JPS6139936U - スピン法用シリコン溶融炉におけるタ−ンテ−ブルの回転昇降装置 - Google Patents

スピン法用シリコン溶融炉におけるタ−ンテ−ブルの回転昇降装置

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Publication number
JPS6139936U
JPS6139936U JP12505284U JP12505284U JPS6139936U JP S6139936 U JPS6139936 U JP S6139936U JP 12505284 U JP12505284 U JP 12505284U JP 12505284 U JP12505284 U JP 12505284U JP S6139936 U JPS6139936 U JP S6139936U
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JP
Japan
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shaft
turntable
melting furnace
silicon melting
rotating
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JP12505284U
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JPH0246052Y2 (ja
Inventor
岳之 松山
敬志 横山
一郎 秀
敬司 沢谷
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株式会社ほくさん
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Publication date
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    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
    • Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy

Landscapes

  • Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)
  • Silicon Compounds (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案に係るターンテーブルの回転昇降装置を
備えたスピン法用シリコン溶融炉の主要部を示した縦断
側面図、第２図は同回転昇降装置の拡大縦断側面図であ
る。 １・・・・・・本体、４・・・・・・ターンテーブル、
８・・・・・・開口部、９・・・カバー、１１・・・・
・・シリンダー、１２・・・・・・ベアリング、１３・
・・・・・シャフト、１４．１４・・・・・・ガイド杆
、１５・・・・・・昇降板、１７・・・・・・伝達プー
リー、１９・・・・・・駆動源ｇ

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 内部が不活性ガス雰囲気に保たれる本体の開口部から挿
    通して、上端にターンテーブルを固定したシャフトを回
    転自在にして南かつ昇降動可能に配置し、該シャフトと
    同軸上の下部にはシリンダーを配置し、該シリンダーと
    上記シャフトとはベアリングを介みて連結状態となし、
    該シャフトには伝達プーリーを嵌着して昇降板に設けた
    駆動源による駆動回転可能とすると共に、当該昇降板は
    ガイド杆に昇降自在に案内されてシャフトと共動。 するよう架設することによって回転昇降機構を構成し、
    該機構を上記本体と連通状態にして、かつ気密に固定さ
    れたカバーにて被覆閉封してなるス、ピン法用シリコン
    溶融炉におけるターンテーブルの回転昇降装置。
JP12505284U 1984-08-17 1984-08-17 スピン法用シリコン溶融炉におけるタ−ンテ−ブルの回転昇降装置 Granted JPS6139936U (ja)

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JP12505284U JPS6139936U (ja) 1984-08-17 1984-08-17 スピン法用シリコン溶融炉におけるタ−ンテ−ブルの回転昇降装置

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JPS6139936U true JPS6139936U (ja) 1986-03-13
JPH0246052Y2 JPH0246052Y2 (ja) 1990-12-05

Family

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0299323U (ja) * 1989-01-25 1990-08-08
JP2006298669A (ja) * 2005-04-18 2006-11-02 Daiichi Kiden:Kk 結晶シリコン製造装置

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPH0299323U (ja) * 1989-01-25 1990-08-08
JP2006298669A (ja) * 2005-04-18 2006-11-02 Daiichi Kiden:Kk 結晶シリコン製造装置

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