JPS6151634A - 光学式情報記録媒体の製造方法 - Google Patents
光学式情報記録媒体の製造方法Info
- Publication number
- JPS6151634A JPS6151634A JP17441584A JP17441584A JPS6151634A JP S6151634 A JPS6151634 A JP S6151634A JP 17441584 A JP17441584 A JP 17441584A JP 17441584 A JP17441584 A JP 17441584A JP S6151634 A JPS6151634 A JP S6151634A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- electron beam
- optical information
- recording medium
- base
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/24—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
- G11B7/26—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of record carriers
- G11B7/261—Preparing a master, e.g. exposing photoresist, electroforming
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔利用分野〕
本発明は基材上に電子ビーム露光レジストを塗布し、電
子ビームを露光してトラッキング案内溝または／および
情報信号を平行又は同一曲率の円弧列に形成した記録原
盤をつくり、原盤からマスクを製作し、マスクからスタ
ンパを取ることによって光学式情報記録媒体を製造する
方法に関する。特に倹カード形式の記録媒体の製造に好
適な方法である。
子ビームを露光してトラッキング案内溝または／および
情報信号を平行又は同一曲率の円弧列に形成した記録原
盤をつくり、原盤からマスクを製作し、マスクからスタ
ンパを取ることによって光学式情報記録媒体を製造する
方法に関する。特に倹カード形式の記録媒体の製造に好
適な方法である。
従来の光学式情報記録媒体はトラッキング案内溝または
／および情報信号をレーザービームにより同心円又はス
パイラル状に形成していた。そのためトラッキング案内
溝又は／及び情報信号を形成する際、基材を角速度一定
で回転させながらカッティングした場合には外周側程記
録密度が疎となり、また内外周側ともに同一の線速度で
基材を回転させながらカッティングする場合には、線速
度を一定に保てるカッティング装置を使用しなければな
らないだけでなく、記録媒体には再生時に線速度を一定
にする様にモーターの回転数を制御するための信号を形
成しなければならないという欠点を有していた。
／および情報信号をレーザービームにより同心円又はス
パイラル状に形成していた。そのためトラッキング案内
溝又は／及び情報信号を形成する際、基材を角速度一定
で回転させながらカッティングした場合には外周側程記
録密度が疎となり、また内外周側ともに同一の線速度で
基材を回転させながらカッティングする場合には、線速
度を一定に保てるカッティング装置を使用しなければな
らないだけでなく、記録媒体には再生時に線速度を一定
にする様にモーターの回転数を制御するための信号を形
成しなければならないという欠点を有していた。
本発明は前記した従来技術における記録密度の＃密、モ
ーターの回転数の制御信号を記録しなければならない不
都合を解消するとともに、記録媒体の形状、大きさに拘
束されることなく ｔＰ＃報を極めて高密度に記録でき
る光学式↑Ｉｔｆｌｌｌ記録媒体を大量に製作可能とす
ることを目的とする。
ーターの回転数の制御信号を記録しなければならない不
都合を解消するとともに、記録媒体の形状、大きさに拘
束されることなく ｔＰ＃報を極めて高密度に記録でき
る光学式↑Ｉｔｆｌｌｌ記録媒体を大量に製作可能とす
ることを目的とする。
本発明は、基材の表面に電子ビーム露光レジストＩＩ￥
を形成させ、該レジスト膜に電子ビームを記１５ｊすべ
き情報に応じて露光し、その後現像処理を行い原盤を製
作するようにした。原盤からマザー、マザーからスタン
パを製作する方法は従来の光学式情報記録媒体と同様の
方法を採用することができる。上記手段を採用すること
により、第１図及び第２図に示すようにトラッキング案
内溝または／よ夕よび情報信号を平行又は同一曲率の円
弧列状に形成することが極めて容易となった。
を形成させ、該レジスト膜に電子ビームを記１５ｊすべ
き情報に応じて露光し、その後現像処理を行い原盤を製
作するようにした。原盤からマザー、マザーからスタン
パを製作する方法は従来の光学式情報記録媒体と同様の
方法を採用することができる。上記手段を採用すること
により、第１図及び第２図に示すようにトラッキング案
内溝または／よ夕よび情報信号を平行又は同一曲率の円
弧列状に形成することが極めて容易となった。
本発明に係る光学式情報記録媒体の製造方法は基材に電
子ビーム露光レジスト膜を形成し、レジスト膜に電子ビ
ームを露光して、その後現像処理をすることにより、ト
ラッキング案内溝または／および情報信号を平行または
同一曲率の円弧列に形成した原盤を製作することを特徴
とする。
子ビーム露光レジスト膜を形成し、レジスト膜に電子ビ
ームを露光して、その後現像処理をすることにより、ト
ラッキング案内溝または／および情報信号を平行または
同一曲率の円弧列に形成した原盤を製作することを特徴
とする。
第３図に示すように高度に研摩加工した基材としてのガ
ラス板（２）に電子ビーム露光レジスト膜（３）を設け
る。
ラス板（２）に電子ビーム露光レジスト膜（３）を設け
る。
この場合レジスト膜（３）とガラス板（２）との密着性
を向上させるために、ガラス板上にＣｒ等の金Ｂ薄膜を
設けても良い、またガラス板（２）の代りに鏡面加工し
た金泥板であってもよい。レジスト膜（３）の゛厚さは
再生専用型の光学式情報記録媒体として用いる場合には
、反射光量差が最大となるλ／４ｎ（λは再生光の波長
、ｎは透明基材の屈折率）が好ましく、後記する追記録
可能型や書換可能（消去可能）型の光学式情報記録媒体
として用いる場合には、λ／８ｎが好ましい。
を向上させるために、ガラス板上にＣｒ等の金Ｂ薄膜を
設けても良い、またガラス板（２）の代りに鏡面加工し
た金泥板であってもよい。レジスト膜（３）の゛厚さは
再生専用型の光学式情報記録媒体として用いる場合には
、反射光量差が最大となるλ／４ｎ（λは再生光の波長
、ｎは透明基材の屈折率）が好ましく、後記する追記録
可能型や書換可能（消去可能）型の光学式情報記録媒体
として用いる場合には、λ／８ｎが好ましい。
両生専用型の場合、上記工程により形成した電子ビーム
露光レジスト膜（３）に電子ビーム（５）を露光して平
行又は同一曲率の円弧列状に情報信号に応じたパターン
を描き、次いでレジスト膜（３）を現（象処理すること
により、第４図に示すように情報信号に対応した四部（
５）を形成する。以上の工程により情報信号を記録した
原盤（Ａ）を製作することができる。なお、レジストは
図に示すポジ型に限らずネガ型を用いてもよい。
露光レジスト膜（３）に電子ビーム（５）を露光して平
行又は同一曲率の円弧列状に情報信号に応じたパターン
を描き、次いでレジスト膜（３）を現（象処理すること
により、第４図に示すように情報信号に対応した四部（
５）を形成する。以上の工程により情報信号を記録した
原盤（Ａ）を製作することができる。なお、レジストは
図に示すポジ型に限らずネガ型を用いてもよい。
上記原盤（Ａ）から第５図に示す如き、情報信号に対応
する凹部（５）を有する基板（６）、保護コーテイング
膜（７）、ハードコーティング１１３（８）等からなる
光学式情報記録媒体（Ｂ）を製造するには原ＷＥ（Ａ）
からニッケルのマスクを製作し、次いでマスクからマザ
ーを取り、マザーからスタンパを取る方法、スタンパを
型にしてプラスチックを射出成形して記録媒体の情報信
号に対応する凹部を有する基板を成形する方法、（或い
は感光性樹脂を使って上記基板を成形するいわゆる２Ｐ
法）、洗浄工程、反射膜のコーティング、保護層の塗装
、貼り合せ工程などは、既に知られているコンパクトデ
ィスクのような光学式情報記録媒体を製作するのに使用
される方法をそのまま用いることができる。
する凹部（５）を有する基板（６）、保護コーテイング
膜（７）、ハードコーティング１１３（８）等からなる
光学式情報記録媒体（Ｂ）を製造するには原ＷＥ（Ａ）
からニッケルのマスクを製作し、次いでマスクからマザ
ーを取り、マザーからスタンパを取る方法、スタンパを
型にしてプラスチックを射出成形して記録媒体の情報信
号に対応する凹部を有する基板を成形する方法、（或い
は感光性樹脂を使って上記基板を成形するいわゆる２Ｐ
法）、洗浄工程、反射膜のコーティング、保護層の塗装
、貼り合せ工程などは、既に知られているコンパクトデ
ィスクのような光学式情報記録媒体を製作するのに使用
される方法をそのまま用いることができる。
追記録可能型や書換可能（消去可能）型の光学式情報記
録媒体の場合は、後に利用者が情報信号を記録再生する
のに都合よいようにトラッキング案内溝やアドレス信号
等を予め形成しておく。
録媒体の場合は、後に利用者が情報信号を記録再生する
のに都合よいようにトラッキング案内溝やアドレス信号
等を予め形成しておく。
すなわち、レジスト膜に電子ビームを露光して平行また
は同一曲率の円弧列状にトラッキング案内溝やアドレス
信号を記録した原盤を製作し、それから前記再生専用型
と同様にしてスタンパを製作し、該スタンパによりトラ
ッキング案内溝やアドレス信号が平行又は同一曲率の円
弧列に形成された基板を大量に複製する。
は同一曲率の円弧列状にトラッキング案内溝やアドレス
信号を記録した原盤を製作し、それから前記再生専用型
と同様にしてスタンパを製作し、該スタンパによりトラ
ッキング案内溝やアドレス信号が平行又は同一曲率の円
弧列に形成された基板を大量に複製する。
次いで、この基板に追記録可能型または書換え可能型の
情報記録膜を公知の技術により設ける。上記記録膜とし
ては種々の記録方式、例えば記録膜を溶融させてピント
を形成する方法、バルブを形成する方法、結晶とアモル
ファスの反射光量差を利用する方法等の相違に応じて適
宜なものを選ぶことができる。記録膜の材料としては、
Ｔｅや非Ｔｅ系無機材料に限らず、色素や樹脂を組み合
せた有機材料であってもよい。また別の書換可能（消去
可能）型の方式として、磁気カー効果や磁気ファラディ
効果を利用して磁区を識別し、信号を再生する方式を採
用することもでき、この場合には磁性薄膜を記録膜とし
て用いる。
情報記録膜を公知の技術により設ける。上記記録膜とし
ては種々の記録方式、例えば記録膜を溶融させてピント
を形成する方法、バルブを形成する方法、結晶とアモル
ファスの反射光量差を利用する方法等の相違に応じて適
宜なものを選ぶことができる。記録膜の材料としては、
Ｔｅや非Ｔｅ系無機材料に限らず、色素や樹脂を組み合
せた有機材料であってもよい。また別の書換可能（消去
可能）型の方式として、磁気カー効果や磁気ファラディ
効果を利用して磁区を識別し、信号を再生する方式を採
用することもでき、この場合には磁性薄膜を記録膜とし
て用いる。
本発明によって製作した原盤を用いた光学式情報記録媒
体としては種々の利用形態が考えられるが、再生専用型
としてはコンピュータ用のＲＯＭカード、例えばパソコ
ンゲームのソフト、１０カード、各種機器の制御プログ
ラムＲＯＭとして用いることができ、追記録可能型とし
ては、画像、実験データのファイル、病院のカルテ、銀
行カード、プログラムやコード情報のバックアップメモ
リ等として使用することができ、書換可能（消去可能）
型としては、コンピュータの外部メモリ等として使用す
ることができる。
体としては種々の利用形態が考えられるが、再生専用型
としてはコンピュータ用のＲＯＭカード、例えばパソコ
ンゲームのソフト、１０カード、各種機器の制御プログ
ラムＲＯＭとして用いることができ、追記録可能型とし
ては、画像、実験データのファイル、病院のカルテ、銀
行カード、プログラムやコード情報のバックアップメモ
リ等として使用することができ、書換可能（消去可能）
型としては、コンピュータの外部メモリ等として使用す
ることができる。
本発明による記録原盤は電子ビーム露光レジスト膜に電
子ビームを露光現像することにより、情報信号、トラッ
キング案内溝等に対応する凹部を極めて高密度にしかも
どの場所にも同一の密度で形成した原盤を作成すること
が可能である。しかも記録媒体の大きさ、形状に拘束さ
れることもなく、特に小型（例えばキャッシュカードと
同じ大きさ）のカード状のものにも大量ｆｆ（ＬＭバイ
ト〜５Ｍバイト）の情報を記録することが可能である。
子ビームを露光現像することにより、情報信号、トラッ
キング案内溝等に対応する凹部を極めて高密度にしかも
どの場所にも同一の密度で形成した原盤を作成すること
が可能である。しかも記録媒体の大きさ、形状に拘束さ
れることもなく、特に小型（例えばキャッシュカードと
同じ大きさ）のカード状のものにも大量ｆｆ（ＬＭバイ
ト〜５Ｍバイト）の情報を記録することが可能である。
更には、一度だけの電子ビームの露光により１つの原盤
を作成することができ、この原盤を元にしてスタンパを
作り、このスタンパにより大量の光学式情報記録媒体を
効率よ（生産することができる。
を作成することができ、この原盤を元にしてスタンパを
作り、このスタンパにより大量の光学式情報記録媒体を
効率よ（生産することができる。
第１図及び第２図はトラッキング案内溝及びまたは情報
信号を平行又は同、Ｔ？曲毫の円弧列に形成した記録原
盤の平面図で、第３図及び第４図は電子ビーム露光によ
り製作された記録原盤の製造工程毎の拡大断面図で、第
５図は上記原盤により製作された光学式情報記録媒体の
断面図である。 図中、１はトラッキング案内溝及び又は情報信号、２は
ガラス板または金属板（基材）、３は電子ビーム露光レ
ジスト、４は電子ビーム、５はトラッキング案内溝及び
または情報信号に対応する凹部、６はトランキング案内
溝及びまたは情報信号に対応する凹部を有する基板、７
は保護コーテイング膜、８はハードコーティング膜を夫
々示している。
信号を平行又は同、Ｔ？曲毫の円弧列に形成した記録原
盤の平面図で、第３図及び第４図は電子ビーム露光によ
り製作された記録原盤の製造工程毎の拡大断面図で、第
５図は上記原盤により製作された光学式情報記録媒体の
断面図である。 図中、１はトラッキング案内溝及び又は情報信号、２は
ガラス板または金属板（基材）、３は電子ビーム露光レ
ジスト、４は電子ビーム、５はトラッキング案内溝及び
または情報信号に対応する凹部、６はトランキング案内
溝及びまたは情報信号に対応する凹部を有する基板、７
は保護コーテイング膜、８はハードコーティング膜を夫
々示している。
Claims (1)
- 基材に電子ビーム露光レジスト膜を形成し、レジスト膜
に電子ビームを露光して、その後現像処理することによ
り、トラッキング案内溝または／および情報信号を平行
又は同一曲率の円弧列に形成した原盤を製作することを
特徴とする光学式情報記録媒体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17441584A JPS6151634A (ja) | 1984-08-22 | 1984-08-22 | 光学式情報記録媒体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17441584A JPS6151634A (ja) | 1984-08-22 | 1984-08-22 | 光学式情報記録媒体の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6151634A true JPS6151634A (ja) | 1986-03-14 |
Family
ID=15978152
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17441584A Pending JPS6151634A (ja) | 1984-08-22 | 1984-08-22 | 光学式情報記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6151634A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5389313A (en) * | 1987-12-28 | 1995-02-14 | Canon Kabushiki Kaisha | Method of producing a molding die for an information recording medium |
| KR100496727B1 (ko) * | 2002-02-20 | 2005-06-22 | 제이엠아이 주식회사 | 대전방지 및 보호기능을 갖는 광디스크 |
-
1984
- 1984-08-22 JP JP17441584A patent/JPS6151634A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5389313A (en) * | 1987-12-28 | 1995-02-14 | Canon Kabushiki Kaisha | Method of producing a molding die for an information recording medium |
| KR100496727B1 (ko) * | 2002-02-20 | 2005-06-22 | 제이엠아이 주식회사 | 대전방지 및 보호기능을 갖는 광디스크 |
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