JPH0658821A - 温度センサー - Google Patents

温度センサー

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Publication number
JPH0658821A
JPH0658821A JP20935392A JP20935392A JPH0658821A JP H0658821 A JPH0658821 A JP H0658821A JP 20935392 A JP20935392 A JP 20935392A JP 20935392 A JP20935392 A JP 20935392A JP H0658821 A JPH0658821 A JP H0658821A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
temperature
phase transition
insulator
resistance
substance
Prior art date
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Pending
Application number
JP20935392A
Other languages
English (en)
Inventor
Junichiro Mizuki
純一郎 水木
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NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 簡単に、精度よく温度を測定する。 【構成】 ある温度で絶縁体−金属相転移を起こすヴァ
ナジウム酸化物（Ｖ2 Ｏ3 ）膜１の上面および下面に銅
２，３を蒸着することでサンドイッチ構造にし、全体を
被測温物に張り付けて銅２，３間の抵抗を測定できるよ
うにする。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、温度センサーに関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、温度を測定する場合に温度センサ
ーとしては、液体の熱膨張を利用した液体温度計、気体
などの圧力の温度変化を利用した圧力温度計、熱放射を
利用した放射温度計、熱起電力を利用した熱電対温度計
などが、「理科学辞典」、第４版、１９９１年刊行、１
９１頁に報告されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
従来の温度センサーは、温度変化に対するセンサー出力
の変化がわずかなために、それを精度よく観測すること
ができないという問題点があった。
【０００４】さらに、ある温度を観測して、一定以上、
あるいは一定以下でスイッチを入れたり、切ったりする
場合には、温度センサーからのシグナルを電気信号に変
えなければならず、複雑になるという問題点があった。
【０００５】本発明の目的は、このような従来の問題点
を解決し、簡単に、精度よく温度を測定することのでき
る温度センサーを提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、ある温度で絶
縁体−金属相転移を起こす物質と、前記物質を挟み込む
金属とからなることを特徴としている。
【０００７】
【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。
【０００８】図１は、本発明の温度センサーの一実施例
を示す横断面図である。図１に示す温度センサーは、あ
る温度で絶縁体−金属相転移（モットー転移）を起こす
物質であるヴァナジウム酸化物（Ｖ2 Ｏ3 ）を膜状にし
たヴァナジウム酸化物（Ｖ2Ｏ3 ）膜１の上面および下
面に、金属である銅（Ｃｕ）２，３を蒸着することでサ
ンドイッチ構造にしたものであり、全体を被測温物に張
り付け、銅２，３間の抵抗を測定できるようにしたもの
である。
【０００９】ヴァナジウム酸化物（Ｖ2 Ｏ3 ）膜１が絶
縁体の場合には、膜間には電流は流れないが、ある温度
Ｔｃで金属に相転移が起こった場合には、１０7 程度の
抵抗変化があり、非常に簡単に相転移が起こったことを
観測することができる。この相転移を起こす温度Ｔｃ
は、ヴァナジウム酸化物（Ｖ2 Ｏ3 ）膜１に固有のもの
であり、正確に一つの値に定められる。ゆえに、抵抗変
化を測定することで、正確に温度を測定することができ
る。
【００１０】図２は、本実施例の膜間の抵抗値の温度変
化を示す図であり、１５０℃で金属から絶縁体に相転移
しているのがわかる。
【００１１】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、相転移に
伴った抵抗変化が１０7 程度となるために、温度によっ
て絶縁体−金属相転移を起こす物質を金属で挟んだもの
の抵抗を測定することによって、非常に簡単に、しかも
正確に温度を測定することができるとともに、この抵抗
変化をそのまま電流変化に変換することができ、温度変
化を利用したスイッチに利用することができるという効
果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の温度センサーの一実施例を示す横断面
図である。
【図２】本実施例の膜間の抵抗値の温度変化を示す図で
ある。
【符号の説明】
１ ヴァナジウム酸化物（Ｖ2 Ｏ3 ）膜 ２ 銅 ３ 銅

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】ある温度で絶縁体−金属相転移を起こす物
    質と、 前記物質を挟み込む金属とからなることを特徴とする温
    度センサー。
JP20935392A 1992-08-06 1992-08-06 温度センサー Pending JPH0658821A (ja)

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Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0334094A2 (de) * 1988-03-19 1989-09-27 Tetra Laval Holdings & Finance SA Vorrichtung zum Anspritzen eines Kunststoffteiles an einen Papiertubus unter Verwendung eines Abstützteiles
FR2744079A1 (fr) * 1996-01-25 1997-08-01 Reydel Sa Panneau, notamment destine a l'habillage interieur des portieres de vehicules presentant au moins localement une zone d'aspect esthetique
WO2005078399A1 (ja) * 2004-02-16 2005-08-25 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. 赤外線撮像素子
KR100825762B1 (ko) * 2006-08-07 2008-04-29 한국전자통신연구원 금속-절연체 전이(ｍｉｔ) 소자의 불연속 ｍｉｔ를연속적으로 측정하는 회로 및 그 회로를 이용한 ｍｉｔ센서
JP2009503842A (ja) * 2005-07-28 2009-01-29 エレクトロニクス アンド テレコミュニケーションズ リサーチ インスチチュート 急激な金属−絶縁体遷移を行うウェーハ、その熱処理装置及びこれを利用した熱処理方法
EP2036131A1 (en) * 2006-06-02 2009-03-18 Electronics and Telecommunications Research Institute Programmable mit sensor using the abrupt mit device, and alarm apparatus and secondary battery anti-explosion circuit including the mit sensor
JP2009511899A (ja) * 2005-10-12 2009-03-19 韓國電子通信研究院 急激なｍｉｔ素子を利用した温度センサーおよび該センサーを備えた警報機
US7709922B2 (en) 2004-03-19 2010-05-04 Toudai Tlo, Ltd. Thermistor device
JP2011503895A (ja) * 2007-11-12 2011-01-27 韓國電子通信研究院 金属−絶縁体転移素子を用いたトランジスタの発熱制御回路及びその発熱制御方法
WO2012099089A1 (ja) * 2011-01-21 2012-07-26 株式会社村田製作所 半導体セラミックおよび半導体セラミック素子
KR20140050512A (ko) * 2012-10-18 2014-04-29 한국전자통신연구원 화재감지 시스템
CN111854998A (zh) * 2019-04-30 2020-10-30 中国科学技术大学 温度传感器
CN111855026A (zh) * 2019-04-30 2020-10-30 中国科学技术大学 测温仪标定装置及使用该装置对测温仪标定的方法

Cited By (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0334094A2 (de) * 1988-03-19 1989-09-27 Tetra Laval Holdings & Finance SA Vorrichtung zum Anspritzen eines Kunststoffteiles an einen Papiertubus unter Verwendung eines Abstützteiles
EP0334094B1 (de) * 1988-03-19 1993-09-29 Tetra Laval Holdings & Finance SA Vorrichtung zum Anspritzen eines Kunststoffteiles an einen Papiertubus unter Verwendung eines Abstützteiles
FR2744079A1 (fr) * 1996-01-25 1997-08-01 Reydel Sa Panneau, notamment destine a l'habillage interieur des portieres de vehicules presentant au moins localement une zone d'aspect esthetique
WO2005078399A1 (ja) * 2004-02-16 2005-08-25 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. 赤外線撮像素子
US7709922B2 (en) 2004-03-19 2010-05-04 Toudai Tlo, Ltd. Thermistor device
JP2009503842A (ja) * 2005-07-28 2009-01-29 エレクトロニクス アンド テレコミュニケーションズ リサーチ インスチチュート 急激な金属−絶縁体遷移を行うウェーハ、その熱処理装置及びこれを利用した熱処理方法
JP2009511899A (ja) * 2005-10-12 2009-03-19 韓國電子通信研究院 急激なｍｉｔ素子を利用した温度センサーおよび該センサーを備えた警報機
US7944360B2 (en) 2005-10-12 2011-05-17 Electronics And Telecommunications Research Institute Temperature sensor using abrupt metal-insulator transition (MIT) and alarm comprising the temperature sensor
EP2036131A1 (en) * 2006-06-02 2009-03-18 Electronics and Telecommunications Research Institute Programmable mit sensor using the abrupt mit device, and alarm apparatus and secondary battery anti-explosion circuit including the mit sensor
JP2009539103A (ja) * 2006-06-02 2009-11-12 韓國電子通信研究院 急激なｍｉｔ素子を利用したプログラム可能なｍｉｔセンサ及びそのｍｉｔセンサを備えた警報機及び二次電池の爆発防止回路
US8305221B2 (en) 2006-06-02 2012-11-06 Electronics And Telecommunications Research Institute Programmable MIT sensor using the abrupt MIT device, and alarm apparatus and secondary battery anti-explosion circuit including the MIT sensor
EP2036131A4 (en) * 2006-06-02 2013-08-07 Korea Electronics Telecomm PROGRAMMABLE MIT SENSOR WITH APPLY WITH DEVICE AND ALARM DEVICE AND SECONDARY BATTERY ANTIEXPLOSION SWITCHING WITH MITSENSOR
KR100825762B1 (ko) * 2006-08-07 2008-04-29 한국전자통신연구원 금속-절연체 전이(ｍｉｔ) 소자의 불연속 ｍｉｔ를연속적으로 측정하는 회로 및 그 회로를 이용한 ｍｉｔ센서
JP2011503895A (ja) * 2007-11-12 2011-01-27 韓國電子通信研究院 金属−絶縁体転移素子を用いたトランジスタの発熱制御回路及びその発熱制御方法
US8563903B2 (en) 2007-11-12 2013-10-22 Electronics And Telecommunications Research Institute Method and circuit for controlling radiant heat of transistor using metal-insulator transition device
WO2012099089A1 (ja) * 2011-01-21 2012-07-26 株式会社村田製作所 半導体セラミックおよび半導体セラミック素子
US9318684B2 (en) 2011-01-21 2016-04-19 Murata Manufacturing Co., Ltd. Semiconductor ceramic and semiconductor ceramic element
KR20140050512A (ko) * 2012-10-18 2014-04-29 한국전자통신연구원 화재감지 시스템
CN111854998A (zh) * 2019-04-30 2020-10-30 中国科学技术大学 温度传感器
CN111855026A (zh) * 2019-04-30 2020-10-30 中国科学技术大学 测温仪标定装置及使用该装置对测温仪标定的方法

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