JPS614153A - マイクロ波無電極光源装置用の無電極ランプ - Google Patents
マイクロ波無電極光源装置用の無電極ランプInfo
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- JPS614153A JPS614153A JP59120873A JP12087384A JPS614153A JP S614153 A JPS614153 A JP S614153A JP 59120873 A JP59120873 A JP 59120873A JP 12087384 A JP12087384 A JP 12087384A JP S614153 A JPS614153 A JP S614153A
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J61/00—Gas-discharge or vapour-discharge lamps
- H01J61/02—Details
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J65/00—Lamps without any electrode inside the vessel; Lamps with at least one main electrode outside the vessel
- H01J65/04—Lamps in which a gas filling is excited to luminesce by an external electromagnetic field or by external corpuscular radiation, e.g. for indicating plasma display panels
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野 ′
本発明は、平面において空間的により均一な放射を提供
する改良されたマイクロ波無電極ランプと、前記ランプ
に使用されたとき、前記より均一な放射となる改良され
たランプバルブとに向けられている。
する改良されたマイクロ波無電極ランプと、前記ランプ
に使用されたとき、前記より均一な放射となる改良され
たランプバルブとに向けられている。
従来の技術
マイクロ波無電極ランプは今や公知であり、そして全体
的に反射鏡とメツシュで作られたマイクロ波チャンバを
含み、その中にプラズマ形成媒体を含んでいるランプバ
ルブが配置されている。反射鏡はマイクロ波を透さない
が紫外線については反射し、メツシュはマイクロ波を透
さないが紫外線を透過する。従って、マイクロ波エネル
ギがチャンバに送られると、プラズマがバルブ内に励起
され、バルブが紫外線放射を発し、この紫外線放射が反
射鏡によってメツシュから照射されるべきターゲット上
に反射される。
的に反射鏡とメツシュで作られたマイクロ波チャンバを
含み、その中にプラズマ形成媒体を含んでいるランプバ
ルブが配置されている。反射鏡はマイクロ波を透さない
が紫外線については反射し、メツシュはマイクロ波を透
さないが紫外線を透過する。従って、マイクロ波エネル
ギがチャンバに送られると、プラズマがバルブ内に励起
され、バルブが紫外線放射を発し、この紫外線放射が反
射鏡によってメツシュから照射されるべきターゲット上
に反射される。
多くの応用、例えば、写真乾板の工１７ア（ａｒｅａ）
照明では、放射線の強さに対し照明されるべき表面を横
切って空間的に均一であることが重要である。比較的均
一な放射を提供する先行技術のエリア照明ランプが日本
国特開第５９−３９７１９号及び第５９−３９７２０号
に開示されている。
照明では、放射線の強さに対し照明されるべき表面を横
切って空間的に均一であることが重要である。比較的均
一な放射を提供する先行技術のエリア照明ランプが日本
国特開第５９−３９７１９号及び第５９−３９７２０号
に開示されている。
発明が解決しようとする問題点
前記先行技術のランプでは、球形バルブが使用されてお
り、反射鏡の設計は、使用された無電極ランプがすべて
の半径方向に均一な強さの紫外線放射を放射する球形容
積源（ｖｏｌｕｍｅ ’５ｏｕｒｃｅ）であるという仮
定の下で、空間的に均一な放射をターゲット平面上に理
想的に反射するようになっている。しかし乍ら、バルブ
容積内の電磁界の均一性の欠如のため、発した放射があ
る方向で弱く、これがターゲット上へ反射される放射に
不均一性を生ずることが発見された。
り、反射鏡の設計は、使用された無電極ランプがすべて
の半径方向に均一な強さの紫外線放射を放射する球形容
積源（ｖｏｌｕｍｅ ’５ｏｕｒｃｅ）であるという仮
定の下で、空間的に均一な放射をターゲット平面上に理
想的に反射するようになっている。しかし乍ら、バルブ
容積内の電磁界の均一性の欠如のため、発した放射があ
る方向で弱く、これがターゲット上へ反射される放射に
不均一性を生ずることが発見された。
問題を解決するための手段
本発明はマイクロ波チャンバ内の比較的均一な、比較的
高い強さの電磁界部分にバルブに充たされている大部分
のプラズマ形成物質を配置するよう−に無電極ランプバ
ルブの形状を変更することを含んでいる。従って、本発
明によれば、任意の形状の無電極ランプバルブが設けら
れていて、作用のとき、空間的に均一な強さでない電磁
界が存在するマイクロ波チャンバーに挿入されたとき、
すべての方向に比較的均一な強さの紫外線放射を無電極
ランプが発するようになっている。
高い強さの電磁界部分にバルブに充たされている大部分
のプラズマ形成物質を配置するよう−に無電極ランプバ
ルブの形状を変更することを含んでいる。従って、本発
明によれば、任意の形状の無電極ランプバルブが設けら
れていて、作用のとき、空間的に均一な強さでない電磁
界が存在するマイクロ波チャンバーに挿入されたとき、
すべての方向に比較的均一な強さの紫外線放射を無電極
ランプが発するようになっている。
作用
好ましい実施態様において、バルブは主に球形状である
が、少くとも非球形部分、特に直径方向に、対向した比
較的平らな部分を有している。好ましい実施態様のバル
ブが従来技術のランプに使用されれば、平面上に投射す
る放射の均一性は均一性の示性数（ｆｉｇｕｒｅ ｏｆ
ｍｅｒｉｔ）約１２乃至１５％から均一性の示性数約
９乃至１１％まで改善される。
が、少くとも非球形部分、特に直径方向に、対向した比
較的平らな部分を有している。好ましい実施態様のバル
ブが従来技術のランプに使用されれば、平面上に投射す
る放射の均一性は均一性の示性数（ｆｉｇｕｒｅ ｏｆ
ｍｅｒｉｔ）約１２乃至１５％から均一性の示性数約
９乃至１１％まで改善される。
従って本発明の目的は、より空間的に均一な放射を発す
ることができる改善された無電極ランプバルブを提供す
ることである。
ることができる改善された無電極ランプバルブを提供す
ることである。
更に他の本発明の目的は平面上により空間的に均一な放
射を提供する改善されたマイクロ波無電極ランプを提供
することである。
射を提供する改善されたマイクロ波無電極ランプを提供
することである。
本発明を添付図面を参照して説明する。
実施例
第１図を参照すると、日本国特願昭第５９−３９７１９
号及び第５９−３９７２０号に示されている如く、前の
エリア（ａｒｅａ）照明無電極ランプが示されている。
号及び第５９−３９７２０号に示されている如く、前の
エリア（ａｒｅａ）照明無電極ランプが示されている。
このランプは反射鏡２及びメツシュ４より構成されたマ
イクロ波チャンバを含み、この中に球形状のう゛ンプバ
ルブ６が配置されている。マイクロ波カップリングスロ
ットが反射鏡の後部においてほぼバルブの高さに配置さ
れており、このカップリングスロットは反射鏡面上にあ
って、ステム１０から９０度はなれた紙面の裏側にある
。
イクロ波チャンバを含み、この中に球形状のう゛ンプバ
ルブ６が配置されている。マイクロ波カップリングスロ
ットが反射鏡の後部においてほぼバルブの高さに配置さ
れており、このカップリングスロットは反射鏡面上にあ
って、ステム１０から９０度はなれた紙面の裏側にある
。
マイクロ波エネルギがスロット内に送られると、電磁界
がチャンバ内に伝幡してバルブ６内にプラズマを励起し
、バルブ６は紫外線放射を発する。
がチャンバ内に伝幡してバルブ６内にプラズマを励起し
、バルブ６は紫外線放射を発する。
この放射は反射鏡２によってメツシュ４から及びターゲ
ット平面１２上に反射される。
ット平面１２上に反射される。
反射鏡２は、バルブ６があらゆる半径方向に均一に放射
すると仮定すれば、ターゲット平面上へ空間的に均一な
放射を提するよう設計される。しかし乍ら、これは実情
ではないことが決定され、その結果、ターデッド面１２
に提供される放射は所望の均等性に欠けている。
すると仮定すれば、ターゲット平面上へ空間的に均一な
放射を提するよう設計される。しかし乍ら、これは実情
ではないことが決定され、その結果、ターデッド面１２
に提供される放射は所望の均等性に欠けている。
バルブ６が均一に放射しない理由は、電磁界がバルブ容
積の内部全体に亘り均一な強さでないということである
。第２図に例示されている界の電気的成分は主として１
方向にある。これはバルブ部分２０及び２２における磁
界の強さを部分２４及び２６における磁界の強さよりも
少くせしめ、これによって部分２０及び２１における紫
外線エミッションをより小さくせしめる。
積の内部全体に亘り均一な強さでないということである
。第２図に例示されている界の電気的成分は主として１
方向にある。これはバルブ部分２０及び２２における磁
界の強さを部分２４及び２６における磁界の強さよりも
少くせしめ、これによって部分２０及び２１における紫
外線エミッションをより小さくせしめる。
本発明によれば、無電極ランプバルブの部分のエミッシ
ョン特性がバルブの形状を局部的に変更することによっ
て変化されることが出来、且つバルブ内の大部分のプラ
ズマ形成物質がマイクロ波チャンバ内の比較的均一な電
磁界部分内に配置されるようにバルブ形状を変化するこ
とによってより均一化せしめられ得ることが判明した。
ョン特性がバルブの形状を局部的に変更することによっ
て変化されることが出来、且つバルブ内の大部分のプラ
ズマ形成物質がマイクロ波チャンバ内の比較的均一な電
磁界部分内に配置されるようにバルブ形状を変化するこ
とによってより均一化せしめられ得ることが判明した。
第１図及び第２図に示された特定のランプに関連して、
比較的平らなバルブ部分２０及び２２によって、そこか
らの発光が増加し、バルブはより均一に放射する。
比較的平らなバルブ部分２０及び２２によって、そこか
らの発光が増加し、バルブはより均一に放射する。
本発明のこのような実施態様によるバルブが第３図に示
されており、これでは比較的平らな部分３０及び３２が
設けられている。第４図においては、先行技術のバルブ
の球形状と比較したときのバルブの形状が示されでいる
。
されており、これでは比較的平らな部分３０及び３２が
設けられている。第４図においては、先行技術のバルブ
の球形状と比較したときのバルブの形状が示されでいる
。
上述の如く、第３図に示されたバルブ形状は、第１図及
び第２図に示された前の配置に比べると、それがバルブ
フィル（ｆｉｌｌ）の大部分を強力な電磁界の領域内に
配置されているので、第３図に示されたバルブ型状はバ
ルブ部分３０及び３２から増加されたエミッションを生
ずる。
び第２図に示された前の配置に比べると、それがバルブ
フィル（ｆｉｌｌ）の大部分を強力な電磁界の領域内に
配置されているので、第３図に示されたバルブ型状はバ
ルブ部分３０及び３２から増加されたエミッションを生
ずる。
本発明の改善されたバルブ及びランプがランプ（の均一
性を実質的に増加する。従って行なわれた比較試験にお
いて、均一化に対する水性数はＭａｘＩ−Ｍｉｎ Ｉ／
ｍａｘＴ＋Ｍｉｎ ｌとして規定され、この場合■はタ
ーゲツト面上の照明の強さであり、本発明のランプで゛
は均一性において±９乃至１１％であり、前の配置の１
２〜１５％と対照をなしている。
性を実質的に増加する。従って行なわれた比較試験にお
いて、均一化に対する水性数はＭａｘＩ−Ｍｉｎ Ｉ／
ｍａｘＴ＋Ｍｉｎ ｌとして規定され、この場合■はタ
ーゲツト面上の照明の強さであり、本発明のランプで゛
は均一性において±９乃至１１％であり、前の配置の１
２〜１５％と対照をなしている。
利用される実際の製造バルブでは、バルブは外側直径、
約１．２インチ（約３０．５＋ｏａ＋）及び短軸（第３
図の３０乃至３２）、約１インチ（約２５．４ｍｍ）を
有している球である。バルブ充填物（ｂｕｌｂ ｆｉｌ
ｌ）はＨｇ、Ｆｅｌ３及びアルゴンを含み、バルブはス
クリーン４から反射鏡２の頂部までの寸法３゛（約７６
ｍｍ）を有している第１図乃至第２図に示された全体的
形状のマイクロチャンバ内に配置されており、円形スク
リーン４は５．６インチ（約１２７ｍｍ）の直径を有し
ている。マイクロ波エネルギは周波数２．４５ＧＩ＋ｚ
で供給される。
約１．２インチ（約３０．５＋ｏａ＋）及び短軸（第３
図の３０乃至３２）、約１インチ（約２５．４ｍｍ）を
有している球である。バルブ充填物（ｂｕｌｂ ｆｉｌ
ｌ）はＨｇ、Ｆｅｌ３及びアルゴンを含み、バルブはス
クリーン４から反射鏡２の頂部までの寸法３゛（約７６
ｍｍ）を有している第１図乃至第２図に示された全体的
形状のマイクロチャンバ内に配置されており、円形スク
リーン４は５．６インチ（約１２７ｍｍ）の直径を有し
ている。マイクロ波エネルギは周波数２．４５ＧＩ＋ｚ
で供給される。
発明の効果
従って、より均一な放射を提供する無電極ランプバルブ
の変更の方法、並びに改良された無電極ランプバルブ及
び放射を提供できるランプが開示された。本発明は例示
された実施態様に関連して記載されたが、本発明の教示
によってバルブ形状の変化が当業者に起り易ると理解さ
れるべきであり、本発明は本願に添付された、及びこれ
と同等の特許請求の範囲によってのみ限定されるべきで
ある。
の変更の方法、並びに改良された無電極ランプバルブ及
び放射を提供できるランプが開示された。本発明は例示
された実施態様に関連して記載されたが、本発明の教示
によってバルブ形状の変化が当業者に起り易ると理解さ
れるべきであり、本発明は本願に添付された、及びこれ
と同等の特許請求の範囲によってのみ限定されるべきで
ある。
第１図は従来技術の無電極バルブを使用している、前の
ランプの概略図である。 第２図は、他のモードも存在するが、第１図に例示され
た形態に存在し得る電界ラインを示している概略図であ
る。第２図は斜視図であり、そしてまた第１図のチャン
バの断面形状を例示している。 第３図は本発明のランプバルブの実施態様の概略図であ
る。 第４図は球形状のバルブを比較したとぎの第３図のバル
ブの形状を示している例示である。 ２・・・反射鏡 ６・◆◆ランプバルブ １０番・・バルブステム ３０．３２・・・バルブ部分 特許出願人 ７ユージヨン・システムズ・コーポレーシ
ョン 手続補正書 昭和６０年７月４日 特許庁長官 宇 賀 道 部 殿 ２、発明の名称 無電極ランプバルブ及びその変更方法 ３８補正をする者 事件との関係 特許出願人 ４、代 理 人〒１０７ （１）明細書の特許請求の範囲の欄の記載を次の通夛に
訂正する。 「１．バルブの幾何学的中心がチャンバ内の所望の配置
位置にあるような位置において、作用のとき比較的均一
な界部分及び比較的不均一な界部分を有する電磁界が存
在するマイクロ波チャンバ内に配置されたとき比較的不
均一な紫外線放射を発し、該バルブがイオン化されたと
きプラズマを形成する物質で充たされておシ、該プラズ
マを形成する物質を包含する容積が該比較的均一な界部
分及び比較的不均一な界部分及び比較的不均一な界部分
の双方の部分を含んでいる、変更されない形状のランプ
バルブの代シとなる変更された形状の無極ランプバルブ
にして、 イオン化されたときプラズマを形成する物質変更されな
いバルブ内の大部分のプラズマ形成物質が、該電磁界の
比較的均一な部分を包含するように変更された形状を有
しているエンペロツブを特徴とする無電極ランプパルプ
。 ２、 イオン化されたときプラズマを形成する材料で充
たされておシ、マイクロ波チャンバのある領域内に挿入
されたときすべての方向に比較的均一な強さの紫外線放
射を発するような形状を有している無電極ランプパルプ
にして、均一の強さでない電磁界が存在することを特徴
とする無電極ランプパルプ。 ３、主として球の形状内にあるが、少くとも非球形部分
を有しておシ、イオン化されたときプラズマを形成する
物質で充たされている紫外線−伝導エンペロツブを含ん
でいる無電極ランプパルプ。 ４、数少くとも非球形部分が少くとも比較的平らな部分
である特許請求の範囲第３項記載の無電極ランプパルプ
。 １ ＊＋ ＜ ｋ ４ ’＆Ｍｎ”Ｊｆ−ｂ’
ｆｘ％ｌ’″゛１１１対向している比較的平らな部分を
含む特許請求の範囲第４項記載の無電極ラングパルプ。 ６、該紫外線伝導エンベロップが石英で作られている特
許請求の範囲第５項記載の無電極ランプパルプ。 Ｚ 該パルプに充たされている物質が水銀を含む特許請
求の範囲坑６項記載の無電極ランプパルプ。 ａ マイクロ波エネルギ発生手段と、 反射鏡とメツシュとを含むマイクロ波チャンバーであっ
て、該チャンバ全体に亘シ均一な強さでない電磁界が、
マイクロ波エネルギが該チャンバに結合されるとき、生
ずるようになっているマイクロ波チャンバと、 該発生手段によって発生されたマイクロ波エネルギを該
チャンバに結合する手段とを具備していて、 該マイクロ波チャンバがその中に配置された無電極ラン
プパルプを有しておシ、該無電極ランプがイオン化され
たときプラズマを形成する材料で充たされておシ、且つ
該無電極ラングが、該チャンバのある領域内にあるとき
均一の強さでない電磁界を有する、すべての方向に比較
的均一な強さの紫外線放射を発するような形状を有して
いることを特徴とするマイクロ波無電極ランプ。 ９ マイクロ波エネルギが与えられる反射鏡及ヒメッシ
ュを含むマイクロ波チャンバと、該チャンバ内に配置さ
れていて、主として球の形状であるが、直径方向の月（
１１Ｊ Ｋ比較的平らな部分を有叫ておシ、且つイオン
化されたときプラズマを形成する媒体で充たされている
紫外線伝導エンベロップを含むランプパルプ、とを具備
することを特徴とするマイクロ波無電極ランプ。 １０、該チャンバ内のマイクロ波電磁界の電界成分が主
として１方向である特許請求の範囲第９項記載のマイク
ロ波無電極ランプ。 １ｔ 該直径方向に対向している比較的平らな部分が該
電界の方向と多少同じ全体的な方向に延びている特許請
求の範囲第１０項記載のマイクロ波無電極ランプ。 １２、 よ多空間的に均一な強さである放射を提供す
るためイオン化されたときプラズマを形成する物質で充
たされており、作用のとき比較的均一郡 な赤部分と比較計病−な赤部分とを有′している電磁界
が存在するマイクロ波チャンバ内に挿入するための無電
極ランプパルプを変更する方法にして、パルプがチャン
バ内の所望の位置に配置されたとき、大部分のプラズマ
形成物質が該比較的均一な赤部分に配置されるようにパ
ルプの形状を変化するステップと 該チャンバ内のパルプを該所望の位置に挿入するステッ
プと、 を含むと七を特徴とする方法。」 以上
ランプの概略図である。 第２図は、他のモードも存在するが、第１図に例示され
た形態に存在し得る電界ラインを示している概略図であ
る。第２図は斜視図であり、そしてまた第１図のチャン
バの断面形状を例示している。 第３図は本発明のランプバルブの実施態様の概略図であ
る。 第４図は球形状のバルブを比較したとぎの第３図のバル
ブの形状を示している例示である。 ２・・・反射鏡 ６・◆◆ランプバルブ １０番・・バルブステム ３０．３２・・・バルブ部分 特許出願人 ７ユージヨン・システムズ・コーポレーシ
ョン 手続補正書 昭和６０年７月４日 特許庁長官 宇 賀 道 部 殿 ２、発明の名称 無電極ランプバルブ及びその変更方法 ３８補正をする者 事件との関係 特許出願人 ４、代 理 人〒１０７ （１）明細書の特許請求の範囲の欄の記載を次の通夛に
訂正する。 「１．バルブの幾何学的中心がチャンバ内の所望の配置
位置にあるような位置において、作用のとき比較的均一
な界部分及び比較的不均一な界部分を有する電磁界が存
在するマイクロ波チャンバ内に配置されたとき比較的不
均一な紫外線放射を発し、該バルブがイオン化されたと
きプラズマを形成する物質で充たされておシ、該プラズ
マを形成する物質を包含する容積が該比較的均一な界部
分及び比較的不均一な界部分及び比較的不均一な界部分
の双方の部分を含んでいる、変更されない形状のランプ
バルブの代シとなる変更された形状の無極ランプバルブ
にして、 イオン化されたときプラズマを形成する物質変更されな
いバルブ内の大部分のプラズマ形成物質が、該電磁界の
比較的均一な部分を包含するように変更された形状を有
しているエンペロツブを特徴とする無電極ランプパルプ
。 ２、 イオン化されたときプラズマを形成する材料で充
たされておシ、マイクロ波チャンバのある領域内に挿入
されたときすべての方向に比較的均一な強さの紫外線放
射を発するような形状を有している無電極ランプパルプ
にして、均一の強さでない電磁界が存在することを特徴
とする無電極ランプパルプ。 ３、主として球の形状内にあるが、少くとも非球形部分
を有しておシ、イオン化されたときプラズマを形成する
物質で充たされている紫外線−伝導エンペロツブを含ん
でいる無電極ランプパルプ。 ４、数少くとも非球形部分が少くとも比較的平らな部分
である特許請求の範囲第３項記載の無電極ランプパルプ
。 １ ＊＋ ＜ ｋ ４ ’＆Ｍｎ”Ｊｆ−ｂ’
ｆｘ％ｌ’″゛１１１対向している比較的平らな部分を
含む特許請求の範囲第４項記載の無電極ラングパルプ。 ６、該紫外線伝導エンベロップが石英で作られている特
許請求の範囲第５項記載の無電極ランプパルプ。 Ｚ 該パルプに充たされている物質が水銀を含む特許請
求の範囲坑６項記載の無電極ランプパルプ。 ａ マイクロ波エネルギ発生手段と、 反射鏡とメツシュとを含むマイクロ波チャンバーであっ
て、該チャンバ全体に亘シ均一な強さでない電磁界が、
マイクロ波エネルギが該チャンバに結合されるとき、生
ずるようになっているマイクロ波チャンバと、 該発生手段によって発生されたマイクロ波エネルギを該
チャンバに結合する手段とを具備していて、 該マイクロ波チャンバがその中に配置された無電極ラン
プパルプを有しておシ、該無電極ランプがイオン化され
たときプラズマを形成する材料で充たされておシ、且つ
該無電極ラングが、該チャンバのある領域内にあるとき
均一の強さでない電磁界を有する、すべての方向に比較
的均一な強さの紫外線放射を発するような形状を有して
いることを特徴とするマイクロ波無電極ランプ。 ９ マイクロ波エネルギが与えられる反射鏡及ヒメッシ
ュを含むマイクロ波チャンバと、該チャンバ内に配置さ
れていて、主として球の形状であるが、直径方向の月（
１１Ｊ Ｋ比較的平らな部分を有叫ておシ、且つイオン
化されたときプラズマを形成する媒体で充たされている
紫外線伝導エンベロップを含むランプパルプ、とを具備
することを特徴とするマイクロ波無電極ランプ。 １０、該チャンバ内のマイクロ波電磁界の電界成分が主
として１方向である特許請求の範囲第９項記載のマイク
ロ波無電極ランプ。 １ｔ 該直径方向に対向している比較的平らな部分が該
電界の方向と多少同じ全体的な方向に延びている特許請
求の範囲第１０項記載のマイクロ波無電極ランプ。 １２、 よ多空間的に均一な強さである放射を提供す
るためイオン化されたときプラズマを形成する物質で充
たされており、作用のとき比較的均一郡 な赤部分と比較計病−な赤部分とを有′している電磁界
が存在するマイクロ波チャンバ内に挿入するための無電
極ランプパルプを変更する方法にして、パルプがチャン
バ内の所望の位置に配置されたとき、大部分のプラズマ
形成物質が該比較的均一な赤部分に配置されるようにパ
ルプの形状を変化するステップと 該チャンバ内のパルプを該所望の位置に挿入するステッ
プと、 を含むと七を特徴とする方法。」 以上
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、バルブの幾何学的中心がチャンバ内の所望の配置位
置にあるような位置において、作用のとき比較的均一な
界部分及び比較的不均一な界部分を有する電磁界が存在
するマイクロ波チャンバ内に配置されたとき比較的不均
一な紫外線放射を発し、該バルブがイオン化されたとき
プラズマを形成する物質で充たされており、該プラズマ
を形成する物質を包含する容積が該比較的均一な界部分
及び比較的不均一な界部分の双方の部分を含んでいる、
変更されない形状のランプバルブの代りとなる変更され
た形状の無極ランプバルブにして、イオン化されたとき
プラズマを形成する物質で充たされており、該チャンバ
内の該所望の配置位置にその幾何学的中心を置いて配置
される該変更されないバルブ内の大部分のプラズマ形成
物質が、該電磁界の比較的均一な部分を包含するように
変更された形状を有しているエンベロップを特徴とする
無電極ランプバルブ。 ２、イオン化されたときプラズマを形成する材料で充た
されており、マイクロ波チャンバ内に挿入されたときす
べての方向に比較的均一な強さの紫外線放射を発するよ
うな形状を有している無電極ランプバルブにして、該チ
ャンバ全体に亘り均一の強さでない電磁界が存在するこ
とを特徴とする無電極ランプバルブ。 ３、主として球の形状内にあるが、少くとも非球形部分
を有しており、イオン化されたときプラズマを形成する
物質で充たされている紫外線−伝導エンベロップを含ん
でいる無電極ランプバルブ。 ４、該少くとも非球形部分が少くとも比較的平らな部分
である特許請求の範囲第３項記載の無電極ランプバルブ
。 ５、該少くとも比較的平らな部分が直径方向に対向して
いる比較的平らな部分を含む特許請求の範囲第４項記載
の無電極ランプバルブ。 ６、該紫外線伝導エンベロップが石英で作られている特
許請求の範囲第５項記載の無電極ランプバルブ。 ７、該バルブに充たされている物質が水銀を含む特許請
求の範囲第６項記載の無電極ランプバルブ。 ８、マイクロ波エネルギ発生手段と、 反射鏡とメッシュとを含むマイクロ波チャンバーであっ
て、該チャンバ全体に亘り均一な強さでない電磁界が、
マイクロ波エネルギが該チャンバに結合されるとき、生
ずるようになっているマイクロ波チャンバと、 該発生手段によって発生されたマイクロ波エネルギを該
チャンバに結合する手段とを具備していて、 該マイクロ波チャンバがその中に配置された無電極ラン
プバルブを有しており、該無電極ランプがイオン化され
たときプラズマを形成する材料で充たされており、且つ
該無電極ランプが該チャンバ内にあるときすべての方向
に比較的均一な強さの紫外線放射を発するような形状を
有していることを特徴とするマイクロ波無電極ランプ。 ９、マイクロ波エネルギが与えられる反射鏡及びメッシ
ュを含むマイクロ波チャンバと、該チャンバ内に配置さ
れていて、主として球の形状であるが、直径方向に比較
的平らな部分を有しており、且つイオン化されたときプ
ラズマを形成する媒体で充たされている紫外線伝導エン
ベロップを含むランプバルブとを具備することを特徴と
するマイクロ波無電極ランプ。 １０、該チャンバ内のマイクロ波電磁界の電界成分が主
として１方向である特許請求の範囲第９項記載のマイク
ロ波無電極ランプ。 １１、該直径方向に対向している比較的平らな部分が該
電界の方向と多少同じ全体的な方向に延びている特許請
求の範囲第１０項記載のマイクロ波無電極ランプ。 １２、より空間的に均一な強さである放射を提供するた
めイオン化されたときプラズマを形成する物質で充たさ
れており、作用のとき比較的均一な界部分と比較的均一
な界部分とを有している電磁界が存在するマイクロ波チ
ャンバ内に挿入するための無電極ランプバルブを変更す
る方法にして、バルブがチャンバ内の所望の位置に配置
されたとき、大部分のプラズマ形成物質が該比較的均一
な界部分に配置されるようにバルブの形状を変化するス
テップと 該チャンバ内のバルブを該所望の位置に挿入するステッ
プと を含むことを特徴とする方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59120873A JPS614153A (ja) | 1984-06-14 | 1984-06-14 | マイクロ波無電極光源装置用の無電極ランプ |
| US07/186,657 US4887008A (en) | 1984-06-14 | 1988-04-19 | Electrodeless lamp bulb of modified shape for providing uniform emission of radiation |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59120873A JPS614153A (ja) | 1984-06-14 | 1984-06-14 | マイクロ波無電極光源装置用の無電極ランプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS614153A true JPS614153A (ja) | 1986-01-10 |
| JPH036618B2 JPH036618B2 (ja) | 1991-01-30 |
Family
ID=14797064
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59120873A Granted JPS614153A (ja) | 1984-06-14 | 1984-06-14 | マイクロ波無電極光源装置用の無電極ランプ |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4887008A (ja) |
| JP (1) | JPS614153A (ja) |
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1984
- 1984-06-14 JP JP59120873A patent/JPS614153A/ja active Granted
-
1988
- 1988-04-19 US US07/186,657 patent/US4887008A/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4887008A (en) | 1989-12-12 |
| JPH036618B2 (ja) | 1991-01-30 |
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