JPS6145512B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6145512B2 JPS6145512B2 JP53151966A JP15196678A JPS6145512B2 JP S6145512 B2 JPS6145512 B2 JP S6145512B2 JP 53151966 A JP53151966 A JP 53151966A JP 15196678 A JP15196678 A JP 15196678A JP S6145512 B2 JPS6145512 B2 JP S6145512B2
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- JP
- Japan
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- metal plate
- long metal
- photosensitive liquid
- photosensitive
- liquid
- Prior art date
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- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 47
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 32
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 claims description 19
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 9
- 238000005238 degreasing Methods 0.000 claims description 2
- 238000005554 pickling Methods 0.000 claims description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 3
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 3
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 230000008094 contradictory effect Effects 0.000 description 1
- 230000000593 degrading effect Effects 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は感光液塗布方法に係り、特カラー受像
管に装着されるシヤドウマスク用などの長尺金属
板の少なくとも１主面に所望厚さの均一な感光膜
を塗布形成する方法に関するものである。
管に装着されるシヤドウマスク用などの長尺金属
板の少なくとも１主面に所望厚さの均一な感光膜
を塗布形成する方法に関するものである。
例えばカラー受像管に装着されるシヤドウマス
クは写真蝕刻技術を利用して製作しているのが通
常である。そのためにはシヤドウマスク用長尺金
属板の少なくとも一主面上に所望厚の均一な感光
膜を塗布形成し、ドツト状または矩形状のネガパ
ターンを介して露光し、次に現像蝕刻を行ない、
規則正しく配設されたドツト状または矩形状の開
孔部を有するシヤドウマスクを形成する方法が使
用されている。
クは写真蝕刻技術を利用して製作しているのが通
常である。そのためにはシヤドウマスク用長尺金
属板の少なくとも一主面上に所望厚の均一な感光
膜を塗布形成し、ドツト状または矩形状のネガパ
ターンを介して露光し、次に現像蝕刻を行ない、
規則正しく配設されたドツト状または矩形状の開
孔部を有するシヤドウマスクを形成する方法が使
用されている。
次に従来の感光液塗布方法と第１図によつて説
明すると、図示しない脱脂工程及び酸洗い工程の
終了した長尺金属板１を槽２中に注入されている
水３中に導入し水洗したのち、水３中に設けられ
た第１のローラ４によつて垂直に引上げ、底面に
それぞれ弾性板５，６を設けた槽７，８中に注入
されている感光液９，１０内を通し、第２のロー
ラ１１を介して乾燥工程に導出するのであるが、
この様な感光液塗布方法に於ては感光膜厚を規制
する弾性板５，６には通常ゴムを使用しているの
で次の様な諸欠点がある。即ち、１金属板１の両
面に被着される感光膜の厚さは、ほとんど感光液
の粘度とゴムの弾性との相関によつて決まり、弾
性板５，６の弾力が弱いと同じ粘度の感光液を用
いても感光膜は厚くなるし、また弾性板５，６の
弾力が弱いと同じ粘度の感光液を用いても感光膜
は厚くなるし、また弾性板５，６の弾力が一定の
時は感光液の粘度によつて感光膜の厚さが変化す
る。２弾性板５，６の損傷部があると感光液漏水
を起したり、感光膜にすじがついたりしてこの感
光膜の品位を悪くし、最終的にはシヤドウマスク
の開孔部の形状、大きさに影響を与える。３弾性
板５，６の交換頻度が高いため作業性、経済性に
も問題がある。
明すると、図示しない脱脂工程及び酸洗い工程の
終了した長尺金属板１を槽２中に注入されている
水３中に導入し水洗したのち、水３中に設けられ
た第１のローラ４によつて垂直に引上げ、底面に
それぞれ弾性板５，６を設けた槽７，８中に注入
されている感光液９，１０内を通し、第２のロー
ラ１１を介して乾燥工程に導出するのであるが、
この様な感光液塗布方法に於ては感光膜厚を規制
する弾性板５，６には通常ゴムを使用しているの
で次の様な諸欠点がある。即ち、１金属板１の両
面に被着される感光膜の厚さは、ほとんど感光液
の粘度とゴムの弾性との相関によつて決まり、弾
性板５，６の弾力が弱いと同じ粘度の感光液を用
いても感光膜は厚くなるし、また弾性板５，６の
弾力が弱いと同じ粘度の感光液を用いても感光膜
は厚くなるし、また弾性板５，６の弾力が一定の
時は感光液の粘度によつて感光膜の厚さが変化す
る。２弾性板５，６の損傷部があると感光液漏水
を起したり、感光膜にすじがついたりしてこの感
光膜の品位を悪くし、最終的にはシヤドウマスク
の開孔部の形状、大きさに影響を与える。３弾性
板５，６の交換頻度が高いため作業性、経済性に
も問題がある。
本発明は前記従来の諸欠点に鑑みなされたもの
であり、長尺金属板の少なくとも一主面に所定の
厚さを有する感光膜を簡単に形成する方法を提供
することを目的としている。
であり、長尺金属板の少なくとも一主面に所定の
厚さを有する感光膜を簡単に形成する方法を提供
することを目的としている。
次に第２図乃至第７図により本発明の一実施例
を説明する。
を説明する。
即ち図示しない脱脂工程、酸洗い工程及び水洗
工程の終了した長尺金属板２１を槽２２中に注入
された感光液２３中に第１のローラ２４により導
入した後、ほぼ垂直方向に導出されるのである
が、この長尺金属板２１を前記感光液２３中の一
対の対設するローラ２６１，２６２により挾持し
ながら引上げることにより第３図に示すように長
尺金属板表面に被着した感光液を破線２３１の如
く一度ほぼ完全に除去し、このローラ２６１，２
６２と液面２９間に於て感光液２３を再度被着し
なおし長尺金属板２１表面にほぼ均一な厚さを有
する感光液を被着しながら液面からあげることが
出来る。次に前記感光液を被着した長尺金属板２
１を前記液面２９からの距離をそれぞれ調節可能
な溝付ローラ２７，２８を介して引上げ、感光膜
を形成し図示しない乾燥装置を介して第２のロー
ラ２５を介してシヤドウマスク形成工程などに送
り込まれる。
工程の終了した長尺金属板２１を槽２２中に注入
された感光液２３中に第１のローラ２４により導
入した後、ほぼ垂直方向に導出されるのである
が、この長尺金属板２１を前記感光液２３中の一
対の対設するローラ２６１，２６２により挾持し
ながら引上げることにより第３図に示すように長
尺金属板表面に被着した感光液を破線２３１の如
く一度ほぼ完全に除去し、このローラ２６１，２
６２と液面２９間に於て感光液２３を再度被着し
なおし長尺金属板２１表面にほぼ均一な厚さを有
する感光液を被着しながら液面からあげることが
出来る。次に前記感光液を被着した長尺金属板２
１を前記液面２９からの距離をそれぞれ調節可能
な溝付ローラ２７，２８を介して引上げ、感光膜
を形成し図示しない乾燥装置を介して第２のロー
ラ２５を介してシヤドウマスク形成工程などに送
り込まれる。
前述した溝付ローラ２７，２８は例えば第４図
に示す様に直径40mmφのローラに溝の深さ３１を
0.65mm、ピツチ３２を1.0mm、突出頂部の幅３３
を0.13mm、溝の底部の幅３４を0.12mmとしたもの
が使用され第２図または第５図の場合には長尺金
属板２１の両面にほぼ同一な厚さを有する感光液
が塗布され、第６図のように溝付ローラ２７を液
面２９近くに溝付ローラ２８を液面２９よりなす
ことにより前記溝付ローラ２７に接する長尺金属
板表面には膜厚の厚い感光膜、前記溝付ローラ２
８に接する長尺金属板２１には膜厚の薄い感光膜
が形成されることになる。
に示す様に直径40mmφのローラに溝の深さ３１を
0.65mm、ピツチ３２を1.0mm、突出頂部の幅３３
を0.13mm、溝の底部の幅３４を0.12mmとしたもの
が使用され第２図または第５図の場合には長尺金
属板２１の両面にほぼ同一な厚さを有する感光液
が塗布され、第６図のように溝付ローラ２７を液
面２９近くに溝付ローラ２８を液面２９よりなす
ことにより前記溝付ローラ２７に接する長尺金属
板表面には膜厚の厚い感光膜、前記溝付ローラ２
８に接する長尺金属板２１には膜厚の薄い感光膜
が形成されることになる。
この様に長尺金属板２１の両主面に於ける感光
膜の膜厚を変えることは長尺金属板２１をシヤド
ウマスクに使用する場合金属板に塗布される感光
膜は耐エツチング液性上薄い膜厚より厚い膜厚の
方がより効果的であるが、解像力上の点から厚い
膜厚より薄い膜厚の感光膜が効果的であり相反す
るものがある。従つて性エツチング液性及び解像
力をより満足させるためには解像力に影響を与え
易い、例えば小ドツト側（電子銃側）に当たる金
属板面に対しては薄い感光膜を使用し、解像力よ
り耐エツチング性を必要とする金属板面例えば大
ドツト側（パネル側）に対しては厚い膜厚の感光
膜を使用すれば前記した欠点を免れることが出来
るためである。
膜の膜厚を変えることは長尺金属板２１をシヤド
ウマスクに使用する場合金属板に塗布される感光
膜は耐エツチング液性上薄い膜厚より厚い膜厚の
方がより効果的であるが、解像力上の点から厚い
膜厚より薄い膜厚の感光膜が効果的であり相反す
るものがある。従つて性エツチング液性及び解像
力をより満足させるためには解像力に影響を与え
易い、例えば小ドツト側（電子銃側）に当たる金
属板面に対しては薄い感光膜を使用し、解像力よ
り耐エツチング性を必要とする金属板面例えば大
ドツト側（パネル側）に対しては厚い膜厚の感光
膜を使用すれば前記した欠点を免れることが出来
るためである。
次に具体例について述べると、長尺金属板２１
の引上げ速度を2.2m／分、溝付ローラ２７また
は２８から図示しない強制乾燥炉迄の距離を200
mm乃至215mm、液面２９から溝付ローラ２７また
は２８迄の距離Ｌを５mm乃至20mm、液中のローラ
２６１，２６２から液面までの距離を30mm、感光
液２３の比重（ρ）を1.0320、感光液２３の温度
を20℃とした場合感光膜の厚さ（μｍ）とＬとの
関係を求め第７図の曲線４１が得られた。この曲
線４１からわかるように前記条件に於て溝付ロー
ラ２７または２８の液面２９からの距離５mmから
約15mm変化させることにより感光膜の厚さを約
4.5μから約2.5μまで可変にすることが出来た。
の引上げ速度を2.2m／分、溝付ローラ２７また
は２８から図示しない強制乾燥炉迄の距離を200
mm乃至215mm、液面２９から溝付ローラ２７また
は２８迄の距離Ｌを５mm乃至20mm、液中のローラ
２６１，２６２から液面までの距離を30mm、感光
液２３の比重（ρ）を1.0320、感光液２３の温度
を20℃とした場合感光膜の厚さ（μｍ）とＬとの
関係を求め第７図の曲線４１が得られた。この曲
線４１からわかるように前記条件に於て溝付ロー
ラ２７または２８の液面２９からの距離５mmから
約15mm変化させることにより感光膜の厚さを約
4.5μから約2.5μまで可変にすることが出来た。
この場合感光膜の厚さは感光液の比重、温度な
どや長尺金属板の引上げ速度その他により変化す
ることは勿論であり、例えば第８図のように感光
液の比重と、液面から溝付ローラ２７または２８
迄の距離を両軸として感光膜の同一厚さを示す曲
線４２が得られる。
どや長尺金属板の引上げ速度その他により変化す
ることは勿論であり、例えば第８図のように感光
液の比重と、液面から溝付ローラ２７または２８
迄の距離を両軸として感光膜の同一厚さを示す曲
線４２が得られる。
前述の様に本発明の感光液塗布方法によれば同
一形状の溝付ローラを使用した感光液の液面から
の距離を変化させることによつて、長尺金属板の
両面に同じ膜厚、または異なる膜厚の感光膜を被
着形成することが可能となり、その工業的価値は
極めて大である。
一形状の溝付ローラを使用した感光液の液面から
の距離を変化させることによつて、長尺金属板の
両面に同じ膜厚、または異なる膜厚の感光膜を被
着形成することが可能となり、その工業的価値は
極めて大である。
第１図は従来の感光液塗布方法の説明図、第２
図は本発明の感光液塗布方法の一実施例の説明
図、第３図は感光液中の一対のローラの働きを示
す説明図、第４図は溝付ローラの要部拡大側面
図、第５図及び第６図は溝付ローラの働きを説明
する図であり、第５図は２個の溝付ローラを対接
させ長尺金属板両面に同一厚さの感光膜を形成す
る場合の説明用断面図、第６図は２個の溝付ロー
ラをそれぞれ液面から異なる距離におき長尺金属
板の両面に異なる厚さの感光膜を形成する場合の
説明用断面図、第７図は感光膜の膜厚と溝付ロー
ラの液面からの距離との関係を示す曲線図、第８
図は同一膜厚に対する感光液の比重と溝付ローラ
の液面からの距離との関係を示す曲線図である。 １，２１……長尺金属板、９，１０，２３……
感光液、２４，２５，２６１，２６２……ロー
ラ、２７，２８……溝付ローラ。
図は本発明の感光液塗布方法の一実施例の説明
図、第３図は感光液中の一対のローラの働きを示
す説明図、第４図は溝付ローラの要部拡大側面
図、第５図及び第６図は溝付ローラの働きを説明
する図であり、第５図は２個の溝付ローラを対接
させ長尺金属板両面に同一厚さの感光膜を形成す
る場合の説明用断面図、第６図は２個の溝付ロー
ラをそれぞれ液面から異なる距離におき長尺金属
板の両面に異なる厚さの感光膜を形成する場合の
説明用断面図、第７図は感光膜の膜厚と溝付ロー
ラの液面からの距離との関係を示す曲線図、第８
図は同一膜厚に対する感光液の比重と溝付ローラ
の液面からの距離との関係を示す曲線図である。 １，２１……長尺金属板、９，１０，２３……
感光液、２４，２５，２６１，２６２……ロー
ラ、２７，２８……溝付ローラ。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 脱脂、酸洗い、洗浄工程の終了した長尺金属
板を感光液中に導入する工程と、前記長尺金属板
を前記感光液中にて１対のローラにて挾持する工
程と、前記長尺金属板に前記感光液を塗布したの
ち、前記長尺金属板の両主面に溝付ローラをそれ
ぞれ前記感光液の液面より所望距離をもつて当接
する工程とからなり、前記所望距離をそれぞれ変
えることにより、前記長尺金属板の両主面の感光
膜の膜厚を制御するようにしたことを特徴とする
感光液塗布方法。 ２ 長尺金属板の両主面に当接するそれぞれの溝
付ローラの形状を同一とし、液面からの距離を変
えることによつて前記長尺金属板の両主面に膜厚
の異なる膜厚さを有する均一な感光膜を形成する
こを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の感光
液塗布方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15196678A JPS5579067A (en) | 1978-12-11 | 1978-12-11 | Coating method and apparatus for photosensitive liquid |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15196678A JPS5579067A (en) | 1978-12-11 | 1978-12-11 | Coating method and apparatus for photosensitive liquid |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5579067A JPS5579067A (en) | 1980-06-14 |
| JPS6145512B2 true JPS6145512B2 (ja) | 1986-10-08 |
Family
ID=15530099
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15196678A Granted JPS5579067A (en) | 1978-12-11 | 1978-12-11 | Coating method and apparatus for photosensitive liquid |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5579067A (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5963643A (ja) * | 1982-10-05 | 1984-04-11 | Toshiba Corp | シヤドウマスク用金属板の感光液塗布方法 |
| JPS59158051A (ja) * | 1983-02-28 | 1984-09-07 | Toshiba Corp | シヤドウマスクの製造方法 |
| JPH0685907B2 (ja) * | 1984-09-17 | 1994-11-02 | コニカ株式会社 | 塗布方法 |
| JP4712251B2 (ja) * | 2000-09-22 | 2011-06-29 | 帝人株式会社 | 両面同時塗工方法 |
Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2577904A (en) * | 1948-02-03 | 1951-12-11 | Armco Steel Corp | Method for hot dip coating of metal strip |
| US2759850A (en) * | 1952-11-24 | 1956-08-21 | Wheeling Steel Corp | Coating sheets with molten metal and apparatus therefor |
| US3238058A (en) * | 1960-09-27 | 1966-03-01 | Accumulateurs Fixes | Process and device for adjusting the thickness of paste layers and use of same for manufacturing sintered electrodes |
| US3251710A (en) * | 1963-03-04 | 1966-05-17 | Inland Steel Co | Apparatus and method for automatically controlling the removal of excess coating from running lengths of material |
| US3523036A (en) * | 1966-03-09 | 1970-08-04 | Chiers Hauts Fourneaux | Method of preventing spangle formation on hot-dip galvanized steel strip |
| JPS509328U (ja) * | 1973-05-24 | 1975-01-30 | ||
| JPS6133633A (ja) * | 1984-07-25 | 1986-02-17 | 松下電器産業株式会社 | 電気掃除機 |
-
1978
- 1978-12-11 JP JP15196678A patent/JPS5579067A/ja active Granted
Patent Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2577904A (en) * | 1948-02-03 | 1951-12-11 | Armco Steel Corp | Method for hot dip coating of metal strip |
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| US3238058A (en) * | 1960-09-27 | 1966-03-01 | Accumulateurs Fixes | Process and device for adjusting the thickness of paste layers and use of same for manufacturing sintered electrodes |
| US3251710A (en) * | 1963-03-04 | 1966-05-17 | Inland Steel Co | Apparatus and method for automatically controlling the removal of excess coating from running lengths of material |
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| JPS509328U (ja) * | 1973-05-24 | 1975-01-30 | ||
| JPS6133633A (ja) * | 1984-07-25 | 1986-02-17 | 松下電器産業株式会社 | 電気掃除機 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5579067A (en) | 1980-06-14 |
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