JPS6139935U - スピン法用シリコン溶融炉におけるタ−ンテ−ブルの回転昇降装置 - Google Patents

スピン法用シリコン溶融炉におけるタ−ンテ−ブルの回転昇降装置

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Publication number
JPS6139935U
JPS6139935U JP12505184U JP12505184U JPS6139935U JP S6139935 U JPS6139935 U JP S6139935U JP 12505184 U JP12505184 U JP 12505184U JP 12505184 U JP12505184 U JP 12505184U JP S6139935 U JPS6139935 U JP S6139935U
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JP
Japan
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shaft
rotating
turntable
melting furnace
silicon melting
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JP12505184U
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JPH0246051Y2 (ja
Inventor
岳之 松山
敬志 横山
一郎 秀
敬司 沢谷
Original Assignee
株式会社ほくさん
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Publication date
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    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
    • Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy

Landscapes

  • Silicon Compounds (AREA)
  • Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案に係るスピン法用シリコン溶融炉におけ
るターンテーブルの回転昇降装置を示した縦断側面図、
第２図は装置における回転機構の拡大縦断側面図、第３
図は同装置におけるメカニカルシールユニットの拡大縦
断側面図、第４図は第３図におけるＩＶ−ＩＶ線矢視拡
大横断面図である。 １−・・・・・本体、５・・・・・・ターンテーンテー
ブル、１２・・・・・・シャフト、１５・・・・・・ガ
ス供給、２ ０・一・・・・昇降機構、２７・・・・・
・昇降プレート、３０・・・・・・モータ、３１・・・
・・・動力伝達機構、３２・・・・・・プー’Ｊ −、
３３・・・・・・断熱ハウジング、３４・・・・・・磁
気ジールユ二，ット、３５・・・・・・メカニカルシー
ルユニット、３６會…●●ベローズ。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 毎部が不活性ガス雰囲気に保たれる本体には、同本体と
    連通し、かつ気密に断熱ノ１ウジングが固着され、該断
    熱ハウジングに挿通して本体内に延出の上端にターンテ
    ーブルを固定した中空のシャフトを、回転かつ、摺動自
    在に配設し、該シャフトの下部は、昇降機構にて昇降動
    自在とした昇降プレートに回転自在に貫通し、かつその
    摺動部は磁気シールユニットにてシーイレするち共に、
    同シャフトにはプーリーを嵌着して回転可能なるよう上
    記昇降プレートに設けたモーターと動力伝達機構にて連
    動蓮結し、更に上記シ＋フト下端と、非回転のガス供給
    管との摺動部はメカニカルシールユニットにてシールす
    ると共に、上記断熱ハウジングと上記昇降プレト間にに
    、伸縮自在なベローズを接続してシールし、該ベローズ
    にて上記シャフトの露出部を被覆してなるスピン法用シ
    リコン溶融炉におけるターンテーブルの回転昇降装置。
JP12505184U 1984-08-17 1984-08-17 スピン法用シリコン溶融炉におけるタ−ンテ−ブルの回転昇降装置 Granted JPS6139935U (ja)

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JP12505184U JPS6139935U (ja) 1984-08-17 1984-08-17 スピン法用シリコン溶融炉におけるタ−ンテ−ブルの回転昇降装置

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JP12505184U JPS6139935U (ja) 1984-08-17 1984-08-17 スピン法用シリコン溶融炉におけるタ−ンテ−ブルの回転昇降装置

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JPS6139935U true JPS6139935U (ja) 1986-03-13
JPH0246051Y2 JPH0246051Y2 (ja) 1990-12-05

Family

ID=30683736

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JP12505184U Granted JPS6139935U (ja) 1984-08-17 1984-08-17 スピン法用シリコン溶融炉におけるタ−ンテ−ブルの回転昇降装置

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06168898A (ja) * 1991-01-08 1994-06-14 Sematech Inc シリコンの再成長を伴うシリコンウェハーのスピン鋳造

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06168898A (ja) * 1991-01-08 1994-06-14 Sematech Inc シリコンの再成長を伴うシリコンウェハーのスピン鋳造

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JPH0246051Y2 (ja) 1990-12-05

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