JPS6132518A - 位置決め制御装置 - Google Patents
位置決め制御装置Info
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- JPS6132518A JPS6132518A JP15294884A JP15294884A JPS6132518A JP S6132518 A JPS6132518 A JP S6132518A JP 15294884 A JP15294884 A JP 15294884A JP 15294884 A JP15294884 A JP 15294884A JP S6132518 A JPS6132518 A JP S6132518A
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- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
ｒ発明の利用ＧＷｆ１
本発明は、２分割受光素子全利用し、その出力差から計
算されるずれの許容値が一定となるよ・うに位置決めを
行なう位置決め装置に係り。
算されるずれの許容値が一定となるよ・うに位置決めを
行なう位置決め装置に係り。
特忙自動焦点制御等に好適な位置決め制−装置に関する
。
。
、自動焦点等の位置決め技術において、２分割受光素子
がよく用いられる。２分割受光素子の受光面は一般にｓ
Ｒ１図のような形状をしており、全体の受光面、・１゛
は、それぞれの面積がほぼ同等となるように二つ１ｔＬ
および１ｈに分割されている。それぞれの受光素子１α
およびＩＡＶｃｂいては受光する光量と出力は同じ関係
にあるので、第１図のように照度が均等である光３が、
受光素子１．、、ａ９．ｉ ｈの境界Ａで２等分される
ように光束となって入射されると、それぞれの出力２ａ
および２ｂには同レベルの信号（電圧あるいは電流）が
現われる。したがって、物体からの反射光あるいは透過
光を受け、受光素子１αと１ｈの出力２１！と２ｂの出
力差が予め定められる範囲内にある物体の位置を位置決
めしようとする物体の位置であると定めておくと、位置
決め祉容易である。
がよく用いられる。２分割受光素子の受光面は一般にｓ
Ｒ１図のような形状をしており、全体の受光面、・１゛
は、それぞれの面積がほぼ同等となるように二つ１ｔＬ
および１ｈに分割されている。それぞれの受光素子１α
およびＩＡＶｃｂいては受光する光量と出力は同じ関係
にあるので、第１図のように照度が均等である光３が、
受光素子１．、、ａ９．ｉ ｈの境界Ａで２等分される
ように光束となって入射されると、それぞれの出力２ａ
および２ｂには同レベルの信号（電圧あるいは電流）が
現われる。したがって、物体からの反射光あるいは透過
光を受け、受光素子１αと１ｈの出力２１！と２ｂの出
力差が予め定められる範囲内にある物体の位置を位置決
めしようとする物体の位置であると定めておくと、位置
決め祉容易である。
第２図Ｆｉ、半導体露光装置において、２分割受光素子
全利用した自動焦点システムの一例である。光源５の光
からスリット６により光束３を形成し、そのスリット状
の光束６を結倫レンズ７と反射鏡８奢介し、ウェハ９上
に装置投影させ、この反射光聖典び反射鏡１０．結倫レ
ンズ１１％拡大レンズ１２を介して２分割受光素子１の
受光面に納置させる。ここで、ウェハ９がパターン露光
光学系（例えば縮小投影露光装置の光学系）１３０合焦
点位置にあるとき光束３が第３図（−）に示すように２
分割受光素子１の中央に結倫するように設定しておくと
、ウェハ９が合焦点位置から下側に外れた場合は、光束
３は点線のような方向に進み、第３図（Ａ）のように２
分割受光素子１の中央境界４からずれた位置に投影され
る。一方、第２図には図示されてい表いが、ウェハ９が
合焦点位置に対し上側に外れると。
全利用した自動焦点システムの一例である。光源５の光
からスリット６により光束３を形成し、そのスリット状
の光束６を結倫レンズ７と反射鏡８奢介し、ウェハ９上
に装置投影させ、この反射光聖典び反射鏡１０．結倫レ
ンズ１１％拡大レンズ１２を介して２分割受光素子１の
受光面に納置させる。ここで、ウェハ９がパターン露光
光学系（例えば縮小投影露光装置の光学系）１３０合焦
点位置にあるとき光束３が第３図（−）に示すように２
分割受光素子１の中央に結倫するように設定しておくと
、ウェハ９が合焦点位置から下側に外れた場合は、光束
３は点線のような方向に進み、第３図（Ａ）のように２
分割受光素子１の中央境界４からずれた位置に投影され
る。一方、第２図には図示されてい表いが、ウェハ９が
合焦点位置に対し上側に外れると。
光束３は、第３図（ｃ）のように、下側にずれたときと
は逆の方向に、２分割受光素子１の中央境界４からずれ
て結便される。いま、２分割受光素子１０２分割された
個々の素子１Ｇおよび１ｂから得られる電気的出力をそ
れぞれｒ６およびＦＡとＴると、合焦点Ｆｌｉｐ テｈ
’ｓ ＝Ｖｈ （第３図（α））、合焦点位置忙対しウ
ェハ９が下方にずれているときはｖｌ） ＞Ｖａ （第
５図（Ａ） ） 、上方にずれていると診はＦｇ ＞
ｉ’ｈ （第５図（Ｃ））となる。このよう表関係を踏
まえ、制御系は第２図に示すように差動増幅器１４と、
不感帯回路１５と、ウェハ９搭載の２ステージ２ＤＫ連
結され危モータ１９ｔ−躯動する九めのサーボ増幅器１
６カら構成されている。
は逆の方向に、２分割受光素子１の中央境界４からずれ
て結便される。いま、２分割受光素子１０２分割された
個々の素子１Ｇおよび１ｂから得られる電気的出力をそ
れぞれｒ６およびＦＡとＴると、合焦点Ｆｌｉｐ テｈ
’ｓ ＝Ｖｈ （第３図（α））、合焦点位置忙対しウ
ェハ９が下方にずれているときはｖｌ） ＞Ｖａ （第
５図（Ａ） ） 、上方にずれていると診はＦｇ ＞
ｉ’ｈ （第５図（Ｃ））となる。このよう表関係を踏
まえ、制御系は第２図に示すように差動増幅器１４と、
不感帯回路１５と、ウェハ９搭載の２ステージ２ＤＫ連
結され危モータ１９ｔ−躯動する九めのサーボ増幅器１
６カら構成されている。
差動増幅器１４は増幅度ｈ’４７１持ちｓ２分割受光素
子１の出力の差分Ｃ’ａ−Ｖｂ）Ｋ増幅度＆ｔｔ掛けた
信号Ｖｅｘ−ｋ （Ｆｇ−Ｆｂ）！−小出力る。不感帯
回路１５はモータ１９に対し不感帯を与えるもので、例
えば自動焦点の目標精度である上限と下限にウェハ９を
設定し九とき、差動増幅器１４の出力Ｖｔに現われる出
力値會それぞれ入力端子１７シよび１８から設定するこ
とで動作する。イマ、不感帯回路１５の出力ｔ−Ｆ、と
すると、Ｖ、とウェハ９の上下位置に対する関係は第４
図（−）のようになる。
子１の出力の差分Ｃ’ａ−Ｖｂ）Ｋ増幅度＆ｔｔ掛けた
信号Ｖｅｘ−ｋ （Ｆｇ−Ｆｂ）！−小出力る。不感帯
回路１５はモータ１９に対し不感帯を与えるもので、例
えば自動焦点の目標精度である上限と下限にウェハ９を
設定し九とき、差動増幅器１４の出力Ｖｔに現われる出
力値會それぞれ入力端子１７シよび１８から設定するこ
とで動作する。イマ、不感帯回路１５の出力ｔ−Ｆ、と
すると、Ｖ、とウェハ９の上下位置に対する関係は第４
図（−）のようになる。
サーボ増幅器１６は不感帯回路１５の出力値ＶＩｔ−受
け、これを速度情報としてモータｆ９に加え、２ステー
ジ２０ヲ駆動してウェハ９ｔ−合焦点位置に向かわせる
。合焦点位置に向かうＫつれて不感帯回路１５の出力Ｖ
、け小さくなってゆき、不感帯Ｖ、ｌ、Ｖ、に達すると
モータｌ９Ｆｉ停止し、２ステージ２０ｉｔ安定状態と
なり、目標精度内にウェハ９け位置付けられる。
け、これを速度情報としてモータｆ９に加え、２ステー
ジ２０ヲ駆動してウェハ９ｔ−合焦点位置に向かわせる
。合焦点位置に向かうＫつれて不感帯回路１５の出力Ｖ
、け小さくなってゆき、不感帯Ｖ、ｌ、Ｖ、に達すると
モータｌ９Ｆｉ停止し、２ステージ２０ｉｔ安定状態と
なり、目標精度内にウェハ９け位置付けられる。
このように不感帯回路１５は２ステージ２０に安定性を
得るために設けられたものであるが、従来はこの不感帯
金固定としてい７？１．ため、光源５の劣化や位置決め
しようとする物体の反射率の違いによシ、不感帯と目標
精度の対応が夫々われ、精度に悪影＊Ｖ与えるという欠
点があった。
得るために設けられたものであるが、従来はこの不感帯
金固定としてい７？１．ため、光源５の劣化や位置決め
しようとする物体の反射率の違いによシ、不感帯と目標
精度の対応が夫々われ、精度に悪影＊Ｖ与えるという欠
点があった。
すなわち光源５の照度が高くなった多物体の反射率が高
くなったシすると、第４図＜ｂ＞に示すよＡ Ｉｆ
ＭＷ 省ｄ Ｍ Ａｍ ｊ Ｊｔａ、Ｉｆ ＪＬ
ｋ ’ τ−宜ｖ！−Ｖ、ｆ固定とすると（斜線部
）、実際の到達精度は目標精度よル狭ｔｌ、位置決めが
厳しく表る。
くなったシすると、第４図＜ｂ＞に示すよＡ Ｉｆ
ＭＷ 省ｄ Ｍ Ａｍ ｊ Ｊｔａ、Ｉｆ ＪＬ
ｋ ’ τ−宜ｖ！−Ｖ、ｆ固定とすると（斜線部
）、実際の到達精度は目標精度よル狭ｔｌ、位置決めが
厳しく表る。
１方、逆に光源５の照度が低くな−）たり、物体の反射
率が低くな−）九シすると、＃Ｉ４図（ｅ） Ｋ’示す
ように％特性直線が低勾配と々り、固定の不感帯’ｔｔ
−ＶｕＣ斜線部）に対しては、実際の到達精度は目標の
精度に較べ低く設定され１位置決め精度が甘くなる。
率が低くな−）九シすると、＃Ｉ４図（ｅ） Ｋ’示す
ように％特性直線が低勾配と々り、固定の不感帯’ｔｔ
−ＶｕＣ斜線部）に対しては、実際の到達精度は目標の
精度に較べ低く設定され１位置決め精度が甘くなる。
本発明は、上記の従来技術の欠点をなくし、光源の照度
の変動や反射率の変化に影響を受けない安定性の高い位
置決め制御装置を提供することにある。
の変動や反射率の変化に影響を受けない安定性の高い位
置決め制御装置を提供することにある。
上記目的を達成するために１本発明による位置決め制御
装置は、物体よシの反射光あるいは透過光ｙｔ２分割受
光素子で受光し、その素子間の出力差がある一定の値を
示す定位置に上記物体を位置づける位置合せ装置におい
て、さらに。
装置は、物体よシの反射光あるいは透過光ｙｔ２分割受
光素子で受光し、その素子間の出力差がある一定の値を
示す定位置に上記物体を位置づける位置合せ装置におい
て、さらに。
ト配＊子藺の出力善のトＰ−９信の祈停ｆ、η鳳精度に
合致する不感帯を設定する不感帯入力手段と、上記２分
割受光素子の出力和を求める加算手段と、この加算手段
の出力を記憶する記憶手段と、＃記憶手段に記憶された
上記加算出力で現在の加算出力を除算する除算手段と、
この除算手段の出力を上記不感帯に乗じてこの結果を新
たに不感帯とする乗算手段と、この新たな不感帯を含む
上記素子間の出力差を速度情報とする電動機を具備する
ことを要旨とする。すなわち、本発明は、２分割受光素
子に投影される光束の全体の光量よ多光源の照度率ある
いけ反射出の変化率を定量的に導き出し、この変化率１
既に設定されている不感帯の上限と下限にフィードバッ
クし、常に適正な不感帯を形成することにより安定した
位置決め制御？得ようとするものである。
合致する不感帯を設定する不感帯入力手段と、上記２分
割受光素子の出力和を求める加算手段と、この加算手段
の出力を記憶する記憶手段と、＃記憶手段に記憶された
上記加算出力で現在の加算出力を除算する除算手段と、
この除算手段の出力を上記不感帯に乗じてこの結果を新
たに不感帯とする乗算手段と、この新たな不感帯を含む
上記素子間の出力差を速度情報とする電動機を具備する
ことを要旨とする。すなわち、本発明は、２分割受光素
子に投影される光束の全体の光量よ多光源の照度率ある
いけ反射出の変化率を定量的に導き出し、この変化率１
既に設定されている不感帯の上限と下限にフィードバッ
クし、常に適正な不感帯を形成することにより安定した
位置決め制御？得ようとするものである。
以下１本発明の実施例を第５図および第６図に従って説
明する。第５図はステージの駆動に山流モータ全利用す
る例、＃！６図はパルス拳モータを利用する例であり、
第６図においては第５図に較べ必要となる構成要素の置
換えのみが示されている。第５図および第６図とも、記
述上物体からの反射光全検出する方式としておシ、光束
を２分割受光素子に結僚する光学系は第２図に示したも
のと同等であり１本例では省略しである。
明する。第５図はステージの駆動に山流モータ全利用す
る例、＃！６図はパルス拳モータを利用する例であり、
第６図においては第５図に較べ必要となる構成要素の置
換えのみが示されている。第５図および第６図とも、記
述上物体からの反射光全検出する方式としておシ、光束
を２分割受光素子に結僚する光学系は第２図に示したも
のと同等であり１本例では省略しである。
まず、第５図に従って、第１の実施例を説明する。第５
図にｂｕて、３は光学系で形成される光束で、物体２１
で反射し、２分割受光素子１に投影される。２２は２分
割受光素子１の個々の素子１α、ＩＡから出力される電
気信号２ａ。
図にｂｕて、３は光学系で形成される光束で、物体２１
で反射し、２分割受光素子１に投影される。２２は２分
割受光素子１の個々の素子１α、ＩＡから出力される電
気信号２ａ。
２ｂを加算する加算器、２３は加算器２２の出力を本発
明の動作の初期に記憶する記憶回路、２４Ｆｉ加算器２
２から得られる和信号を記憶回路２３に記憶してｂる和
信号で除算する除算器、２５．２６は本発明動作開始時
に設定された不感帯の上限１７および下限１８ヲ除算器
２４の出力で乗算し、乗算出力を新次に不感帯回路１５
のそれぞれ上限および下限にする乗算回路、１４および
１６はそれぞれ差動増幅器シよひサーボ増幅器、１９は
２ステージ２０奢駆動する直流モータである。
明の動作の初期に記憶する記憶回路、２４Ｆｉ加算器２
２から得られる和信号を記憶回路２３に記憶してｂる和
信号で除算する除算器、２５．２６は本発明動作開始時
に設定された不感帯の上限１７および下限１８ヲ除算器
２４の出力で乗算し、乗算出力を新次に不感帯回路１５
のそれぞれ上限および下限にする乗算回路、１４および
１６はそれぞれ差動増幅器シよひサーボ増幅器、１９は
２ステージ２０奢駆動する直流モータである。
本発明による位置決め制御装置はつぎのように動作する
。物体２１の目標位置において、光束３が個々の受光素
子１ａ、ＩＡＫよ）等分割されるように、光学系あるい
は２分割受光素子１を設定してかく。このように設定す
ると、物体２１の位置の変化に対する２分割受光素子出
力１ａ、１ｈの変化は、先に述べた第３図の説明通りで
ある。まず最初の物体２１において、目標精度の上限と
下限の位置に物体２１ｔ−位置付け、それぞれの場合に
得られる差動増幅器１４からの出力を読みとシ、これよ
り小さめの電圧’ｕ ＊ ’ｔｔ を基準の不感帯幅と
してそれぞれ乗算器２５ 、２６に端子１７．１８から
設定する。仁の準備作業が終了すると、セット信号２７
を与え、加算器２２で得られている２分割受光素子１の
出力の和（Ｖａ ＋ Ｆ’ｂ）會記憶回路２５に記憶す
る。加算器２２の出力Ｃ’ａ＋Ｖｂ）は２分割受光素子
１に入射される光束３全体の照度（光量）を示すもので
あるから、同一物体２１であれば、光源の照度に変化が
ない限υ、かつ光束３が２分割受光素子１の受光面をは
み出さない限り、一定である。従って２ステージ２０の
動作範囲内で光束３が２分割受光素子１をほみ出さ壜い
構造としておけば、上記セット信号２７によ〕記憶回路
２３に記憶された加算出力（’ａ ＋ Ｖｂ ）は、は
ぼ同時に設定した不感帯幅Ｐ’、Ｅ −Ｖ、と相対する
基準電圧となる。いまこの基準電圧をＦ、七する。基準
不感帯１’ｄ−Ｖ、および基準電圧Ｖｒヲ求めたときの
物体２１において、位置決め開始信号２８でサーボ・オ
ンしたときを考えると、光源に照度変動がない限シ加算
器２２から出力される出力値は、記憶回路２３に記憶さ
れている基準電圧Ｆ、と同値であるから、除算器２４に
よる除算結果Ｉ／ｉ１とな９１乗算器２５および２６で
基準不感帯ＦｕおよびＦ、＜［乗算して得られる結果は
そのまｔ実際の不感帯値ｒ、およびＶｄとなって不感帯
回路１５に入力される。この不感帯は、特定の物体２１
に対し設定された不感帯へのものであり、物体２１の上
下位置と不感帯回路１５の出力Ｖ、は第４図＜−）のよ
うな特性を形成する。以後の動作は第２図による従来例
と同様で％直流モータ１９は不感帯回路１５からの指令
１受け、２ステージ２０″を駆動し、物体２１會不感帯
Ｖｄ、Ｖ、に入るまで目標位置に向かわせる。
。物体２１の目標位置において、光束３が個々の受光素
子１ａ、ＩＡＫよ）等分割されるように、光学系あるい
は２分割受光素子１を設定してかく。このように設定す
ると、物体２１の位置の変化に対する２分割受光素子出
力１ａ、１ｈの変化は、先に述べた第３図の説明通りで
ある。まず最初の物体２１において、目標精度の上限と
下限の位置に物体２１ｔ−位置付け、それぞれの場合に
得られる差動増幅器１４からの出力を読みとシ、これよ
り小さめの電圧’ｕ ＊ ’ｔｔ を基準の不感帯幅と
してそれぞれ乗算器２５ 、２６に端子１７．１８から
設定する。仁の準備作業が終了すると、セット信号２７
を与え、加算器２２で得られている２分割受光素子１の
出力の和（Ｖａ ＋ Ｆ’ｂ）會記憶回路２５に記憶す
る。加算器２２の出力Ｃ’ａ＋Ｖｂ）は２分割受光素子
１に入射される光束３全体の照度（光量）を示すもので
あるから、同一物体２１であれば、光源の照度に変化が
ない限υ、かつ光束３が２分割受光素子１の受光面をは
み出さない限り、一定である。従って２ステージ２０の
動作範囲内で光束３が２分割受光素子１をほみ出さ壜い
構造としておけば、上記セット信号２７によ〕記憶回路
２３に記憶された加算出力（’ａ ＋ Ｖｂ ）は、は
ぼ同時に設定した不感帯幅Ｐ’、Ｅ −Ｖ、と相対する
基準電圧となる。いまこの基準電圧をＦ、七する。基準
不感帯１’ｄ−Ｖ、および基準電圧Ｖｒヲ求めたときの
物体２１において、位置決め開始信号２８でサーボ・オ
ンしたときを考えると、光源に照度変動がない限シ加算
器２２から出力される出力値は、記憶回路２３に記憶さ
れている基準電圧Ｆ、と同値であるから、除算器２４に
よる除算結果Ｉ／ｉ１とな９１乗算器２５および２６で
基準不感帯ＦｕおよびＦ、＜［乗算して得られる結果は
そのまｔ実際の不感帯値ｒ、およびＶｄとなって不感帯
回路１５に入力される。この不感帯は、特定の物体２１
に対し設定された不感帯へのものであり、物体２１の上
下位置と不感帯回路１５の出力Ｖ、は第４図＜−）のよ
うな特性を形成する。以後の動作は第２図による従来例
と同様で％直流モータ１９は不感帯回路１５からの指令
１受け、２ステージ２０″を駆動し、物体２１會不感帯
Ｖｄ、Ｖ、に入るまで目標位置に向かわせる。
一方、光源の照度変化あるいは物体による光の反射高の
変化を考えると、これらは光束３の照度を全体的に変化
させることにほかなら々い。
変化を考えると、これらは光束３の照度を全体的に変化
させることにほかなら々い。
いま、上記の原因が重なり合って光束３に照度の変化が
あると、２分割受光素子１に入射される光束の面積は不
変で、かつ電気出力は照度に比例するから、常に演算を
実行している除算器２４の出力からは基準照度Ｖｒに対
する現時点の照度（Ｖａ ＋ Ｖｂ）の変化率Ｒ＝ （
’ａ ＋ Ｖｂ ） ／ ’ｒ ’に得ることができる
。除算器２４で求められた照度の変化率Ｒは、次に乗算
器２５および２６に入力され。
あると、２分割受光素子１に入射される光束の面積は不
変で、かつ電気出力は照度に比例するから、常に演算を
実行している除算器２４の出力からは基準照度Ｖｒに対
する現時点の照度（Ｖａ ＋ Ｖｂ）の変化率Ｒ＝ （
’ａ ＋ Ｖｂ ） ／ ’ｒ ’に得ることができる
。除算器２４で求められた照度の変化率Ｒは、次に乗算
器２５および２６に入力され。
乗算器２５および２６は既に求めておいた基準不感帯値
ｒｕおよびＶｄに対し、それキれＲＶ、ＬおよびＲＶｄ
々る演算を施し、この演算結果全実際の不感帯値として
不感帯回路１５に入力する。この動作は。
ｒｕおよびＶｄに対し、それキれＲＶ、ＬおよびＲＶｄ
々る演算を施し、この演算結果全実際の不感帯値として
不感帯回路１５に入力する。この動作は。
照度変化によシ生ずる目標精度と不感帯の不−Ｉｎ照度
の変化車分だけ不感帯全加減して補正することにほかな
らない。すなわち、第４図（α）を基準の不感帯値ｒ、
およびＶｄと基準の照度情報’ｒｖｉ−求めたときの物
体の位置に対する不感帯回路１５の出力Ｖ５の特性とす
ると、２分割受光素子１の出力和（ｖａ ＋Ｖｂ ）か
ら照度の変化率Ｒ（っま９直線の勾配の変化率）を求め
、この変化率を基準の不感検値Ｖ、およびＶｄに乗じる
ことにより、目標精度と特性直線が交わる截置に不感帯
を補正し、目標精度に合致した不感帯を得る。
の変化車分だけ不感帯全加減して補正することにほかな
らない。すなわち、第４図（α）を基準の不感帯値ｒ、
およびＶｄと基準の照度情報’ｒｖｉ−求めたときの物
体の位置に対する不感帯回路１５の出力Ｖ５の特性とす
ると、２分割受光素子１の出力和（ｖａ ＋Ｖｂ ）か
ら照度の変化率Ｒ（っま９直線の勾配の変化率）を求め
、この変化率を基準の不感検値Ｖ、およびＶｄに乗じる
ことにより、目標精度と特性直線が交わる截置に不感帯
を補正し、目標精度に合致した不感帯を得る。
このことを第４図（ｂｌおよび（ｃ）ｋ用いて説明する
と、高い照度に対しては基準不感帯ｊ’ｄ−Ｖ、Ｌを広
げて目標精度と特性直線が交わる。新たな不感帯Ｖ９〜
ｒｐヲ形成し、低い照度に対しては基準不感帯ｒ、１．
ｒ＠Ｌを狭めて目標精度と合致する。新たな不感帯ＶＡ
−Ｆ、ｉ形成する。
と、高い照度に対しては基準不感帯ｊ’ｄ−Ｖ、Ｌを広
げて目標精度と特性直線が交わる。新たな不感帯Ｖ９〜
ｒｐヲ形成し、低い照度に対しては基準不感帯ｒ、１．
ｒ＠Ｌを狭めて目標精度と合致する。新たな不感帯ＶＡ
−Ｆ、ｉ形成する。
なお、第５図において、記憶回路２３はアナログ値を記
憶するものであるから、短時間の記憶ならばサンプル中
ホール１回路でよく、長時間の記憶なら、入力管プレタ
ル変換するＡ／Ｄ変換器と変換デジタル値ｔ−Ｓらにア
ナログ変換する１）／Ａ 変換器で構成すればよい。ま
た、直流モータ１９とサーボ増幅器１６の部分を第６図
のような構成要素に置き換えても氷見−による動作は成
立する。すなわち、Ｖ／Ｆ変換器２９は不感帯回路１５
の出力Ｖ、に比例する周波数のクロックゼパルスを作ｐ
出し、極性判定回路３０は不感帯回路１５の出力Ｖ、の
極性を検知１てＺステージ２０の移−すべき方向を出力
する。反転回路５ｌ−ＩＡＮＤグー） ５２ 、３−３
は、極性判定回路３０よυの指示を受け、例えばｉ号Ｖ
、が正極性のとき、 ＡＮＤゲニト３２？Ｉ−オープン
、 ＡＮＤゲー〜ト３３ヲクローズとして１．勤ゲート
ｉ２からＶ／Ｆ変換器１９の出力をステッピング・モー
タ３４の逆回転入力に入力して一′２ステニジ２０ヲ目
標位置に向わせる。徊号Ｖ５が負極性にあるときは上記
動作とｈ逆で、 Ａ）ＩＩ）ゲート３３をオープンとし
、ステッピング・モニタ３゛４の正回転入力にＶ／Ｆ変
換器２９の出力パルスを導いて。
憶するものであるから、短時間の記憶ならばサンプル中
ホール１回路でよく、長時間の記憶なら、入力管プレタ
ル変換するＡ／Ｄ変換器と変換デジタル値ｔ−Ｓらにア
ナログ変換する１）／Ａ 変換器で構成すればよい。ま
た、直流モータ１９とサーボ増幅器１６の部分を第６図
のような構成要素に置き換えても氷見−による動作は成
立する。すなわち、Ｖ／Ｆ変換器２９は不感帯回路１５
の出力Ｖ、に比例する周波数のクロックゼパルスを作ｐ
出し、極性判定回路３０は不感帯回路１５の出力Ｖ、の
極性を検知１てＺステージ２０の移−すべき方向を出力
する。反転回路５ｌ−ＩＡＮＤグー） ５２ 、３−３
は、極性判定回路３０よυの指示を受け、例えばｉ号Ｖ
、が正極性のとき、 ＡＮＤゲニト３２？Ｉ−オープン
、 ＡＮＤゲー〜ト３３ヲクローズとして１．勤ゲート
ｉ２からＶ／Ｆ変換器１９の出力をステッピング・モー
タ３４の逆回転入力に入力して一′２ステニジ２０ヲ目
標位置に向わせる。徊号Ｖ５が負極性にあるときは上記
動作とｈ逆で、 Ａ）ＩＩ）ゲート３３をオープンとし
、ステッピング・モニタ３゛４の正回転入力にＶ／Ｆ変
換器２９の出力パルスを導いて。
２ステージ２０す前とは逆方向に目−位置に向わせる。
物体２１が不感帯域に到達すると極性判定回路３０はＶ
ｚ ＝ Ｏｉ−検出し、ＡＮＤゲート３２および３３ヲ
クローズとして、ステッピング・モータ３４全停止させ
る。さらに、本発明の実施例は物体から反射光を検出し
、物体を定位置に位置決めする方法を論じているが５部
品挿入機のように基板のホールの位置を透過光で検出す
る装置にも本発明が適用できることは言うまでもない。
ｚ ＝ Ｏｉ−検出し、ＡＮＤゲート３２および３３ヲ
クローズとして、ステッピング・モータ３４全停止させ
る。さらに、本発明の実施例は物体から反射光を検出し
、物体を定位置に位置決めする方法を論じているが５部
品挿入機のように基板のホールの位置を透過光で検出す
る装置にも本発明が適用できることは言うまでもない。
以上のように本発明によれば、目標精度に対し安定した
位置決め制御が実現できる。
位置決め制御が実現できる。
以上述べた通シ、本発明によれば、光源の照虐の変動あ
るいは位置決めしようとする物体の光の反射車の変化に
応じ、目標精度に合致し九不感帯が常に形成されるので
、安定性の高い位置決め制御装置を集−することができ
る。
るいは位置決めしようとする物体の光の反射車の変化に
応じ、目標精度に合致し九不感帯が常に形成されるので
、安定性の高い位置決め制御装置を集−することができ
る。
第１図は２分割受光素子と入射光の位置関係１示す図、
第２図は従来の２分割受光素子を用いる位置決め装置の
構成を示すブロック図、′第３図（α）〜（Ｃ）は物体
の位置の変化により生ずる２分割受光素子と入射光の関
係図、第４図（α）〜（Ｃ）は物体の位置に対する不感
＠を含む２分割受光素子の差動出力の特性図、第５図は
本発明の一実施の態様による位置決め制御装置の構成を
示すブロック図、第６図は他の一つの実施の態様による
位置決め装置のうち、第５図に対′し変わる構成要素の
みを示すブロック図である。 １・・・２分割受光素子 １４・・・差動増幅器１５
・・・不感帯回路 １６・・・サーボ増幅器１７
・・・不感帯上限の基準値 １８・・・不感帯下限の基準値
第２図は従来の２分割受光素子を用いる位置決め装置の
構成を示すブロック図、′第３図（α）〜（Ｃ）は物体
の位置の変化により生ずる２分割受光素子と入射光の関
係図、第４図（α）〜（Ｃ）は物体の位置に対する不感
＠を含む２分割受光素子の差動出力の特性図、第５図は
本発明の一実施の態様による位置決め制御装置の構成を
示すブロック図、第６図は他の一つの実施の態様による
位置決め装置のうち、第５図に対′し変わる構成要素の
みを示すブロック図である。 １・・・２分割受光素子 １４・・・差動増幅器１５
・・・不感帯回路 １６・・・サーボ増幅器１７
・・・不感帯上限の基準値 １８・・・不感帯下限の基準値
Claims (1)
- 物体よりの反射光あるいは透過光を２分割受光素子で受
光し、その素子間の出力差がある一定の値を示す定位置
に上記物体を位置づける位置合せ装置において、さらに
、上記素子間の出力差の上記一定値の近傍に必要精度に
合致する不感帯を設定する不感帯入力手段と、上記２分
割受光素子の出力和を求める加算手段と、この加算手段
の出力を記憶する記憶手段と、該記憶手段に記憶された
上記加算出力で現在の加算出力を除算する除算手段と、
この除算手段の出力を上記不感帯に乗じてこの結果を新
たに不感帯とする乗算手段と、この新たな不感帯を含む
上記素子間の出力差を速度情報とする電動機を具備する
ことを特徴とする位置決め制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15294884A JPS6132518A (ja) | 1984-07-25 | 1984-07-25 | 位置決め制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15294884A JPS6132518A (ja) | 1984-07-25 | 1984-07-25 | 位置決め制御装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6132518A true JPS6132518A (ja) | 1986-02-15 |
| JPH0574212B2 JPH0574212B2 (ja) | 1993-10-18 |
Family
ID=15551656
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15294884A Granted JPS6132518A (ja) | 1984-07-25 | 1984-07-25 | 位置決め制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6132518A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02115991U (ja) * | 1989-03-07 | 1990-09-17 | ||
| CN100462875C (zh) * | 2006-04-14 | 2009-02-18 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 具有间隙特性传动机构的控制系统 |
-
1984
- 1984-07-25 JP JP15294884A patent/JPS6132518A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02115991U (ja) * | 1989-03-07 | 1990-09-17 | ||
| CN100462875C (zh) * | 2006-04-14 | 2009-02-18 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 具有间隙特性传动机构的控制系统 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0574212B2 (ja) | 1993-10-18 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |