JPS6132407A - 光磁気記録材料の製造方法 - Google Patents
光磁気記録材料の製造方法Info
- Publication number
- JPS6132407A JPS6132407A JP15349984A JP15349984A JPS6132407A JP S6132407 A JPS6132407 A JP S6132407A JP 15349984 A JP15349984 A JP 15349984A JP 15349984 A JP15349984 A JP 15349984A JP S6132407 A JPS6132407 A JP S6132407A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic recording
- magnetic
- film
- recording material
- oxide
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Compounds Of Iron (AREA)
- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は磁気記録材料、特に、垂直磁気記録媒体、光磁
気記録媒体などに有用な磁気記録材料に関するものであ
る。
気記録媒体などに有用な磁気記録材料に関するものであ
る。
（従来の技術）
近年、情報記録の高密度化、記録媒体の耐久性の向上お
よび記録速度の高速化の要請に伴い、垂直磁気ヘッドや
ＭＲヘッドにより、膜面に対して垂直方向の磁化容易軸
を有する薄膜に外部磁界を印加して磁気バブルを形成さ
せて情報を記録する垂直磁気記録方式、あるいは垂直磁
化膜の微少部分にレーザー光などを照射してその微少部
分に磁気バブルを形成させて情報を記録する光磁気記録
方式が開発されている。これらの記録方式に於ける記録
媒体の磁気記録材料は、磁化が膜面に垂直に向くように
垂直異方性を有すること、安定な磁気バブルを形成する
こと、経時変化が小さく安定であることが要求される。
よび記録速度の高速化の要請に伴い、垂直磁気ヘッドや
ＭＲヘッドにより、膜面に対して垂直方向の磁化容易軸
を有する薄膜に外部磁界を印加して磁気バブルを形成さ
せて情報を記録する垂直磁気記録方式、あるいは垂直磁
化膜の微少部分にレーザー光などを照射してその微少部
分に磁気バブルを形成させて情報を記録する光磁気記録
方式が開発されている。これらの記録方式に於ける記録
媒体の磁気記録材料は、磁化が膜面に垂直に向くように
垂直異方性を有すること、安定な磁気バブルを形成する
こと、経時変化が小さく安定であることが要求される。
特に、垂直磁気記録にあっては、保磁力（Ｈｃ）が数１
００−２０００エルステツドであること、磁化が高いこ
となどの条件を満足させることが要求されるが、光磁気
記録媒体の磁気記録材料としては更に、 （１）キュリ一温度または磁気補償温度が１００〜３０
０℃の範囲にあること、 （２）カー（ｋｅｒｒ）回転角または７アラデイ回転角
が大きいこと、などが要求される。これらの条件を満足
するためには、材料特性として、（イ）垂直−軸異方性
を有すること、 （ロ）異方性磁界（Ｈｋ）が反磁界（Ｈｄ＝ ４ ｙｒ
Ｍｓ）より大きいこと、 （ハ）キュリ一温度または磁気補償温度が１００〜３０
０℃の範囲にあること、 （ニ）カー効果またはフェライト系ができるだけ大きい
こと、 などが要求されるが、従来の磁気記録材料では、これら
の条件を総て満足させることは困難であった。
００−２０００エルステツドであること、磁化が高いこ
となどの条件を満足させることが要求されるが、光磁気
記録媒体の磁気記録材料としては更に、 （１）キュリ一温度または磁気補償温度が１００〜３０
０℃の範囲にあること、 （２）カー（ｋｅｒｒ）回転角または７アラデイ回転角
が大きいこと、などが要求される。これらの条件を満足
するためには、材料特性として、（イ）垂直−軸異方性
を有すること、 （ロ）異方性磁界（Ｈｋ）が反磁界（Ｈｄ＝ ４ ｙｒ
Ｍｓ）より大きいこと、 （ハ）キュリ一温度または磁気補償温度が１００〜３０
０℃の範囲にあること、 （ニ）カー効果またはフェライト系ができるだけ大きい
こと、 などが要求されるが、従来の磁気記録材料では、これら
の条件を総て満足させることは困難であった。
（発明が解決しようとする問題点）
従来、前記垂直磁気記録に於ける磁気記録媒体の材料と
しては、Ｃｏ−Ｃｒ系、Ｃｏ −Ｖ系、Ｂａ−フェライ
ト系、Ｎ１−Ｃｏ−ＰｌＣｏ Ｎｉ−Ｍｎ−Ｐなどが
あるが、特に注目されているのはＣｏ−Ｃｒ系、Ｂａ−
７エライト系塗布膜である。しかしながら、これらの磁
気記録材料では、垂直磁気記録媒体として要求される特
性、特に、安定な磁気バブルを形成できること、経時変
化が小さく安定で蔦ることなどを充分に満足させること
ができないという問題があった。
しては、Ｃｏ−Ｃｒ系、Ｃｏ −Ｖ系、Ｂａ−フェライ
ト系、Ｎ１−Ｃｏ−ＰｌＣｏ Ｎｉ−Ｍｎ−Ｐなどが
あるが、特に注目されているのはＣｏ−Ｃｒ系、Ｂａ−
７エライト系塗布膜である。しかしながら、これらの磁
気記録材料では、垂直磁気記録媒体として要求される特
性、特に、安定な磁気バブルを形成できること、経時変
化が小さく安定で蔦ることなどを充分に満足させること
ができないという問題があった。
他方、光磁気記録媒体の材料としては、ＹＧａＦｅｄ、
ＴｂＦｅ０．ＧｄＩＧなどの単結晶、ＭｎＢ１、ＭｎＣ
ｕＢ１．ＰｔＣｏなどの多結晶、Ｇ ｄ Ｃｏ ＳＧ
ｄ Ｆｅ、ＴｂＦｅ％ＧｄＴｂＦｅ、Ｇ’ｄＴｂＦｅＣ
ｏなどの７モル７アス磁性体などが知られている。この
うち、アモルファス磁性体は、スパッタリング法などに
より薄膜化され、その製造過程で垂直−軸異方性が付与
され、キュリ一温度書き込みと磁気補償温度書外込みの
両方で書き込みが可能であり、異方性磁界（Ｈｋ）も反
磁界（Ｈｄ＝４πＭｓ）より大きく、数にエルステッド
の値を有し、また組成をコントロールすることによりキ
ュリ一温度または磁気補償温度を１００〜３００℃の範
囲に設定で軽るという利点を有している。しかしながら
、このアモルファス磁性体薄膜は化学的に不安定なため
、大気中の水分または酸素により酸化反応を生じ、経時
的劣化を引き起こすという難点がある。この酸化反応を
防止するために、前記アモルファス磁性体薄膜の上にＳ
ｉ Ｏ２膜、窒化アルミニウム膜などの保護膜を形成
する手段が講じられて＋ｉいるが、それでもなお完全な
酸化防止が図られていないのが現状である。また、アモ
ルファス磁性体薄膜は磁気カー回転角（θｋ）が小さく
、しかも概ねＧｃｌ、Ｃｏ％Ｔｂといった希少元素で構
成されているため、非常に高価な材料であり、コストが
高いという難点もあった。
ＴｂＦｅ０．ＧｄＩＧなどの単結晶、ＭｎＢ１、ＭｎＣ
ｕＢ１．ＰｔＣｏなどの多結晶、Ｇ ｄ Ｃｏ ＳＧ
ｄ Ｆｅ、ＴｂＦｅ％ＧｄＴｂＦｅ、Ｇ’ｄＴｂＦｅＣ
ｏなどの７モル７アス磁性体などが知られている。この
うち、アモルファス磁性体は、スパッタリング法などに
より薄膜化され、その製造過程で垂直−軸異方性が付与
され、キュリ一温度書き込みと磁気補償温度書外込みの
両方で書き込みが可能であり、異方性磁界（Ｈｋ）も反
磁界（Ｈｄ＝４πＭｓ）より大きく、数にエルステッド
の値を有し、また組成をコントロールすることによりキ
ュリ一温度または磁気補償温度を１００〜３００℃の範
囲に設定で軽るという利点を有している。しかしながら
、このアモルファス磁性体薄膜は化学的に不安定なため
、大気中の水分または酸素により酸化反応を生じ、経時
的劣化を引き起こすという難点がある。この酸化反応を
防止するために、前記アモルファス磁性体薄膜の上にＳ
ｉ Ｏ２膜、窒化アルミニウム膜などの保護膜を形成
する手段が講じられて＋ｉいるが、それでもなお完全な
酸化防止が図られていないのが現状である。また、アモ
ルファス磁性体薄膜は磁気カー回転角（θｋ）が小さく
、しかも概ねＧｃｌ、Ｃｏ％Ｔｂといった希少元素で構
成されているため、非常に高価な材料であり、コストが
高いという難点もあった。
前記磁性アモルファス磁性体薄膜の欠点を解消するため
に、酸化物磁性体を光磁気記録媒体として使用する試み
が行なわれている。特に、研究の対象となっているＢａ
７エライトを中心とするマグネトブランバイト型酸化物
は、Ｃ軸に結晶磁気異方性を有し、高い保磁力を有する
という利点を有している。しかしながら、キュリ一温度
が４５０〜５００℃と極めて高いという問題がある。こ
の問題はＡ１、Ｇｅなど非磁性元素を置換固溶させるこ
とにより解決されるが、キュリ一温度を１０θ〜３００
℃にまで下げるには極めて多量の置換が必要であり、そ
の結果、磁気特性が大幅に低下するため、実用上難点が
ある。
に、酸化物磁性体を光磁気記録媒体として使用する試み
が行なわれている。特に、研究の対象となっているＢａ
７エライトを中心とするマグネトブランバイト型酸化物
は、Ｃ軸に結晶磁気異方性を有し、高い保磁力を有する
という利点を有している。しかしながら、キュリ一温度
が４５０〜５００℃と極めて高いという問題がある。こ
の問題はＡ１、Ｇｅなど非磁性元素を置換固溶させるこ
とにより解決されるが、キュリ一温度を１０θ〜３００
℃にまで下げるには極めて多量の置換が必要であり、そ
の結果、磁気特性が大幅に低下するため、実用上難点が
ある。
従って、本発明は、磁気特性の経時的変化が小さく、垂
直磁気記録、光磁気記録に要求される緒特性を満足させ
る磁気記録材料を提供することを目的とする。具体的に
は、垂直磁気記録媒体として要求される垂直異方性が得
られ、高い保磁力を有する磁気記録材料を提供すること
を目的とする。
直磁気記録、光磁気記録に要求される緒特性を満足させ
る磁気記録材料を提供することを目的とする。具体的に
は、垂直磁気記録媒体として要求される垂直異方性が得
られ、高い保磁力を有する磁気記録材料を提供すること
を目的とする。
また、具体的には、光磁気記録媒体として要求される垂
直異方性が得られ、高い保磁力を有し、かつ、キュリ一
温度が低く、更にはカー効果またはフェライト系が大き
い磁気記録材料を提供することを目的とする。
直異方性が得られ、高い保磁力を有し、かつ、キュリ一
温度が低く、更にはカー効果またはフェライト系が大き
い磁気記録材料を提供することを目的とする。
（問題点を解決するための手段）
本発明者等は、コバルトフェライト系磁性体に付いて研
究した結果、驚くべきことに、コバルトフェライト系に
おいて、化学量論的組成よりもＦｅを過剰に含む、いわ
ゆる鉄過剰の組成にすると、高い保磁力が得られること
を見出だした。更に、コバル）フェライトのＦｅ過剰の
組成に於いて、Ｆｅの一部をＡ１で置換することによっ
て、保磁力を大幅に向上させ、Ｈｋ＞４πＭｓの条件を
満足させると同時に、キュリ一温度を低下させることが
できることを見出だした。本発明はこのような知見にも
とすいて完成されたものである。
究した結果、驚くべきことに、コバルトフェライト系に
おいて、化学量論的組成よりもＦｅを過剰に含む、いわ
ゆる鉄過剰の組成にすると、高い保磁力が得られること
を見出だした。更に、コバル）フェライトのＦｅ過剰の
組成に於いて、Ｆｅの一部をＡ１で置換することによっ
て、保磁力を大幅に向上させ、Ｈｋ＞４πＭｓの条件を
満足させると同時に、キュリ一温度を低下させることが
できることを見出だした。本発明はこのような知見にも
とすいて完成されたものである。
即ち、本発明によれば、前記目的は、酸化コバルト、酸
化鉄及び酸化アルミニウムからなり、これを一般式で表
したとき： ＣｏＸ（Ｆｅ１−ｙＡｌｙ）３−Ｘｏ４（式中、０ ＜
ｘ＜ １、ｙ≦０．７５である）で示される組成を有す
ることを特徴とする磁気記録材料を提供することにより
達成される。
化鉄及び酸化アルミニウムからなり、これを一般式で表
したとき： ＣｏＸ（Ｆｅ１−ｙＡｌｙ）３−Ｘｏ４（式中、０ ＜
ｘ＜ １、ｙ≦０．７５である）で示される組成を有す
ることを特徴とする磁気記録材料を提供することにより
達成される。
本発明に係る磁気記録材料の組成に於いて、Ｘ、ｙを前
記範囲に限定したのは次の理由による。即ち、×スＯで
は本発明の磁気記録材料であるＣｏ７エライトを構成せ
ず、所定の特性を有するものが得られないからであり、
Ｘ≧１では高い保磁力が得られないからである。また、
ｙが０．７５を越えると、Ａ１が過剰になＱ４ｘＭｓが
低下し、磁気ヘッドの再生出力および磁気光学効果が充
分に得られなくなるからである。
記範囲に限定したのは次の理由による。即ち、×スＯで
は本発明の磁気記録材料であるＣｏ７エライトを構成せ
ず、所定の特性を有するものが得られないからであり、
Ｘ≧１では高い保磁力が得られないからである。また、
ｙが０．７５を越えると、Ａ１が過剰になＱ４ｘＭｓが
低下し、磁気ヘッドの再生出力および磁気光学効果が充
分に得られなくなるからである。
本発明に係る磁気記録材料は、膜状の形態でも有用なも
のである。即ち、スパッタリング法、真空蒸着法、イオ
ンブレーティング法、無電解メッキ法などの膜形成手段
で形成された膜状の磁気記録材料は、膜面に垂直な方向
に磁化容易軸を有するもので、垂直磁気記録媒体、光磁
気記録媒体として特に有用である。
のである。即ち、スパッタリング法、真空蒸着法、イオ
ンブレーティング法、無電解メッキ法などの膜形成手段
で形成された膜状の磁気記録材料は、膜面に垂直な方向
に磁化容易軸を有するもので、垂直磁気記録媒体、光磁
気記録媒体として特に有用である。
更に、前記膜形成手段で形成する際、磁場中で冷却した
膜状の磁気記録材料は、垂直異方性の点で特に優れたも
のである。
膜状の磁気記録材料は、垂直異方性の点で特に優れたも
のである。
（実施例）
以下、本発明を実施例に従って詳細に説明する。
なお、この実施例では、便宜上、保磁力Ｈｅを特性評価
対象としているが、ＨｋはＨｅよりも大きな値をとるこ
とが広く認識されてちり、少なくともＨｅ＞４πＭｓな
らば、Ｈｋ＞４πＭｓが成立しうろことを予め付記して
おく。
対象としているが、ＨｋはＨｅよりも大きな値をとるこ
とが広く認識されてちり、少なくともＨｅ＞４πＭｓな
らば、Ｈｋ＞４πＭｓが成立しうろことを予め付記して
おく。
実施例１
Ｃ０２０−１Ｆｅ２０．、Ａｌ２Ｏ，の各原料を用意し
、各原料を第１表の組成比率のものが得られるように秤
量した６得られた各混合物を水と共にボールミルに投入
し、４時間混合した後、脱水、乾燥した。次いで、電気
炉にて９００℃で２時間仮焼した。仮焼物を水と共にボ
ールミルに投入し、２４時闇−粉砕した後、得られた粉
末にバインダを加え、脱水、乾燥し、粉末プレス機によ
り１０００ｋｇ／ｃＩｌ＋２の圧力で成形した。この成
形物を電気炉にて１３００℃で２時間焼成した。
、各原料を第１表の組成比率のものが得られるように秤
量した６得られた各混合物を水と共にボールミルに投入
し、４時間混合した後、脱水、乾燥した。次いで、電気
炉にて９００℃で２時間仮焼した。仮焼物を水と共にボ
ールミルに投入し、２４時闇−粉砕した後、得られた粉
末にバインダを加え、脱水、乾燥し、粉末プレス機によ
り１０００ｋｇ／ｃＩｌ＋２の圧力で成形した。この成
形物を電気炉にて１３００℃で２時間焼成した。
得られたセラミックスの特性を測定し、その結果を第２
表に示す。
表に示す。
なお、第１表および第２表中、京を付したものは本発明
の範囲外の組成を有するものであり、他のものは本発明
の範囲内のものである。
の範囲外の組成を有するものであり、他のものは本発明
の範囲内のものである。
第１表
試料 モル％ Ｃｏｘ（Ｆｅ＋
−ｙＡｌｙ）ｚ−ｘＯ。
−ｙＡｌｙ）ｚ−ｘＯ。
番号 ＣｏＯＦｅｄ、八 八ＩＯ＊／ｚ ｘ
１−ｙ ｙ ３−ｙへ１１４０ ６０
− １．２ １．０ ０．８ １．８＾２＊
４０ ４５ １５． １．２ ０．７５ ０
．２５ １．８＾３本 ４０ ３０ ３（＋
１．２ ０．５０ ｏ、ｓｏ ｔ、ｓ＾４本４０
１５４５１．２０．２５０．７５１．８８１＊ ３３
．３ ６６．６ − １．０ １．０ ０．０
２．ＯＢ２＊ ３３．３ ５０．０ １６．７
１．０ ０．７５ ＋）、２５ ２．０８３車３３
．３ ３”ｄ、３ ３３．３ １．０ ０．５０
０．５０ ２．０８４１ ３３．３ １６．７ ５０
．０ １．０ ０．２５ ０．７５ ２．０Ｃ１本
２５．０ ７５．０ − ０
．７５ １．０ ０．０ ２．２
５Ｃ２２５，０５Ｂ、２ １Ｂ、８ ０．７５ ０．
７５’０．２５ ２．２５Ｃ３２５，０３７，５３７，
５０，７５０，５００，５０２，２５Ｃ４２５，０１Ｂ
、８ ５Ｂ、２ ０．７４） ０．２５ ０．７５
２．２５Ｄ１本１６，７ ８３．３ − ０．５
０ １．０ ０．０ ２．５０Ｄ２ １８，７ ６
２．５ ２０．８ ０．５０ ０．７５ ０．２５
２．５００３ １６．７ ４１．７ ４１．７
．０．５０ ０．５０ ０．５（１２，５０Ｄ４
Ｉ８．７ ２０．８ Ｂ２．５ ０，５０ ０．
２５ ０．７５ ２．５０Ｅ１＊ １１，１ ８８
．８ − ０．３３３ １．０ ０．０ ２．
６６Ｂ −Ｅ２ １１．１ ６８，６
２２．２ ０．３３３ ０．７５ ０．２５ ２．６
６６Ｅ３’ １１．１ ４４．４ ４４．４ ０．
３３３ ０．５０ ｏ、ｓｏ ２．ｅｅｅＥ４
１１，１ ２２．２ ６８．６ ’０．３３Ｂ
０．２５ ０．７５ ２．６６８第２表 試料 ４ｓＭｓ Ｈｅ キュリ一温度（Ｔ
ｃ）番号 （Ｇ） （Ｏｅ） （’
Ｃ）Ａｌｘ ３６００ ２６０ ４５０Ａ２木
１７００ ２５０ ２５０Ａ３＊ ６００
２５０ ’１００Ａ４本 −−− Ｂｉｘ ３７００ ７００ ５００Ｂ２＊
２０００ ２６０ ３８０Ｄ３本 ９００
２３０ １６０Ｂ４＊−−− ０１本 ２７００ ６４０ ５３０Ｃ２２０００
８９０４００ Ｃ３５ｏｃｉ １４００ ２２０Ｃ４１５０３０
０１００ Ｄ１本 ２２００ ７００ ６ｏ。
１−ｙ ｙ ３−ｙへ１１４０ ６０
− １．２ １．０ ０．８ １．８＾２＊
４０ ４５ １５． １．２ ０．７５ ０
．２５ １．８＾３本 ４０ ３０ ３（＋
１．２ ０．５０ ｏ、ｓｏ ｔ、ｓ＾４本４０
１５４５１．２０．２５０．７５１．８８１＊ ３３
．３ ６６．６ − １．０ １．０ ０．０
２．ＯＢ２＊ ３３．３ ５０．０ １６．７
１．０ ０．７５ ＋）、２５ ２．０８３車３３
．３ ３”ｄ、３ ３３．３ １．０ ０．５０
０．５０ ２．０８４１ ３３．３ １６．７ ５０
．０ １．０ ０．２５ ０．７５ ２．０Ｃ１本
２５．０ ７５．０ − ０
．７５ １．０ ０．０ ２．２
５Ｃ２２５，０５Ｂ、２ １Ｂ、８ ０．７５ ０．
７５’０．２５ ２．２５Ｃ３２５，０３７，５３７，
５０，７５０，５００，５０２，２５Ｃ４２５，０１Ｂ
、８ ５Ｂ、２ ０．７４） ０．２５ ０．７５
２．２５Ｄ１本１６，７ ８３．３ − ０．５
０ １．０ ０．０ ２．５０Ｄ２ １８，７ ６
２．５ ２０．８ ０．５０ ０．７５ ０．２５
２．５００３ １６．７ ４１．７ ４１．７
．０．５０ ０．５０ ０．５（１２，５０Ｄ４
Ｉ８．７ ２０．８ Ｂ２．５ ０，５０ ０．
２５ ０．７５ ２．５０Ｅ１＊ １１，１ ８８
．８ − ０．３３３ １．０ ０．０ ２．
６６Ｂ −Ｅ２ １１．１ ６８，６
２２．２ ０．３３３ ０．７５ ０．２５ ２．６
６６Ｅ３’ １１．１ ４４．４ ４４．４ ０．
３３３ ０．５０ ｏ、ｓｏ ２．ｅｅｅＥ４
１１，１ ２２．２ ６８．６ ’０．３３Ｂ
０．２５ ０．７５ ２．６６８第２表 試料 ４ｓＭｓ Ｈｅ キュリ一温度（Ｔ
ｃ）番号 （Ｇ） （Ｏｅ） （’
Ｃ）Ａｌｘ ３６００ ２６０ ４５０Ａ２木
１７００ ２５０ ２５０Ａ３＊ ６００
２５０ ’１００Ａ４本 −−− Ｂｉｘ ３７００ ７００ ５００Ｂ２＊
２０００ ２６０ ３８０Ｄ３本 ９００
２３０ １６０Ｂ４＊−−− ０１本 ２７００ ６４０ ５３０Ｃ２２０００
８９０４００ Ｃ３５ｏｃｉ １４００ ２２０Ｃ４１５０３０
０１００ Ｄ１本 ２２００ ７００ ６ｏ。
Ｄ２ １７００ ２４００ ５１０Ｄ３ １１
００ ３８００ ２５０Ｄ４ ４（）０ １０
００ ２２０Ｅ１＊ １７００ ６８０
６００Ｅ２ １２００ ２０００ ５１０Ｅ３
８００ ３６００ ３８０Ｅ４ ５００
３４００ ３６０第２表中の４ｓＭｓ、Ｈｅ、キュ
リ一温度は振動試料型磁力計で測定した。
００ ３８００ ２５０Ｄ４ ４（）０ １０
００ ２２０Ｅ１＊ １７００ ６８０
６００Ｅ２ １２００ ２０００ ５１０Ｅ３
８００ ３６００ ３８０Ｅ４ ５００
３４００ ３６０第２表中の４ｓＭｓ、Ｈｅ、キュ
リ一温度は振動試料型磁力計で測定した。
第１図〜第５図は第１表に示した各組成について、Ａｌ
量と各特性の関係を示す図である。
量と各特性の関係を示す図である。
図から明らかなように、この発明にかかるものはＨｅが
高いとともに、低いキュリ一温度（Ｈａ）を有するもの
が得られている。
高いとともに、低いキュリ一温度（Ｈａ）を有するもの
が得られている。
特に好ましくは、０．３３≦ｘ＜１．０＜ｙ≦０゜５の
範囲で良好な特性が得られている。
範囲で良好な特性が得られている。
また、第２表から、Ｃｏ７エライトの化学量論組成より
もＣｏ量を減少させることにより、４ｓＭｓは小さくな
るものの、Ｈｅは大きくなることがわかる。特にｘ＝０
．７５，０．５，０．３３ではＦｅの一部をＡ１で置換
することによりＨｅが２０００〜４００００ｅと大きい
値を示すものが得られている。また、ＴｃもＡ１を存在
させることによって低くなり、光磁気記録媒体に必要な
値を満足している。
もＣｏ量を減少させることにより、４ｓＭｓは小さくな
るものの、Ｈｅは大きくなることがわかる。特にｘ＝０
．７５，０．５，０．３３ではＦｅの一部をＡ１で置換
することによりＨｅが２０００〜４００００ｅと大きい
値を示すものが得られている。また、ＴｃもＡ１を存在
させることによって低くなり、光磁気記録媒体に必要な
値を満足している。
実施例２
実施例１の各試料のうち、試料番号Ｃ３，Ｄ３゜Ｅ３の
組成のものをターゲットとし、石英がラス支持体上にス
パッタリング法により Ｃｏ Ｘ（Ｆｅ１−ｙＡｌ、 ）３−２０４からなる垂
直磁化膜を形成した。
組成のものをターゲットとし、石英がラス支持体上にス
パッタリング法により Ｃｏ Ｘ（Ｆｅ１−ｙＡｌ、 ）３−２０４からなる垂
直磁化膜を形成した。
垂直磁化膜の作成条件を以下に示す。
残留ガス圧 ８ Ｘ １０−’ＴｏｒｒＯ２
ガス圧 ５ Ｘ １０−’Ｔｏｒ？（Ａｒ＋
０２）ｆｆス圧 ２ Ｘ １０−２Ｔｏｒｒ放電電
力 ４００Ｗ プレスパツタ時間 ３０（１）ｉｎメインスパツ
−少時間 １２０ｍ１ｎ基板温度 ４５
０℃ 膜 厚 ２０００人得られた膜を空
気中に取り出し、４００℃まで昇温したのち、膜面に垂
直な方向に約２ＫＯｅの直流磁場をかけ、そのままの状
態で室温まで冷却した。
ガス圧 ５ Ｘ １０−’Ｔｏｒ？（Ａｒ＋
０２）ｆｆス圧 ２ Ｘ １０−２Ｔｏｒｒ放電電
力 ４００Ｗ プレスパツタ時間 ３０（１）ｉｎメインスパツ
−少時間 １２０ｍ１ｎ基板温度 ４５
０℃ 膜 厚 ２０００人得られた膜を空
気中に取り出し、４００℃まで昇温したのち、膜面に垂
直な方向に約２ＫＯｅの直流磁場をかけ、そのままの状
態で室温まで冷却した。
この磁化膜について、４ｓＭｓ、ＨｃおよびＴｃを測定
したところ、第３表のような効果を示した。
したところ、第３表のような効果を示した。
第３表
試料 ４ｙｒＭｓ Ｈｅ Ｔｃ番
号 （Ｇ） （Ｏｅ） （’Ｃ）Ｃ
３８５０１５００，２３０ Ｄ ３ １２００ ４０００ ２６０Ｅ３
９００ ３８００ ４００なお、特性の
評価は振動試料型磁力計により求めた。
号 （Ｇ） （Ｏｅ） （’Ｃ）Ｃ
３８５０１５００，２３０ Ｄ ３ １２００ ４０００ ２６０Ｅ３
９００ ３８００ ４００なお、特性の
評価は振動試料型磁力計により求めた。
ｗｋ３表の結果を第２表と比較した場合、はぼ、近似し
た値を示しており、膜の組成は焼結体の組成組成に比べ
てほとんどズレのないものであると判断できる。
た値を示しており、膜の組成は焼結体の組成組成に比べ
てほとんどズレのないものであると判断できる。
第６図はＣｏｏ、７ｓ（Ｆｅｏ、ｓＡｌ。、５）２．２
５０．の磁化膜のヒステリシスループを示す。第６図か
らこの磁化膜が膜面に垂直な方向に磁化容易軸を有して
いることがわかる。なお、図中実線は磁化膜に対して垂
直方向のヒステリシスループを示し、破線は磁化膜に対
して平行方向のヒステリシスループを示す。
５０．の磁化膜のヒステリシスループを示す。第６図か
らこの磁化膜が膜面に垂直な方向に磁化容易軸を有して
いることがわかる。なお、図中実線は磁化膜に対して垂
直方向のヒステリシスループを示し、破線は磁化膜に対
して平行方向のヒステリシスループを示す。
また、 Ｃｏｏ、７ｓ（Ｆｅｏ、７ｓＡｌｏ、２ｓ）ｚ
、ａｓｏ＜ からなる磁化膜のλ＝７８０ｎｍでの７７
２ディ回転角Ｆおよび吸収係数αは Ｆ＝１．ｌＸ１０−’ｄｅｇ−ｃｍ ’α＝１．３Ｘ１
０−’ａｍ−’ となり、磁気光学性能指数ψ＝１２Ｆ／ｌはψ＝１．６
９ｄｅｇ と大きい値を示しており、光磁気記録媒体として優れた
特性と有している。
、ａｓｏ＜ からなる磁化膜のλ＝７８０ｎｍでの７７
２ディ回転角Ｆおよび吸収係数αは Ｆ＝１．ｌＸ１０−’ｄｅｇ−ｃｍ ’α＝１．３Ｘ１
０−’ａｍ−’ となり、磁気光学性能指数ψ＝１２Ｆ／ｌはψ＝１．６
９ｄｅｇ と大きい値を示しており、光磁気記録媒体として優れた
特性と有している。
なお、上記した実施例では磁場中冷却した磁化膜につい
て特性を測定したが、磁場中冷却していない磁化膜は７
アラデイ回転角Ｆは多少劣るものの実用的性能を有して
いることが判明している。
て特性を測定したが、磁場中冷却していない磁化膜は７
アラデイ回転角Ｆは多少劣るものの実用的性能を有して
いることが判明している。
また、支持体として石英ガラスを用いたが、その他、プ
ラスチック、セラミックス、金属などがイ吏用できる。
ラスチック、セラミックス、金属などがイ吏用できる。
さらに、磁化膜と支持体との間、あるいは磁化膜の上面
に、高透磁率層、保護層、断熱層、反射層などが任意に
設けられる。
に、高透磁率層、保護層、断熱層、反射層などが任意に
設けられる。
さらにまた、膜形成手段はスパッタリング手段であった
が、その他真空蒸着法、イオンブレーティング法、無電
解メッキ法などが使用できる。
が、その他真空蒸着法、イオンブレーティング法、無電
解メッキ法などが使用できる。
（効果）
以上の各実施例から明らかなように、この発明によれば
、Ｃｏ’７エライトのＦｅを過剰とし、さらに、Ｆｅの
一部をＡＩで置換することにより、垂直異方性が得られ
る一方、高い保磁力（Ｈｃ）を有し、キュリ一温度が低
く、さらにはカー効果または７７ラデイ効果の大きい磁
気記録媒体を提供することができる。また、本発明に係
る磁気記録媒体は、垂直磁気記録、光磁気記録の媒体と
しての用途に有用なものである。
、Ｃｏ’７エライトのＦｅを過剰とし、さらに、Ｆｅの
一部をＡＩで置換することにより、垂直異方性が得られ
る一方、高い保磁力（Ｈｃ）を有し、キュリ一温度が低
く、さらにはカー効果または７７ラデイ効果の大きい磁
気記録媒体を提供することができる。また、本発明に係
る磁気記録媒体は、垂直磁気記録、光磁気記録の媒体と
しての用途に有用なものである。
第１図〜第５図はＡＩ量と各特性の関係を示す図、第６
図はＣｏｏ、７−（Ｆｅ０．５ＡＩ−，５）２．２５０
＝の磁化膜のヒステリシスループを示す図である。 特 許 出 願 人 株式会社村田製作所同 上
株式会社 リコー 代 理 人 弁理士 青白 葆 ほか２名第１区 Ｃｏ ＩＦ＠１−ｙＡｊｙ）、、Ｏ。 □ ＾産量ｔｙ＞ 第２図 Ｃｏ 、 ｌＦｓ＋−ｙＡＪｙ１２０４−◆Ａ＃量Ｉｙ
）
図はＣｏｏ、７−（Ｆｅ０．５ＡＩ−，５）２．２５０
＝の磁化膜のヒステリシスループを示す図である。 特 許 出 願 人 株式会社村田製作所同 上
株式会社 リコー 代 理 人 弁理士 青白 葆 ほか２名第１区 Ｃｏ ＩＦ＠１−ｙＡｊｙ）、、Ｏ。 □ ＾産量ｔｙ＞ 第２図 Ｃｏ 、 ｌＦｓ＋−ｙＡＪｙ１２０４−◆Ａ＃量Ｉｙ
）
Claims (3)
- （１）酸化コバルト、酸化鉄及び酸化アルミニウムから
なり、これを一般式で表したとき： Ｃｏ＿ｘ（Ｆｅ＿１＿−＿ｙＡｌ＿ｙ）＿３＿−＿ｘＯ
＿４（式中、０＜ｘ＜１、ｙ≦０．７５である）で示さ
れる組成を有することを特徴とする磁気記録材料。 - （２）薄膜状の形態を有し、膜面に垂直方向の磁化容易
軸を有する特許請求の範囲第１項記載の磁気記録材料。 - （３）前記薄膜が磁場中冷却することにより形成された
薄膜である特許請求の範囲第２項記載の磁気記録材料。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59153499A JPH0646617B2 (ja) | 1984-07-23 | 1984-07-23 | 光磁気記録材料の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59153499A JPH0646617B2 (ja) | 1984-07-23 | 1984-07-23 | 光磁気記録材料の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6132407A true JPS6132407A (ja) | 1986-02-15 |
| JPH0646617B2 JPH0646617B2 (ja) | 1994-06-15 |
Family
ID=15563893
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59153499A Expired - Lifetime JPH0646617B2 (ja) | 1984-07-23 | 1984-07-23 | 光磁気記録材料の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0646617B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6379227A (ja) * | 1986-09-22 | 1988-04-09 | Kanegafuchi Chem Ind Co Ltd | 垂直磁気記録媒体 |
| JP2008044805A (ja) * | 2006-08-11 | 2008-02-28 | Toda Kogyo Corp | 赤外線反射能を有する黒色系複合酸化物粒子粉末及びその製造方法、並びに黒色系顔料、該赤外線反射能を有する黒色系顔料を用いた塗料及び樹脂組成物 |
| JP2011091429A (ja) * | 2002-06-28 | 2011-05-06 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | 磁性トンネル接合 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101648075B1 (ko) * | 2016-01-29 | 2016-08-23 | 대구대학교 산학협력단 | 이산화탄소를 이용한 여과막의 스케일 저감 장치 및 그를 이용한 방법 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5124241A (en) * | 1974-08-22 | 1976-02-27 | Canon Kk | Mamokonadono ridatsuboshiho |
| JPS5623296A (en) * | 1980-06-27 | 1981-03-05 | Kinzoku Kako Gijutsu Kenkyusho:Kk | Bright tin-cobalt alloy plating liquid |
| JPS60204691A (ja) * | 1984-03-28 | 1985-10-16 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | Ｃｏフエライト垂直磁化膜の製造方法 |
| JPS60263357A (ja) * | 1984-06-11 | 1985-12-26 | Ricoh Co Ltd | 光磁気記録媒体 |
-
1984
- 1984-07-23 JP JP59153499A patent/JPH0646617B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5124241A (en) * | 1974-08-22 | 1976-02-27 | Canon Kk | Mamokonadono ridatsuboshiho |
| JPS5623296A (en) * | 1980-06-27 | 1981-03-05 | Kinzoku Kako Gijutsu Kenkyusho:Kk | Bright tin-cobalt alloy plating liquid |
| JPS60204691A (ja) * | 1984-03-28 | 1985-10-16 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | Ｃｏフエライト垂直磁化膜の製造方法 |
| JPS60263357A (ja) * | 1984-06-11 | 1985-12-26 | Ricoh Co Ltd | 光磁気記録媒体 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6379227A (ja) * | 1986-09-22 | 1988-04-09 | Kanegafuchi Chem Ind Co Ltd | 垂直磁気記録媒体 |
| JPH0416849B2 (ja) * | 1986-09-22 | 1992-03-25 | Kanegafuchi Chemical Ind | |
| JP2011091429A (ja) * | 2002-06-28 | 2011-05-06 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | 磁性トンネル接合 |
| JP2008044805A (ja) * | 2006-08-11 | 2008-02-28 | Toda Kogyo Corp | 赤外線反射能を有する黒色系複合酸化物粒子粉末及びその製造方法、並びに黒色系顔料、該赤外線反射能を有する黒色系顔料を用いた塗料及び樹脂組成物 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0646617B2 (ja) | 1994-06-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4690861A (en) | Magneto optical recording medium | |
| US4544602A (en) | Magneto-optical recording medium having a ferrimagnetic recording layer | |
| EP0290263A1 (en) | Platelike magnetic powder and its manufacturing method and a recording medium which use the platelike magnetic powder | |
| US5382305A (en) | Soft magnetic thin film | |
| JP2896193B2 (ja) | 酸化物結晶配向膜の製造方法及び酸化物結晶配向膜並びに光磁気記録媒体 | |
| US5492775A (en) | Barium ferrite thin film for longitudinal recording | |
| US5432645A (en) | Magnetic head-forming thin film | |
| JPS6115308A (ja) | 光磁気記録材料 | |
| JPH05282617A (ja) | 垂直磁化膜及びその製造法 | |
| JP2721205B2 (ja) | 非晶質酸化物磁性体及び磁心及び磁気記録媒体 | |
| JPS6132407A (ja) | 光磁気記録材料の製造方法 | |
| JP2924935B2 (ja) | 垂直磁化膜、垂直磁化膜用多層膜及び垂直磁化膜の製造法 | |
| US5686137A (en) | Method of providing hexagonal ferrite magnetic powder with enhanced coercive force stability | |
| JP2508479B2 (ja) | 軟磁性フエライト薄膜 | |
| JPS62137810A (ja) | 磁気記録材料 | |
| JPS63282944A (ja) | 光熱磁気記録媒体 | |
| Hansen et al. | Garnets and ferrites for magneto-optical recording | |
| JP2595638B2 (ja) | 光磁気記録媒体およびその製造方法 | |
| JPS62137811A (ja) | 磁気記録材料 | |
| JP2636813B2 (ja) | 軟磁性薄膜 | |
| JPS61188759A (ja) | 光磁気記録媒体 | |
| JPS63104243A (ja) | 光磁気記録素子 | |
| Naoe et al. | Sputter deposition of ferrite films and application for high density rigid disk media in contact mode | |
| JPH04236404A (ja) | フェライト磁性粉およびこれを用いた磁気記録媒体 | |
| JPH01229443A (ja) | 光磁気記録媒体 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |