JPS61259580A - サ−モパイル - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野１ この発明は、放射エネルギーを検出するサーモパイルの
温度補償に関するものである。

［従来の技術１ ４ノーエバイル型赤外線検出素子は、微少な熱電対群を
基板上に直列に形成し、受光部（温接点部）に放射エネ
ルギーを入射させ、非受光部（冷接点部）との温度差に
応じた電圧出力を取り出すようなものである。

被測定対象の温度が低くなると、冷接点部の温度が無視
できなくなり、濃度補償が必要となる。

通常は、サーミスタ等の淘劇検出器を、サーモパイル検
出素子のパッケージに外イー」けして接触させたりして
温度を測定し、温度補償を行っていた。

［この発明か解決しようどづる問題点］しかしながら、
このにうに、素子の外部の雰囲気渦電を測定する方法で
は、得られた温度はサーモパイルの冷接点部の実際の温
度とは異なり、正確な温度補償かなされない問題点があ
った。また、リーーモパイルと別に温度素子を設りるた
め部品点数を多く必要とし、取（＝Ｊ智が煩雑であった
。

この発明の目的は、以」−の点に鑑み、より正確な温度
補償を可能としたり゛−モバイルを提供することである
。

［問題点を解決するための手段］ この発明は、基板に形成されたサーモパイルの冷接点部
の少くとも一部にサーミスタ等の温度素子を設けるよう
にしたサーモパイルである。

［実施例１ ＠１図は、この発明の一実施例を示す平面説明図、第２
図は、断面説明図である。

図において、１は、ガラス、セラミック、高分子フィル
ム等よりなる絶縁性の基板で、この基板１上に、８１〜
Ｓ　ｂ等の異種金属よりなる複数の熱雷対２１．２２群
か、酒肴で交互に電気的に接続して放射状に形成されて
サーモバイルとされ、中心部か温接点部、外周部が冷接
点部とされいる。

熱雷対２１．２２群の一端の電極３．３より外部に電圧
用ノつが取り出せ、また、熱雷対２１．２２群の表面に
は、ＳｉＯ等よりなる絶縁膜４が蒸着等で形成され、中
心部には金ブラック等の黒化膜５が蒸着等で形成されて
いる。そして、基板１の裏面の熱雷対２１．２２群の冷
接点部に対応した全周または一部にスパッタリング等で
形成された薄膜のサーミスタ等よりなる温度素子６が設
けられている。

つまり、このサーモパイルにおいて、中心部の黒化膜５
に入射した放射エネルギーは、熱に変換され、温接点部
を加熱し、周辺の冷接点部との温度差を生じ、この濡ｍ
差に応じた電圧出力が端子３．３より取り出される。そ
して、冷接点部の温度は、濃度索子６により検出され、
温度補償用の信号として用いられ、より正しい測定を可
能としている。

また、調度素子６は、基板１の表面側の冷接点−３一 部に形成してもよく、このサーモパイル素子全体は、適
当な基台に設けられ、パッケージに収納されて使用され
る。

［発明の効果］ 以上述べたように、この発明は、サーモパイル素子の基
板の冷接点部に近接して薄膜サーミスタ等の調度素子を
設けて一体化し、温度補償を行っているので、余分な部
品は不要で、きわめて小型で、しかも、正確な冷接点温
度が迅速に検出でき、きわめて高精度の測定が可能であ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図、第２図は、この発明の一実施例を示す構成説明
図である。 １・・・基板、　２１．２２・・・熱電対（サーモバイ
ル）、　３・・・電極、　４・・・絶縁膜、　５・・・
黒化膜、６・・・温度素子

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、基板上に形成されたサーモパイルと、このサーモパ
   イルの冷接点部の少くとも一部に設けられた温度素子と
   を備えたことを特徴とするサーモパイル。 ２、前記温度素子として、薄膜サーミスタを用いたこと
   を特徴とする特許請求の範囲第１項記載のサーモパイル
   。