JPS6135304A - 圧延された金属薄板または金属薄板帯状体の厚み測定装置 - Google Patents
圧延された金属薄板または金属薄板帯状体の厚み測定装置Info
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- JPS6135304A JPS6135304A JP15034885A JP15034885A JPS6135304A JP S6135304 A JPS6135304 A JP S6135304A JP 15034885 A JP15034885 A JP 15034885A JP 15034885 A JP15034885 A JP 15034885A JP S6135304 A JPS6135304 A JP S6135304A
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- slit diaphragm
- slit
- ray receiver
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- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B15/00—Measuring arrangements characterised by the use of electromagnetic waves or particle radiation, e.g. by the use of microwaves, X-rays, gamma rays or electrons
- G01B15/04—Measuring arrangements characterised by the use of electromagnetic waves or particle radiation, e.g. by the use of microwaves, X-rays, gamma rays or electrons for measuring contours or curvatures
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- G—PHYSICS
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- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B15/00—Measuring arrangements characterised by the use of electromagnetic waves or particle radiation, e.g. by the use of microwaves, X-rays, gamma rays or electrons
- G01B15/02—Measuring arrangements characterised by the use of electromagnetic waves or particle radiation, e.g. by the use of microwaves, X-rays, gamma rays or electrons for measuring thickness
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- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、Ｘ線管を有し、Ｘ線管の前方に設けられてい
る、動くスリット絞りを有し、スリット絞りから、距離
をおいて線に治って固定配置され、かつＸ線に配向され
たＸ線受信器を有し、その際、Ｘ線管ないし、スリット
絞りと、Ｘ線受信器との間のＸ線を横切って、測定しよ
うとする金属薄板または、金属薄板帯状体が移動するよ
うになっており、固定されたＸ線受信器のラインＫＧつ
て金属薄板または金属薄板帯状体の幅が延在しており、
かつＸ線の吸収量を測定し、金属薄板または金属薄板帯
状体の厚みおよび、金属薄板又は、金属薄板帯状体の幅
にわたって分布される測定点もしくは測定領域へ対応さ
せるための処理装置が、Ｘａ受信器および距離発生器に
接続されており、該処理装置は、指示器に接続されてい
る圧延された、金属薄板または金属薄板帯状体の厚みを
測定する装置に関する。
る、動くスリット絞りを有し、スリット絞りから、距離
をおいて線に治って固定配置され、かつＸ線に配向され
たＸ線受信器を有し、その際、Ｘ線管ないし、スリット
絞りと、Ｘ線受信器との間のＸ線を横切って、測定しよ
うとする金属薄板または、金属薄板帯状体が移動するよ
うになっており、固定されたＸ線受信器のラインＫＧつ
て金属薄板または金属薄板帯状体の幅が延在しており、
かつＸ線の吸収量を測定し、金属薄板または金属薄板帯
状体の厚みおよび、金属薄板又は、金属薄板帯状体の幅
にわたって分布される測定点もしくは測定領域へ対応さ
せるための処理装置が、Ｘａ受信器および距離発生器に
接続されており、該処理装置は、指示器に接続されてい
る圧延された、金属薄板または金属薄板帯状体の厚みを
測定する装置に関する。
従来技術及び発明が解決しようとする問題点厚み測定装
置は、ドイツ連邦共和国特許出願公開第３１４０７４号
公報から公知である。
置は、ドイツ連邦共和国特許出願公開第３１４０７４号
公報から公知である。
この公知の測定装置は、かなり不正確な測定しか実施で
きないという難点をもつ。測定されない領域を持たない
狭い領域に、測定すべき金属薄板帯状体を区分すること
は、受信器の大きさから不可能である。もう１つの難点
は、使用するＸ線受信器の数が多いので、装置が複雑に
なり、高価になることである。米国特許第３８６６０４
７号明細書から、幅広Ｘ線受信器と可動のスリット絞り
で作動するため、上述の難点を克服する装置が、公知で
ある。
きないという難点をもつ。測定されない領域を持たない
狭い領域に、測定すべき金属薄板帯状体を区分すること
は、受信器の大きさから不可能である。もう１つの難点
は、使用するＸ線受信器の数が多いので、装置が複雑に
なり、高価になることである。米国特許第３８６６０４
７号明細書から、幅広Ｘ線受信器と可動のスリット絞り
で作動するため、上述の難点を克服する装置が、公知で
ある。
この装置の難点は、次の点にある。すなわち、スリット
絞りを金属薄板の測定のために使用する時、高いＸ線エ
ネルギーが必要なので、スリット絞りは、遮蔽機能のた
めに大きな質量を有していなければならない。そのため
、スリット絞りは非常に緩慢に振動をしながらしか動け
ないので、−秒当りの測定数が小であるという欠点を有
する。上述の重量が、大であることが、全架台上での振
動運動の原因にもなっている。
絞りを金属薄板の測定のために使用する時、高いＸ線エ
ネルギーが必要なので、スリット絞りは、遮蔽機能のた
めに大きな質量を有していなければならない。そのため
、スリット絞りは非常に緩慢に振動をしながらしか動け
ないので、−秒当りの測定数が小であるという欠点を有
する。上述の重量が、大であることが、全架台上での振
動運動の原因にもなっている。
上述のことにより、特にＸ線源とＸ線受信器の間の、距
離が遠い時、測定領域が狭いため良好な測定が不可能で
ある。
離が遠い時、測定領域が狭いため良好な測定が不可能で
ある。
上述の装置は、−秒ごとの測定数が少なので、速く走行
する圧延作業を監視するのに適しない。
する圧延作業を監視するのに適しない。
圧延作業、特に幅広の圧延作業への使用のために、他に
Ｘ線とＸ線受信器との間に非常に広い自由な空間があっ
て、その空間を経て測定すべき金属薄板帯状体を通す必
要がある。ロールガング上を、特に金属薄板帯状体の始
端が、しばしば測定装置を打つので、ロールガングから
２０００ｍ以上上の空間がない場合、金属薄板帯状体が
、測定装置を破壊してしまうことがある。
Ｘ線とＸ線受信器との間に非常に広い自由な空間があっ
て、その空間を経て測定すべき金属薄板帯状体を通す必
要がある。ロールガング上を、特に金属薄板帯状体の始
端が、しばしば測定装置を打つので、ロールガングから
２０００ｍ以上上の空間がない場合、金属薄板帯状体が
、測定装置を破壊してしまうことがある。
問題を解決するための手段
本発明によれば、上述の難点を回避するために、スリッ
ト絞りが、Ｘ線管のＸ線を放射する部分の周りに円形に
、取巻くように構成され、かつ回転可能に設けられ、１
つの駆動装置によって、駆動されるようにする。
ト絞りが、Ｘ線管のＸ線を放射する部分の周りに円形に
、取巻くように構成され、かつ回転可能に設けられ、１
つの駆動装置によって、駆動されるようにする。
実施例
次に本発明の実施例を図面を用いて詳しく説明する。
Ｘ線管１１をスリット絞り１２が環状に取囲んでいる。
スリット絞りには、３つのローラ２８．２Ｑ 、３０が
設けられている。このローラのうちの１つは、回転数が
、非常に正確に調整されているモーターによって駆動さ
れる。
設けられている。このローラのうちの１つは、回転数が
、非常に正確に調整されているモーターによって駆動さ
れる。
回転数は、均一であってもよい。しかし、回転速度が変
化していてもよい、たとえば、変化する帯状体速度と連
動するようにしてもよい。
化していてもよい、たとえば、変化する帯状体速度と連
動するようにしてもよい。
スリット絞り１２において、このスリット絞りが、相当
大きな回転数を有する場合、１つのスリット１３のみが
あればよい。
大きな回転数を有する場合、１つのスリット１３のみが
あればよい。
スリット絞り１２において、スリットが１つ以上あれば
、回転数はそれに相応して低く選ぶことができる。
、回転数はそれに相応して低く選ぶことができる。
スＩＪ ット１３の数は、一方のエツジにある新しいＸ
線が、そのエツジを去ってからすぐに、もう一方のエツ
ジで、Ｘ線受信器にはいる程度に存在すれば十分である
。
線が、そのエツジを去ってからすぐに、もう一方のエツ
ジで、Ｘ線受信器にはいる程度に存在すれば十分である
。
、第１図では、測定しようとする金属薄板帯状体の下方
に、１０個のＸ線受信器１４〜２３が設けられている。
に、１０個のＸ線受信器１４〜２３が設けられている。
このＸ線受信器用に、たとえばほぼ３６°の角度をなす
Ｘ線円錐が必要である。
Ｘ線円錐が必要である。
スリット絞り１２に対応するほぼ３６°の角度のセグメ
ント上に、最高１０個のスリットを設けてもよい。
ント上に、最高１０個のスリットを設けてもよい。
Ｘ線受信器のラインの最初に、補助検出器２５が、取付
けられている。スリット絞り１２のところに示す矢印２
６は、スリット絞りの回転方向を示す。
けられている。スリット絞り１２のところに示す矢印２
６は、スリット絞りの回転方向を示す。
スリット１３のＸ線は、まず補助検出器２５に当たる。
この検出器の出力信号により断続器４２がスタートさせ
られる。
られる。
断続器４２は、Ｘ線受信器１４〜２３から出るすべての
測定信号を時間間隔にて区分して、金属薄板帯状体２４
上の測定領域の幅を掃引するために、Ｘ線が必要とする
だけ持続するようにする。Ｘ線受信器の幅は複数の測定
領域の幅に相当する。
測定信号を時間間隔にて区分して、金属薄板帯状体２４
上の測定領域の幅を掃引するために、Ｘ線が必要とする
だけ持続するようにする。Ｘ線受信器の幅は複数の測定
領域の幅に相当する。
第２図に示すＸ線受信器１４は、破線で示された３１〜
３５の５つの測定領域を有する。Ｘ線受信器１４に隣接
しているＸ線受信器１５は、測定領域３６〜３゛９を有
している。第２図では、スリット絞り１２のスリットを
通過したＸ線４０は、丁度測定領域３２に達しており、
スリット絞り１２の次のスリットは、Ｘ１ｌｉｉ４１を
次のＸ線受信器１５の測定領域３７に貫通させる。第１
図では、少数のスリットだけ示されている。
３５の５つの測定領域を有する。Ｘ線受信器１４に隣接
しているＸ線受信器１５は、測定領域３６〜３゛９を有
している。第２図では、スリット絞り１２のスリットを
通過したＸ線４０は、丁度測定領域３２に達しており、
スリット絞り１２の次のスリットは、Ｘ１ｌｉｉ４１を
次のＸ線受信器１５の測定領域３７に貫通させる。第１
図では、少数のスリットだけ示されている。
第２図のＸ線４０と４１によって示されているように、
Ｘ線が、非常に密に続いて到達するようにしようとする
場合、さらに多くのスリットを設けなければならない。
Ｘ線が、非常に密に続いて到達するようにしようとする
場合、さらに多くのスリットを設けなければならない。
スリット絞り１２が、矢印２６に示すように回転する場
合Ｘ線４０は、Ｘ線受信器１４の測定領域をＸ線受信器
１５の方向で掃引移動する。
合Ｘ線４０は、Ｘ線受信器１４の測定領域をＸ線受信器
１５の方向で掃引移動する。
Ｘ線４０は、まず補助検出器２５に当たり、この補助検
出器の出力は、電流インパルスを断続器に送出する。
出器の出力は、電流インパルスを断続器に送出する。
この電流インパルスにより、断続器４２が、作動を開始
させられる。Ｘ線４０が、測定領域３１を掃引する場合
、金属薄板帯状体２４の通過する厚さに応じてＸ線は減
衰される。
させられる。Ｘ線４０が、測定領域３１を掃引する場合
、金属薄板帯状体２４の通過する厚さに応じてＸ線は減
衰される。
Ｘ線受信器１４ＶＣおいて、Ｘ線４０の強度に依存する
電流が発生する。この電流は、増幅器４３と、断続器４
２を介して距離発生器４４に流れる。距離発生器４４の
出力は処理装置４５に供給され、ここで電流は、金属薄
板帯状体２４の厚さに相応する測定量に処理される。こ
の測定量は、指示器４６にさらに供給される。指示器に
付加的に、たとえば圧延工程を補正するためにもう１つ
の装置が接続されている。
電流が発生する。この電流は、増幅器４３と、断続器４
２を介して距離発生器４４に流れる。距離発生器４４の
出力は処理装置４５に供給され、ここで電流は、金属薄
板帯状体２４の厚さに相応する測定量に処理される。こ
の測定量は、指示器４６にさらに供給される。指示器に
付加的に、たとえば圧延工程を補正するためにもう１つ
の装置が接続されている。
断続器４２は、すべてのＸ線受信器から到来する電流を
短い時間で遮断する。
短い時間で遮断する。
遮断の頻度は、スリット１３の数とスリット１２０回転
数に合わせて時間的に調節されている。距離発生器４４
において、断続器の電流遮断数は、補助検出器２５の作
動を開始してから計数される。断続器４２が２回遮断す
る間の持続時間は、Ｘ線４０が、たとえば測定領域３１
を掃引するのに必要とする持続時間に相応する。
数に合わせて時間的に調節されている。距離発生器４４
において、断続器の電流遮断数は、補助検出器２５の作
動を開始してから計数される。断続器４２が２回遮断す
る間の持続時間は、Ｘ線４０が、たとえば測定領域３１
を掃引するのに必要とする持続時間に相応する。
増幅器４３は、他のＸ線受信器に後置接続されている他
の増幅器の識別信号とは異なる、識別信号を、出力電流
に重畳する。距離発生器４４は、この識別信号から、測
定量が、どのＸ線受信器からのかを識別し、そして断続
器４２の遮断の計数値から、Ｘ線が当該Ｘ線受信器のど
の領域にあるのかを識別する。
の増幅器の識別信号とは異なる、識別信号を、出力電流
に重畳する。距離発生器４４は、この識別信号から、測
定量が、どのＸ線受信器からのかを識別し、そして断続
器４２の遮断の計数値から、Ｘ線が当該Ｘ線受信器のど
の領域にあるのかを識別する。
距離発生器４４は、処理装置４５にそれぞれの測定領域
に対応する信号と一緒に測定量を供給する。この処理装
置は実質的には公知のように、受信されたＸ線の測定強
度から、金属薄板帯状体２４の厚さを計算するようにプ
ログラミングされたコンピュータである。その際、妨害
の影響も、同時に補正される。たとえば、Ｘ線窓の幅に
わたってＸ線管１１のＸ線の強度分布が均一でないこと
を考慮し、補正する。他にたとえば金属薄板帯状体２４
の中心にあるＸ線受信器と、端部にあるＸ線受信器との
間にあるＸ線受信器におけるＸ線路の長さの差、および
入射角度の差、又はＸ線受信器の幅にわたっての感度の
差が補正される。各々の測定領域の値は指示器４６に供
給され、指示器４６の指示画像スクリーンは、測定領域
と同じ数に分割されている。測定領域３］〜３９のいず
れも、指示器４６の画像スクリーン上に狭幅のストライ
プにて位置的にも形状的にも対応している。このストラ
イプは、破線で示されている。金属薄板帯状体２４の厚
さの値は、デジタルで示されるが、画像スクリーン上に
点（ドツト）として示すこともできる。その際点（ドツ
ト）の位置の高さは厚さの値に対応する。点は、また曲
線に結んでもよい。任意の他の指示器を接続することも
できる。
に対応する信号と一緒に測定量を供給する。この処理装
置は実質的には公知のように、受信されたＸ線の測定強
度から、金属薄板帯状体２４の厚さを計算するようにプ
ログラミングされたコンピュータである。その際、妨害
の影響も、同時に補正される。たとえば、Ｘ線窓の幅に
わたってＸ線管１１のＸ線の強度分布が均一でないこと
を考慮し、補正する。他にたとえば金属薄板帯状体２４
の中心にあるＸ線受信器と、端部にあるＸ線受信器との
間にあるＸ線受信器におけるＸ線路の長さの差、および
入射角度の差、又はＸ線受信器の幅にわたっての感度の
差が補正される。各々の測定領域の値は指示器４６に供
給され、指示器４６の指示画像スクリーンは、測定領域
と同じ数に分割されている。測定領域３］〜３９のいず
れも、指示器４６の画像スクリーン上に狭幅のストライ
プにて位置的にも形状的にも対応している。このストラ
イプは、破線で示されている。金属薄板帯状体２４の厚
さの値は、デジタルで示されるが、画像スクリーン上に
点（ドツト）として示すこともできる。その際点（ドツ
ト）の位置の高さは厚さの値に対応する。点は、また曲
線に結んでもよい。任意の他の指示器を接続することも
できる。
により遮断される。すると、短い休止期間が、新たなＸ
線が補助検出器２５にあたるまで生ずる。
線が補助検出器２５にあたるまで生ずる。
スリット絞り１２と断続器４２との間の同期は、精密な
回転数測定器をスリット絞り１２に取り付け、その回転
数測定器を、断続器の周波数発生器と結合することによ
り可能である。断続器は、トリガパルス発生器として構
成してもよい。
回転数測定器をスリット絞り１２に取り付け、その回転
数測定器を、断続器の周波数発生器と結合することによ
り可能である。断続器は、トリガパルス発生器として構
成してもよい。
Ｘ線受信器として、たとえば公知のように、光電子増倍
管および増幅器または計数装置が、後置接続されている
プラスチック−シンチレータが適する。
管および増幅器または計数装置が、後置接続されている
プラスチック−シンチレータが適する。
スリット絞り１２は、第３図で示されているように２つ
の同心の環から成っており、２つの環は、たとえば幅４
７と４８に接続されている。
の同心の環から成っており、２つの環は、たとえば幅４
７と４８に接続されている。
また環を２個以上使用してもよい。
測定の高い分解能のため、測定値から金属薄板帯状体の
エツジの位置、ひいてはその幅を簡単に検出することが
できる。本発明は上述の実施例に限定されず、本発明の
思想を逸脱することなく種々の変形実施例が可能である
。
エツジの位置、ひいてはその幅を簡単に検出することが
できる。本発明は上述の実施例に限定されず、本発明の
思想を逸脱することなく種々の変形実施例が可能である
。
発明の効果
本発明による圧延作業やロールガングを使用するための
測定装置は、−秒当り測定数が非常に犬であり測定精度
が極めて大きく、幅広の金属薄板帯状体を効果的に測定
することができる。
測定装置は、−秒当り測定数が非常に犬であり測定精度
が極めて大きく、幅広の金属薄板帯状体を効果的に測定
することができる。
またスリット絞りとＸ線受信器との間の距離は、安全の
理由から非常に大きくとれると云う利点もある。
理由から非常に大きくとれると云う利点もある。
第１図は、Ｘ線管とスリット絞りとＸ線受信器とを有す
装置の概略図である。第２図は、Ｘ線受信器に後置され
た装置の概略図である。第３図は、２つの環から形成さ
れているスリット絞りの略図である。 １１・・・Ｘ線管、１２・・・スリット絞り、１４〜２
３・・・Ｘ線受信器、２４・・・金属へ帯状牛、２５・
・・補助検出器、４４・・・距離発生器、４５・・・処
理装置、４６・・・指示器
装置の概略図である。第２図は、Ｘ線受信器に後置され
た装置の概略図である。第３図は、２つの環から形成さ
れているスリット絞りの略図である。 １１・・・Ｘ線管、１２・・・スリット絞り、１４〜２
３・・・Ｘ線受信器、２４・・・金属へ帯状牛、２５・
・・補助検出器、４４・・・距離発生器、４５・・・処
理装置、４６・・・指示器
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、Ｘ線管（１１）を有し、Ｘ線管の前方に設けられて
いる、動くスリット絞り（１２）を有し、スリット絞り
から距離をおいてラインに沿って固定配設され、かつＸ
線に配向された、Ｘ線受信器（１４〜２３）を有し、Ｘ
線管（１１）ないし、スリット絞り（１２）と、Ｘ線受
信器（１４〜２３）との間のＸ線を横切って測定しよう
とする金属薄板または金属薄板帯状体（２４）が移動す
るようになっており、固定されたＸ線受信器（１４〜２
３）のラインに沿って金属薄板または金属薄板帯状体の
幅が延在しており、Ｘ線の吸収量を測定しかつ、金属薄
板または、金属薄板帯状体の厚みおよび金属薄板又は金
属薄板帯状体の幅にわたって分布され測定点もしくは測
定領域へ対応させるための処理装置（４５）が、Ｘ線受
信器および距離発生器（４４）に接続されており、該処
理装置は、指示器（４６）に接続されている圧延された
金属薄板または金属薄板帯状体の厚みを測定する装置に
おいて、スリット絞り（１２）が、Ｘ線管（１１）のＸ
線を放射する部分の周りを円形に、取巻くように構成さ
れかつ回転可能に設けられており駆動装置によって、駆
動されることを特徴とする、圧延された金属薄板または
、金属薄板帯状体の厚みを測定する装置。 ２、スリット絞り（１２）が、１個以上のスリットを有
する、特許請求の範囲第１項記載の装置。 ３、スリット絞り（１２）とＸ線受信器（１４〜２３）
との間の距離が１５００ｍｍより大であり、スリット絞
り（１２）を有するＸ線管（１１）と、Ｘ線受信器（１
４〜２３）が、別個の架台に設けられており、一方距離
発生器（４４）用の補正手段が設けられており、スリッ
ト絞り（１２）およびＸ線受信器（１４〜２３）の取付
点の位置のわずかなずれが、その補正手段により考慮さ
れる、特許請求の範囲第１項または第２項記載の装置。 ４、距離発生器（４４）が、Ｘ線受信器（１４〜２３）
を有する架台に設けられており、測定領域の端に、補助
検出器（２５）が設けられており、この補助検出器は、
Ｘ線がはいると、断続器（４２）の作動を開始するか又
は停止し、その際、断続器（４２）は、Ｘ線受信器（１
４〜２３）と、処理装置（４５）の間に設けられており
、断続器の遮断頻度は、スリット絞り（１２）の回転数
に、時間的に同調されている、特許請求の範囲第１項〜
第３項のいずれかの項に記載の装置。 ５、処理装置（４５）に、吸収測定値に対する誤差補正
装置が設けられ、この誤差補正装置において、Ｘ線ウイ
ンドウの幅にわたってＸ線管（１１）のＸ線の強度が一
様でないこと、または、Ｘ線受信器までのＸ線行程路長
さの相異またはＸ線受信器に入射するＸ線の角度の相異
を考慮して補正が行なわれる、特許請求の範囲第１項〜
第４項のいずれかの項に記載の装置。 ６、スリット絞り（１２）が、複数の環からなっており
、その環は、同心にそれぞれ距離を置いて設置され、輻
またはリブもしくは金属の薄板によってお互いに連結さ
れている、特許請求の範囲第１項〜第５項のいずれかの
項に記載の装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE3425295A DE3425295C2 (de) | 1984-07-10 | 1984-07-10 | Vorrichtung zur Messung des Dickenprofils von gewalzten Blechbändern |
| DE3425295.9 | 1984-07-10 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6135304A true JPS6135304A (ja) | 1986-02-19 |
| JPH0629722B2 JPH0629722B2 (ja) | 1994-04-20 |
Family
ID=6240224
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60150348A Expired - Lifetime JPH0629722B2 (ja) | 1984-07-10 | 1985-07-10 | 圧延された金属薄板または金属薄板帯状体の厚み測定装置 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0170778B1 (ja) |
| JP (1) | JPH0629722B2 (ja) |
| AT (1) | ATE35186T1 (ja) |
| CA (1) | CA1256219A (ja) |
| DE (2) | DE3425295C2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0288952A (ja) * | 1988-07-29 | 1990-03-29 | Hoesch Stahl Ag | 組織を分析する方法および装置 |
| JP2011112482A (ja) * | 2009-11-26 | 2011-06-09 | Yokogawa Electric Corp | Ｘ線測定装置 |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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