JPS61283781A - 多段式の真空ポンプ - Google Patents
多段式の真空ポンプInfo
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- JPS61283781A JPS61283781A JP9347486A JP9347486A JPS61283781A JP S61283781 A JPS61283781 A JP S61283781A JP 9347486 A JP9347486 A JP 9347486A JP 9347486 A JP9347486 A JP 9347486A JP S61283781 A JPS61283781 A JP S61283781A
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- JP
- Japan
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- vacuum pump
- vacuum
- rotor
- pump according
- seal
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- Pending
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C27/00—Sealing arrangements in rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C27/008—Sealing arrangements in rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids for other than working fluid, i.e. the sealing arrangements are not between working chambers of the machine
- F04C27/009—Shaft sealings specially adapted for pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C18/30—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids having the characteristics covered by two or more of groups F04C18/02, F04C18/08, F04C18/22, F04C18/24, F04C18/48, or having the characteristics covered by one of these groups together with some other type of movement between co-operating members
- F04C18/34—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids having the characteristics covered by two or more of groups F04C18/02, F04C18/08, F04C18/22, F04C18/24, F04C18/48, or having the characteristics covered by one of these groups together with some other type of movement between co-operating members having the movement defined in group F04C18/08 or F04C18/22 and relative reciprocation between the co-operating members
- F04C18/344—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids having the characteristics covered by two or more of groups F04C18/02, F04C18/08, F04C18/22, F04C18/24, F04C18/48, or having the characteristics covered by one of these groups together with some other type of movement between co-operating members having the movement defined in group F04C18/08 or F04C18/22 and relative reciprocation between the co-operating members with vanes reciprocating with respect to the inner member
- F04C18/3441—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids having the characteristics covered by two or more of groups F04C18/02, F04C18/08, F04C18/22, F04C18/24, F04C18/48, or having the characteristics covered by one of these groups together with some other type of movement between co-operating members having the movement defined in group F04C18/08 or F04C18/22 and relative reciprocation between the co-operating members with vanes reciprocating with respect to the inner member the inner and outer member being in contact along one line or continuous surface substantially parallel to the axis of rotation
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C23/00—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C23/001—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids of similar working principle
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、ケーシング（少なくとも２つのケーシングリ
ング、端面の２つのケーシングカッゞ−及び、吸引室を
形成するための少なくとも１つの仕切板から成る）とロ
ータ機構とを有する真空ポンプであって、ロータ機構が
一緒に１つの軸に配置された少なくとも２つのロータ並
びにロータのための支承部を有している形式のものに関
する。
ング、端面の２つのケーシングカッゞ−及び、吸引室を
形成するための少なくとも１つの仕切板から成る）とロ
ータ機構とを有する真空ポンプであって、ロータ機構が
一緒に１つの軸に配置された少なくとも２つのロータ並
びにロータのための支承部を有している形式のものに関
する。
２段式若しくは多段式の真空ポンプは実際に２つ若しく
は複数の単段の真空ポンプから成っており、単段の真空
ポンプは並べて（互いに平行な回転軸を以って）若しく
は前後に（共通の軸又は回転軸を以って）配置されてい
る。本発明は後に述べた形式の多段の回転真空ポンプを
対象とする。
は複数の単段の真空ポンプから成っており、単段の真空
ポンプは並べて（互いに平行な回転軸を以って）若しく
は前後に（共通の軸又は回転軸を以って）配置されてい
る。本発明は後に述べた形式の多段の回転真空ポンプを
対象とする。
従来の技術
通常、ロータに配属された共通の軸はケーシングの端面
側でころがり軸受若しくはすべり軸受に保持されている
のに対して、ロータ機構の仕切壁若しくは仕切板内の支
承部は通常すべり軸受として構成されている。
側でころがり軸受若しくはすべり軸受に保持されている
のに対して、ロータ機構の仕切壁若しくは仕切板内の支
承部は通常すべり軸受として構成されている。
仕切板内のこのような中間軸受には技術的ないくつかの
問題が生じる。この問題は中間軸受がロータ機構の第３
の軸受であって、整列を必要とすることに基づく。整列
の不都合な帰結を避けるために多段式の真空２ンプの組
み立ての途中でロータ機構をまず支承カッ々−内に保持
し、次いで仕切板の調節を行なうことは公知である。
問題が生じる。この問題は中間軸受がロータ機構の第３
の軸受であって、整列を必要とすることに基づく。整列
の不都合な帰結を避けるために多段式の真空２ンプの組
み立ての途中でロータ機構をまず支承カッ々−内に保持
し、次いで仕切板の調節を行なうことは公知である。
このような組み立ては煩雑でかつ費用がかかる。
さらに欠点として、真・空ポンプの３個所が潤滑性に関
連して高い要求を十分に満す潤滑材で潤滑されねばなら
ない。
連して高い要求を十分に満す潤滑材で潤滑されねばなら
ない。
中間軸受の組み立ての困難を軽減するために、ロータ機
構に共通の軸を中間軸受の範囲で分離し、そこにカンプ
リング装置を設けることは公知である（西独特許出願公
開第３１３９２３２号明細書）。この゛場合には仕切板
の範囲に実質比較的に大きくなる。
構に共通の軸を中間軸受の範囲で分離し、そこにカンプ
リング装置を設けることは公知である（西独特許出願公
開第３１３９２３２号明細書）。この゛場合には仕切板
の範囲に実質比較的に大きくなる。
小型の真空ポンプにおいて、２段式の真空ポンプの一方
の段部を片持式に支承することは公知であり（西独国特
許出願公開第２３５４０３９号明細書）、この場合一方
の端面の支承は省略される。従って、整列の問題はもは
や生じないが、中間壁内の軸受は相変わらず高価な潤滑
材で潤滑されねばならない。さらに、このような配置は
大型のポンプ（１００ｉ／ｎ以上）のためには適さない
。それというのは端面の軸受は高圧真空段の範囲でしか
省略され得ないのであるが、大型の真空ポンプにおいて
は高圧真空段が低圧真空段よりも大きく、ひいては重く
構成されており、その結果特に高圧真空段は端面の支承
を必要とする。
の段部を片持式に支承することは公知であり（西独国特
許出願公開第２３５４０３９号明細書）、この場合一方
の端面の支承は省略される。従って、整列の問題はもは
や生じないが、中間壁内の軸受は相変わらず高価な潤滑
材で潤滑されねばならない。さらに、このような配置は
大型のポンプ（１００ｉ／ｎ以上）のためには適さない
。それというのは端面の軸受は高圧真空段の範囲でしか
省略され得ないのであるが、大型の真空ポンプにおいて
は高圧真空段が低圧真空段よりも大きく、ひいては重く
構成されており、その結果特に高圧真空段は端面の支承
を必要とする。
発明が解決しようとする問題点
本発明の課題は、冒頭に述べた形式の多段式の回転ピス
トンポンプを改善して、特に仕切壁若しくは仕切板の範
囲の軸受の問題を取除くことである。
トンポンプを改善して、特に仕切壁若しくは仕切板の範
囲の軸受の問題を取除くことである。
問題点を解決するための手段
前記課題を解決するために本発明の手段では、ロータ機
構が仕切板の区分で無接触の間隙シール（Ｓｐａ ｌ
ｔｄ ｉ ｃｈｔｕｎｇ）及び又はラビ！Ｊ ン、１シ
ールとして構成されている。
構が仕切板の区分で無接触の間隙シール（Ｓｐａ ｌ
ｔｄ ｉ ｃｈｔｕｎｇ）及び又はラビ！Ｊ ン、１シ
ールとして構成されている。
発明の効果
本発明の前記手段によって、整列の問題はもはや生じな
い。さらに、仕切板の範囲のシールに高価な潤滑材を供
給する必要がなく、すなわち端面側の支承部（軸受）の
潤滑が仕切板内の７−ルへのシール媒体の供給と別々に
行われる。
い。さらに、仕切板の範囲のシールに高価な潤滑材を供
給する必要がなく、すなわち端面側の支承部（軸受）の
潤滑が仕切板内の７−ルへのシール媒体の供給と別々に
行われる。
このような利点は特に、排気しようとする排気鐘内で経
過するプロセスに適合させねばならないシール媒体を用
いて真空ポンプを駆動する場合に重要である。上記シー
ル媒体は、ジオクチルフタレート（ＤＯＰ ）のような
例えばプロセス中に生じる物質であり、このような物質
は高い潤滑性を有していないが、間隙シール若しくはラ
ビリンスシールへの使用に間に合う。これとは無関係に
ロータ機構の端面側の支承部は高価な潤滑材、例えば潤
滑グリスで潤滑される。
過するプロセスに適合させねばならないシール媒体を用
いて真空ポンプを駆動する場合に重要である。上記シー
ル媒体は、ジオクチルフタレート（ＤＯＰ ）のような
例えばプロセス中に生じる物質であり、このような物質
は高い潤滑性を有していないが、間隙シール若しくはラ
ビリンスシールへの使用に間に合う。これとは無関係に
ロータ機構の端面側の支承部は高価な潤滑材、例えば潤
滑グリスで潤滑される。
有利には低圧真空・ロータの直径が間隙シール又ハラビ
リンスシールのロータ側の構成部分の直径より小さいか
若しくは直径と同じである。
リンスシールのロータ側の構成部分の直径より小さいか
若しくは直径と同じである。
これにより、ケーシングの外側でのロータの完全な組み
立てが可能であり、回転子つのあいが避けられる。
立てが可能であり、回転子つのあいが避けられる。
実施例
図面は、低圧真空段（Ｖ、Ｖ）２と高圧真空段（ＨＶ）
３とを備えた回転スライダ構造の２段式の真空ポンプｌ
を示している。真空ポンプｌのケーシングは、実施例の
場合支承リング５、プレート６及び閉鎖力・Ｓ−７から
成る■■側の支承力・々−生を有している。この■■側
の支承カッ々−生には、吸引室９を形成するｖｖ側のケ
ーシングリング８が接続している。吸引室９の高圧真空
段に向いた側の閉鎖部若しくは仕切板１１によって形成
されており、仕切板のＨＶ側に高圧真空段のケーシング
リング１２が接続している。ケーシングリング１２は高
圧真空段の吸引室１３を形成している。ＨＶ側の若しく
は吸引室１３の外側に向いた接続部が支承カバー１４に
よって形成されている。
３とを備えた回転スライダ構造の２段式の真空ポンプｌ
を示している。真空ポンプｌのケーシングは、実施例の
場合支承リング５、プレート６及び閉鎖力・Ｓ−７から
成る■■側の支承力・々−生を有している。この■■側
の支承カッ々−生には、吸引室９を形成するｖｖ側のケ
ーシングリング８が接続している。吸引室９の高圧真空
段に向いた側の閉鎖部若しくは仕切板１１によって形成
されており、仕切板のＨＶ側に高圧真空段のケーシング
リング１２が接続している。ケーシングリング１２は高
圧真空段の吸引室１３を形成している。ＨＶ側の若しく
は吸引室１３の外側に向いた接続部が支承カバー１４に
よって形成されている。
ロータ機構は■■・ロータ１５及びＨＶ・ロータ１６を
有しており、両方のロータは共通の軸１７に配置されて
いる。軸１７は軸受１８゜１９を介して支承カバー牛、
１４に回転可能に支承されている。軸１７はＨＶ側でカ
ンプリング２１を介して駆動モータ（図示せず）に結合
されている。■Ｖ側の軸受１８は支承リング５内に配置
されている。軸１７はプレート６内まで延びており、こ
のプレート内には２段式の真空ポンプ１のシール媒体の
だめの供給ポンプ２２が取付けられている。供給ポンプ
２２はプレート６内のラジアルシール２３を用いて軸１
７の軸受１８に対して遮断されている。
有しており、両方のロータは共通の軸１７に配置されて
いる。軸１７は軸受１８゜１９を介して支承カバー牛、
１４に回転可能に支承されている。軸１７はＨＶ側でカ
ンプリング２１を介して駆動モータ（図示せず）に結合
されている。■Ｖ側の軸受１８は支承リング５内に配置
されている。軸１７はプレート６内まで延びており、こ
のプレート内には２段式の真空ポンプ１のシール媒体の
だめの供給ポンプ２２が取付けられている。供給ポンプ
２２はプレート６内のラジアルシール２３を用いて軸１
７の軸受１８に対して遮断されている。
実施例として２段式の回転スライダ真空ポンプが選ばれ
ている。スライダのだめの■■・ロータを貫通するスリ
ットが破線で示しである。
ている。スライダのだめの■■・ロータを貫通するスリ
ットが破線で示しである。
本発明は、ロータを１つの軸に前後に配置した別のタイ
プの２段式の真空ポンプ（例えばロックスライダポンプ
’ Ｓｐｅｒｒｓｃｈｉｅｂｅｒｐｕｍｐｅｎ“）若し
くは２段式の二軸ポンプ（各軸に２つのロータが前後に
配置されている：ルーツボンプＲｏｏｔｓｐｕｍｐｅ、
／−／イ・ポンプＮｏｒ ｔｈｅｙ−Ｐｕｍｐｅ）にお
いても使用される。
プの２段式の真空ポンプ（例えばロックスライダポンプ
’ Ｓｐｅｒｒｓｃｈｉｅｂｅｒｐｕｍｐｅｎ“）若し
くは２段式の二軸ポンプ（各軸に２つのロータが前後に
配置されている：ルーツボンプＲｏｏｔｓｐｕｍｐｅ、
／−／イ・ポンプＮｏｒ ｔｈｅｙ−Ｐｕｍｐｅ）にお
いても使用される。
本発明の構成に相応して、ルーツ機構は仕切板１１には
支承されていない。しかしながら、真空ポンプの機能に
とって吸引室９と１３との間の遮断が重要であるので、
仕切板１１０区分にラビリンスシール２５が設けられて
いる。ラビリンスシールは図示の実施例では２つの溝２
６．２７を有している。より多くの溝が若しくは簡単な
間隙シールも可能である。間隙幅は構成部分の寸法に関
連しており、構成部分の材料及び運転中の温度、さらに
軸受１８．１９の遊びが構成部分の熱膨張を許容するた
めに考慮されねばならない。間隙幅は１００分の数ミリ
メ−トルの大きさである。
支承されていない。しかしながら、真空ポンプの機能に
とって吸引室９と１３との間の遮断が重要であるので、
仕切板１１０区分にラビリンスシール２５が設けられて
いる。ラビリンスシールは図示の実施例では２つの溝２
６．２７を有している。より多くの溝が若しくは簡単な
間隙シールも可能である。間隙幅は構成部分の寸法に関
連しており、構成部分の材料及び運転中の温度、さらに
軸受１８．１９の遊びが構成部分の熱膨張を許容するた
めに考慮されねばならない。間隙幅は１００分の数ミリ
メ−トルの大きさである。
このような手段の利点は、仕切板の区分で軸受だけでは
なく、この軸受への高価な潤滑“材の供給をも省略でき
ることにある。
なく、この軸受への高価な潤滑“材の供給をも省略でき
ることにある。
軸受１８及び１９には別個の潤滑材−有利には潤滑グリ
ス−が供給される。このために、軸受室と吸引室９，１
３との間の遮断が必要である。この遮断はラジアルシー
ルリング２８，２９及び／又はラビリンスシール若しく
は間隙シールによって行われる。図示の実施例の場合、
ｖｖ側の軸受１８の軸受室はラジアルシールリング２８
によって吸引室９に対して遮断されている。高圧真空側
ではラビリンスシール３１及びラジアルシールリング２
９から成るコンビネーションが選ばれている。プレート
６内に配置された供給２ンプは油だめ３２から通路３３
を通してシール媒体を吸い込んで、通路３４内へそれも
比較的高い１・々−ルの圧力で押込む。シール媒体は公
知の形式で吸引室９，１３に供給され、次いで油だめ３
２へ戻される。本発明に基づく２段式の真空ポンプにお
いては同時にラビリンスシール２５及び３１にシール媒
体が供給される。シール媒体の供給は、ラビリンスシー
ル２５に対しては通路３４から分岐しかつラビリンスシ
ール２５の■■側に開口する孔３６によって行われる。
ス−が供給される。このために、軸受室と吸引室９，１
３との間の遮断が必要である。この遮断はラジアルシー
ルリング２８，２９及び／又はラビリンスシール若しく
は間隙シールによって行われる。図示の実施例の場合、
ｖｖ側の軸受１８の軸受室はラジアルシールリング２８
によって吸引室９に対して遮断されている。高圧真空側
ではラビリンスシール３１及びラジアルシールリング２
９から成るコンビネーションが選ばれている。プレート
６内に配置された供給２ンプは油だめ３２から通路３３
を通してシール媒体を吸い込んで、通路３４内へそれも
比較的高い１・々−ルの圧力で押込む。シール媒体は公
知の形式で吸引室９，１３に供給され、次いで油だめ３
２へ戻される。本発明に基づく２段式の真空ポンプにお
いては同時にラビリンスシール２５及び３１にシール媒
体が供給される。シール媒体の供給は、ラビリンスシー
ル２５に対しては通路３４から分岐しかつラビリンスシ
ール２５の■■側に開口する孔３６によって行われる。
これによってラビリンスシール２５内にオイルフィルム
が形成され、支承機能を有さない仕切板１１内の破損が
高圧真空段と低圧真空段との間でシールされる。ラビリ
ンスシール３１への供給は通路３４からラビリンスシー
ル３１の圧力側の端部に通じる孔３７によって行われる
。
が形成され、支承機能を有さない仕切板１１内の破損が
高圧真空段と低圧真空段との間でシールされる。ラビリ
ンスシール３１への供給は通路３４からラビリンスシー
ル３１の圧力側の端部に通じる孔３７によって行われる
。
さらに、低圧真空段若しくは圧力側から高圧真空段の方
向へラビリンスシール２５，３１若しくは間隙シールを
貫流するシール媒体フィルムを高圧真空段の吸引室１３
内への流入の前にガス抜きすると有利である。ガス抜き
は、ＨＶ側でラビリンスシール２５，３１に一有利には
ＨＶ側に最も近くに位置する溝の高さに一開口するガス
抜き通路４１．４２によって行われる。
向へラビリンスシール２５，３１若しくは間隙シールを
貫流するシール媒体フィルムを高圧真空段の吸引室１３
内への流入の前にガス抜きすると有利である。ガス抜き
は、ＨＶ側でラビリンスシール２５，３１に一有利には
ＨＶ側に最も近くに位置する溝の高さに一開口するガス
抜き通路４１．４２によって行われる。
カス抜キ通路４１．４２はラビリンスシール２５．３１
と室４３を接続しており、室は低圧真空段２の吸引側に
接続し、すなわち中間真空を有している。、ガス抜きは
、高圧真空段の達成された最終圧力を不都合に妨げない
ようにするものである。
と室４３を接続しており、室は低圧真空段２の吸引側に
接続し、すなわち中間真空を有している。、ガス抜きは
、高圧真空段の達成された最終圧力を不都合に妨げない
ようにするものである。
本発明の根底を成す重要な思想は仕切板１１の範囲の中
間軸受を省略することにある。
間軸受を省略することにある。
図面は本発明の実施例の縦断面図である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、ケーシング、２つの吸引室を形成するための仕切板
並びにロータ機構を有する多段式の真空ポンプであって
、ロータ機構が１つの軸に一緒に配置された２つのロー
タ及びロータのための支承部を有している形式のものに
おいて、ロータ機構が仕切板（１１）の区分で無接触の
間隙シール及び又はラビリンスシール（２５）として構
成されていることを特徴とする多段式の真空ポンプ。 ２、低圧真空・ロータ（１５）の直径が間隙シール又は
ラビリンスシール（２５）のロータ側の構成部分の直径
より小さいか若しくは直径と同じである特許請求の範囲
第１項記載の真空ポンプ。 ３、ロータ機構が端面側に配置された２つの軸受（１８
、１９）に保持若しくは支承されている特許請求の範囲
第１項又は第２項記載の真空ポンプ。 ４、２段式の真空ポンプにおいてロータ機構が一方の支
承カバー（４若しくは１４）内に片持式に保持若しくは
支承されている特許請求の範囲第１項又は第２項記載の
真空ポンプ。 ５、ロータ機構の軸受（１８、１９）を受容する室がシ
ールリング（２８、２９）によって及び又は間隙シール
若しくはラビリンスシール（３１）によってそれぞれの
吸引室（９、１３）から遮断されている特許請求の範囲
第１項から第４項までのいずれか１項記載の真空ポンプ
。 ６、間隙シール若しくはラビリンスシール（２５）への
作業媒体として真空ポンプのシール媒体が用いられてい
る特許請求の範囲第１項から第５項までのいずれか１項
記載の真空ポンプ。 ７、真空ポンプが、真空ポンプのシール媒体を回路内へ
吐出するシール媒体ポンプ（２２）を備えている特許請
求の範囲第１項から第６項までのいずれか１項記載の真
空ポンプ。 ８、シール媒体回路の圧力側の通路（３４）が孔（３６
）を介してラビリンスシール（２５）の低圧真空側に接
続されている特許請求の範囲第７項記載の真空ポンプ。 ９、支承カバー（４若しくは１４）の軸受室の遮断に役
立つラビリンスシール若しくは間隙シールが圧力側でシ
ール媒体回路の圧力側の通路（３４）に接続されている
特許請求の範囲第５項、第７項又は第８項のいずれか１
項記載の真空ポンプ。 １０、間隙シール若しくはラビリンスシール（２５、３
１）の高圧真空側の部分に孔（４１、４２）が開口しか
つ別の側で中間真空下の室（４３）に接続されている特
許請求の範囲第１項から第９項までのいずれか１項記載
の真空ポンプ。 １１、孔（４１、４２）がＨＶ側に最も近い溝（２７）
の高さに開口している特許請求の範囲第１０項記載の真
空ポンプ。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| EP85104947A EP0198936B1 (de) | 1985-04-24 | 1985-04-24 | Mehrstufige Vakuumpumpe |
| EP85104947.8 | 1985-04-24 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61283781A true JPS61283781A (ja) | 1986-12-13 |
Family
ID=8193462
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9347486A Pending JPS61283781A (ja) | 1985-04-24 | 1986-04-24 | 多段式の真空ポンプ |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0198936B1 (ja) |
| JP (1) | JPS61283781A (ja) |
| DE (1) | DE3574274D1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013510988A (ja) * | 2009-11-11 | 2013-03-28 | エドワーズ リミテッド | 真空ポンプ用の耐腐食性軸シール装置 |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4439637A1 (de) * | 1994-11-07 | 1996-05-09 | Balzers Pfeiffer Gmbh | Mehrstufige Drehschiebervakuumpumpe |
| DE102012217071A1 (de) * | 2012-09-21 | 2014-03-27 | Robert Bosch Gmbh | Pumpenanordnung |
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