JPS61291795A - 粗引真空ポンプの軸封装置 - Google Patents
粗引真空ポンプの軸封装置Info
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- JPS61291795A JPS61291795A JP13172485A JP13172485A JPS61291795A JP S61291795 A JPS61291795 A JP S61291795A JP 13172485 A JP13172485 A JP 13172485A JP 13172485 A JP13172485 A JP 13172485A JP S61291795 A JPS61291795 A JP S61291795A
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- Japan
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- shaft
- sealing
- holder
- vacuum pump
- oil
- Prior art date
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-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C27/00—Sealing arrangements in rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C27/008—Sealing arrangements in rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids for other than working fluid, i.e. the sealing arrangements are not between working chambers of the machine
- F04C27/009—Shaft sealings specially adapted for pumps
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は粗引真空ポンプの軸封装置に係シ、特にオイル
フリークリーン化に好適な粗引真空ポンプの軸封装置に
関するものである。
フリークリーン化に好適な粗引真空ポンプの軸封装置に
関するものである。
従来の比較的低回転速度の粗引真空ポンプの軸封装置は
一般にオイルシール、メカニカルシール等の接触式軸封
装置が適用されているが、これ等の軸封装置を高速度で
回転する粗引真空ポンプにそのまま流用することは周速
の制限上不適当である。
一般にオイルシール、メカニカルシール等の接触式軸封
装置が適用されているが、これ等の軸封装置を高速度で
回転する粗引真空ポンプにそのまま流用することは周速
の制限上不適当である。
また、高速度回転であっても何ら問題とならない非接触
式のねじシール等の軸封装置も考えられるが、非蓑触で
あるため、停止時や低速度での回転時にはそのシール性
能が不完全になる。一般回転機械用の軸封装置としてこ
の種の軸封技術に関連するものＫは例えば、＊開昭５４
−１３２８０７号公報に記載されているガス用ルーツ屋
圧縮移送ポンプの軸封装置が挙げられる。しかし、ここ
に開示の技術は圧縮機内の圧縮ガスの機外への漏洩防水
のためのものであ〕、粗引真空ポンプの軸封装置の目的
と意図するところと異なるものである。
式のねじシール等の軸封装置も考えられるが、非蓑触で
あるため、停止時や低速度での回転時にはそのシール性
能が不完全になる。一般回転機械用の軸封装置としてこ
の種の軸封技術に関連するものＫは例えば、＊開昭５４
−１３２８０７号公報に記載されているガス用ルーツ屋
圧縮移送ポンプの軸封装置が挙げられる。しかし、ここ
に開示の技術は圧縮機内の圧縮ガスの機外への漏洩防水
のためのものであ〕、粗引真空ポンプの軸封装置の目的
と意図するところと異なるものである。
ま九、この技術はメカニカルクール型の接触式軸封装置
を使用して−るために、高速度の回転には不向きである
という問題がある。
を使用して−るために、高速度の回転には不向きである
という問題がある。
本発明の目的は粗引真空ポンプ機内が軸受潤滑油のミス
トや、油蒸気の侵入によシ油汚染されるのを防止するよ
うにし九粗引真空ボ／グの軸封装ｆｔを提供することＫ
ある。
トや、油蒸気の侵入によシ油汚染されるのを防止するよ
うにし九粗引真空ボ／グの軸封装ｆｔを提供することＫ
ある。
本発明は回転ロータを油潤滑軸受で支持するようにし九
粗引真空ポンプにおいて、油潤滑軸受の真空室側の回転
ロータの軸に周方向の酵を設は次スリーブを配置し、こ
のスリーブの溝に対向し環状の突起をシールケースに取
付け、スリーブの溝に対向する突起及びシールケースを
介し外部に通じる半径方向の排油孔を穿って構成される
第１のシール手段と、この第１のシール手段の真空室側
の回転ロータＯ軸に回転３Ｊを取付け１回転環と軸方向
に対向する固定環を軸方向に移動可能にかつ回転ロータ
の軸を包囲して配置される移動ホルダに取付けて構成さ
れる第２のシール手段と、移動ホルダに包囲される回転
ロータの軸周面に互いに対向するねじ溝を刻設し、移動
ホルダとこのホルダを支持するホルダガイドとの間七可
撓伸縮材で覆ってシール減車を形成し、このシーｙ液室
内のシール液をホルダガイド及び移動ホルダに穿ったシ
ール液孔を通してねじ溝の対向面に導びくように構成さ
れた第３のシール手段とよシなることを特徴とするもの
で、接触式＠對装置と非接触式軸封装置を組合せて配置
し、粗引真空ポンプの運転状況に応じて切換えを行って
最適なシール効果を得ることにあシ、この切換動作は真
空ポンプ内の発生真空を推力として利用するものである
。
粗引真空ポンプにおいて、油潤滑軸受の真空室側の回転
ロータの軸に周方向の酵を設は次スリーブを配置し、こ
のスリーブの溝に対向し環状の突起をシールケースに取
付け、スリーブの溝に対向する突起及びシールケースを
介し外部に通じる半径方向の排油孔を穿って構成される
第１のシール手段と、この第１のシール手段の真空室側
の回転ロータＯ軸に回転３Ｊを取付け１回転環と軸方向
に対向する固定環を軸方向に移動可能にかつ回転ロータ
の軸を包囲して配置される移動ホルダに取付けて構成さ
れる第２のシール手段と、移動ホルダに包囲される回転
ロータの軸周面に互いに対向するねじ溝を刻設し、移動
ホルダとこのホルダを支持するホルダガイドとの間七可
撓伸縮材で覆ってシール減車を形成し、このシーｙ液室
内のシール液をホルダガイド及び移動ホルダに穿ったシ
ール液孔を通してねじ溝の対向面に導びくように構成さ
れた第３のシール手段とよシなることを特徴とするもの
で、接触式＠對装置と非接触式軸封装置を組合せて配置
し、粗引真空ポンプの運転状況に応じて切換えを行って
最適なシール効果を得ることにあシ、この切換動作は真
空ポンプ内の発生真空を推力として利用するものである
。
以下、本発明の実施例を図面ｔ−参照して説明する。
第１図は本発明の粗引真空ポンプを説明する概略断面図
であシ、雄回転ロータｌと雌回転ロータ２は駆動軸３に
より駆動されるタイミングギヤ４を介して非接触で同期
回転する。これ等回転ロータ１，２が回転すると、この
ロータ１，２の噛み合い部は図中右方向へ移動する。従
って、吸気口５から吸込まれた気体は両回路ロータ１，
２によル圧縮移送され大気まで昇圧された後、排気口６
よシ排気される。回転ロータ１． ２は油潤滑の玉軸受
７ａ、７ｂで支持されておシ、玉軸受７ａの潤滑油の供
給は油タンク室８の油をロータ軸端に取付けられた油呻
掛板９によシ掻揚げて行う。一方、軸受７ｂにはタイミ
ングギヤ４へのジェット給油の一部が飛沫として給油さ
れる。これ等の潤滑油が回転ロータ機内、すなわち真空
室内に侵入するのを防ぐ九め吸気側、排気側の回転ロー
タの軸に＠封装置１１０ａ、１０ｂが配置されている。
であシ、雄回転ロータｌと雌回転ロータ２は駆動軸３に
より駆動されるタイミングギヤ４を介して非接触で同期
回転する。これ等回転ロータ１，２が回転すると、この
ロータ１，２の噛み合い部は図中右方向へ移動する。従
って、吸気口５から吸込まれた気体は両回路ロータ１，
２によル圧縮移送され大気まで昇圧された後、排気口６
よシ排気される。回転ロータ１． ２は油潤滑の玉軸受
７ａ、７ｂで支持されておシ、玉軸受７ａの潤滑油の供
給は油タンク室８の油をロータ軸端に取付けられた油呻
掛板９によシ掻揚げて行う。一方、軸受７ｂにはタイミ
ングギヤ４へのジェット給油の一部が飛沫として給油さ
れる。これ等の潤滑油が回転ロータ機内、すなわち真空
室内に侵入するのを防ぐ九め吸気側、排気側の回転ロー
タの軸に＠封装置１１０ａ、１０ｂが配置されている。
軸刺装［１０ａ側は油タンク８を油トラツプ１２を介在
させた均圧配・ａｌｌで吸気側に接続すれば軸封装置１
０ａ前後の差圧を小さくすることかでｉるが、均圧配管
１１．油トラツプ１２のコンダクタンスによって差圧零
とならず、若干真空室側が低圧になる。
させた均圧配・ａｌｌで吸気側に接続すれば軸封装置１
０ａ前後の差圧を小さくすることかでｉるが、均圧配管
１１．油トラツプ１２のコンダクタンスによって差圧零
とならず、若干真空室側が低圧になる。
一方、軸封装置１０ｂの場合は、玉軸受７ｂ側の圧力は
大気圧であるが、真空室側は回転ロータ端面が負圧とな
るため、軸封装置１０ｂ前後に差圧が生起する。
大気圧であるが、真空室側は回転ロータ端面が負圧とな
るため、軸封装置１０ｂ前後に差圧が生起する。
第２図は本発明の軸封装置１０ａ、ＩＱｂの要部拡大断
面図を示すものである。図において、油潤滑する玉軸受
７ａの真空室側の回転ロータの軸１３には周方向の＃＃
１４ａを設けたスリーブ１４が配置される。
面図を示すものである。図において、油潤滑する玉軸受
７ａの真空室側の回転ロータの軸１３には周方向の＃＃
１４ａを設けたスリーブ１４が配置される。
このスリーブ１４の纒１４ａに対向する部分には環状の
突起１５がシールケース１６に取付けられる。スリーブ
１４の溝１４ａＫ対向する突起１５及びシールケース１
６には外部に通じる半径方向の排油孔１７を穿っている
。これ等によって第１のシール手段を構成している。
突起１５がシールケース１６に取付けられる。スリーブ
１４の溝１４ａＫ対向する突起１５及びシールケース１
６には外部に通じる半径方向の排油孔１７を穿っている
。これ等によって第１のシール手段を構成している。
この第１のシール手段の真空室側の回転ロータ１Ｉ４ｉ
１１３にはＯリング１８等のシールを回転環１９が取付
けられ、この回転環１９と軸方向に対向する部分には固
定環２０が軸方向に移動可能に、ま九回転ロータの軸１
３ｔ−包囲して配置される移動ホルダ２１に取付けられ
る。これ等によって第２のシー２手段を構成している。
１１３にはＯリング１８等のシールを回転環１９が取付
けられ、この回転環１９と軸方向に対向する部分には固
定環２０が軸方向に移動可能に、ま九回転ロータの軸１
３ｔ−包囲して配置される移動ホルダ２１に取付けられ
る。これ等によって第２のシー２手段を構成している。
移動ホルダ２１に包囲される回転ロータの軸１３の周面
には互いに対向するねじ１１２２ａｅ２２ｂが刻設され
ている。
には互いに対向するねじ１１２２ａｅ２２ｂが刻設され
ている。
移動ホルダ２１とこの移動ホルダ２１ｔ−支持するホル
ダガイド２３との間はベローズ等の可撓伸縮材２４で覆
ってシール液室２５を形成している。
ダガイド２３との間はベローズ等の可撓伸縮材２４で覆
ってシール液室２５を形成している。
シー／Ｉ／液呈２５のシール液２６はホルダガイド２３
及び移動ホルダ２１に穿ったシール液孔２７を通ってね
じ溝２２ａ、２２ｂの対向面に導びくように構成され、
これ等によって第３のシール手段を構成している。同、
移動ホルダ２１とホルダガイド２３の摺動面にはＯリン
グ等のシーｌｖ２８ ａ。
及び移動ホルダ２１に穿ったシール液孔２７を通ってね
じ溝２２ａ、２２ｂの対向面に導びくように構成され、
これ等によって第３のシール手段を構成している。同、
移動ホルダ２１とホルダガイド２３の摺動面にはＯリン
グ等のシーｌｖ２８ ａ。
２８ｂが配置され、シールケース２９とのホルダガイド
２３との間にはやはｂｏＯリングのシール３０が介在さ
れている。
２３との間にはやはｂｏＯリングのシール３０が介在さ
れている。
また、３１は移動ホルダ２１のストッパーである。
上記のように構成された軸封装置の作用について説明す
る。
る。
まず、粗引真空ポンプの起動前における停止時では、真
空ポンプ内部は各部とも大気圧の状態であシ、軸封装置
１０ａ、１０ｂによってシールすべき差圧はなく、また
、玉軸受７ａ、７ｂＫは潤滑油は供給されないので、潤
滑油の飛沫やミストが軸封装置１０ａ、１０ｂから真空
室内に侵入する恐れはない。
空ポンプ内部は各部とも大気圧の状態であシ、軸封装置
１０ａ、１０ｂによってシールすべき差圧はなく、また
、玉軸受７ａ、７ｂＫは潤滑油は供給されないので、潤
滑油の飛沫やミストが軸封装置１０ａ、１０ｂから真空
室内に侵入する恐れはない。
しかし、拡散による潤滑油蒸気の侵入は考えられる。
この侵入は前述のメカニカルシール型の第２のシール手
段の摺動面Ａでシールされる。すなわち。
段の摺動面Ａでシールされる。すなわち。
回転環１９と固定環２０とは可撓伸縮材２４の圧縮力に
よって接触している。
よって接触している。
次に、起動直後の低度回転の状態では、真空ポンプの内
部が徐々に真空状態になるに従って軸封装置ｊＩｔｌ
Ｏａ、 １０ ｂの真空室側と玉軸受７ａ、７ｂとの間
には差圧が発生し始め、また、玉軸受７ａ。
部が徐々に真空状態になるに従って軸封装置ｊＩｔｌ
Ｏａ、 １０ ｂの真空室側と玉軸受７ａ、７ｂとの間
には差圧が発生し始め、また、玉軸受７ａ。
７ｂのボール間を通って潤滑油のミストや飛沫が直接軸
封部へ噴射される。これらの油の大部分は環状の突起１
５とスリーブ１４の細隙から成る抵抗部で侵入を妨げら
れるが少量の油はこの細隙部を通過する。この油は周方
向に設けられた溝１４ａ部で形成される空間に侵入する
がこの溝部の真空室側端面を軸芯に対し垂直面としてお
けばスＩＪ−プ１４の外周表面を伝ってくる油はここで
侵入を妨げられる。また、この端面は回転しているので
油は遠心力を受けてスリーブ１４の周表面から飛散し、
排油口１６を通って軸封装置１０ａの場合は油タンク室
８へ、軸封装置１０ｂの場合はタイミングギヤ室３２へ
戻される。それでも更に奥へ侵入する油蒸気は、回転環
１９と固定環２０の摺動面Ａでシールされる。さらに、
中速回転から高速度の定常回転状態では、真空ポンプ内
部はさらに圧力が降下し、それに伴って軸封装置１０ａ
。
封部へ噴射される。これらの油の大部分は環状の突起１
５とスリーブ１４の細隙から成る抵抗部で侵入を妨げら
れるが少量の油はこの細隙部を通過する。この油は周方
向に設けられた溝１４ａ部で形成される空間に侵入する
がこの溝部の真空室側端面を軸芯に対し垂直面としてお
けばスＩＪ−プ１４の外周表面を伝ってくる油はここで
侵入を妨げられる。また、この端面は回転しているので
油は遠心力を受けてスリーブ１４の周表面から飛散し、
排油口１６を通って軸封装置１０ａの場合は油タンク室
８へ、軸封装置１０ｂの場合はタイミングギヤ室３２へ
戻される。それでも更に奥へ侵入する油蒸気は、回転環
１９と固定環２０の摺動面Ａでシールされる。さらに、
中速回転から高速度の定常回転状態では、真空ポンプ内
部はさらに圧力が降下し、それに伴って軸封装置１０ａ
。
１０ｂ近傍の圧力は低圧状態になる。そして、玉軸受の
ポール間を通って潤滑油の飛沫やミストがさらに噴射さ
れる。この状態になると摺動画人の周速限界を超え使用
できなくなるが、自動的に摺動面Ａを切離す。その後、
シールは第３のシール手段で行なわれる。すなわち、真
空室側の圧力を−Ｐｔｓ軸受側の圧力をＰａ （７６
０Ｔｏｒｒ＞Ｐａ ＞ｐｔ）とし、移動ホルダ２１の軸
方向受圧面積をＰａ側をＡＩ、Ｐｇ側をＡｏとすれば移
動ホルダ２１には左方向をプラスとして Ｆ＝ＰｏＸＡｏ＋Ｐ＋ＸＡｔ （Ｆｂ＋Ｆ−）
””（１）の推力が働く。ここで恰Ｆｂは可撓伸縮材２
４のばね力、Ｆ、はシール２８ａ、２８ｂの摩擦力であ
る。ところで、シール液室２５の圧力は軸封部近傍の圧
力が降下しても後述するようシール液２６がねじ溝２２
ａ、 ２２ ｂに注入されれば大気圧（７６０Ｔｏ
ｒｒ）よシもわずかに低い状態に保たれ、この圧力をＰ
ｇとすればシール液室２５の移動ホルダ２１の軸方向受
圧面には受圧面積ｆｔＡ ｓとしてプラス方向にＰｓＸ
Ａｇの推力が働く。即ちα）式と合わせ移動ホルダ２１
には Ｆ＝Ｐｅ ＸＡｏ ＋Ｐｔ ＸＡｌ−（Ｆ’ｓ ＋Ｐｔ
） ＋Ｐｍ Ｘ人−の推力が働くととくなる。ここで
Ｐ＋がある設定圧力罠なったらＦ）Ｏとなるような設計
を行なえば第２のシール手段の回転環１９と固定環２０
の摺動画人は自動的に切離される。次に、第３図を用い
て摺動面Ａが切離された後のシール作用について説明す
る。図は軸封部の圧力が降下し、真空室側の圧力がＰｌ
、４４１１受側の圧力がＰｏになって。
ポール間を通って潤滑油の飛沫やミストがさらに噴射さ
れる。この状態になると摺動画人の周速限界を超え使用
できなくなるが、自動的に摺動面Ａを切離す。その後、
シールは第３のシール手段で行なわれる。すなわち、真
空室側の圧力を−Ｐｔｓ軸受側の圧力をＰａ （７６
０Ｔｏｒｒ＞Ｐａ ＞ｐｔ）とし、移動ホルダ２１の軸
方向受圧面積をＰａ側をＡＩ、Ｐｇ側をＡｏとすれば移
動ホルダ２１には左方向をプラスとして Ｆ＝ＰｏＸＡｏ＋Ｐ＋ＸＡｔ （Ｆｂ＋Ｆ−）
””（１）の推力が働く。ここで恰Ｆｂは可撓伸縮材２
４のばね力、Ｆ、はシール２８ａ、２８ｂの摩擦力であ
る。ところで、シール液室２５の圧力は軸封部近傍の圧
力が降下しても後述するようシール液２６がねじ溝２２
ａ、 ２２ ｂに注入されれば大気圧（７６０Ｔｏ
ｒｒ）よシもわずかに低い状態に保たれ、この圧力をＰ
ｇとすればシール液室２５の移動ホルダ２１の軸方向受
圧面には受圧面積ｆｔＡ ｓとしてプラス方向にＰｓＸ
Ａｇの推力が働く。即ちα）式と合わせ移動ホルダ２１
には Ｆ＝Ｐｅ ＸＡｏ ＋Ｐｔ ＸＡｌ−（Ｆ’ｓ ＋Ｐｔ
） ＋Ｐｍ Ｘ人−の推力が働くととくなる。ここで
Ｐ＋がある設定圧力罠なったらＦ）Ｏとなるような設計
を行なえば第２のシール手段の回転環１９と固定環２０
の摺動画人は自動的に切離される。次に、第３図を用い
て摺動面Ａが切離された後のシール作用について説明す
る。図は軸封部の圧力が降下し、真空室側の圧力がＰｌ
、４４１１受側の圧力がＰｏになって。
摺動画人が切離された直後のねじ溝のシール状況を示し
たものである。軸封部の圧力が大気圧であるシール液室
２５の圧力よシ低圧となるためシール液２６社シール液
面垂直方向に働く大気圧を受けて、シール液孔２８ｔ−
通シ互に逆方向に切られたねじｐ１２２ａ、２２ｂの中
央部に押し出される。
たものである。軸封部の圧力が大気圧であるシール液室
２５の圧力よシ低圧となるためシール液２６社シール液
面垂直方向に働く大気圧を受けて、シール液孔２８ｔ−
通シ互に逆方向に切られたねじｐ１２２ａ、２２ｂの中
央部に押し出される。
このときシール液１ｉ１２５の空気が占めていた容積は
押し出したシール液２６の体積分増加するので。
押し出したシール液２６の体積分増加するので。
シール液室２５の圧力は大気圧よシわずかに低くなシＰ
１となる。
１となる。
一方、ねじ溝に押し出されたシール液２６はねじのボッ
プ作用によシねじ部中央に向う昇圧作用を受け、中央部
の圧力が丁度シール液室２５の圧力Ｐｇとつシありたと
き自動的に適当な位置で止まる。これによｐＰｓ側とＰ
ａ側は完全に遮断されるので第１のシール手段と第２の
シ・−ル手段の切離された摺動画人の関Ｍを通過してｔ
５た潤滑油蒸気が更に奥の真空室側へ侵入することはな
くなる。
プ作用によシねじ部中央に向う昇圧作用を受け、中央部
の圧力が丁度シール液室２５の圧力Ｐｇとつシありたと
き自動的に適当な位置で止まる。これによｐＰｓ側とＰ
ａ側は完全に遮断されるので第１のシール手段と第２の
シ・−ル手段の切離された摺動画人の関Ｍを通過してｔ
５た潤滑油蒸気が更に奥の真空室側へ侵入することはな
くなる。
第３図でＰａとＰｓとの差ΔＰ雪が必要シール圧でＰｓ
とＰｌとの差ΔＰ１がねじ溝２２ａ。
とＰｌとの差ΔＰ１がねじ溝２２ａ。
２２ｂ中央部で発生するねじポンプによるクール圧であ
υ、ΔＰ１＞ΔＰ３であるからシール作用が破られるこ
とはなく良好なシール状態が保たれる。
υ、ΔＰ１＞ΔＰ３であるからシール作用が破られるこ
とはなく良好なシール状態が保たれる。
真空ポンプが減速し停止に至る過程では軸封部の圧力が
徐々に増加するため１．第３のシール手段に充填されて
いたシール液２６はシール液室２５に自動的に押し戻さ
れる。同、シール液２６には蒸気圧の非常に低−真空油
等ｆ：使用することが考えられる。
徐々に増加するため１．第３のシール手段に充填されて
いたシール液２６はシール液室２５に自動的に押し戻さ
れる。同、シール液２６には蒸気圧の非常に低−真空油
等ｆ：使用することが考えられる。
以上の説明によシ明らかなように本発明によれば粗引真
空ポンプの運転状態に応じて軸封方式が自動的に切換わ
るので、粗引真空ポンプ全運転範囲において良好な軸封
効果が保証される。
空ポンプの運転状態に応じて軸封方式が自動的に切換わ
るので、粗引真空ポンプ全運転範囲において良好な軸封
効果が保証される。
゛ 以上のように本発明によれば軸受潤滑油が粗引真空
ポンプロータ内部へ漏洩するのを防止できるので軸受潤
滑油を用いる真空ポンプでも完全オイルフリークリーン
化できるという効果がある。
ポンプロータ内部へ漏洩するのを防止できるので軸受潤
滑油を用いる真空ポンプでも完全オイルフリークリーン
化できるという効果がある。
また油回転式真空ポンプ使用の場合必要であった油蒸気
逆流防止のための複雑な排気運転操作が不要となるので
真空排気装置全体を簡略化できるといった２次的効果も
ある。
逆流防止のための複雑な排気運転操作が不要となるので
真空排気装置全体を簡略化できるといった２次的効果も
ある。
第１図は本発明の粗引真空ポンプを説明する概略断面図
、第２図は第１図の軸封部の要部拡大断面図、第３図（
−）、 （ｂ）はねじ型粘性ポンプ軸封め軸封原理説明
図である。 ７ａ、７ｂ・・・玉軸受、１３・・・回転ロータの軸、
１４・・・スリーブ、１５・・・環状の突起％ １９・
・・回転環、２０・・・固定環、２１・・・移動ホルダ
、２２ａ。 ２２ｂ・・・ねじ韓１％２３・・・ホルダガイド、２４
・・・可第 ２ 凹 第 ３ 国 （αつ （ｂ）
、第２図は第１図の軸封部の要部拡大断面図、第３図（
−）、 （ｂ）はねじ型粘性ポンプ軸封め軸封原理説明
図である。 ７ａ、７ｂ・・・玉軸受、１３・・・回転ロータの軸、
１４・・・スリーブ、１５・・・環状の突起％ １９・
・・回転環、２０・・・固定環、２１・・・移動ホルダ
、２２ａ。 ２２ｂ・・・ねじ韓１％２３・・・ホルダガイド、２４
・・・可第 ２ 凹 第 ３ 国 （αつ （ｂ）
Claims (1)
- 回転ロータを油潤滑軸受で支持するようにした粗引真空
ポンプにおいて、前記油潤滑軸受の真空室側の前記回転
ロータの軸に周方向の溝を設けたスリーブを配置し、該
スリーブの溝に対向し環状の突起をシールケースに取付
け、前記スリーブの溝に対向する突起及びシールケース
を介し外部に通じる半径方向の排油孔を穿つて構成され
る第１のシール手段と、前記第１のシール手段の真空室
側の前記回転ロータの軸に回転環を取付け、前記回転環
と軸方向に対向する固定環を軸方向に移動可能にかつ前
記回転ロータの軸を包囲して配置される移動ホルダに取
付けて構成される第２のシール手段と、前記移動ホルダ
に包囲される前記回転ロータの軸周面に互いに対向する
ねじ溝を刻設し、前記移動ホルダと該ホルダを支持する
ホルダガイドとの間を可撓伸縮材で覆つてシール液室を
形成し、該シール液室内のシール液を前記ホルダガイド
及び移動ホルダに穿つたシール液孔を通して前記ねじ溝
の対向面に導びくように構成された第３のシール手段と
よりなることを特徴とする粗引真空ポンプの軸封装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13172485A JPS61291795A (ja) | 1985-06-19 | 1985-06-19 | 粗引真空ポンプの軸封装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13172485A JPS61291795A (ja) | 1985-06-19 | 1985-06-19 | 粗引真空ポンプの軸封装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61291795A true JPS61291795A (ja) | 1986-12-22 |
Family
ID=15064715
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13172485A Pending JPS61291795A (ja) | 1985-06-19 | 1985-06-19 | 粗引真空ポンプの軸封装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61291795A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6688863B2 (en) * | 2001-06-29 | 2004-02-10 | Kabushiki Kaisha Toyota Jidoshokki | Oil leak prevention structure of vacuum pump |
| US6688864B2 (en) | 2001-07-05 | 2004-02-10 | Kabushiki Kaisha Toyota Jidoshokki | Oil leak prevention structure of vacuum pump |
| WO2009024370A1 (fr) * | 2007-08-23 | 2009-02-26 | Alcatel Lucent | Pompe a vide de type seche comportant un dispositif d'etancheite aux fluides lubrifiants et element centrifugeur equipant un tel dispositif |
-
1985
- 1985-06-19 JP JP13172485A patent/JPS61291795A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6688863B2 (en) * | 2001-06-29 | 2004-02-10 | Kabushiki Kaisha Toyota Jidoshokki | Oil leak prevention structure of vacuum pump |
| US6688864B2 (en) | 2001-07-05 | 2004-02-10 | Kabushiki Kaisha Toyota Jidoshokki | Oil leak prevention structure of vacuum pump |
| WO2009024370A1 (fr) * | 2007-08-23 | 2009-02-26 | Alcatel Lucent | Pompe a vide de type seche comportant un dispositif d'etancheite aux fluides lubrifiants et element centrifugeur equipant un tel dispositif |
| FR2920207A1 (fr) * | 2007-08-23 | 2009-02-27 | Alcatel Lucent Sas | Pompe a vide de type seche comportant un dispositif d'etancheite aux fluides lubrifiants et elements centrifugeur equipant un tel dispositif |
| US8465269B2 (en) | 2007-08-23 | 2013-06-18 | Alcatel Lucent | Dry vacuum pump including a lubricating fluid sealing device and a centrifuge element equipping such a device |
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