JPS6139517A - 照明装置 - Google Patents
照明装置Info
- Publication number
- JPS6139517A JPS6139517A JP16000584A JP16000584A JPS6139517A JP S6139517 A JPS6139517 A JP S6139517A JP 16000584 A JP16000584 A JP 16000584A JP 16000584 A JP16000584 A JP 16000584A JP S6139517 A JPS6139517 A JP S6139517A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mirror
- light
- line
- exposure
- alignment
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は縮小投影露光装置の照明装置に関するものであ
る。
る。
従来の照明装置は第４図に示す如き構成を有している。
図において、使用される光源はランプホルダ３によって
支持される超高圧水銀ランプ２でこれよシ放射された光
を集光鏡４で捕捉し、第１千面ｌａ５によって直角に曲
げパターン原画上で高照度分布を作るための７ライアイ
レンズ群１１へ捕捉光束を導く。捕捉光束の肉感光材料
（以下レジストと記す）Ｋ感度を持つ４００ｎｍ以下の
波長成分をシャープカットフィルタ１４で取り除キ第２
平面鏡１２によって直角に曲げてコンデンサレンズ＃１
３で捕捉光束を縮小レンズの入射瞳に収束、結像させる
。
支持される超高圧水銀ランプ２でこれよシ放射された光
を集光鏡４で捕捉し、第１千面ｌａ５によって直角に曲
げパターン原画上で高照度分布を作るための７ライアイ
レンズ群１１へ捕捉光束を導く。捕捉光束の肉感光材料
（以下レジストと記す）Ｋ感度を持つ４００ｎｍ以下の
波長成分をシャープカットフィルタ１４で取り除キ第２
平面鏡１２によって直角に曲げてコンデンサレンズ＃１
３で捕捉光束を縮小レンズの入射瞳に収束、結像させる
。
前記高圧水銀ラング２から放射された光の内集光鏡４で
捕捉される波長成分はｇ線（４３６ｎｍ）、ｅ線（５４
６ｎｍ）、ｄ線（５７８ｎｍ）でウェハ上のレジストを
露光する露光々１５及びウェハとパターン原画の位置合
せを行なうアライメント光１６は、７ヤーグカツトフイ
ルタ１４やミラー５、１２で使用単波長にされる。とこ
ろが、従来は、露光用にｇ線、アライメント用にｅ線、
ｄ線と２種の光を供給するのであるが、もともとはｇ線
ｅ線ｄ線の混合光であるため、駆動源（ロータリソレノ
イド）７によって露光々１５の光軸へ出入シする採光ミ
ラー６で露光々１５を７ライメント光１Ｇとして採光し
ていた。この採光ミラ一部の概念図が第５図、第６図に
、また、採光ミラ一部の詳細図力、第７図に示ｊれてい
る。好５図は露光時を第６図はアライメント時をそれぞ
れ示している。図において、採光ミラー６を固定したミ
ラーホルダ１８はロータリソレノイド７か駆動して支点
ピン１７全中心に口伝するように構成されている。この
ロータリンレノイド７のソレノイド軸２１に固定された
回動板１９は第７図に示す如くころがシ軸受２３を内蔵
した転勤ローラ２０をその先端につけておシ、ロータリ
ンレノイド７の回動をミラーホルダ１８に伝えるように
構成されている。従来のｌウェハに１回アライメントの
ウェハアライメントから、１チツプに１回アライメント
のチップアライメントに移行しつつある現在、アライメ
ントのたびに採光ミラー６の出し入れを行なうことはス
ループットの大巾な低下を招くと共に、可動部のトラブ
ルが原因で起る装置の故障等大きな問題を含んでいた。
捕捉される波長成分はｇ線（４３６ｎｍ）、ｅ線（５４
６ｎｍ）、ｄ線（５７８ｎｍ）でウェハ上のレジストを
露光する露光々１５及びウェハとパターン原画の位置合
せを行なうアライメント光１６は、７ヤーグカツトフイ
ルタ１４やミラー５、１２で使用単波長にされる。とこ
ろが、従来は、露光用にｇ線、アライメント用にｅ線、
ｄ線と２種の光を供給するのであるが、もともとはｇ線
ｅ線ｄ線の混合光であるため、駆動源（ロータリソレノ
イド）７によって露光々１５の光軸へ出入シする採光ミ
ラー６で露光々１５を７ライメント光１Ｇとして採光し
ていた。この採光ミラ一部の概念図が第５図、第６図に
、また、採光ミラ一部の詳細図力、第７図に示ｊれてい
る。好５図は露光時を第６図はアライメント時をそれぞ
れ示している。図において、採光ミラー６を固定したミ
ラーホルダ１８はロータリソレノイド７か駆動して支点
ピン１７全中心に口伝するように構成されている。この
ロータリンレノイド７のソレノイド軸２１に固定された
回動板１９は第７図に示す如くころがシ軸受２３を内蔵
した転勤ローラ２０をその先端につけておシ、ロータリ
ンレノイド７の回動をミラーホルダ１８に伝えるように
構成されている。従来のｌウェハに１回アライメントの
ウェハアライメントから、１チツプに１回アライメント
のチップアライメントに移行しつつある現在、アライメ
ントのたびに採光ミラー６の出し入れを行なうことはス
ループットの大巾な低下を招くと共に、可動部のトラブ
ルが原因で起る装置の故障等大きな問題を含んでいた。
本発明の目的は高１ｇ頼性で高スループツトを得ること
のできる縮小投影露光装置を提供することにある。
のできる縮小投影露光装置を提供することにある。
本発明は、ランプからの光を集光した光軸上に特定波長
に対する反射、透過特性が、その入射角に依存する平面
鏡を設け、常時、露光光とアライメント光とを高効率で
分離することにより信頼性を高め、高スループツトを得
ようというものである。
に対する反射、透過特性が、その入射角に依存する平面
鏡を設け、常時、露光光とアライメント光とを高効率で
分離することにより信頼性を高め、高スループツトを得
ようというものである。
以下、本発明の実施例についで説明する。
第１図には、本発明に係る照・明、装置の、−実施例が
示されている。
示されている。
図において、照明、装置１００はヲンプノ１、ウス１０
１とランプ点灯電源１２５並びにメインシャッタ等のコ
ントローラ１２６よ−り成る。このランプ・・ウス１０
１はミラー、レンズ等の光学部分と７ヤツタ、ランプホ
ルダ等の機構部分よ多構成される。このラングハウス１
０１に設けられＸＹＺに移動可能なランプホルダ１０３
に保持された超高圧水銀ランプ１０２は点灯電源１２５
によシ点灯される。この水銀ランプ１０２からはｉ線、
ｈ線ｇ線ｅ ｌＩＡ ｄ線等種々の光が発光されるがこ
れらの光を捕捉する集光鏡１０４はｉ線よシ長波長の熱
線は透過するコールドミラーで構成されておシ、ｉ線よ
シ短波長の光が露光々１１５となるように放射される。
１とランプ点灯電源１２５並びにメインシャッタ等のコ
ントローラ１２６よ−り成る。このランプ・・ウス１０
１はミラー、レンズ等の光学部分と７ヤツタ、ランプホ
ルダ等の機構部分よ多構成される。このラングハウス１
０１に設けられＸＹＺに移動可能なランプホルダ１０３
に保持された超高圧水銀ランプ１０２は点灯電源１２５
によシ点灯される。この水銀ランプ１０２からはｉ線、
ｈ線ｇ線ｅ ｌＩＡ ｄ線等種々の光が発光されるがこ
れらの光を捕捉する集光鏡１０４はｉ線よシ長波長の熱
線は透過するコールドミラーで構成されておシ、ｉ線よ
シ短波長の光が露光々１１５となるように放射される。
集光鏡１０４の光を受ける第１平面鏡１０５は照明装置
１００をコン７くり、トにするべく、４光々１１５を９
０°曲げるミラーで入射波長と入射角度により反射率透
過率の異なる波長選択ミラーで構成されている。
１００をコン７くり、トにするべく、４光々１１５を９
０°曲げるミラーで入射波長と入射角度により反射率透
過率の異なる波長選択ミラーで構成されている。
前記集光鏡１０４はダ円面鏡となっておシ、その第１焦
点は水銀ランプ１０２の電極部である。
点は水銀ランプ１０２の電極部である。
第２焦点位置には７ライアイレンズ群１１１がおかれて
あシ、水銀ランプ１０２電極の実（ａが７ライアイレン
ズ群１１１の中に結像する。７ライアイレンズ群１１１
から出た元はｊ／パクト芙装のための第、２平面鏡１１
２で、ｄび９０°曲げられ、コングンサＶンズ群１１・
・３により縮小レンズ（図示せず）の入射瞳上に収束結
像する。前記第１平面鏡１０５は第２図、第３図に示す
特性を有する波長選択ミラーである。なお、集光鏡１０
４で捕捉された光束はランプの影を下方に投影させない
夷め中抜けの光束となっておシ第１平面鏡４０５″に対
する入射角は３５°〜５５°である。この範囲内で露光
用のｇ線とアライメント用のｅ線ｄ線が第１平面鏡１０
５によって効率よく分離出来れば第４図図示採光ミラー
６の出し入れによらずともアライメント光１１６を取り
込みミラー１２４、・ファイバ１０８を介して取υ出す
ことができる。
あシ、水銀ランプ１０２電極の実（ａが７ライアイレン
ズ群１１１の中に結像する。７ライアイレンズ群１１１
から出た元はｊ／パクト芙装のための第、２平面鏡１１
２で、ｄび９０°曲げられ、コングンサＶンズ群１１・
・３により縮小レンズ（図示せず）の入射瞳上に収束結
像する。前記第１平面鏡１０５は第２図、第３図に示す
特性を有する波長選択ミラーである。なお、集光鏡１０
４で捕捉された光束はランプの影を下方に投影させない
夷め中抜けの光束となっておシ第１平面鏡４０５″に対
する入射角は３５°〜５５°である。この範囲内で露光
用のｇ線とアライメント用のｅ線ｄ線が第１平面鏡１０
５によって効率よく分離出来れば第４図図示採光ミラー
６の出し入れによらずともアライメント光１１６を取り
込みミラー１２４、・ファイバ１０８を介して取υ出す
ことができる。
なお、ランプハウス１０１の内側はランプ１０２の熱で
かな）高温になっていることが予想され麹１平面鏡５０
波長選択性はその雰囲気温度が常温から２００ＣＫ渡り
安定していることが望まれる。
かな）高温になっていることが予想され麹１平面鏡５０
波長選択性はその雰囲気温度が常温から２００ＣＫ渡り
安定していることが望まれる。
第２図エル第１平面鏡５の雰囲気温度によるｇ線反射率
及びｅ 線ｄ線透過率の変化量（縦軸）は２０〜２０Ｏ
ｒ範囲で０．５％〜３６２％であることが判る。
及びｅ 線ｄ線透過率の変化量（縦軸）は２０〜２０Ｏ
ｒ範囲で０．５％〜３６２％であることが判る。
また、＠３図よシ雰囲気温度が２００（固定）で入射角
が３０〜６０°の時のｇ線反射率は９９チ以上、ｅ線ｄ
線透過率は８０％以上あることが判る。この第２図、第
３図の特性図よ＃）２０〜２００Ｃの雰囲気温度内であ
れば入射角３５〜５５°の範囲で９９％以上のｇ線反射
率と８０％以上のｅ線ｄ線透過率が得られることになる
。した−力も？工逮光鏡１０４から放射される水銀ラン
プ１０２の光束は第１平面鏡１０５によって、ｇ線成分
が９９％以上フライアイレ／ズ群１１１の方へ反射され
、ｅ線ｄ線及びそれらよシ長波長の熱線が８０％以上が
透過される。この透過光はｄ線より長波要分を透過する
コールドミ２−である所の取シ込みミラー１２４によっ
てｅ線ｄ線成分のみが反射されアライメント光１１６と
してファイバ１０８に取り込まれる。一方、フライアイ
レンズ群１１１の方へ第１千面′ａ１０５によって反射
された光はシャープカットフィルタ１１４で４００ｎｍ
以下の波長成分がとシ除かれ、さらに成分がコールドミ
ラーである第２平面鏡１１２でとシ除かれ露光々１１５
となってパターン原画、ウエノ・に到る。また、メイン
シャッタ１０９はパルスモ 、−タ１０で駆動されＸＹ
ステージ上の゛ウェハ（図示せず）のステップに合せ開
閉するようにコントローラ１２６によって制御される。
が３０〜６０°の時のｇ線反射率は９９チ以上、ｅ線ｄ
線透過率は８０％以上あることが判る。この第２図、第
３図の特性図よ＃）２０〜２００Ｃの雰囲気温度内であ
れば入射角３５〜５５°の範囲で９９％以上のｇ線反射
率と８０％以上のｅ線ｄ線透過率が得られることになる
。した−力も？工逮光鏡１０４から放射される水銀ラン
プ１０２の光束は第１平面鏡１０５によって、ｇ線成分
が９９％以上フライアイレ／ズ群１１１の方へ反射され
、ｅ線ｄ線及びそれらよシ長波長の熱線が８０％以上が
透過される。この透過光はｄ線より長波要分を透過する
コールドミ２−である所の取シ込みミラー１２４によっ
てｅ線ｄ線成分のみが反射されアライメント光１１６と
してファイバ１０８に取り込まれる。一方、フライアイ
レンズ群１１１の方へ第１千面′ａ１０５によって反射
された光はシャープカットフィルタ１１４で４００ｎｍ
以下の波長成分がとシ除かれ、さらに成分がコールドミ
ラーである第２平面鏡１１２でとシ除かれ露光々１１５
となってパターン原画、ウエノ・に到る。また、メイン
シャッタ１０９はパルスモ 、−タ１０で駆動されＸＹ
ステージ上の゛ウェハ（図示せず）のステップに合せ開
閉するようにコントローラ１２６によって制御される。
したがって、本実施例によれば機構部分がなくなること
から小スペースでのランプハウスコンパクト設計が可能
で当然のことながら製造原価もやすくなるが装置の信頼
性は向上することから、高稼動率の高速露光装置が廉価
で実現する。
から小スペースでのランプハウスコンパクト設計が可能
で当然のことながら製造原価もやすくなるが装置の信頼
性は向上することから、高稼動率の高速露光装置が廉価
で実現する。
以上説明したように、本発明によれば、信頼性が高く、
高スループツトを得ることができる。
高スループツトを得ることができる。
第１図は本発明に係る照明装置の実施例を示す構成図、
第２図は第１図図示第１平面鏡の入射角を固定にして雰
囲気温度を変化させた場合の透過率測定データを示す図
、第３図は第１図図示第１平面鏡の雰囲気温度を固定に
して入射角を変化させた場合の透過率測定データを示す
図、第４図は従来式の照明装置を示す構成図、第５図は
第４図図示照明装置の部分詳細図でウェハ露光時の採光
ミラーの斜視図、第６図は第４図図示照明装置の部分詳
細図でアライメント光採光時の採光ミラーの斜視図、第
７図は第４図図示採光ミラーの詳細平面図でめる。 １００・・・照明装置、１０１・・・ランジノ１ウス、
１０２・・・超高圧水銀ランプ、１０３・・・ランプホ
ルダ、１０４・・・果光鏡、１０５・・・第１平面鏡、
１０８・・・ファイバ、１０９・・・メインシャッタ、
１１０・・・パルスモータ、１１１・・・フライアイレ
ンズ群、１１２・・・第２平面ｄ、１１３・・・コンデ
ンサレンズ群、１１４・・・シャープカットフィルタ、
１１５・・・露光光、１１６・・・アライメント光、１
２２・・・支持板、１２４・・・取シ込みミラー、１２
５・・・ランプ点灯電源、１２６・・・コントローラ。
第２図は第１図図示第１平面鏡の入射角を固定にして雰
囲気温度を変化させた場合の透過率測定データを示す図
、第３図は第１図図示第１平面鏡の雰囲気温度を固定に
して入射角を変化させた場合の透過率測定データを示す
図、第４図は従来式の照明装置を示す構成図、第５図は
第４図図示照明装置の部分詳細図でウェハ露光時の採光
ミラーの斜視図、第６図は第４図図示照明装置の部分詳
細図でアライメント光採光時の採光ミラーの斜視図、第
７図は第４図図示採光ミラーの詳細平面図でめる。 １００・・・照明装置、１０１・・・ランジノ１ウス、
１０２・・・超高圧水銀ランプ、１０３・・・ランプホ
ルダ、１０４・・・果光鏡、１０５・・・第１平面鏡、
１０８・・・ファイバ、１０９・・・メインシャッタ、
１１０・・・パルスモータ、１１１・・・フライアイレ
ンズ群、１１２・・・第２平面ｄ、１１３・・・コンデ
ンサレンズ群、１１４・・・シャープカットフィルタ、
１１５・・・露光光、１１６・・・アライメント光、１
２２・・・支持板、１２４・・・取シ込みミラー、１２
５・・・ランプ点灯電源、１２６・・・コントローラ。
Claims (1)
- １、感光材料を塗布したウェハの露光と、前記ウェハと
それに焼付けを行なうパターン原画の位置合せを同一の
光源から出た光を利用して行なう光学式露光装置に用い
られる照明装置において、特定波長に対する反射、透過
特性がその入射角に依存する平面鏡を露光々軸上に設け
、常時露光々とアライメント光とを分離取り出せるよう
にしたことを特徴とする照明装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16000584A JPS6139517A (ja) | 1984-07-30 | 1984-07-30 | 照明装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16000584A JPS6139517A (ja) | 1984-07-30 | 1984-07-30 | 照明装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6139517A true JPS6139517A (ja) | 1986-02-25 |
Family
ID=15705916
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16000584A Pending JPS6139517A (ja) | 1984-07-30 | 1984-07-30 | 照明装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6139517A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0298119A (ja) * | 1988-10-04 | 1990-04-10 | Canon Inc | 露光装置 |
| JPH0375529U (ja) * | 1989-11-24 | 1991-07-29 | ||
| JPH0375528U (ja) * | 1989-11-24 | 1991-07-29 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS578844A (en) * | 1980-06-20 | 1982-01-18 | Hitachi Ltd | Fetching device for satellite picture data |
-
1984
- 1984-07-30 JP JP16000584A patent/JPS6139517A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS578844A (en) * | 1980-06-20 | 1982-01-18 | Hitachi Ltd | Fetching device for satellite picture data |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0298119A (ja) * | 1988-10-04 | 1990-04-10 | Canon Inc | 露光装置 |
| JPH0375529U (ja) * | 1989-11-24 | 1991-07-29 | ||
| JPH0375528U (ja) * | 1989-11-24 | 1991-07-29 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3316936B2 (ja) | 照明光学装置、露光装置、及び該露光装置を用いた転写方法 | |
| JP2655465B2 (ja) | 反射型ホモジナイザーおよび反射型照明光学装置 | |
| JP3316937B2 (ja) | 照明光学装置、露光装置、及び該露光装置を用いた転写方法 | |
| JP3386269B2 (ja) | 光学検査装置 | |
| JP2007500546A5 (ja) | ||
| JPS5916249B2 (ja) | 顕微鏡用汎用照明系 | |
| CN107515512A (zh) | 一种光源装置以及投影显示装置 | |
| CN100343759C (zh) | 投影曝光用掩模、投影曝光装置、及投影曝光方法 | |
| JP2680549B2 (ja) | オーバヘッドプロジェクタ | |
| JPS5596933A (en) | Overhead projector | |
| JPS6139517A (ja) | 照明装置 | |
| JPS61156736A (ja) | 露光装置 | |
| JPS5714818A (en) | Reflection lighting type projector | |
| JPS62180343A (ja) | 投射光学装置 | |
| CN212410969U (zh) | 涡旋干涉光镊系统 | |
| JPS6019266U (ja) | 線状光源照明装置 | |
| CN217112871U (zh) | 一种手术显微镜的光学系统 | |
| JP2821691B2 (ja) | プロジェクター用光源装置 | |
| JP4004601B2 (ja) | 露光装置の照明光学系 | |
| CN115685516A (zh) | 一种单色光高光谱系统及控制方法 | |
| JPS63288014A (ja) | 焼付け装置 | |
| JPS58142009U (ja) | 眼科検査装置用のストロボ光源 | |
| SU1282058A1 (ru) | Установка дл съемки быстропротекающих процессов | |
| SU1322215A1 (ru) | Осветительное устройство | |
| JPH03210516A (ja) | マイクロ・リーダ・プリンター用照明光学系 |