JPS6133885A - 支持装置 - Google Patents

支持装置

Info

Publication number
JPS6133885A
JPS6133885A JP15304684A JP15304684A JPS6133885A JP S6133885 A JPS6133885 A JP S6133885A JP 15304684 A JP15304684 A JP 15304684A JP 15304684 A JP15304684 A JP 15304684A JP S6133885 A JPS6133885 A JP S6133885A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
coil
elastic body
springs
support device
parallel
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP15304684A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS6211999B2 (ja
Inventor
秋谷 文明
浅川 和雄
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujitsu Ltd filed Critical Fujitsu Ltd
Priority to JP15304684A priority Critical patent/JPS6133885A/ja
Publication of JPS6133885A publication Critical patent/JPS6133885A/ja
Publication of JPS6211999B2 publication Critical patent/JPS6211999B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、例えば産業用ロボット等の部材を支持する装
置に関するものであり、特にアーム機構と把持機構(ハ
ンド)との連結部にコンプライアンス機構(弾性体)を
備えて成り、部材の嵌合ハメ合作業に好適な支持装置に
関する。
〔従来の技術及び発明が解決しようとする問題点〕産業
用ロボットによる自動組立作業が実現されており、組立
作業の内容も高精度、高速度化の−途をたどっている。
これに伴い、ロボットの位置決め精度の向」二が望まれ
ているが、歌に位置決め精度を向上させるだけでは高精
度な組立が困難な場合が多い。即ち組立作業では組立対
象物間の相対位置関係が重要であり、絶対位置よりは相
対位置決めを高精度に行う必要がある。特に高精度、例
えば数μmのオーダーの嵌合ハメ合作業においては、高
精度の相対位置決めが問題となる。
このような嵌合へメ合い作業を円滑に行うものとして、
アーム機構と把持機構との連結部にコンプライアンス機
構を備え、アーム機構に対して把持機構を変位可能とし
て組立対象物間の相対位置の位置ずれを吸収する支持機
構が提案されている。
特に嵌合物の搬送時にはコンプライアンスを小さくして
振動を防止し、挿入作業時には位置ずれ方向のコンプラ
イアンスを大きくして円滑且つ迅速な嵌合ハメ合い作業
を可能とした支持装置が提案されている(例えば、特願
昭57−167509号)。このような支持装置の概略
構造を第2図に図示する。
第2図において、支持装置は把持機構1、コンプライア
ンス機構2及びアーム機構3を倫えている。把持機構1
は嵌合部材7を保持し、支持装置により嵌合部材7が穴
9に挿入される場合を示している。ここでコンプライア
ンス機構2は−itの平行バネより成るX方向変位部材
4及びこれと直交する一対の平行バネより成るY方向変
位部材6を有している。従って、第2図るこ図示の如く
、嵌合部材7が穴9の人口縁の斜面10と接触した場合
、X方向変位部材4が変位し、嵌合部材7を穴9に挿入
できるようにしている。但し、嵌合部材7と斜面10と
が接触した場合、主として平行バネの復帰力が嵌合部材
7と斜面10にかかり、場合によってはこれらを損壊す
ることとなる。そこで、平行バネの復帰力を最小にする
手段が講じられている。
第3図は第2図に図示のX方向変位部材4の詳細とバネ
の復帰力を最小にする手段5を図示したものである。但
し、第2図に対し、第3図は上下が反対に示されている
。1対の平行バネ41及び42は固定台43及び可動台
44を介して対向しく4) て設けられ、その間は中空になっている。平行バネ41
及び42は弾性体で作られているから、外力が加えられ
ると第2図に図示の如く変位する。
一方、平行バネを包囲するようにバネ復帰力調整手段5
が設けられている。該調整手段5は永久磁石53、ヨー
ク51、上記可動台44と一体化された板に取付られ永
久磁石53とヨーク51との間に配設されたモータ用コ
イル52を有している。
永久磁石53とヨーク51とコイル52とは一種の平板
電動機を構成している。永久磁石53は平行バネの外側
の枠に固定されており、平行バネが変位しても永久磁石
53の位置は変化しない。一方平行バネ41の側面に変
位センサ12が設けられており、この変位量に応じて図
示しない制御回路を介してコイル52に電流を流すよう
にしている。従って、接触により生ずる外力Fa、バネ
復帰力Fbに対し、永久磁石53とコイル52により平
行バネ41 、42を必要な量だけ変位させる一方で、
バネ復帰力Fbをキャンセルするようなコイルによる電
磁力Fcを加えて、上述の目的を達しく5) ている。
コイル52への給電は第3図に図示の如く、外部接続線
13、端子台55、及び中間接続線56を介して行なっ
ている。ここで、例えば、コイルに流す電流が0.5(
A)〜1 (A)であるとすると接続線の被覆外径は0
.5φ〜1.0φ程度となる。
すなわち、比較的径の大きい接続線を用いねばならない
。従って、上記接触力を1g以下に抑えようとする場合
、アーム機構が運動して停止した場合に生ずる接続線の
振動、又は接続線の曲がりに伴うスティソフネスにより
上記調整手段等が影響を受け、この影響が無視できない
ものとなっている。すなわち、接続線の影響によりさら
に高精度な相対位置決め及び接触力の影響を最小にする
ということに限界が生じている。
又、接続線の布線方法、特に変位分を考慮して成る程度
の余裕をもって布線しなければならない中間接続線56
の布線が難しいという問題がある。
〔発明を解決するための手段〕
本発明は、導電性の平行バネを給電線として用い少なく
とも上述の中間接続線を削除し、中間接続線のスティソ
クネス、振動の影響を受けることなく、且つ、布線を容
易にしようとするものである。
従って本発明においては、第1の支持部材を弾性体を介
して支持する第2の支持部材と、前記弾性体の変位を検
出する変位検出手段と、前記変位検出手段の検出出力に
基づいて前記弾性体に力を付与する力付与手段を備える
と共に、前記力付与手段は電磁石機構より構成されて成
り、且つ電磁石機構を構成するコイルが前記弾性体側に
固着され、界磁手段が前記コイルと対向するように前記
第2の支持部材側に設L−1られて成る支持装置であっ
て、前記弾性体は導電性材料で構成され、且つ前記コイ
ルに電流を供給する接続線が接続されて成り、前記弾性
体を介して前記コイルに給電するようにされたことを特
徴とする支持装置が提供される。
〔実施例〕
本発明の一実施例を第1図に示す。第1図は第3図と同
様、第2図に図示のコンプライアンス機構2のX方向変
位部材4及びその調整手段5を第2図とは上下逆にした
状態の斜視図である。
第1図において、X方向変位部材4は電気絶縁性固定台
430及び電気絶縁性可動台420を介して平行バネ4
11 、412及び421 、422が対向して設けら
れている。平行バネ411 、412及び421 、4
22は従来のものと同様に所望の弾性を有する一方、導
電性のもので作られている。例えば、ステンレススチー
ル、りん青銅等である。第1図から明らかなように平行
バネは、それぞれ電気的に絶縁された分離したバネ41
1 と412、及び 421 と422とにより構成さ
れており、可動台422側で突出部41]a 、 41
2a及び421a 、 422aが形成されている。こ
れらの突出部は可動台420と一体上なり平行バネの変
位端を固定しコイル52が設けられた板に開けられた穴
を通してコイル52の端子として突出し、接続線130
を介してコイル52に接続されている。一方バネ411
 、412の固定台側には給電線13が接続されている
平行バネの外枠と界磁は第3図と同様である。
又、平行バネ411の変位を検出するため変位センサ1
2が図示の如く付着されており、この変位センサの信号
により図示しない制御回路によりコイル52と界磁51
 、53 、54との電磁力により平行バネ411 、
412及び421 、422を変位させることは従来の
場合と同様である。
以上から明らかなように、従来の中間接続線は削除され
、1対の平jテバネ411 、412又は421゜42
2によりコイル52の中間給電が行なわれている。すな
わち、接続線13、平行バネ411、接続線130、コ
イル52、平行バネ4I2、接続線13の電気回路が形
成されている。他方も同様である。
接続線130はコイル52が貼られた高弾性基板上に接
着されて平行バネの突出部411a 、 412aに接
合されている。従って移動又は停止に伴う中間接続線の
振動、又は、中間接続線の曲げのスティソフネスの影響
は全く無く、又、布線も非常に簡単になる。
尚、外部接続線13の振動、曲げのスティッフネスの影
響は、外部接続線13が固定台430と同位置の平行バ
ネ部に接続されているから、問題にならない。
以上、X方向について述べたが、Y方向変位部材6につ
いても同様である。
第4図に本発明の第2の実施例を示す。第2の実施例は
左右のコイル52 、58を直列に接続したものである
。また固定台431及び可動台421 として導電性の
ものを用い、導電性の平行バネ4]3 、423との絶
縁をとるため、絶縁体441〜444を図示の如く介在
させている。導電性弾性板413 、423の可動台4
21側には端子となる突出部413a 、 423aが
設けられ、接続線131を介してコイル52 、58を
直列に接続している。接続線131 は前述同様高弾性
コイル基板に接着されたゆみなく布線されている。
第5図は本発明の他の実施例を示す。この実施例はコイ
ル52が1つの場合である。導電性平行バネ414 、
424が絶縁性固定台432、及び絶縁性可動台423
を介して対向に設けられ、平行バネの突出部414a 
、 424aが端子となり接続線132を介しく10) てコイル52に接続されている。他は、第1図の場合と
同様である。
本発明は以上に述べたものの外、種々の変形形態を採る
ことができる。例えば、第5図において、平行バネ41
4を第1図に図示の如く2つの電気的に絶縁されたバネ
により給電線として用い、他方のバネ424は給電線と
しては用いないようにすることができる。
〔発明の効果〕
以上に述べたように本発明によれば、中間接続線による
悪影響を削除し、高精度の相対位置決めを可能とし、接
触力を最少にし得る支持装置が得られる。また本発明に
よればコイルへの給電線の布線が容易になる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例を示す斜視図、第2図は本発
明の機構が設けられる支持装置の概略図、第3図は従来
機構を示す斜視図、第4図は本発明の他の実施例を示す
斜視図、第5図は本発明のさらに他の実施例を示す斜視
図、である。 (符号の説明) 1・・・把持機構、  2・・・コンプライアンス機構
、3・・・アーム機構、 4・・・X方向変位部材、5
・・・変位調整手段、6・・・Y方向変位部材、12・
・・変位センサ、13・・・外部接続線、52・・・コ
イル、   53・・・永久磁石、130・・・接続線
、  411,412,421.422・・・平1テバ
ネ、420・・・可動台、   430・・・固定台。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、第1の支持部材を弾性体を介して支持する第2の支
    持部材と、前記弾性体の変位を検出する変位検出手段と
    、前記変位検出手段の検出出力に基づいて前記弾性体に
    力を付与する力付与手段を備えると共に、前記力付与手
    段は電磁石機構より構成されて成り、且つ電磁石機構を
    構成するコイルが前記弾性体側に固着され、界磁手段が
    前記コイルと対向するように前記第2の支持部材側に設
    けられて成る支持装置であって、前記弾性体は導電性材
    料で構成され、且つ前記コイルに電流を供給する接続線
    が接続されて成り、前記弾性体を介して前記コイルに給
    電するようにされたことを特徴とする支持装置。 2、前記弾性体は平行配置された板バネで構成されて成
    ると共に、前記平行バネの一方がそれぞれ分離された1
    対の導電性バネで形成され該1対の導電性バネを介して
    前記コイルのそれぞれ一方に給電されるようにした、特
    許請求の範囲第1項に記載の支持装置。 3、前記平行バネの一方、少なくとも1つの前記コイル
    、前記平行バネの他方により電気回路を形成させた、特
    許請求の範囲第1項に記載の支持装置。 4、前記平行バネの一方と他方との間に前記コイルを2
    つ直列に接続されて成る、特許請求の範囲第1項に記載
    の支持装置。
JP15304684A 1984-07-25 1984-07-25 支持装置 Granted JPS6133885A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP15304684A JPS6133885A (ja) 1984-07-25 1984-07-25 支持装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP15304684A JPS6133885A (ja) 1984-07-25 1984-07-25 支持装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS6133885A true JPS6133885A (ja) 1986-02-17
JPS6211999B2 JPS6211999B2 (ja) 1987-03-16

Family

ID=15553786

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP15304684A Granted JPS6133885A (ja) 1984-07-25 1984-07-25 支持装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS6133885A (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0569564U (ja) * 1991-06-13 1993-09-21 住友重機械工業株式会社 冷却機用ガスサイクル機関
JP2009145201A (ja) * 2007-12-14 2009-07-02 Shimadzu Corp 試験機
JP2015003363A (ja) * 2013-06-20 2015-01-08 アズビル株式会社 コンプライアンス装置
JP2015178845A (ja) * 2014-03-18 2015-10-08 キヤノン株式会社 振動低減装置、リソグラフィ装置、および物品の製造方法

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0569564U (ja) * 1991-06-13 1993-09-21 住友重機械工業株式会社 冷却機用ガスサイクル機関
JP2009145201A (ja) * 2007-12-14 2009-07-02 Shimadzu Corp 試験機
JP2015003363A (ja) * 2013-06-20 2015-01-08 アズビル株式会社 コンプライアンス装置
JP2015178845A (ja) * 2014-03-18 2015-10-08 キヤノン株式会社 振動低減装置、リソグラフィ装置、および物品の製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
JPS6211999B2 (ja) 1987-03-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5645735A (en) Gimbal flexure and electrical interconnect assembly
EP0143356B1 (en) Optical system drive for optical recording/reproducing apparatus
US6537111B2 (en) Electric contact plug with deformable attributes
CN110709757B (zh) 形状记忆合金致动器及其方法
CN112654786B (zh) 形状记忆合金致动器及其方法
KR20170062441A (ko) 카메라 어셈블리
CN218816802U (zh) 致动器及致动器模块组件
JP2023509517A (ja) 光学式手振れ補正サスペンションにおけるセンサシフト構造
JPWO2019087568A1 (ja) 回転電機の固定子、及び、回転電機
CN110908066A (zh) 多轴光学防抖和对焦装置、相机模块和电子设备
US20060186741A1 (en) Sliding system with onboard linear motor
JPS6133885A (ja) 支持装置
KR930011446B1 (ko) 트랜스듀우서 구동장치
KR20220048456A (ko) 형상 기억 합금 액추에이터 및 그 방법
US20240022014A1 (en) Arrangement having a housing and an electrically conductive contact spring, and power semiconductor module having said arrangement
JP2661092B2 (ja) 移動案内装置
JPH0973111A (ja) 像ブレ補正装置
JPH07111176A (ja) コネクタ検査用治具
JPS63139678A (ja) 組立ロボツトの手首機構
CN114189123B (zh) 磁浮机构、补偿装置及微动设备
KR100430182B1 (ko) 리니어모터용 이동코일장치의 코일결선구조
CN212831415U (zh) 机械手
JPH1155925A (ja) リニアアクチュエータ
JPH0729194A (ja) 二軸アクチュエータ
JPH05174930A (ja) 集電装置