JPS6141234Y2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6141234Y2 JPS6141234Y2 JP2593482U JP2593482U JPS6141234Y2 JP S6141234 Y2 JPS6141234 Y2 JP S6141234Y2 JP 2593482 U JP2593482 U JP 2593482U JP 2593482 U JP2593482 U JP 2593482U JP S6141234 Y2 JPS6141234 Y2 JP S6141234Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lid
- swing arm
- processing container
- semiconductor processing
- slider block
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 16
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Furnace Housings, Linings, Walls, And Ceilings (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
この考案は、半導体製造装置における半導体処
理容器、即ち反応管の蓋を自動的に開閉するため
の装置に関するものである。
理容器、即ち反応管の蓋を自動的に開閉するため
の装置に関するものである。
従来、この種の半導体処理容器の蓋を開閉する
装置としてその蓋を単なるドアのように回動して
開閉するものが考えられていたが、これでは、被
処理物を出し入れする際、蓋を半ドア状態でな
く、半導体処理容器の出入口の手前側を完全に開
口する必要があるので、その際蓋が180゜以上回
転し、その開閉運動に要する空間が大きくなり、
無駄な据付面積を要する。この考案は、このよう
な問題を解決し半導体処理容器の蓋を開いてその
面を半導体処理容器の側面に沿うような状態にし
ておいて被処理物の出し入れ作業のじやまになら
ないようにすると共に、半導体処理容器の蓋を上
述のように開口する間に該蓋の通る空間を出来る
限り小さくし、余分な据付面積を要しないように
することである。
装置としてその蓋を単なるドアのように回動して
開閉するものが考えられていたが、これでは、被
処理物を出し入れする際、蓋を半ドア状態でな
く、半導体処理容器の出入口の手前側を完全に開
口する必要があるので、その際蓋が180゜以上回
転し、その開閉運動に要する空間が大きくなり、
無駄な据付面積を要する。この考案は、このよう
な問題を解決し半導体処理容器の蓋を開いてその
面を半導体処理容器の側面に沿うような状態にし
ておいて被処理物の出し入れ作業のじやまになら
ないようにすると共に、半導体処理容器の蓋を上
述のように開口する間に該蓋の通る空間を出来る
限り小さくし、余分な据付面積を要しないように
することである。
本考案を図面によつて説明する。
本考案は、半導体処理容器１の側部にその長手
方向と平行にスライドレール２を設け、その両端
をフレーム１５に固定し、該スライドレール２に
スライダブロツク３を滑り嵌合し、このスライダ
ーブロツク３とエヤシリンダ等の駆動機構１６の
作動杆１７とを結合し、駆動機構１６を駆動する
ことにより、スライダブロツク３をスライダレー
ル２に沿つて矢印Ａ３方向に摺動できるようにし
ている。
方向と平行にスライドレール２を設け、その両端
をフレーム１５に固定し、該スライドレール２に
スライダブロツク３を滑り嵌合し、このスライダ
ーブロツク３とエヤシリンダ等の駆動機構１６の
作動杆１７とを結合し、駆動機構１６を駆動する
ことにより、スライダブロツク３をスライダレー
ル２に沿つて矢印Ａ３方向に摺動できるようにし
ている。
又、スライダブロツク３の一側に形成したブラ
ケツト１８にスイングアーム４の一端を軸５で軸
着し、他端に蓋６の中央に固定したガイドピン１
９を摺動自在に設け、蓋６とスイングアーム４と
の間にコイルばね２０を介入し、そのばね２０の
弾力で蓋６を半導体処理容器１の開口縁に圧着す
るようにしている。又、スイングアーム４の中程
にピン７を突設し、このピン７に連杆１０の一端
を回動自在に取付け、他端を揺動杆９の自由端と
ピン２１でリンク結合し、揺動杆９の基端部をフ
レーム１５に固着されている固定軸８と回動自在
に結合し、又揺動杆９の中程の揺動ピン２２と、
フレーム１５の固定ピン２３との間にコイルばね
１２を張架し、この弾力により揺動杆９を常時矢
印Ａ９方向に引張つておき、その結果、連杆１０
を矢印Ａ１０方向に押し、スイングアーム４を軸
５を中心として矢印Ａ５方向に回動し、支承部１
１に圧着し、それ以上同じ方向には回動できない
ようにしておく。
ケツト１８にスイングアーム４の一端を軸５で軸
着し、他端に蓋６の中央に固定したガイドピン１
９を摺動自在に設け、蓋６とスイングアーム４と
の間にコイルばね２０を介入し、そのばね２０の
弾力で蓋６を半導体処理容器１の開口縁に圧着す
るようにしている。又、スイングアーム４の中程
にピン７を突設し、このピン７に連杆１０の一端
を回動自在に取付け、他端を揺動杆９の自由端と
ピン２１でリンク結合し、揺動杆９の基端部をフ
レーム１５に固着されている固定軸８と回動自在
に結合し、又揺動杆９の中程の揺動ピン２２と、
フレーム１５の固定ピン２３との間にコイルばね
１２を張架し、この弾力により揺動杆９を常時矢
印Ａ９方向に引張つておき、その結果、連杆１０
を矢印Ａ１０方向に押し、スイングアーム４を軸
５を中心として矢印Ａ５方向に回動し、支承部１
１に圧着し、それ以上同じ方向には回動できない
ようにしておく。
この状態でスライダブロツク３を矢印Ａ３方向
に揺動すると、スイングアーム４は支承部１１に
圧着されたままの状態で、スライドレール２に沿
つて平行移動し、蓋６は半導体処理容器１の開口
縁から矢印Ａ６方向に向つて距離ｌだけ移動す
る。
に揺動すると、スイングアーム４は支承部１１に
圧着されたままの状態で、スライドレール２に沿
つて平行移動し、蓋６は半導体処理容器１の開口
縁から矢印Ａ６方向に向つて距離ｌだけ移動す
る。
この移動した状態を示したのが第２図の軸５ａ
スイングアーム４ａ及び蓋６ａである。更に回動
杆９のコイルばね１２の張力による回動方向の手
前側にストツパ１３を設け、回動杆９の矢印Ａ９
方向の回動運動をそこで停止するようにしてあ
る。
スイングアーム４ａ及び蓋６ａである。更に回動
杆９のコイルばね１２の張力による回動方向の手
前側にストツパ１３を設け、回動杆９の矢印Ａ９
方向の回動運動をそこで停止するようにしてあ
る。
従つてスライダブロツク３の軸５を更に矢印Ａ
３方向に摺動すると、即ち第２図の２点鎖線で示
した軸５ｂまで移動すると、スイングアーム４
は、連杆１０に引張られ二点鎖線４ｂに示す如く
軸５ｂを中心として回動する。その為蓋６は二点
鎖線で示した蓋６ｂの位置に移動しながら若干向
きを変える。
３方向に摺動すると、即ち第２図の２点鎖線で示
した軸５ｂまで移動すると、スイングアーム４
は、連杆１０に引張られ二点鎖線４ｂに示す如く
軸５ｂを中心として回動する。その為蓋６は二点
鎖線で示した蓋６ｂの位置に移動しながら若干向
きを変える。
更に軸５が５ｃに移動するにつれ、蓋６は、第
２図に示す如く実線の蓋６ｃに示す位置に移動し
更に向きを変える。
２図に示す如く実線の蓋６ｃに示す位置に移動し
更に向きを変える。
図示していないが軸５を、軸５ｃより更に矢印
Ａ５方向に移動すると、図示してないが蓋６ｃを
更に移動することができる。
Ａ５方向に移動すると、図示してないが蓋６ｃを
更に移動することができる。
斯様にスライダブロツク３をスライドレール２
に沿つて摺動することにより、蓋６を半導体処理
容器１の開口縁から垂直に距離ｌだけ離した状態
で軸５を中心として回動することができるので、
蓋６を開口縁に圧着したまま回動する場合と比較
して無理なく回動することができ、半導体処理容
器の開口縁や蓋６のパツキン６a′を傷めるおそれ
がなく、しかも単なるドアのように一つの軸を中
心として開閉するものと比較して蓋の通過する空
間が小くて済み、据付面積を減小できる。
に沿つて摺動することにより、蓋６を半導体処理
容器１の開口縁から垂直に距離ｌだけ離した状態
で軸５を中心として回動することができるので、
蓋６を開口縁に圧着したまま回動する場合と比較
して無理なく回動することができ、半導体処理容
器の開口縁や蓋６のパツキン６a′を傷めるおそれ
がなく、しかも単なるドアのように一つの軸を中
心として開閉するものと比較して蓋の通過する空
間が小くて済み、据付面積を減小できる。
第１図は、本考案の装置の平面図、第２図は同
装置の他の状態を示す平面図、第３図は、第２図
の状態の正面図である。 １……半導体処理容器、２……スライドレー
ル、３……スライダブロツク、４……スイングア
ーム、５……軸、６……蓋、７……ピン、８……
固定軸、９……揺動杆、１０……連杆、１１……
支承部、１２……ばね、１３……ストツパ。
装置の他の状態を示す平面図、第３図は、第２図
の状態の正面図である。 １……半導体処理容器、２……スライドレー
ル、３……スライダブロツク、４……スイングア
ーム、５……軸、６……蓋、７……ピン、８……
固定軸、９……揺動杆、１０……連杆、１１……
支承部、１２……ばね、１３……ストツパ。
Claims (1)
- 半導体処理容器１の長手方向と平行にスライド
レール２を設け、該スライドレール２に滑り嵌合
したスライダブロツク３にスイングアーム４の一
端を軸５で軸着し、他端に半導体処理容器１の蓋
６を設け、又、該スイングアーム４に設けたピン
７と、固定軸８との間を互にリンク結合された揺
動杆９と連杆１０とで連結し、更にスライダブロ
ツク３に形成した支承部１１とスイングアーム４
とをばね１２で常時圧着し、更に又、該揺動杆９
の揺動方向の手前側にストツパ１３を設けた半導
体処理容器の自動開閉装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2593482U JPS58129640U (ja) | 1982-02-25 | 1982-02-25 | 半導体処理容器の自動開閉装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2593482U JPS58129640U (ja) | 1982-02-25 | 1982-02-25 | 半導体処理容器の自動開閉装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58129640U JPS58129640U (ja) | 1983-09-02 |
| JPS6141234Y2 true JPS6141234Y2 (ja) | 1986-11-25 |
Family
ID=30037889
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2593482U Granted JPS58129640U (ja) | 1982-02-25 | 1982-02-25 | 半導体処理容器の自動開閉装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58129640U (ja) |
-
1982
- 1982-02-25 JP JP2593482U patent/JPS58129640U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS58129640U (ja) | 1983-09-02 |
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