JPS6148812A - ガルバノメ−タミラ−駆動方法 - Google Patents

ガルバノメ−タミラ−駆動方法

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JPS6148812A
JPS6148812A JP59170797A JP17079784A JPS6148812A JP S6148812 A JPS6148812 A JP S6148812A JP 59170797 A JP59170797 A JP 59170797A JP 17079784 A JP17079784 A JP 17079784A JP S6148812 A JPS6148812 A JP S6148812A
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Noritaka Fukai
深井 宣隆
Yuji Ohara
大原 祐二
Toshitaka Agano
俊孝 阿賀野
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (発明の分野) 本発明はガルバノメータミラーの駆動方法、特に詳細に
は往m肋周期可変にガルバノメータミラーを駆動する方
法に関するものである。
(発明の技術的背景および先行技術) 従来より、各種光学走査装置の光偏向器としてガルバノ
メータミラーが広く用いられている。周知のようにこの
ガルバノメータミラーは、のこぎり状の電圧波形を有す
る駆動電流が供給されて往復動するようになっている。
ガルバノメータミラーの往復動周期を一定に保つ場合に
は、上記駆動電流として、定常的な山と谷が規則的に繰
り返すのこぎり波形のものを使用すればよい。しかしガ
ルバノメータミラーにより光を偏向して主走査し、被走
査面を該主走査の方向と略直角な方向に移動させて副走
査する際に、同一被走査面内で副走査速度を適宜変化さ
せたいような場合には、ガルバノメータミラーの往復動
周期を可変に丈ることが求められる。
このようにガルバノメータミラーの往復動周期を可変と
Jる場合従来は、第3図に示されるようにのこぎり波S
oの山部を、ガルバノメータミラーの最大据角θ1が1
qられる所定電圧Vlで切り、この所定電圧v1に維持
する時間Tl、Tzを変えるようにしていた。こうづ゛
れば、ガルバノメータミラーが最大振角において停止し
ている時間が変化して、その往復動周期が変わりうる。
なお第4図に示されるように、のこぎり波Soの谷部を
、ガルバノメータミラーの最大振角θ2 (上記最大振
角θ1とは反対側の最大振角である)が得られる所定電
圧v2で切ることもある。
ところが第3.4図に破線で示すようにガルバノメータ
ミラーの振角は、供給される駆動電流の波形に対して応
答遅れを有するから、ガルバノメータミラーの往復動周
期を短く設定するために、駆動電流を前記所定電圧vl
あるいはv2に維持する時間を第3.4図のTlのよう
に短く設定すると、ガルバノメータミラーは最大振角θ
lあるいはθ2に達する前に反転されるようになる。し
たがってガルバノメータミラーの振幅が変化してしまい
、該ガルバノメータミラーによって偏向される光の直線
走査時間1..12つまりは走査線長がまちまちになっ
てしまう。
(発明の目的) そこで本発明は、上記のような不具合を生じることなく
ガルバノメータミラーを往復動周期可変に駆動しうる、
ガルバノメータミラー駆動方法を提供することを目的と
するものである。
(発明の構成) 本発明のガルバノメータミラー駆動方法は、前述のよう
にのこぎり状の電圧波形を有する駆動電流によりガルバ
ノメータミラーを往復動させるガルバノメータミラー駆
動方法において、上記電圧波形を、ガルバノメータミラ
ーを最大撮角に設定する所定電圧を超えるまでのこぎり
状電圧波形を維持し、ガルバノメータミラーが最大振角
に達してから反転して上記所定電圧に戻り、所望の往復
動周111に対応した時間この所定電圧を維持するよう
に整形することを特徴とするものである。
(実施態様) 以下、図面に示す実tM態様に基づいて本発明の詳細な
説明する。
第5図は本発明の第1実施態様方法を実lJI!J′る
装置を示すものである。例えばレーザ等のビーム発生手
段1から射出された走査ビーム2は公知のガルバノメー
タミラー3に入射され、往復vJする該ガルバノメータ
ミラー3によって偏向される。
偏向された走査ビーム2は被走査シート4上を矢印へ方
向に走査しく主走査)、また被走査シート4が一例とし
てエンドレスベルト5により上記主走査の方向と略直角
な矢印B方向に移動され(副走査)、それにより被走査
シート4は走査ビーム2により2次元的に走査される。
ここで上記副走査の速度を可変にしたい要求があるとき
、エンドレスベルト5の移動速度だけを変えたのでは、
走査線間隔がまちまちになってしまうので、ガルバノメ
ータミラー3が最大振角で停止している時間を変えて、
その往復動周期も変える必要が有る。このような要求を
;鼻)だすためガルバノメータミラー3は、電源10か
ら供給されのこぎり波発生回路11および波形整形回路
12を通して(qられた駆1FII?H流Eによって駆
動されるようになっている。第1図は上記駆動電流Eの
電圧波形Sを詳しく示すものである。該電圧波形Sは基
本的にのこぎり波発生回路11によって発生されたのこ
ぎり波からなるが、該電圧波形Sは上記波形整形回路1
2により、のこぎり状の部分が、ガルバノメータミラー
3を最大振角θ1に設定する所定電圧Vsを一定電圧V
pだけ上回るまで維持され、電圧(■s +Vp)に達
したならば反転して上記所定電圧Vsに戻り、時間TS
1、TS2だけ上記所定電圧■1を維持した債、再びの
こぎり状に復帰するように整形されている。
上記の所定電圧■1が維持される時間T′sl、TS2
は、副走査速度制御回路13から波形整形回路12に入
力される往復動周期信号Pに基づいて制御されるように
なっており、この時間TS+ 、TS2が変えられるこ
とにより、第1図に破線で示されるようにガルバノメー
タミラー3が最大振角θ1で停止している時間が変化し
、その往iり妨周期が変えられる。ここで、前述したよ
うにガルバノメータミラー駆!flI電流Eの電圧波形
Sは、所定電圧V、lを電圧Vpだけ上回るまでのこぎ
り状を維持するように整形されているので、ガルバノメ
ータミラー3の振方応答が駆動電流波形Sに対して応答
遅れを有していても、ガルバノメータミラー3は上記所
定電圧■1によって設定される最大振方θlに必ず到達
する。このようにガルバノメータミラー3が必ず最大振
方θ1まで達ずれば、その振幅つまりは直線走査時間1
..12が一定になり、走査線長は常に一定に保たれる
上記所定電圧Vlを上回る一定電圧Vρは、ガルバノメ
ータミラー3の特性と、該ガルバノメータミラー3に求
められる最短往復動周期つまりは所定電圧v1を維持す
る時17!lTsの最小値とに応じて、ガルバノメータ
ミラー3が最短往復動周期に設定される際にも必ず最大
振方θ!に達するように設定すればよい。また上記のよ
うに電圧波形Sを、所定電圧Vlを一定電圧Vpだけ上
回ったならば反転づるように整形づる他、ガルバノメー
タミラー3の最大振方θ1を実際に検出してその検出信
号を波形整形回路12に入カザるようにし、この検出信
号が入ノ〕されたならばその時点で電圧単調増加を止め
て反転さぜるように整形してもよい。
なお副走査速度制御回路13からエンドレスベルト駆動
装置14には、ガルバノメータミラー3の往復動周期に
反比例した副走査送り速度を(q持する速度信号Mが入
力され、エンドレスベルト駆動装置14はこの速度信号
Mに応じた速度でエンドレスベルト5を駆動する。それ
により被走査シート4における副走査ピッチ(走査線の
「l;1隔)ば一定に保たれる。
以上ガルバノメータミラー3の駆動電流波形Sを、のこ
ぎり波の山の部分において所定電圧v1を超えるように
整形した実7II態様について説明したが、第2図に示
すように、のこぎり波の谷の部分にお、いて、ガルバノ
メータミラー3を最大振方θ2に設定する所定電圧V2
を超えるように整形しても全く同様の作用が得られる。
なお本発明方法にJ3いて用いられるのこぎり波は、第
1.2図に示されるように直線的な電圧増大、低下を繰
り返すいわゆる完全なのこぎり波に限らず、やや曲線的
な波形を有するものが用いられてもよい。
(発明の効果) 以上詳細に説明した通り本発明のガルバノメータミラー
駆動方法によれば、ガルバノメータミラーは常に振幅一
定で直線走査時間を変動させることなく、往復動周期可
変で駆動されうるがら、走査周期可変範囲の広い安定し
た光学走査が可能になる。
【図面の簡単な説明】
第1図および第2図はそれぞれ、本発明の第1および第
2実施態様方法にJ3けるガルバノメータミラー駆動電
流波形とガルバノメータミラー振方応答を示すグラフ、 第3図および第4図はそれぞれ、従来方法にあけるガル
バノメータミラー駆動電流波形とガルバノメータミラー
振方応答を示すグラフ、第5図は本発明方法を実施する
装置の一例を示す概略図である。 3・・・ガルバノメータミラー 11・・・のこぎり波発生回路 12・・・波形整形回路 S・・・ガルバノメータミラー駆動電流の電圧波形Vl
、V2・・・所定電圧

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. のこぎり状の電圧波形を有する駆動電流を供給してガル
    バノメータミラーを往復動させるガルバノメータミラー
    駆動方法において、前記電圧波形を、前記ガルバノメー
    タミラーを最大振角に設定する所定電圧を超えるまでの
    こぎり状の電圧波形を維持し、ガルバノメータミラーが
    前記最大振角に達してから反転して前記所定電圧に戻り
    、所望の往復動周期に対応した時間この所定電圧を維持
    するように整形することを特徴とするガルバノメータミ
    ラー駆動方法。
JP59170797A 1984-08-16 1984-08-16 ガルバノメ−タミラ−駆動方法 Expired - Fee Related JPH0627905B2 (ja)

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