JPS5963643A - シヤドウマスク用金属板の感光液塗布方法 - Google Patents
シヤドウマスク用金属板の感光液塗布方法Info
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- JPS5963643A JPS5963643A JP57173989A JP17398982A JPS5963643A JP S5963643 A JPS5963643 A JP S5963643A JP 57173989 A JP57173989 A JP 57173989A JP 17398982 A JP17398982 A JP 17398982A JP S5963643 A JPS5963643 A JP S5963643A
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- metal plate
- photosensitive liquid
- shadow mask
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- photosensitive
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- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/02—Manufacture of electrodes or electrode systems
- H01J9/14—Manufacture of electrodes or electrode systems of non-emitting electrodes
- H01J9/142—Manufacture of electrodes or electrode systems of non-emitting electrodes of shadow-masks for colour television tubes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2209/00—Apparatus and processes for manufacture of discharge tubes
- H01J2209/01—Generalised techniques
- H01J2209/012—Coating
- H01J2209/015—Machines therefor
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明はシャドウマスク用金属板の感光液塗布方法に係
シ、特に成膜品位の極めて良好なシャドウマスク用金属
板の感光液塗布方法に関するものである。
シ、特に成膜品位の極めて良好なシャドウマスク用金属
板の感光液塗布方法に関するものである。
シャドウマスク用金属板の感光液塗布方法としては、例
えば本発明者らが先に出願した特公昭５４−２１８２４
号公報に記載の技術があシ、この方法によれば簡単な装
置で均一な感光液を塗布□することが可能であるが、こ
の方法はシャドウマスク用金属板を槽内の感光液中から
引き上げながら成膜するため、成膜に不必要な感光液が
たれ落ちるなかで膜乾燥が行なわれるので、感光膜の不
均一が生じ易く、一般のカラーブラウン管用のシャドウ
マスクではよいが、キャラクタ−ディスプレイ管に用し
られている円形状の電子ビーム通過孔部を有するシャド
ウマスクのようにピッチが０．２ ｍ〜０．３閣、且つ
電子銃側孔径が０．０９０〜０．１４０ ｍｓというよ
うな微細なシャドウマスクなどに要求される成膜品位特
に膜厚の均一性を得ることができないという問題点があ
る。
えば本発明者らが先に出願した特公昭５４−２１８２４
号公報に記載の技術があシ、この方法によれば簡単な装
置で均一な感光液を塗布□することが可能であるが、こ
の方法はシャドウマスク用金属板を槽内の感光液中から
引き上げながら成膜するため、成膜に不必要な感光液が
たれ落ちるなかで膜乾燥が行なわれるので、感光膜の不
均一が生じ易く、一般のカラーブラウン管用のシャドウ
マスクではよいが、キャラクタ−ディスプレイ管に用し
られている円形状の電子ビーム通過孔部を有するシャド
ウマスクのようにピッチが０．２ ｍ〜０．３閣、且つ
電子銃側孔径が０．０９０〜０．１４０ ｍｓというよ
うな微細なシャドウマスクなどに要求される成膜品位特
に膜厚の均一性を得ることができないという問題点があ
る。
また、他の方法としてシャドウマスク用金属板を長手方
向に連続的に移動させながら脱脂、酸洗及び水洗を行な
った後感光液槽内の感光液をくぐらせて感光液を塗布し
、次にスクイズローラを通過させて余分な感光液を除去
すると共に乾燥させる方法もある。
向に連続的に移動させながら脱脂、酸洗及び水洗を行な
った後感光液槽内の感光液をくぐらせて感光液を塗布し
、次にスクイズローラを通過させて余分な感光液を除去
すると共に乾燥させる方法もある。
しかしこの方法ではシャドウマスク用金属板を感光液に
浸漬したのち、単純に余分な感光液をかき落とす方法で
あるため、シャドウマスク用金属板と感光液が充分にな
じまず、感光液の乾燥中にピンホール（塗や欠陥）が発
生し易いという問題点がある。
浸漬したのち、単純に余分な感光液をかき落とす方法で
あるため、シャドウマスク用金属板と感光液が充分にな
じまず、感光液の乾燥中にピンホール（塗や欠陥）が発
生し易いという問題点がある。
本発明は前述した問題点に鑑みなされたもの、であり、
ピンホールがなく、かつ均一な膜厚を得ることが可能な
シャドウマスク用金属板の感光液塗布方法を提供するこ
とを目的としている。
ピンホールがなく、かつ均一な膜厚を得ることが可能な
シャドウマスク用金属板の感光液塗布方法を提供するこ
とを目的としている。
即ち、本発明はシャドウマスク用金属板に連続的に感光
液を塗布する工程とシャドウマスク用金属板に感光液が
付着している状態で例えばワイパーやゴムローラなどの
弾性部材によりシャドウマスク用金属板に感光液を強制
的に戯り付ける工程と、感光液を強制的に塗シ付けたシ
ャドウマスク用金属板を再度感光液内に通過させる工程
と、例えば金属からなるローラにより感光液の膜厚が所
望厚になるようにかき落す工程とを具備するものと、例
えばワイパーやゴムローラなどの弾性部材によりシャド
ウマスク用金属板に感光液を強制的に塗シつける工程と
再度感光液を塗布する工程とを感光液槽内で行なうよう
にしたものである〜〔発明の実施例〕 次に本発明の第１の実施例に適応する感光液塗布装置を
第１図及び第２図によシ説明する。
液を塗布する工程とシャドウマスク用金属板に感光液が
付着している状態で例えばワイパーやゴムローラなどの
弾性部材によりシャドウマスク用金属板に感光液を強制
的に戯り付ける工程と、感光液を強制的に塗シ付けたシ
ャドウマスク用金属板を再度感光液内に通過させる工程
と、例えば金属からなるローラにより感光液の膜厚が所
望厚になるようにかき落す工程とを具備するものと、例
えばワイパーやゴムローラなどの弾性部材によりシャド
ウマスク用金属板に感光液を強制的に塗シつける工程と
再度感光液を塗布する工程とを感光液槽内で行なうよう
にしたものである〜〔発明の実施例〕 次に本発明の第１の実施例に適応する感光液塗布装置を
第１図及び第２図によシ説明する。
即ち、長尺のシャドウマスク用金属板（１）は純水（２
）を満した槽（３）中に設けられたガイドローラ（４）
から垂直に矢印（５）方向に移動され、ガイドローラ（
６）を介して乾燥工程に移動するが、その間に２個の感
光液塗布槽（１０１８１０２）を通過する１、この２個
の感光液塗布槽（１０１）（１０２） ｉｔ例えば高さ
１００頭、幅１００ｍ、長さ６００■の長方形の枠体（
７１）（７２）の底面に外性物質たとえば厚さ２ｍ、硬
度４５、弾性率９５％以上のネオプレンゴム板からなる
底板（８□）（８ｚ）を設け、この底板（８１）（８ｔ
）の中央にその長手方向に長さ６００鱈の切れ目、すな
わち幅のほとんどないスリットを形成し、給液管（９□
）（９２）から感光液を適当な速度で供給し、感光液塗
布槽（１０１）（１０２）内に約５０闇の深さの感光液
（１１１）（１１２）があるようになされている。更に
上部の感光液塗布槽（１０，）内の感光液（ｔｂ）の液
面にロッドコータまたはスクイズコータからなる金属ロ
ーラ住りが設けられている。
）を満した槽（３）中に設けられたガイドローラ（４）
から垂直に矢印（５）方向に移動され、ガイドローラ（
６）を介して乾燥工程に移動するが、その間に２個の感
光液塗布槽（１０１８１０２）を通過する１、この２個
の感光液塗布槽（１０１）（１０２） ｉｔ例えば高さ
１００頭、幅１００ｍ、長さ６００■の長方形の枠体（
７１）（７２）の底面に外性物質たとえば厚さ２ｍ、硬
度４５、弾性率９５％以上のネオプレンゴム板からなる
底板（８□）（８ｚ）を設け、この底板（８１）（８ｔ
）の中央にその長手方向に長さ６００鱈の切れ目、すな
わち幅のほとんどないスリットを形成し、給液管（９□
）（９２）から感光液を適当な速度で供給し、感光液塗
布槽（１０１）（１０２）内に約５０闇の深さの感光液
（１１１）（１１２）があるようになされている。更に
上部の感光液塗布槽（１０，）内の感光液（ｔｂ）の液
面にロッドコータまたはスクイズコータからなる金属ロ
ーラ住りが設けられている。
次にこの様な感光液塗布装置による塗布方法を説明する
と、先ず長尺のシャドウマスク用金属板（１）は純水（
２）を通過したのち感光液塗布槽ｔ１ｏｔ）感光液（Ｉ
Ｉｓ）が塗布されたのち感光液塗布槽（１０１）のワイ
パーとしての底板（８，）で感光液（１１υを強制的に
塗り付け、再度感光液塗布槽（１０ｍ）内を通過するこ
とにより感光液（ｌｌｚ）を塗布し金属ローラ（１２１
によシ感光液の膜厚が所望厚になるようにかき落される
ことになる。
と、先ず長尺のシャドウマスク用金属板（１）は純水（
２）を通過したのち感光液塗布槽ｔ１ｏｔ）感光液（Ｉ
Ｉｓ）が塗布されたのち感光液塗布槽（１０１）のワイ
パーとしての底板（８，）で感光液（１１υを強制的に
塗り付け、再度感光液塗布槽（１０ｍ）内を通過するこ
とにより感光液（ｌｌｚ）を塗布し金属ローラ（１２１
によシ感光液の膜厚が所望厚になるようにかき落される
ことになる。
この金属ローラ（１４は第２図に示すように例えば外径
が４０＋＋ｍφ、長さ７５０ｍのステンレス製のローラ
コータてあす、例えばａ’１．０範、ｂ＝０．７５ｍｍ
、ｃ ＝ ｄ ＝ ０．２・１ｍ、ｅ＝６０°となって
おり、とのコータをシャドウマスク用金属板の両面よシ
加圧接触させ、矢印（５）と同じ速度で回転させる。実
験によればコータを上述したディメンションにし、シャ
ドウマスク用金属板（１）の速度を２ｒｒＶ／ｍ１ｎ感
光液（１１ｔ）（１ｂ）の粘度を２０ＰＣＢにして膜厚
的４．７±０．３μｍを得ることができた。
が４０＋＋ｍφ、長さ７５０ｍのステンレス製のローラ
コータてあす、例えばａ’１．０範、ｂ＝０．７５ｍｍ
、ｃ ＝ ｄ ＝ ０．２・１ｍ、ｅ＝６０°となって
おり、とのコータをシャドウマスク用金属板の両面よシ
加圧接触させ、矢印（５）と同じ速度で回転させる。実
験によればコータを上述したディメンションにし、シャ
ドウマスク用金属板（１）の速度を２ｒｒＶ／ｍ１ｎ感
光液（１１ｔ）（１ｂ）の粘度を２０ＰＣＢにして膜厚
的４．７±０．３μｍを得ることができた。
この膜厚分布を第３図及び第４図に示す。即ち、第３図
は表側の感光液の膜厚の幅（４６０ｍｇ ）のシャドウ
マスク用金属板の幅方向の分布であり、曲線（２１１）
は特公昭５４−２１８２４号公報のもの、曲線（２２ｔ
）は本実施例のものを示し、また第４図は裏側の幅方向
の分布であり、曲線（２１，）は特告昭５４−２１８２
４号公報のもの、曲線（２２ｓ ）は本実施例のものを
示し、表裏共に本実施例の方法がよ９均−な膜厚分布が
得られることがわかる。
は表側の感光液の膜厚の幅（４６０ｍｇ ）のシャドウ
マスク用金属板の幅方向の分布であり、曲線（２１１）
は特公昭５４−２１８２４号公報のもの、曲線（２２ｔ
）は本実施例のものを示し、また第４図は裏側の幅方向
の分布であり、曲線（２１，）は特告昭５４−２１８２
４号公報のもの、曲線（２２ｓ ）は本実施例のものを
示し、表裏共に本実施例の方法がよ９均−な膜厚分布が
得られることがわかる。
またコータとして、外径３０麿φで長さ７５０■のステ
ンレス製ローラに０．８１ｌＩＩφのワイヤーを例えば
１．０ａｍの等間隔に巻きつけても同様な結果が得られ
た。
ンレス製ローラに０．８１ｌＩＩφのワイヤーを例えば
１．０ａｍの等間隔に巻きつけても同様な結果が得られ
た。
次に、本発明の第２の実施例に適応する感光液塗布装置
を第５図により説明する。図中第１の実施例と同一部分
は同一部分を示し特に説明しな−。
を第５図により説明する。図中第１の実施例と同一部分
は同一部分を示し特に説明しな−。
即ち本実施例は感光液塗布槽（１０□）の長方形枠体（
７りの深さを深くし、内部に感光液（１１＊）ｆｒシャ
ドウマスク金属板（１）に強制的に塗ル付ける底板（８
２）と同様な１対のワイパー０を設けたものであり、こ
の場合第１の実施例の感光液塗布槽（１０，）は必要で
なし。
７りの深さを深くし、内部に感光液（１１＊）ｆｒシャ
ドウマスク金属板（１）に強制的に塗ル付ける底板（８
２）と同様な１対のワイパー０を設けたものであり、こ
の場合第１の実施例の感光液塗布槽（１０，）は必要で
なし。
次に、本発明の第３の実施例に適応す感光液塗布装置を
第６図により説明する。図中第１．の実施例と同一符号
は同一部分を示し特に説明しない、即ち本実施例では槽
（３）中に感光液ｕ１）を給液管（９）から適当な速度
で供給しガイドローラ（４）でシャドウマスク金属板（
１）を矢印（５）方向に引き上げる場合２対のワイパー
（１３１）（１３１り及び金属ローラ鰻を介して引き上
げるようになっている。この場合第１の実施例の感光液
塗布槽（１０ｓ）（１０ｔ）は不用である。
第６図により説明する。図中第１．の実施例と同一符号
は同一部分を示し特に説明しない、即ち本実施例では槽
（３）中に感光液ｕ１）を給液管（９）から適当な速度
で供給しガイドローラ（４）でシャドウマスク金属板（
１）を矢印（５）方向に引き上げる場合２対のワイパー
（１３１）（１３１り及び金属ローラ鰻を介して引き上
げるようになっている。この場合第１の実施例の感光液
塗布槽（１０ｓ）（１０ｔ）は不用である。
前述した実施例に於ては感光液の膜厚が所望厚になるよ
うにかき落す金属ローラ鰭例えばロッドコータまたはス
クイズコータを感光液の液面と同一面上に軸を有するよ
うに配設し九が、これに限定されるものではなく例えば
第７図に示すように感光液ｃＬ１１の液面（ｌｌａ）よ
り上方に金属ローラ住３ｔたけ他の部材からなるローラ
を設けてもニーし、また感光液を強制的に塗りつけるの
にワイパーａ３（１３１Ｘ１：％）やワイ／ぞ−として
の底板（８２）を使用したが、これに限定されるもので
はなく、弾性部材からなるローラを使用してもよいこと
は勿論・である。
うにかき落す金属ローラ鰭例えばロッドコータまたはス
クイズコータを感光液の液面と同一面上に軸を有するよ
うに配設し九が、これに限定されるものではなく例えば
第７図に示すように感光液ｃＬ１１の液面（ｌｌａ）よ
り上方に金属ローラ住３ｔたけ他の部材からなるローラ
を設けてもニーし、また感光液を強制的に塗りつけるの
にワイパーａ３（１３１Ｘ１：％）やワイ／ぞ−として
の底板（８２）を使用したが、これに限定されるもので
はなく、弾性部材からなるローラを使用してもよいこと
は勿論・である。
上述のように本発明のシャドウマスク用金属板の感光液
塗布方法によれば塗９欠陥がなく、は埋均−な厚さの感
光液をシャドウマスク用金属板に塗布することが可能で
あり、微細な電子ビーム通過孔部を有するシャドウマス
クの製造に当っても全面にわたって均一な電子ビーム通
過孔部を形成することが可能となるのでその工業的価値
は極めて大である。
塗布方法によれば塗９欠陥がなく、は埋均−な厚さの感
光液をシャドウマスク用金属板に塗布することが可能で
あり、微細な電子ビーム通過孔部を有するシャドウマス
クの製造に当っても全面にわたって均一な電子ビーム通
過孔部を形成することが可能となるのでその工業的価値
は極めて大である。
第１図及び第２図は本発明の第１の実施例に適応する感
光液塗布装置を示す図であゆ、第１図は説明用断面図、
第２図は金属ローラの一部拡大説明図、第３図は従来と
本実施例とによるシャドウマスク金属板の幅方向の表側
の感光液膜の厚さを対比して示すグラフ、第４図は従来
と本実施例とＫよるシャドウマスク金属板の幅方向の裏
側の感光液膜の厚さを対比して示すグラフ、第５図は本
発明の第２の実施例に適応する感光液塗布装置の要部説
明用断面図、第６図に本発明の第３の実、施例に適応す
る感光液塗布装置の要部説明用・断面図、第７図は金属
ローラの別な配設位置を示す要部拡大説明用断面図であ
る。 １・・・シャドウマスク用金属板 ３・・・槽４．６・・・ガイドローラ ７１＊７！・・・枠 体 ８１ｅ８１・・・底 板
１０□、１０．・・・感光液塗布槽 １１’−、Ｉ Ｉｓ −１ｂ・・・感光液１２・・・金
属ローラ１３．１３重、１３．・・・ワイパー 代理人 弁理士 井 上 −男
光液塗布装置を示す図であゆ、第１図は説明用断面図、
第２図は金属ローラの一部拡大説明図、第３図は従来と
本実施例とによるシャドウマスク金属板の幅方向の表側
の感光液膜の厚さを対比して示すグラフ、第４図は従来
と本実施例とＫよるシャドウマスク金属板の幅方向の裏
側の感光液膜の厚さを対比して示すグラフ、第５図は本
発明の第２の実施例に適応する感光液塗布装置の要部説
明用断面図、第６図に本発明の第３の実、施例に適応す
る感光液塗布装置の要部説明用・断面図、第７図は金属
ローラの別な配設位置を示す要部拡大説明用断面図であ
る。 １・・・シャドウマスク用金属板 ３・・・槽４．６・・・ガイドローラ ７１＊７！・・・枠 体 ８１ｅ８１・・・底 板
１０□、１０．・・・感光液塗布槽 １１’−、Ｉ Ｉｓ −１ｂ・・・感光液１２・・・金
属ローラ１３．１３重、１３．・・・ワイパー 代理人 弁理士 井 上 −男
Claims (2)
- （１） シャドウマスク用金属板に連続的に感光液を
塗布する工程と、前記シャドウマスク用金属板に前記感
光液が付着している状態で弾性部材によｐ前記シャドウ
マスク用金属板に前記感光液に強性的に塗シ付ける工程
と、前記感光液を強制的に塗）付けたシャドウマスク用
金属板を再度前記感光液内に通過させる工程と、口、−
ラによシ前記感光液の膜厚が所望厚になるようにかき落
す工程とを具備することを特徴とするシャドウマスク用
金属板の感光液塗布方法。 - （２） シャドウマスク用金属板に連続的に感光液を
塗布する感光液槽内で弾性部材により、前記シャドウマ
スク用金属板に前記感光液を強制的に塗）付けた後再度
前記感光液を塗布する工程と、ローラで前記感光液の膜
厚が所望厚になるようＫかき落す工程とを具備すること
を特徴とするシャドウマスク用金属板の感光液塗布方法
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57173989A JPS5963643A (ja) | 1982-10-05 | 1982-10-05 | シヤドウマスク用金属板の感光液塗布方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57173989A JPS5963643A (ja) | 1982-10-05 | 1982-10-05 | シヤドウマスク用金属板の感光液塗布方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5963643A true JPS5963643A (ja) | 1984-04-11 |
| JPH029417B2 JPH029417B2 (ja) | 1990-03-01 |
Family
ID=15970708
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57173989A Granted JPS5963643A (ja) | 1982-10-05 | 1982-10-05 | シヤドウマスク用金属板の感光液塗布方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5963643A (ja) |
Citations (12)
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| JPS509328U (ja) * | 1973-05-24 | 1975-01-30 | ||
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| JPS6133633A (ja) * | 1984-07-25 | 1986-02-17 | 松下電器産業株式会社 | 電気掃除機 |
-
1982
- 1982-10-05 JP JP57173989A patent/JPS5963643A/ja active Granted
Patent Citations (12)
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH029417B2 (ja) | 1990-03-01 |
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