JPS6128837A - 振動試験機 - Google Patents
振動試験機Info
- Publication number
- JPS6128837A JPS6128837A JP15031484A JP15031484A JPS6128837A JP S6128837 A JPS6128837 A JP S6128837A JP 15031484 A JP15031484 A JP 15031484A JP 15031484 A JP15031484 A JP 15031484A JP S6128837 A JPS6128837 A JP S6128837A
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- JP
- Japan
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- hydraulic actuator
- actuator
- hydraulic
- cylinder
- acting hydraulic
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M7/00—Vibration-testing of structures; Shock-testing of structures
- G01M7/02—Vibration-testing by means of a shake table
- G01M7/04—Monodirectional test stands
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Investigating Strength Of Materials By Application Of Mechanical Stress (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（イ）産業上の利用分野
この発明は、供試体を振動試験する振動試験機に関する
ものである。
ものである。
（ロ）従来技術
振動試験機さして、第２図に示すように供試体（１）を
テーブル（２）に支持するようにしたものが一般に使用
されている。テーブル（２）はガイド（３）によって案
内され、右方向および左方向に往復運動することができ
る。この試験機は復動油圧アクチュエータ（４）によっ
てテーブル（２）を往復運動さゼるようにしたもので、
油圧アクチュエータ（４）はテーブル（２）の右側に配
置されている。
テーブル（２）に支持するようにしたものが一般に使用
されている。テーブル（２）はガイド（３）によって案
内され、右方向および左方向に往復運動することができ
る。この試験機は復動油圧アクチュエータ（４）によっ
てテーブル（２）を往復運動さゼるようにしたもので、
油圧アクチュエータ（４）はテーブル（２）の右側に配
置されている。
周知のように、復動油圧アクチュエータ（４）はシリン
ダ（５）、ピストン（６）、ピストンロッド（７）およ
びサーボ弁（８）を有し、ピストン（６）はシリンダ（
５）の内周面（９）に嵌合され、ピストンロッド（７）
はシリンダ（５）の一対の透孔（ｌＯ）に嵌合される。
ダ（５）、ピストン（６）、ピストンロッド（７）およ
びサーボ弁（８）を有し、ピストン（６）はシリンダ（
５）の内周面（９）に嵌合され、ピストンロッド（７）
はシリンダ（５）の一対の透孔（ｌＯ）に嵌合される。
そして、シリンダ（５）が反力枠（１１）に固定され、
ピストンロッド（７）はテーブル（２）に連結されてい
る。したかって、サーボ弁（８）によってピストン（６
）の右側の油圧室（１２Ｒ）に油圧を供給すると、ピス
トン（６）およびピストンロット（７）によってテーブ
ル（２）が押され、テーブル（２）は左方向に移動する
。ピストン（６）はシリンダ（５）の内周面（９）に沿
ってスライドし、ピストンロット（７）はシリンダ（５
）の透孔（１０）内をスライドする。反対に、ピストン
ロット（６）の左側の油圧室（１２Ｌ）に油圧を供給す
ると、ビス１ヘン（６）およびビス１〜ンロツＦ’（７
）によってテーブル（２）が引っ張られ、テーブル（２
）は右方向に移動する。これが順次交互に繰返される。
ピストンロッド（７）はテーブル（２）に連結されてい
る。したかって、サーボ弁（８）によってピストン（６
）の右側の油圧室（１２Ｒ）に油圧を供給すると、ピス
トン（６）およびピストンロット（７）によってテーブ
ル（２）が押され、テーブル（２）は左方向に移動する
。ピストン（６）はシリンダ（５）の内周面（９）に沿
ってスライドし、ピストンロット（７）はシリンダ（５
）の透孔（１０）内をスライドする。反対に、ピストン
ロット（６）の左側の油圧室（１２Ｌ）に油圧を供給す
ると、ビス１ヘン（６）およびビス１〜ンロツＦ’（７
）によってテーブル（２）が引っ張られ、テーブル（２
）は右方向に移動する。これが順次交互に繰返される。
したがって、テーブル〈２）を左方向および右方向に往
復運動させることができる。したがって、テーブル（２
）と一体的に供試体（１）が振動し、供試体（１）を振
動試験することができる。
復運動させることができる。したがって、テーブル（２
）と一体的に供試体（１）が振動し、供試体（１）を振
動試験することができる。
しかしながら、この試験機は油圧アクチュエータ（４）
のピストン（６）が円滑にスライドするようシリンダ（
５）の内周面（９）を精密加工する必要がある。さらに
、ピストンロッド（７）が円滑にスライドするようシリ
ンダ（５）の各透孔（１０）を精密加工する必要がある
。したがって、コス］・が高いという問題があった。ま
た、テーブル（２）のストローク、すなわぢピストン（
６）のストロークを太きくするには、シリンダ（５）の
内周面（９）を長くする必要がある。しかしながら、シ
リンダ（５）の長い内周面（９）を精密加工するのは容
易ではない。
のピストン（６）が円滑にスライドするようシリンダ（
５）の内周面（９）を精密加工する必要がある。さらに
、ピストンロッド（７）が円滑にスライドするようシリ
ンダ（５）の各透孔（１０）を精密加工する必要がある
。したがって、コス］・が高いという問題があった。ま
た、テーブル（２）のストローク、すなわぢピストン（
６）のストロークを太きくするには、シリンダ（５）の
内周面（９）を長くする必要がある。しかしながら、シ
リンダ（５）の長い内周面（９）を精密加工するのは容
易ではない。
長い内周面（９）を精密加工することができず、テーブ
ル（２）のストロークが制限される賜金もある。
ル（２）のストロークが制限される賜金もある。
この他、油圧アクチュエータ（４）の各油圧室（１２Ｌ
）、（１２Ｒ）に油圧を供給し、ピストンロッド（７）
によってテーブル（２）を押し、ピストンロッド（７）
によってテーブル（２）を引っ張る必要があるが、これ
を順次交互に繰返すと、テーブル（２）とピストンロッ
ト（７）間にいわゆるガタか生しるのはさけられない。
）、（１２Ｒ）に油圧を供給し、ピストンロッド（７）
によってテーブル（２）を押し、ピストンロッド（７）
によってテーブル（２）を引っ張る必要があるが、これ
を順次交互に繰返すと、テーブル（２）とピストンロッ
ト（７）間にいわゆるガタか生しるのはさけられない。
（ハ）目 的
１゜したがって、この発明は、
テーブルを往復運動させ、供試体を振動試験する振動試
験機において、そのコストを低くすること、テーブルの
ストロークを大きくすること、およびガタが生じないよ
うにすることを目的としてなされたものである。
１゜したがって、この発明は、
テーブルを往復運動させ、供試体を振動試験する振動試
験機において、そのコストを低くすること、テーブルの
ストロークを大きくすること、およびガタが生じないよ
うにすることを目的としてなされたものである。
（ニ）構 成
この発明は、従来の復動油圧アクチュエータに代えて単
動油圧アクチュエータを使用する。そして、供試体を支
持するテーブルの一方側に単動油圧アクチュエータを設
け、テーブルの他方側に弾性付勢手段を設ける。さらに
、油圧アクチュエータおよび付勢手段を互いに対向させ
て配置し、それぞれテーブルに連結する。そして、油圧
アクチュエータおよび弾性付勢手段によってテーブルを
往復運動させるようにしたことを特徴とするものである
。
動油圧アクチュエータを使用する。そして、供試体を支
持するテーブルの一方側に単動油圧アクチュエータを設
け、テーブルの他方側に弾性付勢手段を設ける。さらに
、油圧アクチュエータおよび付勢手段を互いに対向させ
て配置し、それぞれテーブルに連結する。そして、油圧
アクチュエータおよび弾性付勢手段によってテーブルを
往復運動させるようにしたことを特徴とするものである
。
（ホ）実施例
以下、この発明の詳細な説明する。第１図はこの発明の
一実施例を示す。供試体（１）がテーブル（２）に支持
され、ガイド（３）によってテーブル（２）が案内され
ているのは第２図の場合と同様である。
一実施例を示す。供試体（１）がテーブル（２）に支持
され、ガイド（３）によってテーブル（２）が案内され
ているのは第２図の場合と同様である。
また、第２図の復動油圧アクチュエータ（４）に代えて
単動油圧アクチュエータ（１３Ｒ）が使用され、この油
圧アクチュエータ（１３Ｒ）はテーブル（２）の右側に
設けられている。単動油圧アクチュエータ（１３Ｒ）は
シリンダ（１４Ｒ）、ラム（１５Ｒ）およびサーボ弁（
１６）からなり、シリンダ（１４Ｒ）は一定径の内周面
（１７）を有し、反力枠（１８）に固定されている。
単動油圧アクチュエータ（１３Ｒ）が使用され、この油
圧アクチュエータ（１３Ｒ）はテーブル（２）の右側に
設けられている。単動油圧アクチュエータ（１３Ｒ）は
シリンダ（１４Ｒ）、ラム（１５Ｒ）およびサーボ弁（
１６）からなり、シリンダ（１４Ｒ）は一定径の内周面
（１７）を有し、反力枠（１８）に固定されている。
ラム（１５Ｒ）はシリンダ（１４Ｒ）の単一の透孔（１
９）に嵌合され、テーブル（２）に連結されている。サ
ーボ弁（１６）はシリンダ（１４Ｒ）の油圧室（２ＯＲ
）、ポンプ（２１）およびタンクＣ２２）に接続されて
いる。
９）に嵌合され、テーブル（２）に連結されている。サ
ーボ弁（１６）はシリンダ（１４Ｒ）の油圧室（２ＯＲ
）、ポンプ（２１）およびタンクＣ２２）に接続されて
いる。
この実施例では、弾性付勢手段として単動油圧アクチュ
エータ（１３Ｌ）および油圧アキュムレータ（２３）が
使用され、油圧アクチュエータ（１３Ｌ）および油圧ア
キュムレータ（２３）はテーブル（２）の左側に設けら
れている。右側の油圧アクチ。エータ（１３Ｒ）と同様
、この油圧アクチュエータ（１３Ｌ）もシリンダ（１４
Ｌ）とラム（ＩＳＬ＞を有し、各油圧アクチュエータ（
１３Ｌ）、（１３Ｒ＞は同一軸線上に互いに対向するよ
う配置されている。そして、シリンダ（１４Ｌ）が反力
枠（１８）に固定され、ラム（１５Ｌ）はシリンダ（１
４Ｌ）の単一の透孔（１９）に嵌合され、テーブル（２
）に連結されている。油圧アキュムレータ（２３）はガ
スを充満させたガスバッグ（２４）を有し、シリンダ（
１４Ｌ）の油圧室（２ＯＬ）に接続されている。
エータ（１３Ｌ）および油圧アキュムレータ（２３）が
使用され、油圧アクチュエータ（１３Ｌ）および油圧ア
キュムレータ（２３）はテーブル（２）の左側に設けら
れている。右側の油圧アクチ。エータ（１３Ｒ）と同様
、この油圧アクチュエータ（１３Ｌ）もシリンダ（１４
Ｌ）とラム（ＩＳＬ＞を有し、各油圧アクチュエータ（
１３Ｌ）、（１３Ｒ＞は同一軸線上に互いに対向するよ
う配置されている。そして、シリンダ（１４Ｌ）が反力
枠（１８）に固定され、ラム（１５Ｌ）はシリンダ（１
４Ｌ）の単一の透孔（１９）に嵌合され、テーブル（２
）に連結されている。油圧アキュムレータ（２３）はガ
スを充満させたガスバッグ（２４）を有し、シリンダ（
１４Ｌ）の油圧室（２ＯＬ）に接続されている。
前記のように構成された振動試験機において、ポンプ（
２１）およびサーボ弁（１６）によって油圧アクチュエ
ータ（１３Ｒ）の油圧室（２ＯＲ＞に油圧を供給すると
、ラム（１５Ｒ）によってテーブル（２）が押される。
２１）およびサーボ弁（１６）によって油圧アクチュエ
ータ（１３Ｒ）の油圧室（２ＯＲ＞に油圧を供給すると
、ラム（１５Ｒ）によってテーブル（２）が押される。
そして、油圧アキュムレータ（２３）のガスバッグ（２
４）が収縮し、油圧アクチュエータ（１３Ｌ）の油圧室
（２ＯＬ＞の油圧は油圧アキュムレータ（２３）に吸収
される。したがって、テーブル（２）がガイド（３）に
よって案内され、左方向に移動する。各油圧アクチュエ
ータ（１３Ｌ＞、（１３Ｒ）のラム（１５Ｌ）。
４）が収縮し、油圧アクチュエータ（１３Ｌ）の油圧室
（２ＯＬ＞の油圧は油圧アキュムレータ（２３）に吸収
される。したがって、テーブル（２）がガイド（３）に
よって案内され、左方向に移動する。各油圧アクチュエ
ータ（１３Ｌ＞、（１３Ｒ）のラム（１５Ｌ）。
（１５Ｒ＞はシリンダ（１４Ｌ）、（１４Ｒ）の透孔（
１９）内をスライドし、テーブル（２）と一体的に移動
する。
１９）内をスライドし、テーブル（２）と一体的に移動
する。
反対に、油圧アクチュエータ（１３Ｒ）の油圧室（２０
Ｒ）の油圧をタンク（２２）に排出すると、油圧アキュ
ムレータ（２３）のガスバッグ（２４）が膨張し、油圧
アキュムレータ（２３）によって油圧アクチュエータ（
１３Ｌ）の油圧室＜２１）に油圧が供給される。したが
って、ラム（Ｌ５Ｌ＞によってテーブル（２）が押され
、テーブル（２）は右方向に移動する。これが順次交互
に繰返される。したがって、テーブル（２）を左方向お
よび右方向に往復運動させ、これによって供試体（１）
を振動試験することができる。
Ｒ）の油圧をタンク（２２）に排出すると、油圧アキュ
ムレータ（２３）のガスバッグ（２４）が膨張し、油圧
アキュムレータ（２３）によって油圧アクチュエータ（
１３Ｌ）の油圧室＜２１）に油圧が供給される。したが
って、ラム（Ｌ５Ｌ＞によってテーブル（２）が押され
、テーブル（２）は右方向に移動する。これが順次交互
に繰返される。したがって、テーブル（２）を左方向お
よび右方向に往復運動させ、これによって供試体（１）
を振動試験することができる。
したがって、この試験機は単動油圧アクチュエータ（１
３Ｌ＞、（１，３Ｒ）のラム（１５Ｌ）、 （１５Ｒ，
）が円滑にスライドするようシリンダ（１４Ｌ＞、（１
４Ｒ）の単一の透孔（１９）を精密加工すればよいだけ
である。
３Ｌ＞、（１，３Ｒ）のラム（１５Ｌ）、 （１５Ｒ，
）が円滑にスライドするようシリンダ（１４Ｌ＞、（１
４Ｒ）の単一の透孔（１９）を精密加工すればよいだけ
である。
シリンダ（１４Ｌ）、 （１４Ｒ，）の内周面（１７）
を精密加工する必要はない。したがって、コストを低く
することができる。シリンダ＜１４Ｌ）、（１４Ｒ）の
内周面（１７）については、精密加工ではなく、普通の
機械加工によってこれを形成すればよい。また、テーブ
ル（２）のストロークを大きくするには、シリンダ（１
４Ｌ）、（１４Ｒ）の内周面（１７）を長くする必要が
ア；ｂｈ’、 ｔ’ｙｍ（ＤＦＩＵｉｌｌ、ｈ。Ｉ＋：
ｌ：ヨーｚ７！イｌ’９Ｊ＃ＩｊＪｊｊ（１７）
’を形成することは容易で・ある。したが
って、テーブル（２）のストロークを長くすることがで
きる。
を精密加工する必要はない。したがって、コストを低く
することができる。シリンダ＜１４Ｌ）、（１４Ｒ）の
内周面（１７）については、精密加工ではなく、普通の
機械加工によってこれを形成すればよい。また、テーブ
ル（２）のストロークを大きくするには、シリンダ（１
４Ｌ）、（１４Ｒ）の内周面（１７）を長くする必要が
ア；ｂｈ’、 ｔ’ｙｍ（ＤＦＩＵｉｌｌ、ｈ。Ｉ＋：
ｌ：ヨーｚ７！イｌ’９Ｊ＃ＩｊＪｊｊ（１７）
’を形成することは容易で・ある。したが
って、テーブル（２）のストロークを長くすることがで
きる。
さらに、この試験機は右側の油圧アクチュエータ（１３
Ｒ）のラム（１５Ｒ）によってテーブル（２）が押され
、左側の油圧アクチュエータ（１３Ｌ）のラム（１５Ｌ
＞によってテーブル（２）が押され、これが繰返される
だけである。前記従来と異なり、テーブル（２）が引っ
張られる作用はない。したがって、テーブル（２）とラ
ム（１５Ｌ）、（１５Ｒ＞間にガタは生じない。
Ｒ）のラム（１５Ｒ）によってテーブル（２）が押され
、左側の油圧アクチュエータ（１３Ｌ）のラム（１５Ｌ
＞によってテーブル（２）が押され、これが繰返される
だけである。前記従来と異なり、テーブル（２）が引っ
張られる作用はない。したがって、テーブル（２）とラ
ム（１５Ｌ）、（１５Ｒ＞間にガタは生じない。
なお、この実施例では、油圧アクチュエータ（１３Ｌ）
および油圧アキュムレータ（２３）によってテーブル（
２）を右方向に弾性付勢するようにしたものについて説
明したが、その他の弾性付勢手段、たとえば圧縮ばねを
テーブル（２）の左側に設ける。
および油圧アキュムレータ（２３）によってテーブル（
２）を右方向に弾性付勢するようにしたものについて説
明したが、その他の弾性付勢手段、たとえば圧縮ばねを
テーブル（２）の左側に設ける。
そして、この圧縮はねによってテーブル（２）を右方向
に弾性付勢してもよい。要するに、テーブル（２）の−
左側に単動油圧アクチュエータ（１３Ｒ＞を設け、テー
ブル（２）の他方側に弾性付勢手段を設ける。そして、
油圧アクチュエータ＜１３Ｒ）および弾性付勢手段を互
いに対向させて配置し、それぞれテーブル（２）に連結
すると、テーブル（２）を左方向および右方向に往復運
動させることができ、同様の作用効果を得ることができ
るものである。
に弾性付勢してもよい。要するに、テーブル（２）の−
左側に単動油圧アクチュエータ（１３Ｒ＞を設け、テー
ブル（２）の他方側に弾性付勢手段を設ける。そして、
油圧アクチュエータ＜１３Ｒ）および弾性付勢手段を互
いに対向させて配置し、それぞれテーブル（２）に連結
すると、テーブル（２）を左方向および右方向に往復運
動させることができ、同様の作用効果を得ることができ
るものである。
（へ）効 果
以上説明したように、この発明は、従来の復動油圧アク
チュエータに代えて単動油圧アクチュエータを使用し、
単動油圧アクチュエータおよび弾性付勢手段によってテ
ーブルを往復運動させるようにしたから、コストを低く
することかできる。
チュエータに代えて単動油圧アクチュエータを使用し、
単動油圧アクチュエータおよび弾性付勢手段によってテ
ーブルを往復運動させるようにしたから、コストを低く
することかできる。
さらに、テーブルのストロークを大きくすることができ
、ガタが生じないようにすることもでき、所期の目的を
達成することができるものである。
、ガタが生じないようにすることもでき、所期の目的を
達成することができるものである。
第１図はこの発明の一実施例を示す説明図、第２図は従
来の振動試験機を示す説明図である。 （１）・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・供
試体（２）・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
・テーブル（１３Ｌ）、（１３Ｒ）・・・・・・単動油
圧アクテコ。エータ（２３）・・・・・・・・・・・・
・・・・・・・・・油圧アキュムレータ特許出願人 株
式会比島津製作所 代 理 人 新 実 健 部（外１名） 第 １ 図
来の振動試験機を示す説明図である。 （１）・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・供
試体（２）・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
・テーブル（１３Ｌ）、（１３Ｒ）・・・・・・単動油
圧アクテコ。エータ（２３）・・・・・・・・・・・・
・・・・・・・・・油圧アキュムレータ特許出願人 株
式会比島津製作所 代 理 人 新 実 健 部（外１名） 第 １ 図
Claims (1)
- 往復運動可能に案内したテーブルに供試体を支持し、前
記テーブルを往復運動させ、前記供試体を振動試験する
ようにした試験機において、前記テーブルの一方側に単
動油圧アクチュエータを設け、前記テーブルの他方側に
弾性付勢手段を設け、前記油圧アクチュエータおよび弾
性付勢手段を互いに対向させて配置し、それぞれ前記テ
ーブルに連結し、前記油圧アクチュエータおよび弾性付
勢手段によって前記テーブルを往復運動させるようにし
たことを特徴とする振動試験機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15031484A JPS6128837A (ja) | 1984-07-18 | 1984-07-18 | 振動試験機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15031484A JPS6128837A (ja) | 1984-07-18 | 1984-07-18 | 振動試験機 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6128837A true JPS6128837A (ja) | 1986-02-08 |
| JPH0255730B2 JPH0255730B2 (ja) | 1990-11-28 |
Family
ID=15494311
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15031484A Granted JPS6128837A (ja) | 1984-07-18 | 1984-07-18 | 振動試験機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6128837A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6419198A (en) * | 1987-07-15 | 1989-01-23 | Hitachi Ltd | Vacuum pump |
| JPH05231366A (ja) * | 1991-07-09 | 1993-09-07 | Ebara Corp | 多段式真空ポンプ装置 |
| WO1993021510A1 (en) * | 1992-04-20 | 1993-10-28 | Team Corporation | High frequency vibration test fixture with hydraulic servo valve and piston actuator |
| JPH08279471A (ja) * | 1996-04-22 | 1996-10-22 | Hitachi Ltd | 半導体製造方法 |
| JP2013140067A (ja) * | 2012-01-04 | 2013-07-18 | Ihi Corp | 加振装置 |
-
1984
- 1984-07-18 JP JP15031484A patent/JPS6128837A/ja active Granted
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6419198A (en) * | 1987-07-15 | 1989-01-23 | Hitachi Ltd | Vacuum pump |
| JPH0525040B2 (ja) * | 1987-07-15 | 1993-04-09 | Hitachi Ltd | |
| JPH05231366A (ja) * | 1991-07-09 | 1993-09-07 | Ebara Corp | 多段式真空ポンプ装置 |
| WO1993021510A1 (en) * | 1992-04-20 | 1993-10-28 | Team Corporation | High frequency vibration test fixture with hydraulic servo valve and piston actuator |
| US5343752A (en) * | 1992-04-20 | 1994-09-06 | Team Corporation | High frequency vibration test fixture with hydraulic servo valve and piston actuator |
| US5544528A (en) * | 1992-04-20 | 1996-08-13 | Team Corporation | High frequency vibration test fixture with hydraulic servo valve and piston actuator |
| US5665919A (en) * | 1992-04-20 | 1997-09-09 | Team Corporation | High frequency vibration test fixture with hydraulic servo valve and piston actuator |
| JPH08279471A (ja) * | 1996-04-22 | 1996-10-22 | Hitachi Ltd | 半導体製造方法 |
| JP2013140067A (ja) * | 2012-01-04 | 2013-07-18 | Ihi Corp | 加振装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0255730B2 (ja) | 1990-11-28 |
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