JPS61292526A - 静電型レ−ザパワ−メ−タ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、レーザビームパワーを測定する、レーザパワ
ーメータに関するものである。

従来の技術 従来のレーザビームパワーメータは、第２図に示すよう
に、絶縁基板１３上に、蒸着等によりサーモカップル１
４を多数形成し、このサーモ力。

プルを直列接続しだサーモパイルを用いだ熱電堆型のも
のや、焦電性を有する薄膜エレメントを用いた焦電型の
ものがある。

発明が解決しようとする問題点 サーモバイルを用いた従来のパワーメータは、受光面に
黙示率の大きい金属を用いる必要があり、サーモカップ
ルとの間に絶縁膜を形成し々くてはならない。ところが
、この絶縁膜は熱に弱く、大パワーには適さない。

又、サーモカップルを多数形成することも容易でなく、
材料も比較的高価である。

焦電型のものは、高感度ではあるが微分型でありパワー
測定のだめに、光学系のチョ　ノビング機構を必要とす
る。

問題点を解決するだめの手段 本発明は、パワーメータのレーザビーム受光面に、バイ
メタルを材料とする平板電極と、これと対向するように
金属平板電極を設けたものである。

作　　用 レーザビーム受光面の温度が上昇すると、前記バイメタ
ル電極が変形し、前記電極間隙間の容量が変化する。そ
れにより、レーザビームバワーヲ知ることができる。

実施例 本発明の実施例を図面に基いて説明する。第１図におい
て、基板１はＮｉ・Ｆｅ等の低膨張率材料から成り、中
央部はレーザビーム入射面２、周囲の厚肉の部分はヒー
トシンクの機能を有する。環状平板３はＮｉ＊ＣｒａＦ
ｅ　等の高膨張率材料から成り、前記基板１の入射面側
に溶接され、バイメタル電極４を構成する。このバイメ
タル電極４にはパンチング孔があけられており、外周フ
ィン６ａ及び内周フィン５ｂはバイメタルのわん曲によ
り突出するようになっている。絶縁基板６上には環状の
銅箔電極７ａ及び７ｂが同心円上に設けられ、薄いスペ
ーサ８を介して、前記基板１に取りつけられフィン５ａ
及び５ｂと対向するようになっている。前記電極４，７
ａ、７ｂはそれぞれ、リード端子９，１０，１１と電気
的に接続されている。

前記レーザビーム入射面２にレーザビームが照射される
と、基板１の中央部から周辺部に向って負の温度勾配が
生じ、前記バイメタル電極４の温度が上昇し、前記フィ
ン５ａ及び５ｂはそれぞれ前記電極７ａ及びγｂ［接近
するように突出する。

その結果、前記バイメタル電極４と前記電極７ａ及び７
ｂとの間の静電容量が増加する。この静電容量変化の割
合は、それぞれ前記フィン５ａ及び５ｂの温度の関数に
なると考えられるので、２点間の温度差が知れ、レーザ
パワーが測定できる。

発明の効果 本発明のパワーメータは、サーモバイルを用いたパワー
メータのような絶縁膜を必要としないので、熱に強く、
大パワー測定も可能である。又蒸着等の工程がないため
製造が容易であり、材料コストも安くできる。しかも、
基板１と絶縁基板６との間隙距離を変えることによって
、測定レンジと感度とを広範囲に変えることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図ａ、ｂ、ｃは本発明の一実施例におけるパワーメ
ータの平面図、断側面図および裏面図、第２図は従来例
におけるパワーメータの平面図である。 １・・・・・・基板、２・・・・・・レーザビーム入射
面、３・・・・・・環状平板、４・・・・・・バイメタ
ル電極、ｓａ、ｓｂ・・・・・・外周及び内周フィン、
６・・・・・・絶縁基板、７ａ。 ７ｂ・・・・・・銅箔電極、８・・・・・・スペーサ、
９〜１１・・・・・・リード端子。 代理人の氏名　弁理士　中　尾　敏　男　ほか１名第１
区

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）円形のレーザビーム受光面と、この外側に位置す
   る環状のバイメタル電極と、このバイメタル電極と対向
   する環状の平板電極とを同心円上に２組備え、かつ前記
   電極間の静電容量の変化を検知する検出回路とを備えた
   静電型レーザパワーメータ。
2. （２）バイメタル電極に、コの字型の切り欠きによって
   形成される外周方向に向って自由度を持たせたフィン群
   を設けた特許請求の範囲第１項記載の静電型レーザパワ
   ーメータ。