JPS6128821A - 超音波流量計 - Google Patents
超音波流量計Info
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- JPS6128821A JPS6128821A JP15026584A JP15026584A JPS6128821A JP S6128821 A JPS6128821 A JP S6128821A JP 15026584 A JP15026584 A JP 15026584A JP 15026584 A JP15026584 A JP 15026584A JP S6128821 A JPS6128821 A JP S6128821A
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- JP
- Japan
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- piping
- ultrasonic
- absorber
- sound wave
- wave absorber
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- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/66—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by measuring frequency, phase shift or propagation time of electromagnetic or other waves, e.g. using ultrasonic flowmeters
- G01F1/662—Constructional details
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Volume Flow (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔兜明の属する技術分野〕
本発明は特に小口径の配管内を流れる流体の流速や流量
を測定する透過形の超音波流量計に関する。
を測定する透過形の超音波流量計に関する。
この種の超音波流量計は第３図に示したように、流体を
導く配管１の外側に流体の進行方向に互に位置をずらせ
て配置された一対の超音波送受波器２ａ、２１〕から構
成され、第１の送受波器２ａから放射された超音波が第
２の送受波器２ｂに到達する時間と、第２の送受波器２
ｂから放射された超音波が第１の送受波器２ａに到達す
る時間との差に基づいて配管１内の流体の速度■および
それに伴なって流量を求める。一般にこれらの送受波器
２ａ、２ｂは第４図に示したように、たとえばジルコン
・ヂタン酸鉛系のセラミックスなどの圧電素子を円板状
に成形してその両面に銀電極が蒸着されている超音波変
換子３と、この超音波変換子３から発せられる超音波を
配管ｌに伝達して打ち込むアクリル樹脂や金属などの超
音波伝搬部材から成るシュー４とから構成され、とのシ
ュー４の底面５は配管１の表面に音響的にマツチングを
取るための介装材６を介して密着される。シュー４の超
音波変換子３の取伺面７はその底面５に対して角度θを
もって斜めに形成され、これによって超音波変換子３か
ら発せられる超音波がシュー底面５に対して斜めに打ち
込まれるように形成されている。超音波変換子３の両面
の電極に接続されたリード線８，９を介して超音波変換
子３に所定周波数の交流が印加されると、超音波変換子
３は同周波数で振動して超音波パルス信号Ｐを発する。
導く配管１の外側に流体の進行方向に互に位置をずらせ
て配置された一対の超音波送受波器２ａ、２１〕から構
成され、第１の送受波器２ａから放射された超音波が第
２の送受波器２ｂに到達する時間と、第２の送受波器２
ｂから放射された超音波が第１の送受波器２ａに到達す
る時間との差に基づいて配管１内の流体の速度■および
それに伴なって流量を求める。一般にこれらの送受波器
２ａ、２ｂは第４図に示したように、たとえばジルコン
・ヂタン酸鉛系のセラミックスなどの圧電素子を円板状
に成形してその両面に銀電極が蒸着されている超音波変
換子３と、この超音波変換子３から発せられる超音波を
配管ｌに伝達して打ち込むアクリル樹脂や金属などの超
音波伝搬部材から成るシュー４とから構成され、とのシ
ュー４の底面５は配管１の表面に音響的にマツチングを
取るための介装材６を介して密着される。シュー４の超
音波変換子３の取伺面７はその底面５に対して角度θを
もって斜めに形成され、これによって超音波変換子３か
ら発せられる超音波がシュー底面５に対して斜めに打ち
込まれるように形成されている。超音波変換子３の両面
の電極に接続されたリード線８，９を介して超音波変換
子３に所定周波数の交流が印加されると、超音波変換子
３は同周波数で振動して超音波パルス信号Ｐを発する。
超音波パルス信号Ｐはシュー４を通り介装材６を介して
鋼材などから成る配管１に打ち込まれ、逆に介装材６を
介してシュー４を通って上記周波数の超音波パルスが超
音波変換子３に到達すると、超音波変換子３が同一周波
数で振動してリード線８．９に交流電圧を発生する。こ
の発生電圧はリード線８，９に接続された電気回路で測
定信号に変換される。
鋼材などから成る配管１に打ち込まれ、逆に介装材６を
介してシュー４を通って上記周波数の超音波パルスが超
音波変換子３に到達すると、超音波変換子３が同一周波
数で振動してリード線８．９に交流電圧を発生する。こ
の発生電圧はリード線８，９に接続された電気回路で測
定信号に変換される。
このような構成をした透過形の超音波流量計を小口径（
直径１００Ｂ以下）に適用すると、配管内を多重反射し
なから伝搬する反射波が生じ、この多重反射波と流体内
を直接伝搬する音波とを送受波器が一緒に受信するので
、高い精度で測定できないという欠点を生ずる。
直径１００Ｂ以下）に適用すると、配管内を多重反射し
なから伝搬する反射波が生じ、この多重反射波と流体内
を直接伝搬する音波とを送受波器が一緒に受信するので
、高い精度で測定できないという欠点を生ずる。
このことを配管１内での超音波伝搬経路を示す第５図を
参照して詳細に説明する。送受波器２ａの超音波変換子
３が発生した超音波パルス信号Ｐは上述したようにシュ
ー４を通り介装材６を介して配管１に入射する。この超
音波パルス信号Ｐは指向角ζで拡がって伝搬する。第６
図はこの超音波パルス信号Ｐの指向性を示している。こ
の配管１と流体１０との音響インピーダン・スが異なっ
ているために、配管１と流体１０との界面で音波の透過
と反射が生ずる。その音波透過率Ｔｔおよび音波反射率
Ｔｒはそれぞれ次の式で表わせる。
参照して詳細に説明する。送受波器２ａの超音波変換子
３が発生した超音波パルス信号Ｐは上述したようにシュ
ー４を通り介装材６を介して配管１に入射する。この超
音波パルス信号Ｐは指向角ζで拡がって伝搬する。第６
図はこの超音波パルス信号Ｐの指向性を示している。こ
の配管１と流体１０との音響インピーダン・スが異なっ
ているために、配管１と流体１０との界面で音波の透過
と反射が生ずる。その音波透過率Ｔｔおよび音波反射率
Ｔｒはそれぞれ次の式で表わせる。
Ｔｉ ＝ ２Ｚ２／（Ｚ２ ＋ Ｚｌ ） ・
・・・・（１）’ｌ’ｒ−（Ｚ２ Ｚｌ’ ）／（Ｚ
２ ＋Ｚｓ ） −−（２）なおここでＺｌは配管１
の音響インピーダンス、Ｚ２は流体１０の音響インピー
ダンスである。例として配管１が鉄であり、流体１０が
水であるとすると、鉄および水は次の表に示すような音
響特性を有する。
・・・・（１）’ｌ’ｒ−（Ｚ２ Ｚｌ’ ）／（Ｚ
２ ＋Ｚｓ ） −−（２）なおここでＺｌは配管１
の音響インピーダンス、Ｚ２は流体１０の音響インピー
ダンスである。例として配管１が鉄であり、流体１０が
水であるとすると、鉄および水は次の表に示すような音
響特性を有する。
表１：鉄、水の音響特性
この場合鉄と水との界面での音波の透過率Ｔｔは１１２
チ、反射率Ｔｒは８９１％となる。すなわち音波の大部
分が反射される。配管工に入射した超音波パルス信号Ｐ
は第６図に示した指向性を有しているので、鉄と水との
界面での反射波も同じ指向性で配管１内を伝搬する。従
ってこの反射波は多重反射しなから第５図に示す伝搬路
Ｌ１．Ｌ２を伝搬し、流体中を直接伝搬してきた音波と
一緒に送受波器２ｂの超音波変換子３に受信される。
チ、反射率Ｔｒは８９１％となる。すなわち音波の大部
分が反射される。配管工に入射した超音波パルス信号Ｐ
は第６図に示した指向性を有しているので、鉄と水との
界面での反射波も同じ指向性で配管１内を伝搬する。従
ってこの反射波は多重反射しなから第５図に示す伝搬路
Ｌ１．Ｌ２を伝搬し、流体中を直接伝搬してきた音波と
一緒に送受波器２ｂの超音波変換子３に受信される。
次にこの超音波変換子３に受信される伝搬路Ｉｊ ！
＋Ｌ２ を伝搬する反射波１１ 、１２．および流体中
を直接伝搬する音波（以下直接音波と呼ぶ）１３の音波
レベルについて説明する。例とじて配管１の内径が２７
．６ ｍｍ、厚さが３２順であシ、シュー４から４２°
の打ち込み角で音波が配管１に打ち込まれ、両送受波器
２ａ 、 ２ｂの音波出射位置間の間隔が４０胡で、シ
ュー４の音速が２５０３ｍ／ｓであるとすると、伝搬路
Ｌｌを伝搬する音波１１は鉄と水との界面で次式で示す
Ｎ１回だけ反射する。
＋Ｌ２ を伝搬する反射波１１ 、１２．および流体中
を直接伝搬する音波（以下直接音波と呼ぶ）１３の音波
レベルについて説明する。例とじて配管１の内径が２７
．６ ｍｍ、厚さが３２順であシ、シュー４から４２°
の打ち込み角で音波が配管１に打ち込まれ、両送受波器
２ａ 、 ２ｂの音波出射位置間の間隔が４０胡で、シ
ュー４の音速が２５０３ｍ／ｓであるとすると、伝搬路
Ｌｌを伝搬する音波１１は鉄と水との界面で次式で示す
Ｎ１回だけ反射する。
Ｎ１ ＝ ４０／３，２ （１８ｎ（Ｓｉｎ−１（３
２３０／２５０３ｘｓｉｎ４２））ｌ／２＝ ４ 一方伝搬路Ｌ２ を伝搬する音波１２は鉄と水との界面
で次式で示すＮ２回だけ反射する。
２３０／２５０３ｘｓｉｎ４２））ｌ／２＝ ４ 一方伝搬路Ｌ２ を伝搬する音波１２は鉄と水との界面
で次式で示すＮ２回だけ反射する。
Ｎｚ−（（πＸ２７．６）２＋４０２）’ｍ／３．２／
〔ｔａｎ（ｓｉｎ ”（３２３０／２５０３ｘｓｉｎ４
２））））／２ 辷１０それぞれ鉄と空気の界面でも同
様の反射が生ずるが、音響インピーダンスが大きく異な
るためほぼ１００チが配管内で反射される。従って送受
波器２ｂの超音波変換子３に受信される各音波、すなわ
ち反射波１１、反射波１２および流体内の直接音波１３
の音波レベルＡ、 、Ａ２．Ａ３はそれぞれ次の通りと
なる。
〔ｔａｎ（ｓｉｎ ”（３２３０／２５０３ｘｓｉｎ４
２））））／２ 辷１０それぞれ鉄と空気の界面でも同
様の反射が生ずるが、音響インピーダンスが大きく異な
るためほぼ１００チが配管内で反射される。従って送受
波器２ｂの超音波変換子３に受信される各音波、すなわ
ち反射波１１、反射波１２および流体内の直接音波１３
の音波レベルＡ、 、Ａ２．Ａ３はそれぞれ次の通りと
なる。
Ａ□＝ Ｋｏ ｘ Ｏ，８９］４＝ Ｋｏ ｘ Ｏ，６
３Ａ２ ＝ Ｋｏ ｘ Ｏ，８９１１０＝ Ｋｏ ｘ
Ｏ，３２Ａ３ 二 Ｋｏｘ Ｏ，１］、２ｘ １．８
９ ＝に、ｏ ｘ Ｏ，２まただしＫＯは比例定数
である。
３Ａ２ ＝ Ｋｏ ｘ Ｏ，８９１１０＝ Ｋｏ ｘ
Ｏ，３２Ａ３ 二 Ｋｏｘ Ｏ，１］、２ｘ １．８
９ ＝に、ｏ ｘ Ｏ，２まただしＫＯは比例定数
である。
またそれぞれの音波が発信されてから伝搬路Ｌ１、伝搬
路Ｌ２および流体内をそれぞれ伝搬する反射波］１、反
射波１２および直接音波１３の送受波器２ｂの超音波変
換子３に到達する捷での到達時間Ｔ１．Ｔ２．Ｔ３はそ
れぞれ次の通シとなる。
路Ｌ２および流体内をそれぞれ伝搬する反射波］１、反
射波１２および直接音波１３の送受波器２ｂの超音波変
換子３に到達する捷での到達時間Ｔ１．Ｔ２．Ｔ３はそ
れぞれ次の通シとなる。
Ｔ、 ＝４０７（３２３０／２５０３ ｘ ｓｉｎ ４
２）／３２３０ ＋ ｒ＝ １．４．３＋τ （μ５ｅ
ｃ） Ｔ２−〔（πＸ２７６）２＋４０２〕にＸ（３２３０／
２５０３Ｘｓｉｎ４２）／３２３０＝２５．５＋ｒ
（μ５ｅｃ）Ｔ３ ””２７．６／ＣＯ５（５ｌｎ−”
（１４８２，７／２５０３ Ｘ ｓ＋ｎ４２ ）ｌ：］
／１４．８２．７ ＋３．２ ｘ２／ｃｏｓ（ｓｉｎ’
（３２３０／２５０３ＸＳｉ１〕４２））／３２３０＝
２４．２＋７ （μ５ｅｃ）ただしτは送受波器２
ａ、、 ２ ｂの両方のンユー４の音波伝搬時間である
。
２）／３２３０ ＋ ｒ＝ １．４．３＋τ （μ５ｅ
ｃ） Ｔ２−〔（πＸ２７６）２＋４０２〕にＸ（３２３０／
２５０３Ｘｓｉｎ４２）／３２３０＝２５．５＋ｒ
（μ５ｅｃ）Ｔ３ ””２７．６／ＣＯ５（５ｌｎ−”
（１４８２，７／２５０３ Ｘ ｓ＋ｎ４２ ）ｌ：］
／１４．８２．７ ＋３．２ ｘ２／ｃｏｓ（ｓｉｎ’
（３２３０／２５０３ＸＳｉ１〕４２））／３２３０＝
２４．２＋７ （μ５ｅｃ）ただしτは送受波器２
ａ、、 ２ ｂの両方のンユー４の音波伝搬時間である
。
上述したように流体内を直接伝搬してきた直接音波１３
は、伝搬路り、、Ｌ２を伝搬してきた反射波１１．１２
の間で受信され（ただし配管１の内径、厚さによっては
伝搬路Ｌ２ を伝搬してきた反射波１２が流体内を直接
伝搬してきた直接音波］３よりも前に受信されることも
ある）、しかもこの直接音波］３のレベルが小さく、直
接音波１３の （伝搬時間を０．１
ｎ５ｅｃ （精度１係相当）の精度で測定することが
できない。
は、伝搬路り、、Ｌ２を伝搬してきた反射波１１．１２
の間で受信され（ただし配管１の内径、厚さによっては
伝搬路Ｌ２ を伝搬してきた反射波１２が流体内を直接
伝搬してきた直接音波］３よりも前に受信されることも
ある）、しかもこの直接音波］３のレベルが小さく、直
接音波１３の （伝搬時間を０．１
ｎ５ｅｃ （精度１係相当）の精度で測定することが
できない。
不発ＢＪＪの目的は、流体を移送する配管での多重反射
波を減少させ、流体内を直接伝搬してきた音波が高いＳ
／Ｎ比で超音波変換子に受信され、音波の発信から受信
までの伝搬時間を０．１ｎｓｅｃ （精度１％相描）の
精度で測定できる透過形の超音波流量計を提供すること
にある。
波を減少させ、流体内を直接伝搬してきた音波が高いＳ
／Ｎ比で超音波変換子に受信され、音波の発信から受信
までの伝搬時間を０．１ｎｓｅｃ （精度１％相描）の
精度で測定できる透過形の超音波流量計を提供すること
にある。
本発明によればこの目的は、超音波の送受を行なう２個
の超音波送受波器を配管上に備えた超音波流量計におい
て、配管壁面を伝搬する多重反射波を減衰させる音波吸
収体を配管表面上に設け、この音波吸収体上に再起音波
送受波器を設けることによって達成される。
の超音波送受波器を配管上に備えた超音波流量計におい
て、配管壁面を伝搬する多重反射波を減衰させる音波吸
収体を配管表面上に設け、この音波吸収体上に再起音波
送受波器を設けることによって達成される。
次に第１図および第２図に示す実施例に基づいて本発明
の詳細な説明する。
の詳細な説明する。
第１図において流体を移送する配管１の超音波送受波器
２ａ、２ｂの周辺と配管１内を多重反射て配管１内を伝
搬する多重反射波を減衰させる音波吸収体１４が接着な
いし形成されて設けられている。この音波吸収体１４は
配管１内老伝搬する多重反射波１１．１２を吸収するた
めに、（１） 配管１と音波吸収体１４の音響インピ
ーダンス整合層との音響インピーダンスを一致させる、
（２）音波吸収体１４の音響インピーダンス整合層以降
（音波伝搬方向）の材質に吸音率の良い吸収体を使用す
る、 という条件を満足させる必要があり、この実施例の場合
音波吸収体１４は音波伝搬方向にゴム１５と金属粒子１
６との密度勾配を有する混合体から構成されている。
２ａ、２ｂの周辺と配管１内を多重反射て配管１内を伝
搬する多重反射波を減衰させる音波吸収体１４が接着な
いし形成されて設けられている。この音波吸収体１４は
配管１内老伝搬する多重反射波１１．１２を吸収するた
めに、（１） 配管１と音波吸収体１４の音響インピ
ーダンス整合層との音響インピーダンスを一致させる、
（２）音波吸収体１４の音響インピーダンス整合層以降
（音波伝搬方向）の材質に吸音率の良い吸収体を使用す
る、 という条件を満足させる必要があり、この実施例の場合
音波吸収体１４は音波伝搬方向にゴム１５と金属粒子１
６との密度勾配を有する混合体から構成されている。
い捷−例として、配管１が鉄であり、音波吸収体１４の
ゴム１５がシリコンゴム、金属粒子１６がタングステン
である場合について説明すると、これらの材料の音響特
性は次の表の通りである。
ゴム１５がシリコンゴム、金属粒子１６がタングステン
である場合について説明すると、これらの材料の音響特
性は次の表の通りである。
表２．鉄、シリコンゴム、タングステンの音響特性金属
粒子１６の粒径を音波の一波長よシ十分小さくすると、
音波吸収体１４の音響インピーダンス整合層１７におけ
るゴム１５と金属粒子１６と、 の配合比Ｘは、次の式
の音響インピーダンス整合条件によって定する。
粒子１６の粒径を音波の一波長よシ十分小さくすると、
音波吸収体１４の音響インピーダンス整合層１７におけ
るゴム１５と金属粒子１６と、 の配合比Ｘは、次の式
の音響インピーダンス整合条件によって定する。
（１−Ｘ）ρ２Ｃ２＋Ｘρ３Ｃ３−ρ１Ｃ□ ・・
・・・・（３）ここでρ１は配管１の密度、ρ２はゴム
１５の密度、ρ３は金属粒子１゛６の密度、Ｃ１は配管
工の音速、Ｃ２はゴム１５の音速、Ｃ３は金属粒子１６
の音速である。
・・・・（３）ここでρ１は配管１の密度、ρ２はゴム
１５の密度、ρ３は金属粒子１゛６の密度、Ｃ１は配管
工の音速、Ｃ２はゴム１５の音速、Ｃ３は金属粒子１６
の音速である。
この式（３）に、上記表２の数値を当てはめると、金属
粒子１６の配合比Ｘは２２．４係となる。一方この音波
吸収体１４の音速Ｃは次式で表わされる。
粒子１６の配合比Ｘは２２．４係となる。一方この音波
吸収体１４の音速Ｃは次式で表わされる。
Ｃ−（１−Ｘ）Ｃ２＋ＸＣ３・・・・・（４）この式（
４）に同様に上記表２の数値を当てはめると、音波吸収
体１４の音速Ｃは２１９３ｙｎ／Ｓとなる。
４）に同様に上記表２の数値を当てはめると、音波吸収
体１４の音速Ｃは２１９３ｙｎ／Ｓとなる。
音波の周波数をＩ ＭＨｚとすると音波の波長は２．１
９３叫となり、金属粒子１６の粒径はこの波長よりも十
分小さく、たとえば５０μｍ程度にしなければならない
。
９３叫となり、金属粒子１６の粒径はこの波長よりも十
分小さく、たとえば５０μｍ程度にしなければならない
。
更に上記条件（２）を満足させるために、音波吸収体１
４の金属粒子１６の配合比Ｘは、音響インピーダンス整
合層１７以降（音波伝波方向）において連続的に低下さ
れ、音響インピーダンスの不連続面を作ることなしに音
波吸収体１４の一部はゴム１５だけにされている。この
ことによって音波が音波駄収体１４を空気の界面に到達
する短かい距離の間で十分に吸音され減衰される。
４の金属粒子１６の配合比Ｘは、音響インピーダンス整
合層１７以降（音波伝波方向）において連続的に低下さ
れ、音響インピーダンスの不連続面を作ることなしに音
波吸収体１４の一部はゴム１５だけにされている。この
ことによって音波が音波駄収体１４を空気の界面に到達
する短かい距離の間で十分に吸音され減衰される。
夫
〔発明の効果〕
本発明によれば、流体を移送する配管内を伝搬する多重
反射波が音波吸収体によって著しく吸収、減衰され、流
体内を直接伝搬してきた音波が高いＳ／Ｎ比で超音波送
受波器で受信され、音波の発信力・ら受信までの伝搬時
間を０．１ ｎ５ｅｔ（精度１％相当）の精度で測定で
きるので、小口径の配管においても高精度で流速、流量
を測定できる。
反射波が音波吸収体によって著しく吸収、減衰され、流
体内を直接伝搬してきた音波が高いＳ／Ｎ比で超音波送
受波器で受信され、音波の発信力・ら受信までの伝搬時
間を０．１ ｎ５ｅｔ（精度１％相当）の精度で測定で
きるので、小口径の配管においても高精度で流速、流量
を測定できる。
ＷＳ １図は本発明に基づく超音波流量計の概略斜視図
、第２図は本発明に基づく音波吸収体の一実施例の概略
断面図、第３図は従来の超音波流量計の配置構成図、第
４図は従来の超音波送受波器の配管への設置状態を示す
断面図、第５図は従来の超音波流量計における配管内で
の超音波伝搬経路を示す説明図、第６図は超音波パルス
信号の指向特性図である。 １、配管、 ２ａ 、 ２ｂ ：超音波送受波器、３：
超音波変換子、 １４：音波吸収体、 １５：ゴム
、 １６：金属粒子、 １７コ音響インピ一ダンス
整合層。 第１図 第２図 第５図 第６図
、第２図は本発明に基づく音波吸収体の一実施例の概略
断面図、第３図は従来の超音波流量計の配置構成図、第
４図は従来の超音波送受波器の配管への設置状態を示す
断面図、第５図は従来の超音波流量計における配管内で
の超音波伝搬経路を示す説明図、第６図は超音波パルス
信号の指向特性図である。 １、配管、 ２ａ 、 ２ｂ ：超音波送受波器、３：
超音波変換子、 １４：音波吸収体、 １５：ゴム
、 １６：金属粒子、 １７コ音響インピ一ダンス
整合層。 第１図 第２図 第５図 第６図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）超音波の送受を行なう２個の超音波送受波器を配管
上に備えた超音波流量計において、配管壁面を伝搬する
多重反射波を減衰させる音波吸収体を配管表面上に設け
、この音波吸収体上に両超音波送受波器を設けたことを
特徴とする超音波流量計。 ２）特許請求の範囲第１項に記載の超音波流量計におい
て、音波吸収体が配管と同じ音響インピーダンスの音響
インピーダンス整合層を有していることを特徴とする超
音波流量計。 ３）特許請求の範囲第１項又は第２項に記載の超音波流
量計において、音波吸収体がタングステン粒子を混入し
たシリコンゴムから成つていることを特徴とする超音波
流量計。 ４）特許請求の範囲第３項に記載の超音波流量計におい
て、タングステン粒子の混合比が音響インピーダンス整
合層以遠において連続的に低下されていることを特徴と
する超音波流量計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15026584A JPS6128821A (ja) | 1984-07-19 | 1984-07-19 | 超音波流量計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15026584A JPS6128821A (ja) | 1984-07-19 | 1984-07-19 | 超音波流量計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6128821A true JPS6128821A (ja) | 1986-02-08 |
Family
ID=15493158
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15026584A Pending JPS6128821A (ja) | 1984-07-19 | 1984-07-19 | 超音波流量計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6128821A (ja) |
Cited By (19)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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