JPS6153061A - サ−マルヘツド及びその製造方法 - Google Patents
サ−マルヘツド及びその製造方法Info
- Publication number
- JPS6153061A JPS6153061A JP59176403A JP17640384A JPS6153061A JP S6153061 A JPS6153061 A JP S6153061A JP 59176403 A JP59176403 A JP 59176403A JP 17640384 A JP17640384 A JP 17640384A JP S6153061 A JPS6153061 A JP S6153061A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- generation body
- heating element
- heat generation
- thin film
- thermal head
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/315—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of heat to a heat sensitive printing or impression-transfer material
- B41J2/32—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of heat to a heat sensitive printing or impression-transfer material using thermal heads
- B41J2/335—Structure of thermal heads
Landscapes
- Parts Printed On Printed Circuit Boards (AREA)
- Electronic Switches (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、熱記録に用いられるサーマルヘッドに関する
。
。
従来、サーマルヘッドの発熱体の両端に接続される薄膜
電極は、サーマルヘッド基板上に全面に一様な厚みで導
電膜を蒸着等で形成し、該導電膜を写真食刻により所望
の電極パターンに形成して得られていた。上記導電膜の
厚みは通常１乃至８μｍ程度である。
電極は、サーマルヘッド基板上に全面に一様な厚みで導
電膜を蒸着等で形成し、該導電膜を写真食刻により所望
の電極パターンに形成して得られていた。上記導電膜の
厚みは通常１乃至８μｍ程度である。
従来のサーマルヘッドの要部断面図を第４図に示すよう
に、上記薄膜電極Ｉは発熱体との接続部において、上記
薄膜電極側の厚み分、即ち１乃至８μｍの断差を生じ、
上記発熱体が凹んでしま込、従って上記発熱体２と感熱
紙３１との間に空間Ｓが生じ、発熱体２によって発生す
る熱が上記感熱紙３１に充分伝達しにくかった。また、
上記薄膜電極（９）に端部Ｅは、感熱紙３１と特に強い
圧力で接触するため、この部分の保論層５の摺動摩耗は
極めて進行が速く、摩耗寿命の低下をもたらしていた。
に、上記薄膜電極Ｉは発熱体との接続部において、上記
薄膜電極側の厚み分、即ち１乃至８μｍの断差を生じ、
上記発熱体が凹んでしま込、従って上記発熱体２と感熱
紙３１との間に空間Ｓが生じ、発熱体２によって発生す
る熱が上記感熱紙３１に充分伝達しにくかった。また、
上記薄膜電極（９）に端部Ｅは、感熱紙３１と特に強い
圧力で接触するため、この部分の保論層５の摺動摩耗は
極めて進行が速く、摩耗寿命の低下をもたらしていた。
そこで、本発明は、従来の上記のような欠点に鑑み、感
熱紙等の記憶媒体と、発熱体との接触性を高め、よって
記録の際の効率を向上させるとともに、摺動摩耗に弱い
部分を作らず、よって摩耗寿命を延長させることを目的
としている。
熱紙等の記憶媒体と、発熱体との接触性を高め、よって
記録の際の効率を向上させるとともに、摺動摩耗に弱い
部分を作らず、よって摩耗寿命を延長させることを目的
としている。
上記問題点を解決するため忙、本発明は、発熱体近傍の
電極を特に薄く形成し、かつ、電極の厚みの変化が無段
差で連続的となる構造とし、該構造を、影部にまわり込
むというスパッタリング特有の性質を利用して実現し、
よって、発熱体と記録媒体との接触性を高め、また摺動
摩耗に強いサーマルヘッドを実現した。
電極を特に薄く形成し、かつ、電極の厚みの変化が無段
差で連続的となる構造とし、該構造を、影部にまわり込
むというスパッタリング特有の性質を利用して実現し、
よって、発熱体と記録媒体との接触性を高め、また摺動
摩耗に強いサーマルヘッドを実現した。
上記のようなサーマルヘッドの要部断面図を第１図に示
す。薄膜電極１は、発熱体２の近傍において充分薄く形
成され、該発熱体との接続部１１の薄膜電極の厚みは、
発熱体２の丈！に較べほとんど無視できる厚みとなって
いる。このため、発熱体２の部分が凹みの形状とならず
、記録媒体と発熱体２との接触性は、上記接続部Ｉ′に
おいても充分保たれ、発熱体２で発生する熱は効率よく
記録媒体に伝達される。従って、熱エネルギーのロスが
少なく、より低いエネルギーで高質の記録が行なえ、発
熱体２への熱的負荷も緩和されるため、発熱体２自身の
熱による劣化が起こりにくくなる。
す。薄膜電極１は、発熱体２の近傍において充分薄く形
成され、該発熱体との接続部１１の薄膜電極の厚みは、
発熱体２の丈！に較べほとんど無視できる厚みとなって
いる。このため、発熱体２の部分が凹みの形状とならず
、記録媒体と発熱体２との接触性は、上記接続部Ｉ′に
おいても充分保たれ、発熱体２で発生する熱は効率よく
記録媒体に伝達される。従って、熱エネルギーのロスが
少なく、より低いエネルギーで高質の記録が行なえ、発
熱体２への熱的負荷も緩和されるため、発熱体２自身の
熱による劣化が起こりにくくなる。
また、記録媒体に強く当たる段差部が無いため記録媒体
の摺動による摩耗が、一部に集中するということがなく
、摩耗寿命も向上するものである。
の摺動による摩耗が、一部に集中するということがなく
、摩耗寿命も向上するものである。
以下に本発明の実施例を図面を用いて説明する。
第２図において、グレーズ層８が張られたセラミック基
板４上に発熱体２が形成されている。１０は該発熱体２
のあたりに影をつけるシャッタであり、該シャッタは、
上記発熱体２より、８乃至５ｍ離れて浮かせてあり、幅
は１０１Ｉｊ程度である。この ゝ状態において低
圧のアルゴン雰囲気で、アルミニウムを鉛直上方向より
スパッタリングにより膜付ｆｆＬ、シャッタ１０の影と
ならない部分のアルミニウムの膜厚を約μｍとする。第
８図は上記膜付けの工程を経たサーマルヘッド基板の断
面図であり、膜付けされたアル２ニウムの厚みは、前記
シャッタ１０の少し外側より内側に向けて薄くなり、シ
ャッタＩＯの中心下では約０．１μｍと、発熱体２より
離れた部分の厚みの２０分の工程度となる。
板４上に発熱体２が形成されている。１０は該発熱体２
のあたりに影をつけるシャッタであり、該シャッタは、
上記発熱体２より、８乃至５ｍ離れて浮かせてあり、幅
は１０１Ｉｊ程度である。この ゝ状態において低
圧のアルゴン雰囲気で、アルミニウムを鉛直上方向より
スパッタリングにより膜付ｆｆＬ、シャッタ１０の影と
ならない部分のアルミニウムの膜厚を約μｍとする。第
８図は上記膜付けの工程を経たサーマルヘッド基板の断
面図であり、膜付けされたアル２ニウムの厚みは、前記
シャッタ１０の少し外側より内側に向けて薄くなり、シ
ャッタＩＯの中心下では約０．１μｍと、発熱体２より
離れた部分の厚みの２０分の工程度となる。
このように導電膜、即ちアルミニウム層が膜付けされた
基板に、フォトレジストを塗布し、所望の電極パターン
に露光現像し、リン酸、硝酸及び酢酸を含むエッチャン
トで、アルミニウムのエツチングを行なう。上記エッチ
ャントは、アルミニウムに対しエツチング係数が小さく
、サイドエッチが歩なく、特に、上記発熱体上のアルミ
ニウム膜のように薄い膜の場合、フォトレジスト下に新
鮮なエッチャントが侵入しにくいため、サイドエッチは
ほとんどおこらない。従′りて、上記のような膜厚が、
最大・最小差が大きい場合でも、割合フォトレジストに
忠実な電極形状が、基板全面に対し得られる。
基板に、フォトレジストを塗布し、所望の電極パターン
に露光現像し、リン酸、硝酸及び酢酸を含むエッチャン
トで、アルミニウムのエツチングを行なう。上記エッチ
ャントは、アルミニウムに対しエツチング係数が小さく
、サイドエッチが歩なく、特に、上記発熱体上のアルミ
ニウム膜のように薄い膜の場合、フォトレジスト下に新
鮮なエッチャントが侵入しにくいため、サイドエッチは
ほとんどおこらない。従′りて、上記のような膜厚が、
最大・最小差が大きい場合でも、割合フォトレジストに
忠実な電極形状が、基板全面に対し得られる。
電極のパターニングの後１発熱体を含む部分に耐摩耗性
を有する保護膜を形成する。この後、例えば、半田メッ
キを行なう工程などがあるが、半田メッキを行なう場合
の亜鉛置換、ニッケルメッキの処理において、該処理の
行なわれる部分はアルミニウムの膜厚が２βｔｎあり、
充分密着強度の強い半田メッキが可能である。
を有する保護膜を形成する。この後、例えば、半田メッ
キを行なう工程などがあるが、半田メッキを行なう場合
の亜鉛置換、ニッケルメッキの処理において、該処理の
行なわれる部分はアルミニウムの膜厚が２βｔｎあり、
充分密着強度の強い半田メッキが可能である。
以上のようにして製造されたサーマルヘッドは、薄膜電
極の極めて薄い部分が発熱体の近傍だけでより、電極抵
抗も従来と変わりない。記録媒体と発熱体との接触性は
、薄膜電極の発熱体に接続する部分の厚みが、第１図に
示す発熱体の丈！の１／１０００程度以下であれば充分
良好である。
極の極めて薄い部分が発熱体の近傍だけでより、電極抵
抗も従来と変わりない。記録媒体と発熱体との接触性は
、薄膜電極の発熱体に接続する部分の厚みが、第１図に
示す発熱体の丈！の１／１０００程度以下であれば充分
良好である。
薄膜電極の最薄部の厚みは、第２図に示したシャッタｌ
（ｌを浮かす距離で調整でき、製造するサーマルヘッド
の仕様によって、上記シャッタｌＯの幅及び、該シャッ
タの浮かし方を調整することで容易に変更できる。
（ｌを浮かす距離で調整でき、製造するサーマルヘッド
の仕様によって、上記シャッタｌＯの幅及び、該シャッ
タの浮かし方を調整することで容易に変更できる。
以上説明してきたように、本発明は、発熱体に接続され
る薄膜電極に、発熱体近傍で特に薄くなるという連続的
な膜厚変化を与えることによって１、記録エネルギーの
高効率化 ２、発熱体の熱的劣化の抑制 ８、摩耗寿命の延長 などの効果を発揮し、上述のような薄膜電極の膜厚変化
を、導電膜のスパッタリングによる形成時に影部をつく
るという簡単な方法により、製造プロセスを複雑にする
ことなく実現できるものである。
る薄膜電極に、発熱体近傍で特に薄くなるという連続的
な膜厚変化を与えることによって１、記録エネルギーの
高効率化 ２、発熱体の熱的劣化の抑制 ８、摩耗寿命の延長 などの効果を発揮し、上述のような薄膜電極の膜厚変化
を、導電膜のスパッタリングによる形成時に影部をつく
るという簡単な方法により、製造プロセスを複雑にする
ことなく実現できるものである。
第１図は、本発明にかかるサーマルヘッドの要部断面図
、第２図、第８図は、本発明にかかるサーマルヘッドの
製造方法における一工程を示す断面図、第４図は従来の
サーマルヘッドの要部断面図である。 ｉ 、３０−・薄膜電極 ｌＯ・・シャッタ出願人 セ
イコー電子工業株式会社 第１図 第２図 、睡劉劉逼獣遍面遍塔≧ｒ、ωンマヅク第４図
、第２図、第８図は、本発明にかかるサーマルヘッドの
製造方法における一工程を示す断面図、第４図は従来の
サーマルヘッドの要部断面図である。 ｉ 、３０−・薄膜電極 ｌＯ・・シャッタ出願人 セ
イコー電子工業株式会社 第１図 第２図 、睡劉劉逼獣遍面遍塔≧ｒ、ωンマヅク第４図
Claims (2)
- （１）薄膜の発熱体を具備し、該発熱体の両端に薄膜の
電極が接続されたサーマルヘッドであって、該薄膜の電
極が、上記発熱体の近傍において、発熱体に近づくにつ
れ徐々に薄く形成されていることを特徴とするサーマル
ヘッド。 - （２）薄膜の発熱体層上に写真食刻により電極パターン
が形成されるべき導電膜をスパッタリングにより膜づけ
する工程において、上記発熱体の位置する部分を少なく
とも含んで、サーマルヘッド基板上に該基板から鉛直方
向に離れて上記発熱体の位置する部分に影部をつくるシ
ャッタを設け、上記発熱体の近傍における導電膜の膜厚
を、他の部分の同一物質の導電膜の膜より薄く形成する
ことを特徴とするサーマルヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59176403A JPS6153061A (ja) | 1984-08-24 | 1984-08-24 | サ−マルヘツド及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59176403A JPS6153061A (ja) | 1984-08-24 | 1984-08-24 | サ−マルヘツド及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6153061A true JPS6153061A (ja) | 1986-03-15 |
Family
ID=16013061
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59176403A Pending JPS6153061A (ja) | 1984-08-24 | 1984-08-24 | サ−マルヘツド及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6153061A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012045757A (ja) * | 2010-08-25 | 2012-03-08 | Seiko Instruments Inc | サーマルヘッド、プリンタおよびサーマルヘッドの製造方法 |
-
1984
- 1984-08-24 JP JP59176403A patent/JPS6153061A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012045757A (ja) * | 2010-08-25 | 2012-03-08 | Seiko Instruments Inc | サーマルヘッド、プリンタおよびサーマルヘッドの製造方法 |
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