JPS6148417A - シリコン溶融炉 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、太陽電池、その他の光電変換菓子等に用いら
れている多結晶シリコンウェハを、製造皿の使用により
ターンテーブル機構による円心力作用を利用して製造す
る所謂「スピン法」の実施に供して好適なシリコン溶融
炉に関するものである。

〔従来の技術〕

この種の炉においては当然のことながら炉の内部は完全
なアルゴン等による不活性ガス雰囲気であることが絶対
条件であるが、従来は回分式製造にひいても、炉内にウ
エノ・成形用のモールドモジュールを取シ込み、又はこ
れを炉内から製品と共に取り出す際、炉が開放されてし
まうので、その都度炉内の不活性ガス雰囲気が失われて
しまい、新たに最初から空気−アルゴンのガス置換が必
要となり、工程的にも、経済的にも非量産的であった。

更にスピン法にあっては、不活性ガス雰囲気で、しかも
十数百度の高温状態において、ターンテーブルを回転さ
せ多結晶シリコンウェハへの製造作業を行なうのである
が、このような全製造工程を、能率的に実施し得る装置
が、これまで提案されていない。

〔発明が解決しようとする問題点〕

本発明は前述の問題点に満足を与えるべく種々荻討の結
果創作し得たものであって、本体内！　　　　　　　　
部に外気を侵入させる員７しにゝ−′ｂｐ’ｑ″′ニー
ルの出し入れを行ない得るようにし、これによシ、スピ
ン法による多結晶シリコンウエノ）の能率的生産を可能
とするのが、その目的である。

〔問題点を解決するための手段〕 即ち本発明は、モールドモジュール搬送用自立ローラー
金偏えた内部が不活性ガス雰囲気に保持可能なるよう形
成された本体の前部と後部には、モールドモジュール取
込部とモールドモジュール及び製品取出部を夫々設けて
、その中央部には溶融シリコン注入部と昇降可能なター
ンテーブルを夫々設け、上記取込部と取出部には、上記
本体及び外部との７−ルを自在として、かつ−パツチ毎
に排気及び給ガス可能としｆｃ取込準備室と取出準備室
を夫々設けて構成することによシ前記問題点を解決した
のである。

〔実　施　例〕

以下に本発明の一実施例を図面に基づいて詳述する。

第１図は炉全体の縦断側面図であり、同図に示したよう
に本体Ａにモールドモジュール取込部Ｂと、モールドモ
ジュール及び製品取出部Ｃと、プレヒーティング部りと
、アフターヒーティング部Ｅと、溶融シリコン注入部Ｆ
と、ターンテーブルＧとを備えて構成されている。

上記本体人は第１図、第２図に示したように横断面矩形
法で、かつ横長の密閉されたケーシング１からな９、そ
の前部には上記モールドモジュール取込部Ｂを、その後
部には上記モールドモジュール及び製品取出部Ｃが夫々
設けられていると共に、その中央部位の上部と下部には
上部溶融シリコン注入部ＦとターンテーブルＧが同軸上
に配設されている。

又、上記本体Ａの内部にあって、その前後方向にはモー
ルドモジュール搬送用自立ローラー２が、上記モールド
モジュール取込部Ｂ、！：、上記モールドモジュール及
び製品取出部Ｃを除いた部分に設けであると共に当該Ｂ
、Ｃと上記溶融シリコン注入部Ｆとの間、そして当該溶
融シリコン注入部Ｆの内部には、カーボンファイバー等
による断熱材３．３’　、３’と、その内側にヒーター
４．４’　、４”ｉ−配置して形成され、夫々上記プレ
ヒーティング部りと、アフターヒーティング部Ｅが形成
されており、後述するようにして搬送されていくモール
ドモジュール及び溶融シリコン並びに成形後のウェハが
加熱されるようになっている。

又、上記モールドモジュール取込部Ｂは、上下動可能な
モールドモジュール載置台６及びシールフランジ６と、
上下動可能な取込準備室７と、上記載置台５に載置した
モールドモジュールをすくい上げ、次工程へ押し出すメ
カニカルハンド８及び押し出し用ブロック９等にて形成
されている。

又、上記モールドモジュール及び製品取出部Ｃは上下動
可能なシールフランジ１０と、上下動可能な取出受皿１
１と、側壁が水ジャケット１２′よりなる冷却室を兼ね
た取出準備室１２と、モールドモジュール及び製品を上
記搬送用自立ローラー２から受継ぐキャッチハンド１３
等から形成されている。

そして、上記モールドモジュール取込部Ｂにおけるモー
ルドモジュール載置台５及びシールフランジ６と、取込
準備室７は夫々昇降機構１４．１６に：り上下動される
。

ここで上記昇降機構１４は、本体Ａから立設した支持枠
１４ａに、モーター１４ｂによって回転さｎる回転部材
１４ｃが支持され、該回転部材１４ｃに、ネジ部１４ｅ
ｉ有する／ギフト１４ｄが螺合貫通させてあυ、該シャ
ツ）１４ｄの下端に前記ジ−ルブラ／シロが一体に固設
させてあって、非回転状態にて支持されており、上記モ
ーター１４ｂによって上記回転部材１４ｃが回転される
ことにより上記シャフト１４ｄがシールフランジ６ｔ−
伴なって昇降される構成となってお９、又、上記シャフ
ト１４ｄの本体１を貫通する部位には、Ｏリング１４ｆ
が施されて、シール状態となっている。

ここで、上記モールドモジュール取込部Ｂに（オケるモ
ールドモジュール載置台５は、第８図、第９図に示した
如く千面略正方形状に形成させてあり、その四隅角から
棒状材料５’　、５’・・・・を介して上記シールフラ
ンジ６と上下方向に適当な間隔全保持した状態で連結さ
れている。

上記載置台６に載置されるモールドモジュール１６及び
［送台１７は第３図ないしオフ図に夫々示した如く、夫
々平面円形状及び平面正号形状に形成されており、該モ
ールドモジュール１６は溶融シリコン注入口（ａｌ　を
中央部に有する上型１６ａと、下部周囲に突部１６ｃを
有する下型１６ｂとで形成されてお９、該両型１６ａ。

１６ｂがボルト等の手段で重積締着されており、当該締
着状態にて連通した複数個のキャピテイ１６ｄが形成さ
れている。

一方、上記搬送台１７は、中央部に上記モールドモジュ
ール１６の下型１６ｂに形成した突部１６　ｃが嵌合す
る円形の孔１７ａが貫設してあり、該搬送台１７にモー
ルドモジュール１６を載置させたものｔ−１組として上
記載置台５に所望数組だけ第１０図、第１１図に示した
如くＩ２積みして載置される。

次に、上記取込準備室７の昇降機構１５であるが、取込
準備室７は、中間部にネジ部１５ｂ金石するシャフト１
５ａの上端にカップ部材７ａを固定して形成されている
ので、上記シャフト１５ａのネジ部１５ｂに螺合した回
転部材１５　ｃを支持枠１５ｄに回転自在なるよう支持
し、該回転部材１５ｃが上記支持枠１５ｄに支持されて
いるモーター１６ｅによって回転されることにより、上
記シャフト１ｔ５ａがカップ部材７ａ’を伴なって昇降
される構成となっている。

ここで、上記シャフト１５ａの下部は、上記支持枠１５
ｄに上下動可能なるよう嵌合されているグレート１５ｆ
に支持され、当該シャフト１５ａの振れを阻止している
。

又、前記モールドモジュール及び製品取出部ＣＫｐける
シールフランジ１ｏと、取出準備室１２も昇降機［１Ｂ
、１９によって昇降動するのでるって、その昇降機構１
８ｒｉ、前記昇降機構１４と同様に１本体人から立設し
た支持枠１８ａ　　と、該支持枠１８ａに、モーター１
８ｂによって回転可能に支持された回転部材１８ｃと、
下端に上記シールフランジ１０全固定したネジ部１８　
ｅ　ｆ有するシャフト１８ｄとからなり、該シャツ）１
８ｄが上記回転部材１８ｃに螺合貫通させであることに
より、回転部材１８ｃの回転によってシャフト１８ｄは
シームフランジ１ｏを伴なって昇降動する。

ここで、上記シャフト１８ｄの本体１を貫通する部分に
はＯＩＪング１８ｆが施され、シールの役割を果してい
る。

次いで、上記取出準備室１２の昇降機構１９であるが、
これは、底板１９ａと頂板１９ｂ間に回転自在にして、
かつ適当な間隔に並設した２本のネジ部１９ｄ、１９ｄ
’を有するシャフト１９０％　１９　ｃ’間にあって、
両端部を上記ネジ部１９ｄ、１９ｄ’に夫々螺合貫通し
た状態にてベース板１９ｅが架設されていると共に、該
ベース板１９ｅｔ−貫通して垂下させた油圧シリンダー
１９ｆは、当該ベース板１９ｅの裏面に垂下固設した支
持枠１９ｇに支承せしめ、更に上記底板１９ａに固定し
たモーター１９ｈと上記両シャフト１９ｃｓ　１９ｃ’
に固定したプ−リー１９ｉ、１９ｉ’　を動力伝達機構
１９ｊ１１９ｊ′にて連動連結して形成されている。

ここで、上記油圧シリンダー１９ｆにおける出力軸１９
ｆ′がベース板１９ｅｉ貫通する部分には０リング１９
ｋが施されてシールしてあり、該出力ｌｌ１１１９ｆ’
には、そのベース板１９ｅから上方へ突出した端部に上
記受皿１１が固定されている。

而して、上記受皿１１はベース板１９　ｅと同時に、又
は単独で昇降動作可能であるから、こｎらを同時に昇降
動させる場合は、モーター１９ｈの回転によりシャフト
１９ｃ、１９ｃ’を回転させ、これにより上記ベース板
１９ｅを昇降させればよく、−万、受皿１１のみを昇降
させるときは、油圧シリンダ−１９ｆｉ作動させればよ
い。

、′ｅ′−に・前記溶融′す°′注入部Ｆであるが・こ
れは、同一縦軸上に、シリコン注入管２ｏと、ルツボ２
０ａと、漏斗２０ｂとを順次下位となるよう配置して形
成されて２９、上記漏斗２０ｂを介して回転しているモ
ールドモジュール１６のシリコン二人口ａに溶融シリコ
ンを適量注入可能としであるが、ここで、シリコ／を収
納するルツボ２０　ａの作動は第１図に例示した如く反
転レバー２０　ｃ　ｋルツボ２０ａの上部に貫通固定し
、両端は本体Ａから立設された側壁２０ｄ１２０ｄｔ−
貫通して回転自在に架設し、その側壁２０ｄ、２０ｄの
貫通部は０す／グ２Ｏｆによりシールし、該反転レバー
２０ｃを反転傾斜させてルツボ２０ａから溶融シリコン
を上記漏斗２０ｂに注入可能とすればよい。

又、前記ターンテーブルＧは昇降動と回転動が可能とな
っており、その昇降機構２１及び回転機構２２は次のよ
うに構成されている。

上記昇降機構２１は第１図に示した如く、枠組み形成さ
れた支持枠２１ａに、ネジ部２１ｃを有するシャフト２
１ｂがモーター２１ｄによシ動力伝達機構２１ｅを介し
て回転自在なるよう垂設させてあり、上記支持枠２ｉａ
のガイド杆２１　ｆ、２１　ｆに案内可能なるよう水平
状態に架設した昇降板２１ｇｔ”、同板２１ｇに固定し
たブツシュ２１ｈが上記シャフト２１ｃのネジ部２１ｂ
と螺合されることによって昇降自在となって２９、さら
に、この昇降板２１ｇにシャフト２２ａｉ介してターン
テーブルＧが固設されることで同テーブルＧは昇降自在
となっている。

−１、回転機構２２は、上記昇降板２１ｇに上記シャフ
ト２２ａが回転自在なるようシール部材２２ｂｔ−介し
て立設され該シャフト２２ａと、昇降板２１ｇに固設し
たモーター２２ｃとを動力伝達機構２２ｄにて連動連結
することにより構成しである。

ここで、上記シャフト２２ａの上部は、カーボンファイ
バー等よりなる断熱材２２　ｅ、　２２　ｆによシ熱か
ら保護されていると共に、本体Ａに固設したケーシング
２２ｇに内装したカーボンブソ７ユ２２ｈによって振れ
止めさｎてお９、又上記昇降機構２１によって昇降動作
が行なわれる場合でも不休Ａ内と外気との／−ル状悪が
確保されるように、上記ケーシング２２ｇと昇降板２１
ｇ間にろって、上記シャフト２２ａが伸縮自在な蛇腹管
２２ｊにより覆われることで閉封されている。

又、上記シール部材２２ｂは、上記シャフト２２ａに連
なる回転軸２２ｊ全外気とシールするために設けられる
もので、該シール部材２２ｂ−には市販の磁気シールユ
ニット等を用いることができる。

次に前記メカニカルハンド８及び押し出しブロック９の
機構について述べると、このメカニカルハンド８に前記
搬送台１７及びモールドモジュール１６が載置された状
態全第１２図ないし第１４図に示す。

上記図示のように、メカニカルハンド８の左右両側には
夫々腕８ａ、８ａが前方へ突出した状態で並設させてあ
り、その断面形状は、内側が薄い段状に形成されており
、この部分が最上段の搬送台１７と、その下部の搬送台
１７との間に抜き差し自在なるよう挿入され、このとき
載置台６を数センチ降下させた状態で、押し出しブロッ
ク９をメカニカルハンドプレート部材９ａ上にて滑らせ
ながら押し出すことにより、搬送台１７及びモールドモ
ジュール１６ｉ−ｉだけプレヒーティング部りの搬送用
自立ローラー２上に載置できる講成としてろる。

−万、前記キャッチハンド１３の機構であるが、これは
第１５図ないし第１６図に搬送台１７及びモールドモジ
ュール１６を載置した状態にて示した如く、前記メカニ
カルハンド８と同様に、左右両側に段付きの腕１３ａ、
１３ａを有し、該両腕１３＆、１３ａのエツジ１３ｂ。

１３ｂ部分に上記搬送台１７が、はまり込んで安定した
状態で載置できる構造となっている。

又、上記押し出しブロック９及びメカニカルハンドプレ
ート部材９ａと不体人の端壁１ａとの貫通部分及び、上
記キャッチハンド１３と本体ＡＣＩ端壁１ａとの貫通部
分には、０リング２３２４が施されて夫々クールしてろ
る。

そして更に、前記取込準備室７０力ツプ部材７ｂンール
フランジ６は、取込部Ｂのフランジ２６に、夫々０リン
グ２６．２７ｔ−介して圧接されることで、取込準備室
７は本体Ａの内部と連通自在にシール可能としてあり、
−万前記取出部ＣＫａけるシールフランジ１０と、取出
準備室１２のシールフランジ１２ａは、本体Ａの開口部
に設けられた７ランジ２８にＯＩＪング２９．３０ｔ−
介して圧接されることにより、取出準備室１２は本体人
の内部と連通自在にシールされ得るようになっている。

又、上記取出準備室１２の下部にもシールフランジ１２
ｂｔ−備え、該シールフランジ１２ｂが前記ペース板１
９ｅとＯリング３１を介して圧接されることによって、
取出準備室１２は外気からシールされるようになってい
る。

尚、第１図においてＶ１１Ｖ２．、ｖ２、ｖ３は前記取
込準備室７及び本体Ａ並びに取出準備室１２の各真空引
き口を夫々示し、８１％　ｇｚｓｇｓは前記取込準備室
７及び本体人並びに取出準備室１２ヘアルゴン等を供給
するｑ！ｒ給気口全夫々示し、３２はシリコンの溶融状
ａｔ見る監視窓を示している。

而して上記溝底において、その作用を製造工程順に説明
すれば、先ず運転開始の準備として取込準備室７におけ
る昇降機構１６のシャフト１５ａを手動又は図示の如く
１！動にて回転させて当該取込準備室７７に下降させて
おく。

次に、昇降機構１４によシ載置台５とシールフランジ６
を下降させ、該シールフランジ６を７ランジ２５に圧接
させて、本体人の内部と外部をシールする。

このとき、メカニカルハンド８及び押し出し用プ０７り
９は手前（第１図に２いて左側）に引き込んでひく。

以上がモールドモジュール取込部Ｂの準備操作である。

次に、溶融シリコン注入部ＦＫｐけるルツボ２０ａに所
望量の原料シリコンを投入してｐき、ターンテーブルＧ
は昇降機構２１により搬送用自立ローラー２よシも下Ｓ
まで降下させておく。

次いで、製品取出部Ｃのシールフランジ１゜は昇降機構
１８により最上部まで上昇させておく。

取出準備室１２は、そのシールフランジ１２ａを７ラン
ジ２８に固定された状態であるが、取出準備室ペース板
１９ｅは昇降機構１９により上昇させシールフランジ１
２ｂに圧接して”一層状態としておき、−万キャッチハ
ンド１３は取出準備室１２の直上位まで押し出して２く
。

次ニ、モールドモジュールの取り込みから、製品取り出
しまでの製造工程の操作を説明する。

先ず、前記の如く外部に露出させである載置台５に、モ
ールドモジュール１６を搬送台１７に載せた状態で所望
数組載置する。

次いで、取込準備室７のカップ部材７ａｉ上昇させ、取
込準備室７のシールフランジ７ｂｔ−取込部Ｂの７ラン
ジ２６に圧接させ、０リング２７にてシールレ、上記取
込準備室７を本体Ａ及び外気よシ遮断する。

この状態で真空引き口Ｖ、より取込準備室７の排気を行
ない、次いで真空引き口ｖ２、ｖ２より本体Ａの排気を
行なう。

排気終了後は給気口ｇ２よリアルボンガス全供給し、本
体ＡＦＰ３をアルゴンガス雰囲気とし、また、プレヒー
ター４、アフターヒーター４′のスイッチを入れ、昇温
させておく。

次いで、既に上記の如く排気が終了している取込準備室
７に給気口ｇ１よりアルゴンガスを供給して、これを封
入する。

然る後、一体でおるシールフランジ６及びモールドモジ
ュール１６・働・・・を載置した載置台５を上昇させ、
本体Ａ内にセットする。

次にメカニカルハンド８によｐモールドモジュール１６
と搬送台１７を一組だけすくい上げ押し出しブロック９
でプレヒーティング部りの搬送用自立ローラー２上に載
せ、ここで所定温、　　　　　　　　度に加熱させなが
ら所望手段で駆動される自立ローラー２にて、モールド
モジュール１６及び搬送台１７をターンテーブルＧの上
部まで搬送する。

ここでターンテーブルＧを上昇させるが、該ターンテー
ブルＧの直径は７う／ジ状とした搬送台１７の開口部よ
りも小径に形成しであるので、ターンテーブルＧ上には
モールドモジュール１６のみが載り、搬送台１７はその
一！ま自立ローラー２上に第１図、第２図に示した如く
残置される。

ター／テーブルＧｔ−上昇させて行き、漏斗２０ｂの近
くの所定位置で停止させる。

次いで、ターンテーブルＣ１回転機構２２によフ所定の
回転数で回転させながらすでに溶融しているシリコンを
収納したルツボ２０ａｔ反転傾斜させ、漏斗２０１１１
介して回転しているモールドモジュール１６のシリコン
注入口ａに溶融シリコンｔ−適量注入して、キャビティ
１６ｄに流入させることでモールドモジュール固有の形
状としたシリコンシートを成形する。

然る後、ターンテーブルＧの回転を停止し、これを降下
させて再びローラー上に待機していゝ　る搬送台１７に
載せ、再び自立ローラー２を駆動させてアフターヒーテ
ィング部Ｅを通過させた後、取出部Ｃまで搬送する。

取出部ＣＫ２いては、取出準備室１２の上部にキャッチ
ングハンド１３が待機しており、搬送されてきたモール
ドモジュール１６及び搬送台１７を受は取シ、その後キ
ャッチングハンド１３を取出準備室１２の中心部まで移
動させその状態で受皿１１全油圧シリンダー１９ｆによ
り上昇させてモールドモジュール１６及び搬送台１７を
これに移し変える。

次いでキャッチングハンド１３ｔ−引き抜き、モールド
モジュール１６と搬送台１了が載っている受皿１１を降
下させて取出準備室１２に収納する。

以上の工程即ち、取込部Ｂでメカニカルハンド８によシ
モールドモジュール１６をすくい上げ、押し出しブロッ
ク９で押し出してから前述の取出準備室１２に収納する
までの工８を繰り返し、取り込んだモールドモジュール
１６が全部取出準備室１２に収納されると、取出操作に
入る。

先ず、シールフランジ１０をフランジ２８に圧接するま
で降下させ、取出準備室１２と本体１を遮断する。

取出準備室１２の水ジャケット１２′に水を流すことに
よりモールドモジュール１６ｔ−取り出し可能な温度ま
で冷却する。

然る後、取出準備室１２０ベース板１９ｅ及びモールト
モジュー、＋１６ｔ−ｂｇせた受皿１１を降下させてモ
ールドモジュール１６及び搬送台１７ｔ−Ｊｌ）Ｉｆｆ
し、モールドモジュール１６から成形されたシリコンウ
ェハを取シ出す。

以上で１バツチの操作終了である。

次に２バツチ目の操作であるが、先ず、取込部Ｂのシー
ルフランジ６′５ｃ降下させ、取込準備Ｍ７の７ランジ
２６と圧接させて本体人と取込準備室７を遮断する。

次いで、取込準備室７ｔ−降下させ、ｉ置台５上に１バ
ツチ分のモールドモジュール１６・−・・と搬送台１７
・・・・・をセットし、再び取込準備室７を上昇させて
、これを密封し、排気を行なった後、アルゴンガスを封
入する。

取出部Ｃについては、取出準備室１２のペース板１９ｅ
及び受皿１１を上昇させ、取出準備室１２を密閉する。

その後排気を行ないアルゴンガスを封入し、然る後、シ
ールフランジ１０を最上部まで上昇させてひく。

以降は前述と同様の操作となる。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明のシリコン溶融炉は構成され
、作動するものでるるから、ｌバッチ毎に小容量の取込
準備室７及び取出準備室１２の排気とアルゴンガス封入
を行なうだけで、本体入内のアルゴンガス雰囲気を保つ
ことができるので大巾な操作時間の短縮と、高価なアル
ボ、　　　　　　ｙ　；ｔｆ　２　Ｏ＠　＃″”“１・
Ｈ′”Ｃ−Ｈ’Ｉｌｘ口′れて小型で安価な、しかもラ
ンニングコストの低床な装置を提供できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係るシリコン溶融炉の一実施例を示し
た全体の縦断側面図、第２図は同溶融炉におけるプレヒ
ーティング部及びアフターヒーティング部の横断面図、
第３図ないし第５図は同溶融炉におけるモールドモジュ
ール全人々示したもので、第３図はその平面図、第４図
はその縦断側面図、第５図はその底面図、第６図、オフ
図は同溶融炉における搬送台を夫々示し又いる平面図と
縦断側面図、第８図、ないし第１１図は同溶融炉におけ
る取込部の載置台を夫々示したもので、第８図はその平
面図、第９図は縦断側面図、第１０図、牙１１図はその
載置台に数組のモールドモジュール及び搬送台をセット
した状態の平面図と縦断側面図、第１２図は同溶融炉に
おけるメカニカルハンドにて一組のモールドモジュール
及び搬送台をすくい上げた状態の平面図、第１３図はそ
の側面図、第１４図は第１２図におけるＸｌ０Ｉ　−Ｘ
ｌｌ［［臓矢視縦断面図、第１５図は同溶融炉における
キャッチハンドに一組のモールドモジュール及び搬送台
を載せた状態の平面図、第１６図はその側面図、第１７
図はその正面図である。 Ａ・・・・・本　体 Ｂ−・・−−モールドモジュール取込部Ｃ・・・・・モ
ールドモジュール及び製品取出部Ｉ）　ｍ＠＠・・プレ
ヒーティング部 Ｅ・・・０アフタ一ヒーテイング部 Ｆ・・・・・溶融シリコン注入部 ５・・・・・載置台 ６．１０・・・書・シールフランジ ７・・・・・取込準備室 ８ｅ・・・・メカニカルハンド ９・・・・・押し出し用ブロック １１・・・・・受皿 １２０・・・取出準備室 １２′・・・φ水ジャケット １３・・・・・キャッチハンド １４．１６．１８，１９・・・・−昇降機構代理人　弁
理士　　Ｎ　藤　義　雄 第ＪＩ２Ｉ　　　　　　　　第６図 ＠　１２１２１　　　　　　　　　　　　ｇ　ノ＋　１
２７第　ｔｂ　　＠ 第　１７　　悶

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）モールドモジュール搬送用機構を備え、内部が不
   活性ガス雰囲気に保持可能なるよう形成された本体には
   、その前部と後部に夫々モールドモジュール取込部とモ
   ールドモジュール及び製品取出部とを夫々設け、その中
   央部には溶融シリコン注入部とターンテーブルを夫々設
   け、上記取込部と取出部には、上記本体及び外部とのシ
   ールドが自在であり、かつ一バッチ毎に排気及び給気可
   能とした取込準備室とを夫々設けてなることを特徴とす
   るシリコン溶融炉。
2. （２）モールドモジュール取込部が、昇降機構によって
   上下動されるシールフランジ及びモールドモジュール載
   置台並びに取込準備室と、モールドモジュールを次工程
   へ押し出すメカニカルハンド及び押し出し用ブロックか
   ら構成されている特許請求の範囲第１項記載のシリコン
   溶融炉。
3. （３）モールドモジュール及び製品取出部が、昇降機構
   によって上下動されるシールフランジ及び取出受皿と、
   側壁が水ジャケットよりなる取出準備室及びキャッチハ
   ンドから形成されている特許請求の範囲第１項記載のシ
   リコン溶融炉。