JPH0420240U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0420240U JPH0420240U JP6122390U JP6122390U JPH0420240U JP H0420240 U JPH0420240 U JP H0420240U JP 6122390 U JP6122390 U JP 6122390U JP 6122390 U JP6122390 U JP 6122390U JP H0420240 U JPH0420240 U JP H0420240U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- arm
- cylinder shaft
- fixed
- spline
- spline cylinder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 4
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 claims 3
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Description
第1図は本考案の第1の実施例を示す縦断面図
、第2図は第2の実施例を示す縦断面図、第3図
は第2の実施例に係る作動説明図、第4図は従来
例を示す斜視図である。 1……固定台、2……スプライン軸受、3……
スプライン筒軸、4……ネジ、5……昇降駆動ナ
ツト、8……回転駆動手段(回転駆動モータ)、
10……アーム連動機構、11……アーム旋回軸
、13……固定輪、14……旋回アーム、15…
…連結軸、16……基板搬送アーム、17……可
動輪、20……アーム駆動手段(アーム駆動モー
タ)、30……旋回駆動手段(旋回駆動モータ)
。
、第2図は第2の実施例を示す縦断面図、第3図
は第2の実施例に係る作動説明図、第4図は従来
例を示す斜視図である。 1……固定台、2……スプライン軸受、3……
スプライン筒軸、4……ネジ、5……昇降駆動ナ
ツト、8……回転駆動手段(回転駆動モータ)、
10……アーム連動機構、11……アーム旋回軸
、13……固定輪、14……旋回アーム、15…
…連結軸、16……基板搬送アーム、17……可
動輪、20……アーム駆動手段(アーム駆動モー
タ)、30……旋回駆動手段(旋回駆動モータ)
。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 1 固定台にスプライン軸受を介してスプライン
筒軸を昇降自在に支持し、スプライン筒軸内にア
ーム連動機構のアーム旋回軸を貫通して回転可能
に支持させ、 アーム連動機構はスプライン筒軸で支持したア
ーム旋回軸と、アーム旋回軸の突出上端部にその
基端部を固定した旋回アームと、旋回アームの先
端部に回転可能に立設支持させた連結軸と、この
連結軸の一端部に固定した基板搬送アームと、連
結軸の他端部に固定した可動輪と、スプライン筒
軸の上端部に固定した固定輪と、固定輪と可動輪
とを連動連結する伝動手段と、スプライン筒軸の
下端部に設けられ、アーム旋回軸を回転させるア
ーム駆動手段とを具備して成り、 スプライン筒軸の外周にネジを形成してそのネ
ジに昇降駆動ナツトを螺合し、固定台に昇降駆動
ナツトを回転自在に枢支し、回転駆動手段で昇降
駆動ナツトを回転させることによりスプライン筒
軸及びアーム連動機構を昇降位置制御可能に構成
したことを特徴とするアーム旋回式基板搬送装置
。 2 固定台にスプライン軸受を回転可能に枢支さ
せ、スプライン軸受を固定台に設けた旋回駆動手
段で回転させることにより、スプライン筒軸を介
してアーム連動機構を旋回位置及び昇降位置制御
可能に構成した請求項1に記載のアーム旋回式基
板搬送装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6122390U JP2509227Y2 (ja) | 1990-06-08 | 1990-06-08 | ア―ム旋回式基板搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6122390U JP2509227Y2 (ja) | 1990-06-08 | 1990-06-08 | ア―ム旋回式基板搬送装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0420240U true JPH0420240U (ja) | 1992-02-20 |
JP2509227Y2 JP2509227Y2 (ja) | 1996-08-28 |
Family
ID=31589286
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP6122390U Expired - Lifetime JP2509227Y2 (ja) | 1990-06-08 | 1990-06-08 | ア―ム旋回式基板搬送装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2509227Y2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000042953A (ja) * | 1998-07-29 | 2000-02-15 | Janome Sewing Mach Co Ltd | 水平多関節ロボット |
JP2007296631A (ja) * | 2006-05-02 | 2007-11-15 | Staeubli Faverges | スカラ型ロボット構造と対応ロボット |
-
1990
- 1990-06-08 JP JP6122390U patent/JP2509227Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000042953A (ja) * | 1998-07-29 | 2000-02-15 | Janome Sewing Mach Co Ltd | 水平多関節ロボット |
JP2007296631A (ja) * | 2006-05-02 | 2007-11-15 | Staeubli Faverges | スカラ型ロボット構造と対応ロボット |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2509227Y2 (ja) | 1996-08-28 |
Similar Documents
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |