JPS613406A - 感放射部材の放射線感度測定方法および装置 - Google Patents
感放射部材の放射線感度測定方法および装置Info
- Publication number
- JPS613406A JPS613406A JP59123706A JP12370684A JPS613406A JP S613406 A JPS613406 A JP S613406A JP 59123706 A JP59123706 A JP 59123706A JP 12370684 A JP12370684 A JP 12370684A JP S613406 A JPS613406 A JP S613406A
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- sensitive composition
- sensitivity
- radiant ray
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32917—Plasma diagnostics
- H01J37/32935—Monitoring and controlling tubes by information coming from the object and/or discharge
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明はフォトレジスト、電子線レジスト、およびＸ線
レジストなどの感放射線組成物の放射線。
レジストなどの感放射線組成物の放射線。
に対する感応感度を評価する方法および装置に係わり、
簡便で信頼性の高い評価を行うことに関する。
簡便で信頼性の高い評価を行うことに関する。
従来、感放射線組成物、特に感Ｘ線レジストのＸ線に対
する分光感応感度の評価方法は、軟に線のである（Ｒ，
Ｓ 、 Ｗｉｌｌａｍｓ、ｅｔ、ａｌ、”５ｏｆｔ Ｘ
−ｒａｙＡｂｓｏｒｐｔｉｏｎ ５ｐｅｃｔｒｏｓｃｏ
ｐｙ、Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃ ａｎｄＭｏｒｐｈｏｌｏ
ｇｉｃａｌ ５ｔｒｕｃｔｕｒｅ ｏｆ Ｐｏ１ｙ（ｖ
ｉｎｉｌｉｄｅｎｅｆｌｕｏｒｉｄｅ）、Ｊ、Ａｍ、Ｃ
ｈｅｍ、Ｓｏｃ、、Ｖｏｌ １０２ 、 ｐ５７１７
（１９８０）参照）。しかしこの測定では光の吸収を示
すのみで、実際の感応による変化、例えばレジストの場
合の分解による溶解度の増加の程度などを正しく知るこ
とはできない。
する分光感応感度の評価方法は、軟に線のである（Ｒ，
Ｓ 、 Ｗｉｌｌａｍｓ、ｅｔ、ａｌ、”５ｏｆｔ Ｘ
−ｒａｙＡｂｓｏｒｐｔｉｏｎ ５ｐｅｃｔｒｏｓｃｏ
ｐｙ、Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃ ａｎｄＭｏｒｐｈｏｌｏ
ｇｉｃａｌ ５ｔｒｕｃｔｕｒｅ ｏｆ Ｐｏ１ｙ（ｖ
ｉｎｉｌｉｄｅｎｅｆｌｕｏｒｉｄｅ）、Ｊ、Ａｍ、Ｃ
ｈｅｍ、Ｓｏｃ、、Ｖｏｌ １０２ 、 ｐ５７１７
（１９８０）参照）。しかしこの測定では光の吸収を示
すのみで、実際の感応による変化、例えばレジストの場
合の分解による溶解度の増加の程度などを正しく知るこ
とはできない。
また他の方法としては実用上のプロセスを実行て
した評価する方法が考えられるが、これに関する公表、
特に分光感応感度に関するものはない。しかし最も確実
な方法なので多用されていると推定されるが、分光感応
感度の評価の場合には多数の波長について評価しなけれ
ばならず、評価時間および経費を多く要する欠点がある
。
特に分光感応感度に関するものはない。しかし最も確実
な方法なので多用されていると推定されるが、分光感応
感度の評価の場合には多数の波長について評価しなけれ
ばならず、評価時間および経費を多く要する欠点がある
。
〔発明の目的〕
本発明の目的は感放射線材料に放射線を照射して、その
際に感放射線材料が放射線に感応して放出する気体−分
を分析して感放射線材料の実用的感応感度を簡便かつ信
頼性の高く評価す、る方法および装置を提供することに
ある。
際に感放射線材料が放射線に感応して放出する気体−分
を分析して感放射線材料の実用的感応感度を簡便かつ信
頼性の高く評価す、る方法および装置を提供することに
ある。
感放射線材料に放射線を照射すると、感放射線材料は放
射線に感応して物理的、化学的変化を生じ、それに伴な
い気体を発生することが多い。
射線に感応して物理的、化学的変化を生じ、それに伴な
い気体を発生することが多い。
その時、その気体の成分および量が、耐薬品性。
変色などの感放射線材料の実用的変化に高精度に対応し
ていることがわかった。
ていることがわかった。
気体成分の分析は、例えば質量分析器などを用いれば実
用のプロセスの所要時間よりはるかに短時間で完了する
ことが多い、また精度も高い。
用のプロセスの所要時間よりはるかに短時間で完了する
ことが多い、また精度も高い。
本発明の基本的構成を第１図に示す。放射線発生装置１
は１つの波長もしくはエネルギーまたは多くの波長もし
くはエネルギーの放射線を放射する装置である。この放
射線は直接または分光装置２を経て感放射線組成物３（
以下試料とも記す）に照射される。試料３は真空にして
測定室５内に設置されている。放射線の照射により感放
射線組成物３が放出する感応気体が、気体成分分析器４
に導入されるようになっている。気体成分の分析の結果
は直接または必要により補正、換算されて感応感度を示
すことになる。
は１つの波長もしくはエネルギーまたは多くの波長もし
くはエネルギーの放射線を放射する装置である。この放
射線は直接または分光装置２を経て感放射線組成物３（
以下試料とも記す）に照射される。試料３は真空にして
測定室５内に設置されている。放射線の照射により感放
射線組成物３が放出する感応気体が、気体成分分析器４
に導入されるようになっている。気体成分の分析の結果
は直接または必要により補正、換算されて感応感度を示
すことになる。
以下１本発明の詳細な説明する。
実施例１
本発明の評価方法を第１図を用いて詳しく説明する。
Ｘ線源としてシンクロトロン放射光（以下ＳＯＲと記す
）１１を用いた。シンクロトロンの加速電子エネルギー
を２．５ＧｅＶ、電子電流を１００ｍＡとした時の５Ｏ
ＲＩＩを回折格子分光器１２で５３２ｅＶのＸ線にして
試料３に照射した。試料３はＸ線用レジストであるポリ
２−メチルペンテン−１−スルフォン（以下Ｐ、ＭＰＳ
と記す）をＳｔウニ八へ塗布（膜厚２μｍ）したもので
ある。
）１１を用いた。シンクロトロンの加速電子エネルギー
を２．５ＧｅＶ、電子電流を１００ｍＡとした時の５Ｏ
ＲＩＩを回折格子分光器１２で５３２ｅＶのＸ線にして
試料３に照射した。試料３はＸ線用レジストであるポリ
２−メチルペンテン−１−スルフォン（以下Ｐ、ＭＰＳ
と記す）をＳｔウニ八へ塗布（膜厚２μｍ）したもので
ある。
試料３が設置されている試料室５の真空度は２ｘ１０−
’ Ｔｏｒｒにした。次にＳＯＲの照射を行って試料
３から放出した感応気体の成分を試料室５に設置した気
体分析装置４で分析した。気体分析装置４としては四重
極質量分析計を用いた１分析の結果は第２図に示すよう
に、ＰＭＰＳが５３２ｅＶのエネルギーをもつＸ線に感
応していることを示した。またＳ０２ ＋やＣ４Ｈ−十
等のフラグメントイオンが観測されたことから、この場
合の反応は分解であることもわかった。第３図にＳＯＲ
を照射しない場合の分析結果を参考のために示した。
’ Ｔｏｒｒにした。次にＳＯＲの照射を行って試料
３から放出した感応気体の成分を試料室５に設置した気
体分析装置４で分析した。気体分析装置４としては四重
極質量分析計を用いた１分析の結果は第２図に示すよう
に、ＰＭＰＳが５３２ｅＶのエネルギーをもつＸ線に感
応していることを示した。またＳ０２ ＋やＣ４Ｈ−十
等のフラグメントイオンが観測されたことから、この場
合の反応は分解であることもわかった。第３図にＳＯＲ
を照射しない場合の分析結果を参考のために示した。
実施例２
第４図に感応感度評価装置の構成例を示す。
放射線発生装置１としてシンクロトロンを用い、それか
ら放射されたＸ線（ＳＯＲ）は斜入射分光器（グラスホ
ッパー米国Ｂａｋｅｒ社製）１２で分光され、後置鏡１
３で収束された後、試料装着装置６に装着した感放射線
組成物試料（以下試料という）３を照射する。斜入射分
光器１２は連線的に分光波長を変えることができる、い
わゆる波長掃引機能を有する。排気装置１６はターボ分
子ポンプで、試料室５を真空度２Ｘ１０−’Ｔｏｒｒ以
下の真空にする。気体分析装置４は四重極質量分析計を
用い、分析されたイオン収量値が信号線１４を経て記録
装置】７に入力される。また斜入射分光器１２からの波
長信号が信号線１５を経て記録装置１７に入力される。
ら放射されたＸ線（ＳＯＲ）は斜入射分光器（グラスホ
ッパー米国Ｂａｋｅｒ社製）１２で分光され、後置鏡１
３で収束された後、試料装着装置６に装着した感放射線
組成物試料（以下試料という）３を照射する。斜入射分
光器１２は連線的に分光波長を変えることができる、い
わゆる波長掃引機能を有する。排気装置１６はターボ分
子ポンプで、試料室５を真空度２Ｘ１０−’Ｔｏｒｒ以
下の真空にする。気体分析装置４は四重極質量分析計を
用い、分析されたイオン収量値が信号線１４を経て記録
装置】７に入力される。また斜入射分光器１２からの波
長信号が信号線１５を経て記録装置１７に入力される。
本装置を用いて、ポリマーメチルペンテン−１−スルフ
ォンのＸ線分光感応感度を測定した。第５図は主鎖の切
断を示すＣ４Ｈ，＋イオンについての測定結果を示す。
ォンのＸ線分光感応感度を測定した。第５図は主鎖の切
断を示すＣ４Ｈ，＋イオンについての測定結果を示す。
第６図は従来法による吸収スペクトルを示す。第６図に
は、第５図で検出された４００〜４３０ｅＶのピークが
なく、従来法の評価が不充分であることがわかる。
は、第５図で検出された４００〜４３０ｅＶのピークが
なく、従来法の評価が不充分であることがわかる。
本実施例では感放射線組成物としてＸ線レジストである
ポリマーメチルペンテン−１−スルホンの例を示したが
、他のＸ線レジスト、ジアゾ系のポジ型フォトレジスト
、ポリメチルメタクリレート等の電子線レジストなどの
各種の放射線感応感度の評価ができることは云うまでも
ない。また放射線発生装！１、分光装置２および後置＊
１３の仕様は感放射線組成物の感応波長域によって決め
られることは当然である。また後置鏡１３および分光装
置２は常に必要であるとは限らない。気体分析装置４は
各種質量分析計をはじめガスクロマトグラフィ他の気体
分析装置も用いられる。
ポリマーメチルペンテン−１−スルホンの例を示したが
、他のＸ線レジスト、ジアゾ系のポジ型フォトレジスト
、ポリメチルメタクリレート等の電子線レジストなどの
各種の放射線感応感度の評価ができることは云うまでも
ない。また放射線発生装！１、分光装置２および後置＊
１３の仕様は感放射線組成物の感応波長域によって決め
られることは当然である。また後置鏡１３および分光装
置２は常に必要であるとは限らない。気体分析装置４は
各種質量分析計をはじめガスクロマトグラフィ他の気体
分析装置も用いられる。
第１図は発明の概要および実施例１を説明するための図
、第２図および第３図は実施例１の評価結果を示す図、
第４図は実施例２の装置構成図、第５図は実施例２の測
定結果を示す図、第６図は従来法による測定結果を示す
図である。
、第２図および第３図は実施例１の評価結果を示す図、
第４図は実施例２の装置構成図、第５図は実施例２の測
定結果を示す図、第６図は従来法による測定結果を示す
図である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、感放射線組成物に放射線を照射して、該感放射線組
成物から放出される気体成分の分析を行うことを特徴と
する感放射線組成物の放射線感応感度評価方法。 ２、上記放射線の波長を連続的に変化させることを特徴
とする特許請求の範囲第１項記載の感放射線組成物の放
射線感応感度評価方法。 ３、上記気体成分の分析を質量分析法で行うことを特徴
とする特許請求の範囲第１項記載の感放射線組成物の放
射線感応感度評価方法。 ４、少なくとも感放射線組成物を着脱できる装着装置部
、上記感放射線組成物に放射線を照射するための放射線
発生装置部および上記放射線を照射された上記感放射線
組成物が放出する気体の成分を分析する分析装置部を具
備することを特徴とする感放射線組成物の放射線感応感
度評価装置。 ５、連続波長の放射線を発生する上記放射線発生部、該
放射線の波長を分光する分光器および真空排気装置部を
具備することを特徴とする特許請求の範囲第４項記載の
感放射線組成物の放射線感応感度評価装置。 ６、上記分析装置部を質量分析器とすることを特徴とす
る特許請求の範囲第４項および第５項記載の感放射線組
成物の放射線感応感度評価装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59123706A JPH0690155B2 (ja) | 1984-06-18 | 1984-06-18 | 感放射部材の放射線感度測定方法および装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59123706A JPH0690155B2 (ja) | 1984-06-18 | 1984-06-18 | 感放射部材の放射線感度測定方法および装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS613406A true JPS613406A (ja) | 1986-01-09 |
| JPH0690155B2 JPH0690155B2 (ja) | 1994-11-14 |
Family
ID=14867328
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59123706A Expired - Lifetime JPH0690155B2 (ja) | 1984-06-18 | 1984-06-18 | 感放射部材の放射線感度測定方法および装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0690155B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01217250A (ja) * | 1988-02-26 | 1989-08-30 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 分析装置 |
| US5100204A (en) * | 1989-11-15 | 1992-03-31 | Toyo Seat Co., Ltd. | Blow molded seat frame having embedded mounting member |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52104290A (en) * | 1976-02-27 | 1977-09-01 | Shimadzu Corp | Composite analysis unit |
-
1984
- 1984-06-18 JP JP59123706A patent/JPH0690155B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52104290A (en) * | 1976-02-27 | 1977-09-01 | Shimadzu Corp | Composite analysis unit |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01217250A (ja) * | 1988-02-26 | 1989-08-30 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 分析装置 |
| US5100204A (en) * | 1989-11-15 | 1992-03-31 | Toyo Seat Co., Ltd. | Blow molded seat frame having embedded mounting member |
| DE4036462C2 (de) * | 1989-11-15 | 2003-12-04 | Toyo Seat Co Ltd | Sitzrahmen-Aufbau für einen Fahrzeugsitz |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0690155B2 (ja) | 1994-11-14 |
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