてNiを使用した従来例と比較
すると第１表のようである。 なお逆電槽において電解用電極に饋電した電流
密度は5A／ｄm2、エツチング槽１１の電解用電
極８，９，１０はカーボンを用い、エツチング液
１６組成は塩酸3.5重量％水溶液（液温60℃）を
使用した。
【表】
第１表において装置の稼働率は逆電槽の電解用
電極の溶解による前処理液の汚損によつて機械を
停止し、これを除去するに要する時間をみたもの
である。 前記のような本発明になるエツチング装置にお
いては、逆電槽３中のアルミ箔１７と前処理液１
４との電気分解によつてアルミ箔１７表面状態を
均一にすることができるので、エツチング倍率の
バラツキを小さく抑えることができるとともに、
電解用電極の寿命が飛躍的に長くなる特長を有す
るものである。 実施例 ２ 前記実施例１はコンタクトローラー２にアルミ
箔１７を接触させて饋電する構成について述べた
が、実施例２ではコンタクトローラーに変えて給
電槽を通して饋電する場合について述べる。すな
わち第２図に示すように電源２１の陽極に接続し
た電解用電極２２，２３，２４および前処理液２
５を有する逆電槽２６の後に電源２７の負極に接
続した給電電極２８，２９，３０および給電液３
１を有する給電槽３２を配し、さらに該給電槽３
２の後に電解用電極３３，３４，３５とエツチン
グ液３６を有するエツチング槽３７を配置する。
この装置において、逆電槽２６の電解用電極２
２，２３，２４および必要によつては給電槽３２
の給電電極２８，２９，３０はTi、Ta、Nbの中
の１種からなる基体金属にRu、Ir、Pd、Rh、
Ta、Nb、Ｖの中の１種または２種以上からなる
化合物を焼成コーテイングした酸化物を形成した
ものを用いる。この給電電極にカーボン、ステン
レス、Cu、Niなどの金属を用いても短時間に崩
壊や溶解を生ずるためである。アルミ箔３８は逆
電槽２６の前処理液２５中に入り電極２２，２３
間を下降して液中ローラー３９で反転して電極２
３，２４間を上昇するが、該アルミ箔３８に負
極、電極２２，２３，２４に陽極が接続されてい
るので、アルミ箔３８は前処理液２５と作用して
電気分解を生じ表面の油脂などを除去するととも
に、アルミ箔に生成されている酸化皮膜を破壊し
て均一な表面状態を生成する。そしてこの電解分
解により生ずる水素や酸素によつても電極２２，
２３，２４が溶解する程度は低く前処理液２５を
汚損することはないので連続運転が可能である。
該逆電槽２６を出たアルミ箔３８は給電槽３２に
入り、給電液３１中の給電電極２８，２９間を走
行して液中ローラー４０にて反転するが、給電電
極２８，２９，３０には電源２７の陽極が接続さ
れ、陰極はエツチング槽３７中の電解用電極３
３，３４，３５に接続されているので、前記アル
ミ箔３８に対し、陽極電荷を付与することにな
る。したがつてエツチング槽３７においてはアル
ミ箱３８を陽極、電極３３，３４，３５を負極と
した電気化学反応によりアルミ箔３８表面を粗面
化する作用が生ずる。前記逆電槽２６において表
面を均一化されたアルミ箔３８は給電槽３２中で
も単に給電のために走行するだけであるから、そ
の表面状態に大きな変化を生ずることはなく、エ
ツチングを阻害しない。そして給電槽３２を使用
することにより、従来のコンタクトローラーによ
る饋電で生じていたコンタクトローラーとアルミ
箔との接触不良による火花および、火花などによ
るアルミ箔の溶解などを皆無にすることができる
とともにスパークなどがないので饋電電流を大き
く設定できる利点もある。この実施例２において
も第２表に示すように前述の実施例１で表に示し
たとほぼ同様な結果を得た。なお給電電極はTa
を基体金属としてこれにPdからなる化合物を焼
成コーテイングした酸化物を形成したものを用
い、給電液は５％アジピン酸アンモン水溶液を用
いた以外は実施例１と同じである。
電極の溶解による前処理液の汚損によつて機械を
停止し、これを除去するに要する時間をみたもの
である。 前記のような本発明になるエツチング装置にお
いては、逆電槽３中のアルミ箔１７と前処理液１
４との電気分解によつてアルミ箔１７表面状態を
均一にすることができるので、エツチング倍率の
バラツキを小さく抑えることができるとともに、
電解用電極の寿命が飛躍的に長くなる特長を有す
るものである。 実施例 ２ 前記実施例１はコンタクトローラー２にアルミ
箔１７を接触させて饋電する構成について述べた
が、実施例２ではコンタクトローラーに変えて給
電槽を通して饋電する場合について述べる。すな
わち第２図に示すように電源２１の陽極に接続し
た電解用電極２２，２３，２４および前処理液２
５を有する逆電槽２６の後に電源２７の負極に接
続した給電電極２８，２９，３０および給電液３
１を有する給電槽３２を配し、さらに該給電槽３
２の後に電解用電極３３，３４，３５とエツチン
グ液３６を有するエツチング槽３７を配置する。
この装置において、逆電槽２６の電解用電極２
２，２３，２４および必要によつては給電槽３２
の給電電極２８，２９，３０はTi、Ta、Nbの中
の１種からなる基体金属にRu、Ir、Pd、Rh、
Ta、Nb、Ｖの中の１種または２種以上からなる
化合物を焼成コーテイングした酸化物を形成した
ものを用いる。この給電電極にカーボン、ステン
レス、Cu、Niなどの金属を用いても短時間に崩
壊や溶解を生ずるためである。アルミ箔３８は逆
電槽２６の前処理液２５中に入り電極２２，２３
間を下降して液中ローラー３９で反転して電極２
３，２４間を上昇するが、該アルミ箔３８に負
極、電極２２，２３，２４に陽極が接続されてい
るので、アルミ箔３８は前処理液２５と作用して
電気分解を生じ表面の油脂などを除去するととも
に、アルミ箔に生成されている酸化皮膜を破壊し
て均一な表面状態を生成する。そしてこの電解分
解により生ずる水素や酸素によつても電極２２，
２３，２４が溶解する程度は低く前処理液２５を
汚損することはないので連続運転が可能である。
該逆電槽２６を出たアルミ箔３８は給電槽３２に
入り、給電液３１中の給電電極２８，２９間を走
行して液中ローラー４０にて反転するが、給電電
極２８，２９，３０には電源２７の陽極が接続さ
れ、陰極はエツチング槽３７中の電解用電極３
３，３４，３５に接続されているので、前記アル
ミ箔３８に対し、陽極電荷を付与することにな
る。したがつてエツチング槽３７においてはアル
ミ箱３８を陽極、電極３３，３４，３５を負極と
した電気化学反応によりアルミ箔３８表面を粗面
化する作用が生ずる。前記逆電槽２６において表
面を均一化されたアルミ箔３８は給電槽３２中で
も単に給電のために走行するだけであるから、そ
の表面状態に大きな変化を生ずることはなく、エ
ツチングを阻害しない。そして給電槽３２を使用
することにより、従来のコンタクトローラーによ
る饋電で生じていたコンタクトローラーとアルミ
箔との接触不良による火花および、火花などによ
るアルミ箔の溶解などを皆無にすることができる
とともにスパークなどがないので饋電電流を大き
く設定できる利点もある。この実施例２において
も第２表に示すように前述の実施例１で表に示し
たとほぼ同様な結果を得た。なお給電電極はTa
を基体金属としてこれにPdからなる化合物を焼
成コーテイングした酸化物を形成したものを用
い、給電液は５％アジピン酸アンモン水溶液を用
いた以外は実施例１と同じである。
【表】
なお上記実施例では逆電槽の電解用電極として
基体金属としてTi、酸化物としてRuの化合物を
用いた場合について述べたが、基体金属として
Ta、Nb、該基体金属に焼成コーテイングする酸
化物としてIr、Pd、Rh、Ta、Nb、Ｖの中の１種
または２種以上からなる化合物でも同様の効果を
得ることができる。 ［発明の効果］ この発明になるエツチング装置によれば逆電槽
に長寿命の電解用電極を用いることによつて前処
理としてアルミ箔に逆電を課すことが可能とな
り、表面状態の均一なアルミ箔をエツチング槽に
送ることができ、したがつてエツチング倍率のバ
ラツキの小さいアルミ箔を提供することができ
る。
基体金属としてTi、酸化物としてRuの化合物を
用いた場合について述べたが、基体金属として
Ta、Nb、該基体金属に焼成コーテイングする酸
化物としてIr、Pd、Rh、Ta、Nb、Ｖの中の１種
または２種以上からなる化合物でも同様の効果を
得ることができる。 ［発明の効果］ この発明になるエツチング装置によれば逆電槽
に長寿命の電解用電極を用いることによつて前処
理としてアルミ箔に逆電を課すことが可能とな
り、表面状態の均一なアルミ箔をエツチング槽に
送ることができ、したがつてエツチング倍率のバ
ラツキの小さいアルミ箔を提供することができ
る。
第１図は本発明になる電解コンデンサ用アルミ
箔のエツチング装置の一実施例を示す断面構成
図、第２図は本発明になる電解コンデンサ用アル
ミ箔のエツチング装置の他の実施例を示す断面構
成図である。 １，７……電源、２……コンタクトローラー、
３……逆電槽、４，５，６……逆電槽の電解用電
極、８，９，１０……エツチング用の電解用電
極、１１……エツチング槽、２８，２９，３０…
…給電電極、３２……給電槽。
箔のエツチング装置の一実施例を示す断面構成
図、第２図は本発明になる電解コンデンサ用アル
ミ箔のエツチング装置の他の実施例を示す断面構
成図である。 １，７……電源、２……コンタクトローラー、
３……逆電槽、４，５，６……逆電槽の電解用電
極、８，９，１０……エツチング用の電解用電
極、１１……エツチング槽、２８，２９，３０…
…給電電極、３２……給電槽。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ アルミ箔を陽極、電解用電極を負極として電
源に接続されたエツチング槽と、該エツチング槽
の前にアルミ箔を負極、電解用電極を陽極として
電源に接続された逆電槽とを設置し、該逆電槽の
電解用電極がTi、Ta、Nbの中の１種からなる基
体金属にRu、Ir、Pd、Rh、Ta、Nb、Ｖの中の
１種または２種以上からなる化合物を焼成コーテ
イングした酸化物を形成したものからなることを
特徴とする電解コンデンサ用アルミ箔のエツチン
グ装置。 ２ 逆電槽に電源の負極に接続されたコンタクト
ローラーを設置し、アルミ箔を接触させたことを
特徴とする特許請求の範囲第１項記載の電解コン
デンサ用アルミ箔のエツチング装置。 ３ 逆電槽の直前またはエツチング槽との間に電
源の負極に接続されTi、Ta、Nbの中の１種から
なる基体金属にRu、Ir、Pd、Rh、Ta、Nb、Ｖ
の中の１種または２種以上からなる化合物を焼成
コーテイングした酸化物を形成したものからなる
給電電極を有する給電槽を設置したことを特徴と
する特許請求の範囲第１項記載の電解コンデンサ
用アルミ箔のエツチング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59179082A JPS6156408A (ja) | 1984-08-27 | 1984-08-27 | 電解コンデンサ用アルミ箔のエツチング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59179082A JPS6156408A (ja) | 1984-08-27 | 1984-08-27 | 電解コンデンサ用アルミ箔のエツチング装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6156408A JPS6156408A (ja) | 1986-03-22 |
| JPS6223447B2 true JPS6223447B2 (ja) | 1987-05-22 |
Family
ID=16059765
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59179082A Granted JPS6156408A (ja) | 1984-08-27 | 1984-08-27 | 電解コンデンサ用アルミ箔のエツチング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6156408A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2736997B2 (ja) * | 1989-04-27 | 1998-04-08 | 本田技研工業株式会社 | 内燃機関の弁駆動装置および弁駆動方法 |
-
1984
- 1984-08-27 JP JP59179082A patent/JPS6156408A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6156408A (ja) | 1986-03-22 |
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