EP0198936A1 - Mehrstufige Vakuumpumpe - Google Patents

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EP0198936A1
EP0198936A1 EP85104947A EP85104947A EP0198936A1 EP 0198936 A1 EP0198936 A1 EP 0198936A1 EP 85104947 A EP85104947 A EP 85104947A EP 85104947 A EP85104947 A EP 85104947A EP 0198936 A1 EP0198936 A1 EP 0198936A1
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vacuum pump
rotor system
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vacuum
gap
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EP85104947A
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Hanns-Peter Dr. Berges
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Balzers und Leybold Deutschland Holding AG
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Leybold AG
Leybold Heraeus GmbH
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C27/00—Sealing arrangements in rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
    • F04C27/008—Sealing arrangements in rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids for other than working fluid, i.e. the sealing arrangements are not between working chambers of the machine
    • F04C27/009—Shaft sealings specially adapted for pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
    • F04C18/30—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids having the characteristics covered by two or more of groups F04C18/02, F04C18/08, F04C18/22, F04C18/24, F04C18/48, or having the characteristics covered by one of these groups together with some other type of movement between co-operating members
    • F04C18/34—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids having the characteristics covered by two or more of groups F04C18/02, F04C18/08, F04C18/22, F04C18/24, F04C18/48, or having the characteristics covered by one of these groups together with some other type of movement between co-operating members having the movement defined in group F04C18/08 or F04C18/22 and relative reciprocation between the co-operating members
    • F04C18/344—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids having the characteristics covered by two or more of groups F04C18/02, F04C18/08, F04C18/22, F04C18/24, F04C18/48, or having the characteristics covered by one of these groups together with some other type of movement between co-operating members having the movement defined in group F04C18/08 or F04C18/22 and relative reciprocation between the co-operating members with vanes reciprocating with respect to the inner member
    • F04C18/3441—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids having the characteristics covered by two or more of groups F04C18/02, F04C18/08, F04C18/22, F04C18/24, F04C18/48, or having the characteristics covered by one of these groups together with some other type of movement between co-operating members having the movement defined in group F04C18/08 or F04C18/22 and relative reciprocation between the co-operating members with vanes reciprocating with respect to the inner member the inner and outer member being in contact along one line or continuous surface substantially parallel to the axis of rotation
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C23/00—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids
    • F04C23/001—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids of similar working principle

Definitions

  • the invention relates to a multi-stage vacuum pump with a housing which has at least two housing rings, two front housing covers and at least one cutting disc to form scoops, and a rotor system which comprises at least two rotors arranged together on a shaft and bearings for the rotor system.
  • a two- or multi-stage vacuum pump practically consists of two or more single-stage vacuum pumps, which are either arranged side by side (with axes of rotation parallel to each other) or one behind the other (with a common shaft or axis of rotation).
  • the present invention relates to a multi-stage rotary piston vacuum pump of the last-mentioned type.
  • the common shaft assigned to the rotors is held in the end faces of the housing in roller or slide bearings, while the bearing of the rotor system in the partition or cutting disc is generally designed as a slide bearing.
  • This solution has the disadvantage that practically two bearings have to be arranged in the region of the cutting disc, so that the axial extent of the cutting disc and the intermediate bearing or bearings is relatively large.
  • the present invention has for its object to provide a multi-stage rotary piston vacuum pump of the type mentioned, in which storage problems are significantly reduced, particularly in the area of the partition or partition.
  • this object is achieved in that the implementation of the rotor system through the cutting disc is designed as a contact-free gap and / or labyrinth seal.
  • This measure of completely dispensing with intermediate storage has a number of sometimes surprising advantages. On the one hand, there are no longer any problems of over-determination. Furthermore, it is not necessary to supply the seal in the area of the partition with high-quality lubricants, which means that there is the possibility of separating the lubrication of the end bearings from the supply of the seal in the separating disc with a sealant. This advantage becomes particularly significant if the vacuum pump has to be operated with a sealant which has to be adapted to the process which takes place within the recipient to be evacuated.
  • Such sealants can be, for example, substances occurring in the process, such as dioctyl phthalate (DOP), which have no high-quality lubricating properties, but are sufficient to supply a gap or labyrinth seal.
  • DOP dioctyl phthalate
  • the bearings of the rotor system in the end covers can be supplied with high-quality lubricants, such as greases. It is expedient if the diameter of the fore-vacuum rotor is less than or equal to the diameter of the rotor-side part of the gap or labyrinth seal. A complete assembly of the rotor outside the housing and thus a minimization of concentricity is possible.
  • the figure shows a two-stage vacuum pump 1 in rotary vane design with a forevacuum (VV) stage 2 and a high vacuum (HV) stage 3.
  • VV forevacuum
  • HV high vacuum
  • Vacuum pump 1 includes the VV-side housing cover 4, the in this embodiment consists of the bearing ring 5 of the disc 6 and the end cover 7.
  • the partition or partition 11 connects to the HV side of the HV housing ring 12 and forms the HV suction chamber 13.
  • the bearing cover 14 forms the end of the HV side or the HV scoop space 13 to the outside.
  • the rotor system comprises the VV rotor 15 and the HV rotor 16, which are arranged on a common shaft 17.
  • the shaft 17 is rotatably supported in the bearing caps 4 and 14 by means of the bearings 18 and 19.
  • On the HV side the shaft 17 is connected via the coupling 21 to a drive motor, not shown.
  • the bearing 18 on the W side is located in the bearing ring 5.
  • the shaft 17 extends into the disk 6, in which a feed pump 22 for the sealant of the two-stage pump 1 shown is accommodated.
  • the feed pump 22 is separated from the bearing 18 of the shaft 17 by means of the radial seal 23 in the disk 6.
  • a two-stage rotary vane vacuum pump has been chosen as the exemplary embodiment.
  • the slot for a slide passing through the VV rotor is shown in dashed lines and designated by 10.
  • the use of the invention is, however, also take place in other types of two-stage vacuum pumps with one another on a shaft rotors (for example, locking slide pumps) or even in two-stage twin-screw pumps, in which on each shaft two rotors are arranged one behind the other (Roots pump, N Orthey-pump).
  • the rotor system is no longer supported in the cutting disc 11.
  • a labyrinth seal 25 is provided in the region of the cutting disc 11.
  • this comprises two grooves 26 and 27.
  • the gap width depends on the size of the parts, their materials and possible temperatures during operation in order to allow thermal expansion of the parts; furthermore, the possible play of the bearings 18, 19 must be taken into account.
  • the gap widths are on the order of a few hundredths of a millimeter.
  • the advantage of this solution is that not only a bearing but also a supply of high-quality lubricants can be dispensed with at this point.
  • the sealant of the pump which often does not have very good lubricating properties, is sufficient to seal the labyrinth or gap seal 25.
  • the bearings 18 and 19 can be supplied with a separate lubricant - preferably grease.
  • a separation of the storage rooms from the scooping rooms 9 and 13 is necessary for this purpose. This separation can be achieved by radial sealing rings 28, 29 and / or also by labyrinth or gap seals.
  • the storage space of the VV-side bearing 18 is separated from the scooping space 9 by the radial sealing ring 28.
  • a combination consisting of the labyrinth seal 31 and the radial sealing ring 29 has been selected.
  • the exemplary embodiment shown has the feed pump for the sealant of the pump already mentioned in the cutting disc 6.
  • the pump sucks the sealant from the sump 32 through the channel 33 and presses it into the channel 34, with a pressure of greater than 1 bar.
  • the sealant is used in a manner known per se to supply the scoops 9 and 13 and then returns to the pump sump 32.
  • the existing labyrinth seals 25 and 31 are to be supplied with the sealant. This is done in relation to the labyrinth seal 25 with the aid of the bore 36, which starts from the channel 34 and opens out on the VV side of the labyrinth seal 25. This creates an oil film in the labyrinth seal 25, so that it is possible to seal the opening in the partition 11, which has no bearing function, between the HV and VV stages.
  • the bore 37 is used, which leads from the channel 34 to the pressure-side end of the labyrinth seal 31.
  • the degassing channels 41 and 42 which on the HV side open into the labyrinth seals 25 and 31 - preferably at the level of the groove closest to the HV side.
  • the channels 41 and 42 connect these areas of the labyrinth seals 25 and 31 to the space 43, which in turn is connected to the suction side of the fore-vacuum stage 2, that is to say has an intermediate vacuum.
  • the degassing ensures that there is no inadmissible impairment of the final pressure of the HV stage.
  • the essential idea on which the invention is based consists in dispensing with an intermediate store in the area of the partition 11.
  • this dispense requires that the rotor system be mounted in both bearing caps 4 and 14.

Abstract

Die Erfindung bezieht sich auf eine mehrstufige Vakuumpumpe mit einem Gehäuse und einer Trennscheibe (11) zur Bildung von zwei Schöpfräumen (9, 13) sowie mit einem Rotorsystem, das zwei gemeinsam auf einer Welle (17) angeordnete Rotoren (15, 16) und Lagerungen (18, 19) für das Rotorsystem umfaßt; zur Reduzierung von Schmierproblemen bei den Lagern wird auf eine Lagerung des Rotorsystems in der Trennscheibe (11) verzichtet; die Durchführung des Rotorsystems durch die Trennscheibe (11) ist als berührungsfreie Spalt- und/oder Labyrinthdichtung (25) ausgebildet.

Description

  • Die Erfindung bezieht sich auf eine mehrstufige Vakuumpumpe mit einem Gehäuse, das mindestens zwei Gehäuseringe, zwei stirnseitige Gehäusedeckel und mindestens eine Trennscheibe zur Bildung von Schöpfräumen aufweist, und einem Rotorsystem, das mindestens zwei gemeinsam auf einer Welle angeordnete Rotoren sowie Lagerungen für das Rotorsystem umfaßt.
  • Eine zwei- oder mehrstufige Vakuumpumpe besteht praktisch aus zwei oder mehreren einstufigen Vakuumpumpen, die entweder nebeneinander (mit zueinander parallelen Drehachsen) oder hintereinander (mit einer gemeinsamen Welle bzw. Drehachse) angeordnet sind. Auf eine mehrstufige Rotationskolbenvakuumpumpe der zuletzt genannten Gattung bezieht sich die vorliegende Erfindung.
  • üblicherweise ist die den Rotoren zugeordnete, gemeinsame Welle in den Stirnseiten des Gehäuses in Wälz- oder Gleitlagern gehaltert, während die Lagerung des Rotorsystems in der Trennwand oder Trennscheibe in der Regel als Gleitlager ausgebildet ist.
  • Mit diesem Zwischenlager in der Trennscheibe sind einige technischen Probleme verbunden, welche zunächst darauf beruhen, daß das Zwischenlager ein drittes Lager für das Rotorsystem ist und somit eine Uberbestimmung darstellt.
  • Es ist bekannt, die nachteiligen Folgen dieser Überbestimmung dadurch zu vermeiden, daß.im Zuge der Montage einer mehrstufigen Vakuumpumpe das Rotorsystem zunächst in den
  • Lagerdeckeln gehaltert wird und danach eine Justage der Trennscheibe erfolgt. Diese Montage ist kompliziert und aufwendig. Ein weiterer Nachteil vorbekannter mehrstufiger Vakuumpumpen dieser Art besteht darin, daß drei Stellen der Vakuumpumpe mit in bezug auf die Schmierfähigkeit hohen Ansprüchen genügenden Schmierstoffen versorgt werden müssen.
  • Um die Schwierigkeiten der Montage des Zwischenlagers zu reduzieren, ist es bekannt (DE-OS 21 39 232), die dem Rotorsystem gemeinsame Welle im Bereich des Zwischenlagers zu trennen und dort eine Kupplungsanordnung vorzusehen.
  • An dieser Lösung ist nachteilig, daß praktisch zwei Lager im Bereich der Trennscheibe angeordnet werden müssen, so daß die axiale Ausdehnung der Trennscheibe und des bzw. der Zwischenlager relativ groß wird.
  • Bei kleineren Vakuumpumpen (DE-OS 54 039) ist es bekannt, eine der beiden Stufen einer zweistufigen Vakuumpumpe fliegend zu lagern, so daß auf eine der beiden stirnseitigen Lagerungen verzichtet werden kann. Die Überbestimmungsprobleme sind bei dieser Lösung nicht mehr vorhanden; ein mit hochwertigen Schmierstoffen zu versorgendes Lager in der Zwischenwand ist jedoch immer noch vorhanden. Außerdem ist eine derartige Anordnung für größere Pumpen (oberhalb von 100 m3/h) nicht geeignet, da auf ein stirnseitiges Lager nur im Bereich der Hochvakuumstufe verzichtet werden kann. Bei größeren Vakuumpumpen ist aber gerade die Hochvakuumstufe größer und damit schwerer auszubilden als die Vorvakuumstufe, so daß insbesondere die Hochvakuumstufe eine stirnseitige Lagerung benötigt.
  • Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine mehrstufige Rotationskolbenvakuumpumpe der eingangs genannten Art zu schaffen, bei der Lagerprobleme insbesondere im Bereich der Trennwand bzw. Trennscheibe erheblich reduziert sind.
  • Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe dadurch gelöst, daß die Durchführung des Rotorsystems durch die Trennscheibe als berührungsfreie Spalt- und/oder Labyrinthdichtung ausgebildet ist. Diese Maßnahme des völligen Verzichts einer Zwischenlagerung hat eine Reihe zum Teil überraschender Vorteile. Zum einen sind Uberbestimmungsprobleme nicht mehr vorhanden. Weiterhin ist es nicht erforderlich, die Dichtung im Bereich der Trennwand mit hochwertigen Schmierstoffen zu versorgen, das heißt, es besteht die Möglichkeit, die Schmierung der stirnseitigen Lagerungen von der Versorgung der Dichtung in der Trennscheibe mit einem Dichtmittel zu separieren. Dieser Vorteil wird besonders bedeutsam, wenn die Vakuumpumpe mit einem Dichtmittel betrieben werden muß, welches dem Prozeß, der innerhalb des zu evakuierenden Rezipienten abläuft, angepaßt werden muß. Solche Dichtmittel können zum Beispiel im Prozeß anfallende Substanzen, wie Dioctylphtalat (DOP), sein, die keine hochwertigen Schmiereigenschaften haben, zur Versorgung einer Spalt- oder Labyrinthdichtung aber ausreichen. Die Lagerung des Rotorsystems in den Stirndeckeln können davon unabhängig mit hochwertigen Schmierstoffen, zum Beispiel Schmierfetten, versorgt werden. Zweckmäßig ist es, wenn der Durchmesser des Vorvakuum-Rotors kleiner oder gleich dem Durchmesser des rotorseitigen Teils der Spalt- oder Labyrinthdichtung ist. Eine vollständige Montage des Rotors außerhalb des Gehäuses und damit eine Minimierung der Rundlauffehler wird dadurch möglich.
  • Weitere Vorteile und Einzelheiten der Erfindung sollen anhand eines in der Figur dargestellten Ausführungsbeispieles erläutert werden.
  • Die Figur zeigt eine zweistufige Vakuumpumpe 1 in Drehschieberbauart mit einer Vorvakuum(VV)-Stufe 2 und einer Hochvakuum(HV)-Stufe 3. Das Gehäuse der
  • Vakuumpumpe 1 umfaßt den VV-seitigen Gehäusedeckel 4, der bei diesem Ausführungsbeispiel aus dem Lagerring 5 der Scheibe 6 und dem Abschlußdeckel 7 besteht. An den VV-Lagerdeckel 4 schließt sich der VV-Gehäusering 8 an, der den Schöpfraum 9 bildet. Den Abschluß des Schöpfraumes 9 zur HV-Seite hin bildet die Zwischenwand oder Trennscheibe11 an die sich HV-seitig der HV-Gehäusering 12 anschließt und den HV-Schöpfraum 13 bildet. Den Abschluß der HV-Seite bzw. des HV-Schöpfraumes 13 nach außen bildet der Lagerdeckel 14.
  • Das Rotorsystem umfaßt den VV-Rotor 15 und den HV-Rotor 16, die auf einer gemeinsamen Welle 17 angeordnet sind. Die Welle 17 ist in den Lagerdeckeln 4 und 14 mittels der Lagerungen 18 und 19 drehbar gehaltert. Auf der HV-Seite ist die Welle 17 über die Kupplung 21 mit einem nicht dargestellten Antriebsmotor verbunden. Die Lagerung 18 auf der W-Seite befindet sich im Lagerring 5. Die Welle 17 erstreckt sich noch bis in die Scheibe 6, in der eine Förderpumpe 22 für das Dichtmittel der dargestellten zweistufigen Pumpe 1 untergebracht sind. Mittels der Radialdichtung 23 in der Scheibe 6 ist die Förderpumpe 22 von der Lagerung 18 der Welle 17 getrennt.
  • Als Ausführungsbeispiel ist eine zweistufige Drehschiebervakuumpumpe gewählt worden. Der den VV-Rotor durchsetzende Schlitz für einen Schieber ist gestrichelt dargestellt und mit 10 bezeichnet. Der Einsatz der Erfindung ist jedoch auch bei anderen Typen von zweistufigen Vakuumpumpen mit auf einer Welle hintereinanderliegenden Rotoren (zum Beispiel Sperrschieberpumpen) oder auch bei zweistufigen Zweiwellenpumpen, bei denen auf jeder Welle zwei Rotoren hintereinander angeordnet sind (Rootspumpe, Northey-Pumpe) erfolgen.
  • Entsprechend der erfindungsgemäßen Idee ist das Rotorsystem in der Trennscheibe 11 nicht mehr gelagert. Da jedoch eine Trennung der Schöpfräume 9 und 13 für die Funktion der Vakuumpumpe wichtig ist, ist im Bereich der Trennscheibe 11 eine Labyrinthdichtung 25 vorgesehen. Beim dargestellten Ausführungsbeispiel umfaßt diese zwei Nuten 26 und 27. Mehrere Nuten oder auch eine einfache Spaltdichtung sind möglich. Die Spaltweite ist abhängig von der Größe der Teile, deren Werkstoffe und mögliche Temperaturen während des Betriebs, um Wärmedehnungen der Teile zuzulassen; ferner muß das mögliche Spiel der Lager 18, 19 berücksichtigt werden. Es ergeben sich Spaltweiten in der Größenordnung von einigen Hundertstel Millimeter.
  • Der Vorteil dieser Lösung besteht darin, daß an dieser Stelle nicht nur auf ein Lager, sondern auch auf eine Versorgung dieses Lagers mit hochwertigen Schmierstoffen verzichtet werden kann. Das Dichtungsmittel der Pumpe, das häufig nicht sehr gute Schmiereigenschaften hat, reicht aus, um die Labyrinth- oder Spaltdichtung 25 abzudichten.
  • Die Lagerungen 18 und 19 können mit einem separaten Schmiermittel - vorzugsweise Schmierfett - versorgt sein. Eine Trennung der Lagerräume von den Schöpfräumen 9 und 13 ist dazu erforderlich.-Diese Trennung kann durch Radialdichtringe 28, 29 und/oder auch durch Labyrinth- oder Spaltdichtungen verwirklicht werden. Beim dargestellten Ausführungsbeispiel ist der Lagerraum des VV-seitigen Lagers 18 durch den Radialdichtring 28 vom Schöpfraum 9 getrennt. Hochvakuumseitig ist eine Kombination, bestehend aus der Labyrinthdichtung 31 und dem Radialdichtring 29, gewählt worden. Das dargestellte Ausführungsbeispiel weist in der Trennscheibe 6 die bereits erwähnte Förderpumpe für das Dichtmittel der Pumpe auf. Die Pumpe saugt das Dichtmittel aus dem Sumpf 32 durch den Kanal 33 und drückt es in den Kanal 34, und zwar mit einem Druck von größer 1 bar. Das Dichtmittel dient in an sich bekannter Weise der Versorgung der Schöpfräume 9 und 13 und gelangt danach in den Pumpensumpf 32 zurück.
  • Zusätzlich sind bei der erfindungsgemäß ausgebildeten zweistufigen Pumpe die vorhandenen Labyrinthdichtungen 25 und 31 mit dem Dichtmittel zu versorgen. Dies geschieht in bezug auf die Labyrinthdichtung 25 mit Hilfe der Bohrung 36, die vom Kanal 34 ausgeht und auf der VV-Seite der Labyrinthdichtung 25 mündet. Dadurch wird in der Labyrinthdichtung 25 ein Ölfilm erzeugt, so daß es möglich ist, die Durchbrechung in der Trennwand 11, welche keine Lagerfunktion hat, zwischen HV- und VV-Stufe abzudichten. Zur Versorgung der Labyrinthdichtung 31 dient die Bohrung 37 die von dem Kanal 34 zum druckseitigen Ende der Labyrinthdichtung 31 führt.
  • Weiterhin ist es zweckmäßig, den die Labyrinth- oder Spaltdichtungen 25, 31 von der VV- bzw. Druckseite in Richtung HV-Stufe durchströmenden Dichtmittelfilm vor dem Eintritt in den Schöpfraum 13 der HV-Stufe zu entgasen. Das geschieht durch die Entgasungskanäle 41 und 42, die HV-seitig in die Labyrinthdichtungen 25 und 31 - vorzugsweise in Höhe der der HV-Seite am nächsten gelegenen Nut - münden. Die Kanäle 41 und 42 stellen eine Verbindung dieser Bereiche der Labyrinthdichtungen 25 und 31 mit dem Raum 43 her, der seinerseits mit der Saugseite der Vorvakuumstufe 2 in Verbindung steht, also ein Zwischenvakuum aufweist. Die Entgasung sorgt dafür, daß keine unzulässige Beeinträchtigung des erreichten Enddruckes der HV-Stufe eintritt.
  • Die wesentliche, der Erfindung zugrunde liegende Idee besteht in dem Verzicht auf ein Zwischenlager im Bereich der Trennwand 11. Bei größeren Pumpen setzt dieser Verzicht voraus, daß das Rotorsystem in beiden Lagerdeckeln 4 und 14 gelagert ist. Bei kleineren zweistufigen Vakuumpumpen besteht die Möglichkeit, das gesamte Rotorsystem einseitig und damit fliegend zu lagern, so daß ebenfalls auf eine Zwischenlagerung im Bereich der Trennwand 11 verzichtet werden kann.

Claims (11)

1. Mehrstufige Vakuumpumpe mit einem Gehäuse und einer Trennscheibe zur Bildung von zwei Schöpfräumen sowie mit einem Rotorsystem, das zwei gemeinsam auf einer Welle angeordnete Rotoren und Lagerungen für das Rotorsystem umfaßt, dadurch gekennzeichnet , daß die Durchführung des Rotorsystems durch die Trennscheibe (11) als berührungsfreie Spalt- und/oder Labyrinthdichtung (25) ausgebildet ist.
2. Vakuumpumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet , daß der Durchmesser des Vorvakuum-Rotors (15) kleiner oder gleich dem Durchmesser des rotorseitigen Teiles der Spalt- oder Labyrinthdichtung (25) ist.
3. Vakuumpumpe nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet , daß das Rotorsystem in zwei stirnseitig angeordneten Lagern (18, 19) gehaltert bzw. gelagert ist.
4. Vakuumpumpe nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet , daß bei einer zweistufigen Vakuumpumpe das Rotorsystem fliegend in einem der beiden Lagerdeckel (4 oder 14) gehaltert bzw. gelagert ist.
5. Vakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Räume, in denen sich die Lagerungen (18, 19) des Rotorsystems befinden, durch Dichtringe (28, 29) und/ oder durch Spalt- oder Labyrinthdichtungen (31) von den jeweiligen Schöpfräumen (9, 13) getrennt sind.
6. Vakuumpumpe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet , daß zur Versorgung der Spalt- oder Labyrinthdichtung (25) das Dichtmittel der Vakuumpumpe dient.
7. Vakuumpumpe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet , daß sie mit einer Dichtmittelpumpe (22) ausgerüstet ist, mit der das Dichtmittel der Vakuumpumpe im Kreislauf gefördert wird.
8. Vakuumpumpe nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet , daß eine druckseitige Leitung (34) des Dichtmittelkreislaufs über eine Bohrung (36) mit der Vorvakuumseite der Labyrinthdichtung (25) in Verbindung steht.
9. Vakuumpumpe nach Anspruch 8 oder nach den Ansprüchen 5 und 7, dadurch gekennzeichnet , daß die der Trennung von Lagerräumen in den Lagerdeckeln (4 oder 14) dienenden Labyrinth- oder Spaltdichtungen druckseitig mit dem druckseitigen Kanal (34) des Dichtmittelkreislaufs in Verbindung stehen.
10. Vakuumpumpe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet , daß in den hochvakuumseitigen Teil der Spalt- oder Labyrinthdichtung (25, 31) eine Bohrung (41, 42) mündet, deren andere Seite.mit einem Raum (43) unter Zwischenvakuum verbunden ist.
11. Vakuumpumpe nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet , daß die Bohrung (41, 42) in Höhe der der HV-Seite am nächsten gelegenen Nut (27) mündet.
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