JPS61286747A - 3次元探触子及び3次元映像装置 - Google Patents

3次元探触子及び3次元映像装置

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JPS61286747A
JPS61286747A JP60128056A JP12805685A JPS61286747A JP S61286747 A JPS61286747 A JP S61286747A JP 60128056 A JP60128056 A JP 60128056A JP 12805685 A JP12805685 A JP 12805685A JP S61286747 A JPS61286747 A JP S61286747A
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JP
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longitudinal
curvature
ultrasonic
wave
waves
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JP60128056A
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Fuminobu Takahashi
高橋 文信
Kazunori Koga
古賀 和則
Satoshi Ogura
聰 小倉
Masahiro Koike
正浩 小池
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は、3次元探触子とこれを用いた3次元映像装置
に係り、特に、鋼材、合成樹脂などの内部欠陥を検出φ
映像化する超音波検査装置として使用され、被検体表面
にわずかな面積で接触するだけで、広範囲を瞬時に検査
する3次元探触子と、その検査領域を立体的に映像化す
ることを可能にした3次元映像装置に関する。
〔発明の背景〕
1 これまでの鋼材の探傷には、主に超音波が用いられ
てきた。通常の超音波探傷では、探触子を被検体表面に
接触させて、被検体中に超音波を入射し、内部欠陥から
の反射波を再び探触子で受信する。探触子から被検体中
に入射する超音波は、特定の方向に伝播するため、探触
子を被検体表面上で走査しない限り、広い範囲を検査す
ることが出来ない。
そとで、従来から探触子を被検体表面で走査するため、
次の2つの手段が用いられている。第1の手段は、探触
子を機械的に走査する自動走査装置を用いるものである
。しかし、この自動走査装置を用い東場合には、探触子
と被検体表面との接触の安定性を保持することが困難で
あシ、また被検体表面が複雑な形状の場合その曲率に合
せて走行させる倣い機構を制御することが困難である等
の問題点がある。また、自動走査装置を用いて、機械的
な走査を実現したとしても、被検体を短時間で検査する
ことは、走査装置の機械的な強度、信頼性の問題から困
難であった。
探触子を被検体表面で走査する第2の手段は、電子走査
を用いた超音波探傷法である。この方法は、小さな振動
子を一列に配置したアレイ探触子を用い、これら小さな
振動子を電子回路で順次切シ替えてゆくことによシ、超
音波ビームを空間的に走査して探傷する。機械的な走査
にくらべて電子回路の切シ替え走査はl mse以内の
短時間で済み、映像も実時間で表示でき得る。現在の電
子走査は、小さな振動子を複数用いて、各々の振動子の
超音波発信時間をわづかずつ遅らせ、また各々の振動子
の受信信号を発信時と同様遅延させることによシ、各々
の振動子から出た超音波を干渉させて斜角・集束超音波
ビームを実現している。この方法によシ、アレイ探触子
を物理的に動かすことなく、超音波ビームの伝播方向を
2次元平面上で変化させることが出来る。しかし、多数
の小さな振動子の超音波の発信・受信には、多くの遅延
回路とその制御回路を必要とし、装置構成が複雑になり
価格が高くなるとともに、受信信号が数多くの遅延回路
を通過する間に減衰することによつ)て、欠陥反射波に
対する感度が低くなるなどの問題点があった。
この様な問題点を解決するため、特願昭56−9525
0号明細書に開示されている様に、半円形シューの円弧
上に小さな振動子を1列に貼りつけた1アレイ探触子を
用いた試みがなされている。この形状のアレイ探触子で
は、円弧上の1つの小さな振動子から発信される超音波
は、半円形シューのため伝播方向が特定の角度になるた
め、単に特定の位置にある小さな振動子を選択するだけ
で、所、望の入射角の超音波ビームを発生できる。従っ
て、円弧上の小さな振動子を順次切り替えて超音波を送
受信すれば、超音波ビームを被検体中で一90°から9
0°まで走査できることになるoしかし、この様なアレ
イ探触子では、超音波ビームが円弧状に走査するだけで
あるので、被検体の断面領域しか探傷できず、また、超
音波がシューから被検体中に伝播するさい、シュー内の
入射角によっては被検体中で音速の異なる縦波と横波に
なす、反射波の伝播時間から反射体即ち欠陥の位置を算
出する処理が複雑になり、映像の実時間表示が困難にな
るという問題点がある。
〔発明の目的〕
本発明は、上記した従来技術の問題点に鑑みなされたも
ので、複雑な形状の被検体表面にわずかな面積で接触さ
せるだけで、被検体内部で超音波ビームを3次元走査し
て広い範囲にわたって探傷できる3次元探触子と、その
3次元探触子を使って、単純な処理構成によって被検体
内部欠陥や形状を立体的にかつ実時間で映像化できる3
次元映像装置を提供することを目的としている。
〔発明の概要〕
本発明の3次元探触子は、曲率中心を同一とし、被検体
中の縦波音速と横波音速の比率に応じて曲率半径を変え
た2種類の球面を有するシューと、上記シー−の縦波音
速に比例した曲率半径の球面に配置され、被検体を超音
波の横波で探傷する複数の振動子と、上記シューの横波
音速に比例した曲率半径の球面に配置され、被検体を超
音波の縦波で探傷する複数の振動子とから成り、上記曲
線中心から被検体へ超音波を入射することを特徴として
いる。
また、本発明の3次元映像装置は、上記の3次元探触子
と、上記3次元探触子の各振動子から、超音波が発信さ
れてから、反射波が受信されるまでの時間をクロックパ
ルスのパルス数として計測する/IPルス計数手段と、
上記・臂ルス数計数手段が計数するパルスを、縦波探傷
時には縦波音速に反比例した周期のクロックパルスとし
、横波探傷時には横波音速に反比例した周期のクロック
パルスとするクロックパルス出力手段と、上記・9ルス
数計数手段から出力される・卆ルス数に基づいて、超音
波入射位置から反射体までの距離を算出し、反射体を3
次元表示する演算・表示手段と、を備えて構成されてい
ることを特徴としている。
〔発明の実施例〕
以下、添付の図面に示す実施例によシ、更に詳細に本発
明について説明する。
第2図は本発明の3次元探触子の一実施例を示す断面図
である。図示する様に、シー−1の曲率中心を被検体4
との接触面におき曲率半径r、の球面上にアレイ探触子
2を接合し、曲率半径r。の球面上にはアレイ探触子3
を接合する。ここで、曲率半径r、、r6は、被検体中
の縦波音速vL を横波音速VBと次式の関係が成シ立
つ様にする。
rQ @r1==  ”IB : VLo” ”直1)
ここで、被検体4を鋼材とし、シー−1をアクリル樹脂
とした場合、V、は3200 m/斌、v、は5900
w−rシュー内音速V、は2700 mΔとなる。そし
て、アレイ探触子2はシー−1の法線7に対して5.5
°から54°までの範囲に配置し、アレイ探触子3は法
線1に対してfから13.テの範囲に配置する。
さて、第2図において、アレイ探触子2の振動子8から
発信される超音波ビームは、シ、−−1と被検体4の接
触面で屈折し、被検体4中では3d)か5ら70°の間
の角度方向に伝播する。一方、アレイ探触子3中の振動
子8から発信される超音波ビームは被検体中ではCから
30°までの間の角度方向に伝播する。この超音波ビー
ムの被検体4中の伝播方向を走査角θとし、アレイ探触
子の振動子8の設・置角度をθ、とすると、一般にスネ
ルの法則と呼ばれる次式の関係がある。
Vp”dnθP=v111!+!Iθ       ・
・・・・・(2)ここで、Vは被検体4の音速でv8か
VLになる。ところで、アレイ探触子2,3を別の球面
に分割したのは、被検体4で伝播する超音波が音速の異
なる縦波と横波が存在するからである。超音波の走査角
θが00から30°までの縦波領域6は、横波がほとん
ど発生せず、主に縦波が発生し、30’を超えた横波領
域5では、はとんどが横波になって伝播すする。すなわ
ち、走査角30’を境界として、縦波の超音波ビームが
走査する領域と横波の超音波ビームが走査する領域とを
分けることができる。
以上の如く、アレイ探触子2は、走査角が300から7
0°の横波領域5を横波で探傷するのに用いられ、アレ
イ探触子3は、走査角が00から3デまでの縦波領域6
を縦波で探傷するのに用いることが出来る。
第3図(鳳)は、本発明の3次元探触子を第2図中の法
線7の方向から見た状態を示す平面図である◇また、第
3図(b)、 (a)は、アレイ探触子2,3の各振動
子8の走査順序の一例を示し、第3図(b)は回転走査
、第3図(C)は菊形走査を示している。これによりて
、被検体4中で、超音波ビームが、第2図及び第3図+
IL)に示す角度θ及びψ(旋回角)方向に立体的に走
査される。
つぎに、アレイ探触子2,3の曲率半径をそれぞれr、
およびr。にすべき理由について述べる。
第4図は、本発明の3次元探触子を使って超音波入射点
10から距離Rにある欠陥9および91を探傷する場合
の超音波伝播径路の模式図である。欠陥9からの反射波
はアレイ探触子3で受信され、欠陥9′からの反射波は
アレイ探触子2でそれぞれ受信されるものとする。各々
の欠陥9および91は、超音波入射点工0から距離RK
位置し、それぞれの超音波の伝播径路を破線11および
11′で表わす。径5路11では、アレイ探触子3から
超音波入射点lOまでの距離はr、であるから、超音波
の伝播距離は、往復で2r0+2Hになる。一方、径路
11’では、アレイ探触子2から超音波入射点lOまで
の距離がr、で!D、超音波伝播距離は、往復で2r1
+2Hになる。
)従って、欠陥9および9′を探傷するときの超音波受
信信号は、それぞれ第5図(a)、 (b)に示すもの
となる。第5図(&)は、第3図において径路11で欠
陥9を縦波で探傷した信号、第5図(b)は径路11’
で欠陥9′を横波で探傷した信号をそれぞれ示し、縦軸
は信号電圧V、横軸は伝播時間tをそれぞれ同一スケー
ルで表わしたものである。
第5図(a)では、図示する様に、発信パルス12から
、時間tL+ trL後に反射波13が受信される。こ
こで、点線14で表わした位置は、シュー内を超音】波
が伝播する時間tLを表わす。時間tLp trLはそ
れぞれ次式で表わされる。
tL=2r0/v、・・・・・・(3)trL ” 2
 R/VL           ・・・・・・(4)
ここでvPは、シー−1内の音速である。
第5図(b)では、発信パルス12′から、時間18+
 1rs後に反射波13′が受信される。ここで、点線
14′で表わした位置は、シュー1内を超音波が伝播す
る時間tllである。時間t8t”rflはそれぞれ次
式で表わされる。
ts  = 2 rt /vp           
 −・= f5)trs = 2 R/ vg    
       ・旧” (6)ところで、曲率半径rQ
 、 r、は、前記した様に音速Vg 、 VLと式(
1)の関係が成シ立っ様にしていた。
re m rH”” Vg @ VL        
  ”’ ”’(1)即ち、re::r、・マ、/マ、
         ・・・・・・(7)であるから、式
(3)から式(7)までを使い、tL: tyL” 2
 T6 /Vp : 2R/YL” 2 rl VB/
VL@Vp : 2 R/YL” 2rl”s/’p 
 : 2R =2rI /V p  : 2 R/V B= tg 
: tエ            ・・・・・・(8)
なる関係を得る。
式(8)よシ、曲率半径’Q * ’Iを式(7)に示
す様に音速v6 、 VL Kそれぞれ比例させれば、
縦波を使用した探傷での反射波の伝播時間のうち、シ:
L−1内・の伝播時間1Lと被検体4中の伝播時間tr
t、の比は、横波使用した探傷でのシューl内伝播時間
t8と被検体4中の伝播時間trsの比と同一であるこ
とがわかる。この結果、以下の様に、縦波、横波にかか
わらず、超音波入射点11から欠陥9又は9′まで:の
距離Rを簡単に測定できる様になる。
第6図(a)、 (b)は、上記した測定法の原理を模
式的に示した説明図である。第6図(、)は縦波使用時
の受信信号と発信パルス12後反射波13受信までのク
ロックツ臂ルスの計数手順のタイムチャート、第6図6
)は横波使用時の受信信号と発信・9シス12′後反射
波13′受信までのクロックパルスの計数手順のタイム
チャートを表わす。さて、第6図(a)、 (b)にお
いて、クロックパルスの周期TL、 T8を、音速マ8
゜マLK対し次式の関係になる様設定する。
TL:Ts=vs:vL・・・・・・(9)式(9)の
関係が成立すると、第6図(、)において、発信パルス
12の立上り時に周期TLのクロックパルスの計数を開
始する。このとき、カウンタの初期値は一2rH/Vp
”TLにセットしておく。破線14の位置、即ち、シュ
ー1内伝播時間tL=2r6/Yp分だケクロックノ9
ルスを計数すると、カウンタは0になシ、反射波13の
位置でカウントを停止すると、計数値はt rL/Tい
すなわち2R/VL−TI、が得られる。
同様の手順で第6図(b)の場合に周期T8のクロック
パルスを計数すると、発信・9ルス11の立上シ時にお
いて、初期値−27,/Vp ’ T1.から計数を開
始−シュー内の伝播時間1.の位置14′で計数値はや
はりOになる。これは、次式による。
t、/T11214/Vp”TL=2r0/Yp”TB
  2rl/Yp”TL;2マ511ro/vPIIT
L11vL−2rI/vPeTL=2rI/Yp”T)
  2r1/Vp’Tc=0         ・・・
・・・OI従って、反射波13′の受信までの計数値は
、trs/Tsになる。ところが、t、、/TBは式(
8)、 f9)の関係から、 t IB /TB ” 2 R/VB ” TB=2R
/v8壷TL− B =2R/vL11TL = trL/’T’L・・・・・・ell)となる0従
って、第6図(a)、 (b)に示す場合とも、反射波
13.13’の受信時の計数値は同じになる。
以上に説明した様に、本発明の3次元探触子によれば、
縦波と横波の音速比に反比例した周期のクロックパルス
を計数することによシ、縦波・横波の別にかかわらず、
超音波入射点から欠陥までの距離を同一手順および回路
でパルス計数値として測定できることがわかる。
第1図は、本発明の3次元映像装置の一実施例を示すブ
ロック図である。第1図において、3次元探触子51は
、第2図及び第3図に示す構造のものであシ、アレイ探
触子2,3を備えて構成されている。この3次元探触子
51は、被検体4内部の欠陥9.9′を探知するもので
、アレイ探触子2゜3の振動子数はそれぞれ128個に
してあり、各振動子はスイッチ回路54の256個の端
子に、256線のケーブル69によって接続されている
。) IJ lf i4ルス発振器52は、周期1mm
の間隔でトリがノクルス100を出力する。9ビツトの
2進カウンタ53は、トリが・9ルス100の立ち上シ
でノ9ルスを計数し、計数値101を出力する。スイッ
チ回路54は、計数値101で指定された3次元探触子
51中の1個の振動子だけを順次導通状態にし、トリが
・譬ルスio。
の立ち下り時にス・臂イクパルス発生回路55から出力
される高電圧パルス102が、アイソレータ56の働き
によって、スイッチ回路54を介して3次元探触子51
の1個の振動子に印加される。この結果、高電圧ノ9ル
スが印加された振動子から超音波が発信される。
この超音波の反射波は、超音波を発信した振動子によっ
て受信され、受信信号103はスイッチ回路54とアイ
ソレータ56を介して増幅器57に入力される。増幅器
57は、微弱な電圧信号103を数v4で電圧増幅した
反射波信号104を出力する。反射波信号104は、検
波器58でビデオ検波され、検波パルス105になる0
波形整形回路59は、検波・臂ルス105のうち、所定
の電圧以上になったパルスのみディゾタルノヤルス信号
106に変換する。・9ルス抽出回路60は、ディノタ
ル・臂ルス信号106ノウチ、トリがパルス100の出
力後所定時間内に入力されたパルスだけを抽出し、さら
に、パルス順位設定器61で指定された順番107のパ
ルスのみを抽出し、抽出ノ母ルス108として出力する
。このパルス108が欠陥9または9′の反射波/4’
ルスに相当する。
周期TLのクロック・平ルス発生器64と、周期で8の
クロックパルス発生器65から、それぞれ出力されるク
ロックツ母ルス110および111は、セレクタ66に
入力され、計数値101の最上位ピットのレベル″″O
”又は″1”に従って、クロックパルス110又は11
1を計数/4’ルス112として出力する。即ち、セレ
クタ66は、現在駆動されている3次元探触子51の振
動子が、アレイ探触子2に属するのか3に属するのかに
応じて、クロックパルス110. 111のうちの一方
を計数パルス112として出力する。
カウンタ62においては、トリが/9ルス100の立ち
下り時に、初期値設定器63によって初期値(−2rl
/マPTL)が設定される。カウンタ62は、この初期
値から計数・9ルス112を計数し、パルス108の立
ち上シ時に計数動作を停止し、その計数値を距離計数値
113として出力する。
座標演算器67は、抽出ノ9ルス108の立上り時に処
理を開始し、距離計数値113を読み取り、計数値10
1に従って下記の演算処理を実行する。
まず、演算器67は、計数値101(内容を1とする)
に対応して選択される探触子51の素子から発信した超
音波の被検体4中の伝播方向に関し、走査角θ1につい
ては自01.cXlsθ1.旋回角ψ1については血ψ
1,1ψ1の形で予め記憶しているものとする。
距離計数値113の内容がM、計数値101の内容がl
の時、以下の式に従って演算を実施する。
R=M・マLIITL/2         ・・・・
・・(2)X=R@dnθ1拳(2)ψ1      
  ・・・・・・(6)Y=R−虐θ、・血ψ1   
     ・・・・・・04Z=R@四θ、     
      ・−・・・・α→上記の式(6)〜(ト)
を用いて、R,X、Y、Zを求め、さらに、以下の式に
従って演算を実行する。
px=(x・(2)α−Y”=に1α)@th/   
 ・・・・・・αQpz=(−x−自α+YOα)・醜
β+2すU  ・・・・・・α力そして、求めたpx、
pzをそれぞれ信号114゜115とし、輝度信号11
6と合わせてディスプレイ68に出力することにより、
式(6)〜に)を用いて演算した3次元欠陥位置の座標
系(x、y、z)が、鳥敞座標系(px、pz)に変換
され、立体的に表示される。第71V(a)、伽)は、
上記した座標系(X。
y、z)から鳥轍座標系(px、pz )への変換例を
示す説明図である。
なお、第6図に示す構成において、クロック/セル2発
生器64 、65の代わりに1個のクロックパルス発生
器のみを用い、分周率を切り替えることによシ、周期の
異なるクロックパルスを出力させても同じ機能を実現で
きる。
また、式(6)〜αηの演算処理は、次の超音波発信に
よる反射波が、受信される以前には完了するので、超音
波ビームが3次元的に走査されるのに追随して、映像を
表示することができる。例えば、本実施例では、探触子
51の全ての素子の切り替えが完了するのは、256 
m5ec () !Jが周期1m5eeX素子数256
 ) Lかかからない。
〔発明の効果〕
本発明の効果をまとめると次の様になる。
(イ)接触面積の狭い3次元探触子を提供し、被検体内
部で超音波ビームを3次元走査できる。従って表面上で
3次元探触子を走査できない複雑な形状の被検体、ある
いは曲率の大きい被検体の探傷が可能になる。
(ロ)縦波、横波探傷のシュー内伝播距離を変えた構造
の3次元探触子によシ、欠陥位置の測定を縦波、横波に
よらず同一の処理回路で実施でき、装置の大型化、処理
の複雑化をなくすことができる。
(ハ)高価な遅延回路を使用せず単なる切シ替えによっ
て超音波ビームを3次元走査でき、装置コストを大幅に
低減することができる。
に) 3次元探触子を押しあてるだけで、被検体内部の
欠陥を立体的に表示できる。例えば、256個の素子を
用いた本発明装置では、被検体をわずか256m!+e
eで体積検査可能である。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の3次元映像装置の一実施例を示すブロ
ック図、第2図は本発明の3次元探触子の一実施例を示
す断面図、第3図(a)は第2図に示す実施例の3次元
探触子の平面図、第3図(b)、 CG)は第3図(a
)に示す3次元探触子の駆動順序を示す説明図、第4図
は、本発明の3次元探触子で被検体中にある欠陥を探傷
する場合の超音波伝播径路を模式的に表わした説明図、
第5図(a)は第4図に示す条件での縦波使用時におけ
る反射信号を示す図、第5図(b)は第4図に示す条件
での横波使用時における反射波信号を示す図、第6図は
、本発明における欠陥位置を測定するためのクロック・
fルスの計数手順を表わす図、第7図(a)は座標系(
X。 y、z)における欠陥位置表示の一例を示す図、第7図
(b)は鳥敞座標系(px、pz )におけ−る欠陥位
置表示の一例を示す図である。 1・・・シュー、2,3・・・アレイ探触子、4・・・
被検体、5・・・横波領域、6・・・縦波領域、8・・
・振動子、9.9′・・・欠陥、10・・・超音波入射
点、51・・・3次元探触子、52・・・トリがノイル
2発振器、53.62・・・カウンタ、54・・・スイ
ッチ回路、55・・・ス/4’イク・量ルス発生器、5
6・・・アイソレータ、57・・・増幅器、58・・・
検波器、59・・・波形整形回路、60・・り奢ルス抽
出回路、61・・・パルス順位設定器、63・・・初期
値設定器、64.65・・・クロックパルス発生器、6
6・・・セレクタ、67・・・座標演算器、68・・・
ディスプレイ。 代理人 弁理士 秋 本 正 実 第2図 第3図 (b)              (c)第7rIf
J (a) X

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、曲率中心を同一とし、被検体中の縦波音速と横波音
    速の比率に応じて曲率半径を変えた2種類の球菌を有す
    るシューと、 上記シューの縦波音速に比例した曲率半径の球面に配置
    され、被検体を超音波の横波で探傷する複数の振動子と
    、 上記シューの横波音速に比例した曲率半径の球面に配置
    され、被検体を超音波の縦波で探傷する複数の振動子と
    から成り、 上記曲線中心から被検体へ超音波を入射することを特徴
    とする3次元探触子。 2、曲率中心を同一とし、被検体中の縦波音速と横波音
    速の比率に応じて曲率半径を変えた2種類の球面を有す
    るシューと、上記シューの縦波音速に比例した曲率半径
    の球面に配置され、被検体を超音波の横波で探傷する複
    数の振動子と、上記シューの横波音速に比例した曲率半
    径の球面に配置され、被検体を超音波の縦波で探傷する
    複数の振動子とから成り、上記曲線中心から被検体へ超
    音波を入射する3次元探触子と、 上記3次元探触子の各振動子から、超音波が発信されて
    から、反射波が受信されるまでの時間をクロックパルス
    のパルス数として計測するパルス計数手段と、 上記パルス数計数手段が計数するパルスを、縦波探傷時
    には縦波音速に反比例した周期のクロックパルスとし、
    横波探傷時には横波音速に反比例した周期のクロックパ
    ルスとするクロックパルス出力手段と、 上記パルス数計数手段から出力されるパルス数に基づい
    て、超音波入射位置から反射体までの距離を算出し、反
    射体を3次元表示する演算・表示手段と、 を備えて構成されていることを特徴とする3次元映像装
    置。
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06102258A (ja) * 1991-04-19 1994-04-15 Kawasaki Heavy Ind Ltd 超音波探傷検査方法および装置
JP2004340809A (ja) * 2003-05-16 2004-12-02 Mitsubishi Heavy Ind Ltd フェーズドアレイプローブ及びそれを用いた超音波探傷装置
JP2007017164A (ja) * 2005-07-05 2007-01-25 Hitachi Ltd 超音波探傷方法及び探傷システム
JP2010266463A (ja) * 2005-08-26 2010-11-25 Sumitomo Metal Ind Ltd 超音波探触子、超音波探傷装置、超音波探傷方法及び継目無管の製造方法
JP2011506992A (ja) * 2007-12-21 2011-03-03 ヴイ・アンド・エム・フランス 特に製造中または完成状態におけるパイプ用非破壊検査

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