JPS61272491A - ドライポンプ - Google Patents
ドライポンプInfo
- Publication number
- JPS61272491A JPS61272491A JP11479885A JP11479885A JPS61272491A JP S61272491 A JPS61272491 A JP S61272491A JP 11479885 A JP11479885 A JP 11479885A JP 11479885 A JP11479885 A JP 11479885A JP S61272491 A JPS61272491 A JP S61272491A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- divided
- rotor
- vane
- vanes
- dry pump
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F01—MACHINES OR ENGINES IN GENERAL; ENGINE PLANTS IN GENERAL; STEAM ENGINES
- F01C—ROTARY-PISTON OR OSCILLATING-PISTON MACHINES OR ENGINES
- F01C21/00—Component parts, details or accessories not provided for in groups F01C1/00 - F01C20/00
- F01C21/08—Rotary pistons
- F01C21/0809—Construction of vanes or vane holders
- F01C21/0881—Construction of vanes or vane holders the vanes consisting of two or more parts
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Rotary Pumps (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の属する技術分野〕
本発明は無給油式のロータリベーン形真空ボンプまたは
空気圧縮機（以下ドライボン１と称す）に関する。
空気圧縮機（以下ドライボン１と称す）に関する。
ドライポンプはポンプ内に潤滑油を用いなくて空気に油
分が含まれず乾燥空気が得られるので、半導体製造のた
めの真空引きや食品加工等に用いられる。容量的には２
ｋｌ以下、圧力は２に＃／−以下程度のものが多く用
いられる０ドライポンプはできるだけ効率が良く、寿命
の長いものであることがのぞましい。
分が含まれず乾燥空気が得られるので、半導体製造のた
めの真空引きや食品加工等に用いられる。容量的には２
ｋｌ以下、圧力は２に＃／−以下程度のものが多く用
いられる０ドライポンプはできるだけ効率が良く、寿命
の長いものであることがのぞましい。
従来のドライポンプは第１５図および第１６図に示すご
とく、軸１に取付けた円筒状ロータ２が、円筒状内筒を
有するケーシング３のプラタン）４ａ、４ｂに軸受５ａ
、５ｂを介して偏心させて取付けられ、ロータ２の外周
に軸方向に切込んで設けた複数の溝２１内に潤滑性固形
材よりなるベーン６が摺動自在に嵌め込まれている。ケ
ーシング３には内筒に通・しる吸気口３１、排気口３２
が設けられ、軸１のプラタン）４ｍの貫通部には軸受に
接して軸シール７が設けられている０ロータ２は球軸受
５ ａ ｔ ５ ｈＫよって軸方向に移動しないように
支持されている。ベーン６を構成する潤滑性固形材とし
ては一般にカーボンが用いられる。
とく、軸１に取付けた円筒状ロータ２が、円筒状内筒を
有するケーシング３のプラタン）４ａ、４ｂに軸受５ａ
、５ｂを介して偏心させて取付けられ、ロータ２の外周
に軸方向に切込んで設けた複数の溝２１内に潤滑性固形
材よりなるベーン６が摺動自在に嵌め込まれている。ケ
ーシング３には内筒に通・しる吸気口３１、排気口３２
が設けられ、軸１のプラタン）４ｍの貫通部には軸受に
接して軸シール７が設けられている０ロータ２は球軸受
５ ａ ｔ ５ ｈＫよって軸方向に移動しないように
支持されている。ベーン６を構成する潤滑性固形材とし
ては一般にカーボンが用いられる。
ロータ２を図示しない駆動装置によって矢印方向に回転
させると、ベーン６が遠心力によって溝よフ飛び出そう
としてケーシング内筒に摺動接触して気密を保ち、ベー
ンによって仕切られる空間広さが変化するととＫよシ、
吸気口よシ吸込んだ空気が圧縮されて排気口よシ吐出さ
れる◎吸気口に密閉空気室をつなぐときは空気室の空気
が吸出されて真空となる。
させると、ベーン６が遠心力によって溝よフ飛び出そう
としてケーシング内筒に摺動接触して気密を保ち、ベー
ンによって仕切られる空間広さが変化するととＫよシ、
吸気口よシ吸込んだ空気が圧縮されて排気口よシ吐出さ
れる◎吸気口に密閉空気室をつなぐときは空気室の空気
が吸出されて真空となる。
前記ドライボくプ、はベーン外周がベーン自身の遠心力
によシ気密を保つが、ベーンの側面すよびロータの側面
が機械加工の寸法公差があるためケーシングのブラケッ
ト内壁との間に若干の隙間Ｇが設けられている＠隙間Ｇ
は普通０．０５〜０．１ ｔｍ程度であシ、この隙間を
設けないと、ロータがロックされることがある０しかし
ながら真空引きの場合や高圧（１〜２ ｋ＃／ｊ ）で
圧縮する場合には、この隙間Ｇを通って高圧側から低圧
側に空気が多量に漏れて性能が低下するといった欠点が
あった。
によシ気密を保つが、ベーンの側面すよびロータの側面
が機械加工の寸法公差があるためケーシングのブラケッ
ト内壁との間に若干の隙間Ｇが設けられている＠隙間Ｇ
は普通０．０５〜０．１ ｔｍ程度であシ、この隙間を
設けないと、ロータがロックされることがある０しかし
ながら真空引きの場合や高圧（１〜２ ｋ＃／ｊ ）で
圧縮する場合には、この隙間Ｇを通って高圧側から低圧
側に空気が多量に漏れて性能が低下するといった欠点が
あった。
前記欠点！緩和するものとして第１７図に示すものが知
られている。すなわちロータ２の側面とプラタン）４ａ
、４ｂとの間に可動片８が軸方向に摺動自在に介在させ
られ、プラタン）４ａ、４ｂにはね９を埋込み可動片８
を軸方向に押すようにしている。このようにすれば前記
の隙間Ｇは無くなるが、可動片８の外周とケーシング３
の内筒との間には隙間Ｇ′を設けねばならず、この隙間
Ｇ′は外周部で、その断面積が可成り大となるのでやは
シ空気漏れがあシ、そのうえベーンの側面が可動片に摺
動接触して摩耗し、摩耗すると可動片８がロータ２の側
面に接触してロータをロックしたシロツクしないまでも
損失が増大する欠点があった。
られている。すなわちロータ２の側面とプラタン）４ａ
、４ｂとの間に可動片８が軸方向に摺動自在に介在させ
られ、プラタン）４ａ、４ｂにはね９を埋込み可動片８
を軸方向に押すようにしている。このようにすれば前記
の隙間Ｇは無くなるが、可動片８の外周とケーシング３
の内筒との間には隙間Ｇ′を設けねばならず、この隙間
Ｇ′は外周部で、その断面積が可成り大となるのでやは
シ空気漏れがあシ、そのうえベーンの側面が可動片に摺
動接触して摩耗し、摩耗すると可動片８がロータ２の側
面に接触してロータをロックしたシロツクしないまでも
損失が増大する欠点があった。
本発明は前記の欠点を除去し、側面部の空気漏れ隙間を
極力少くして、しかも摩擦損の少いドライポンプを提供
することを目的とする。
極力少くして、しかも摩擦損の少いドライポンプを提供
することを目的とする。
本発明の一つはベーンを軸方向に、軸に直角な面で分割
し、分割接合面に弾性体を介在させ、ベーンをケーシン
グ内に組込んだ場合ベーンの側面端がケーシングブラケ
ット内壁を軽く押圧するようにして側面隙間を減らすよ
うくしようとするものである〇 本発明の他の一つはロータの両端に軸と同心にリング状
溝を設け、この溝にケーシングブラケット内壁に当接す
る潤滑性固形材よ）なるリング状シールをベーンの側面
端部を避けて分割して嵌込み固着して、側面隙間を軸方
向に対して部分的に封じるようくしようとするものであ
る。
し、分割接合面に弾性体を介在させ、ベーンをケーシン
グ内に組込んだ場合ベーンの側面端がケーシングブラケ
ット内壁を軽く押圧するようにして側面隙間を減らすよ
うくしようとするものである〇 本発明の他の一つはロータの両端に軸と同心にリング状
溝を設け、この溝にケーシングブラケット内壁に当接す
る潤滑性固形材よ）なるリング状シールをベーンの側面
端部を避けて分割して嵌込み固着して、側面隙間を軸方
向に対して部分的に封じるようくしようとするものであ
る。
第１〜４図は特許請求範囲第１項記載の発明の実施例を
示すもので第１５図および第１６図と同一符号で示すも
のは同一部品である０第１図および第２図において、軸
１に取付けた円筒状ロータ２が、円筒状内筒を有するケ
ーシング３のプラタン）４ａ、４ｂに軸受５ａ、５ｂを
介して偏心させて取付けられ、ロータ２の外周に軸方向
く切込んで設けた複数個の溝２１内に潤滑性固形材より
なるベーン６が軸方向に分割され、分割部に弾性体１１
を介在させて摺動自在に嵌め込まれている。軸ｌのプラ
タン）４ａの貫通部には軸シール７が軸受に接して設け
られている。ロータ２は球軸受５ａ。
示すもので第１５図および第１６図と同一符号で示すも
のは同一部品である０第１図および第２図において、軸
１に取付けた円筒状ロータ２が、円筒状内筒を有するケ
ーシング３のプラタン）４ａ、４ｂに軸受５ａ、５ｂを
介して偏心させて取付けられ、ロータ２の外周に軸方向
く切込んで設けた複数個の溝２１内に潤滑性固形材より
なるベーン６が軸方向に分割され、分割部に弾性体１１
を介在させて摺動自在に嵌め込まれている。軸ｌのプラ
タン）４ａの貫通部には軸シール７が軸受に接して設け
られている。ロータ２は球軸受５ａ。
５ｂによって軸方向に移動しないように支持されている
。第３図および第４図においてベーン６は軸方向に６ａ
、６ｂに分割され、分割接合面の両側に溝１０が設けら
れ、両側の＠１０にまたが多弾性体１１がはめ込まれて
いる＠弾性体１１はベーン６ａ、６ｂと組合せた場合６
ａ、６ｂの端面がブラケット４ａ、４ｂの内壁を軽く押
圧するようにしている。弾性体１１は耐熱性ゴムあるい
は弾性を有するプラスチックよシ成形され、その形状は
図示の長方形状以外に圧縮力を加減したシ、遠心力に耐
えるようにするため中央部を凹めたシ、両端にばね状の
ひれをつける等の異形断面とすることも考えられる。
。第３図および第４図においてベーン６は軸方向に６ａ
、６ｂに分割され、分割接合面の両側に溝１０が設けら
れ、両側の＠１０にまたが多弾性体１１がはめ込まれて
いる＠弾性体１１はベーン６ａ、６ｂと組合せた場合６
ａ、６ｂの端面がブラケット４ａ、４ｂの内壁を軽く押
圧するようにしている。弾性体１１は耐熱性ゴムあるい
は弾性を有するプラスチックよシ成形され、その形状は
図示の長方形状以外に圧縮力を加減したシ、遠心力に耐
えるようにするため中央部を凹めたシ、両端にばね状の
ひれをつける等の異形断面とすることも考えられる。
前記のごときベーンを組込んだポンプのロータを駆動装
置により回転するとベーンがケーシング内筒の内周とと
もにブラケット内壁にも接触するので空気漏れが大幅に
減少される。ベーン側面は弾性体によってブラケット内
壁に押圧されて摩耗するが、ある程度摩耗すれば、それ
以上摩耗は進行せず、その状態で側面隙間は零に保たれ
る。
置により回転するとベーンがケーシング内筒の内周とと
もにブラケット内壁にも接触するので空気漏れが大幅に
減少される。ベーン側面は弾性体によってブラケット内
壁に押圧されて摩耗するが、ある程度摩耗すれば、それ
以上摩耗は進行せず、その状態で側面隙間は零に保たれ
る。
第５〜７図は特許請求範囲第１項記載の発明の他の実施
例を示すもので、分割ベーン６ａ、６ｂが分割部で互に
噛合せるように段付加工されている〇そして噛合せ部に
筒状空間１２か設けられ、この筒状空間１２に弾性体１
３が分割ベーン６ａ、６ｂにまたがって挿入されている
◎弾性体１３はベーン６ａ、６ｂと組合せた時ベーン６
ｍ、６ｂの端面がブラケット４ｍ、４ｂの内壁を僅かに
押圧するようにしている。
例を示すもので、分割ベーン６ａ、６ｂが分割部で互に
噛合せるように段付加工されている〇そして噛合せ部に
筒状空間１２か設けられ、この筒状空間１２に弾性体１
３が分割ベーン６ａ、６ｂにまたがって挿入されている
◎弾性体１３はベーン６ａ、６ｂと組合せた時ベーン６
ｍ、６ｂの端面がブラケット４ｍ、４ｂの内壁を僅かに
押圧するようにしている。
前記のごとくしたベーンによれば、同様に空気漏れが大
幅に減少されると同時に弾性体がベーンの先端から内側
に入ったところに極部的に設けられるのでロータ外周の
ベーン先端が摩耗しても弾性体がケーシングに接触する
ことがなく、弾性体が破損するおそれがなくなる。
幅に減少されると同時に弾性体がベーンの先端から内側
に入ったところに極部的に設けられるのでロータ外周の
ベーン先端が摩耗しても弾性体がケーシングに接触する
ことがなく、弾性体が破損するおそれがなくなる。
第８図および第９図は特許請求範囲第３項記載の発明の
実施例を示すもので、第１５図および第１６図と同一符
号で示すものは同一部品である。
実施例を示すもので、第１５図および第１６図と同一符
号で示すものは同一部品である。
第８図および第９図において、軸ｌに取付けた円筒状ロ
ータ２が、円筒状内筒を有するケーシング３のプラタン
）４ａ、４ｂに軸受５ａ、５ｂを介して偏心させて取付
けられ、ロータ２の外周に軸方向に切込んで設けた複数
個の溝２１内に潤滑性固形材よりなるベーン６が摺動自
在に嵌め込まれている０軸１のプラタン）４ｍの貫通部
には軸シール７が軸受に接して設けられている。ロータ
２は球軸受５ａ、５ｂによって軸方向に移動しまいよう
に支持されるとともに、四−夕の両側面には軸１を同心
状に取囲むリング状溝１４が設けられ、これらの溝に端
面がプラタン） ４ａ、４ｂの内壁に当接する潤滑性固
形材よりなるリングシール１５がベーン６の端部を避け
て分割して嵌込み固着されている。リングシール１５の
取付は位置はベーンが最も外に出た所でもベーンから外
れ麦いようにするため、可成シ外周近くに設けられてい
る。リングシールは潤滑性固形材としてカーボンが適す
るが、若干弾性を有して摩擦係数の小なる弗素樹脂ある
いはプラスチックで形成することもでき、その場合はブ
ラケット内壁に当接する面を線接触をするように尖らせ
るとよい。
ータ２が、円筒状内筒を有するケーシング３のプラタン
）４ａ、４ｂに軸受５ａ、５ｂを介して偏心させて取付
けられ、ロータ２の外周に軸方向に切込んで設けた複数
個の溝２１内に潤滑性固形材よりなるベーン６が摺動自
在に嵌め込まれている０軸１のプラタン）４ｍの貫通部
には軸シール７が軸受に接して設けられている。ロータ
２は球軸受５ａ、５ｂによって軸方向に移動しまいよう
に支持されるとともに、四−夕の両側面には軸１を同心
状に取囲むリング状溝１４が設けられ、これらの溝に端
面がプラタン） ４ａ、４ｂの内壁に当接する潤滑性固
形材よりなるリングシール１５がベーン６の端部を避け
て分割して嵌込み固着されている。リングシール１５の
取付は位置はベーンが最も外に出た所でもベーンから外
れ麦いようにするため、可成シ外周近くに設けられてい
る。リングシールは潤滑性固形材としてカーボンが適す
るが、若干弾性を有して摩擦係数の小なる弗素樹脂ある
いはプラスチックで形成することもでき、その場合はブ
ラケット内壁に当接する面を線接触をするように尖らせ
るとよい。
前記構造とすることによ）、ベーンにより仕切られる空
間は軸方向にシールされるので空気の漏れを減少させる
ことができる。
間は軸方向にシールされるので空気の漏れを減少させる
ことができる。
第１０図および第１１図は特許請求範囲第３項記載の発
明の他の実施例を示すものである。ロータの両側面にリ
ングシール１５を設けるとともにベーン６を軸方向に６
ａ、６ｂに分割し、分割接触面の両側に溝１０が設けら
れ、両側の溝１０にまたがシ弾性体１１が嵌め込まれて
いる。弾性体１１は分割ベーン６ａ、６ｂと組合せた場
合６ａ、６ｂの端部がプラタン） ４ａ、４ｂの内壁に
僅かに押圧されるようにしている。
明の他の実施例を示すものである。ロータの両側面にリ
ングシール１５を設けるとともにベーン６を軸方向に６
ａ、６ｂに分割し、分割接触面の両側に溝１０が設けら
れ、両側の溝１０にまたがシ弾性体１１が嵌め込まれて
いる。弾性体１１は分割ベーン６ａ、６ｂと組合せた場
合６ａ、６ｂの端部がプラタン） ４ａ、４ｂの内壁に
僅かに押圧されるようにしている。
前記のごとくすることにより、ロータ側面の隙間はベー
ン端部とリングシールとによって完全に密封されるので
空気漏れはほとんど無くなる◎第１２〜１４図は特許話
求範囲第３項記載のさらにもう一つの実施例を示すもの
で、ロータ側面にリングシール１５を設けるとともに、
ベーン６を軸方向に６ａ、６ｂに分割し、分割ベーン５
ａ、６ｂが分割部で互に噛合うように段付加工され、噛
合せ部に筒状空間１２を設け、その筒状空間内に弾性体
１３が分割ベーン６ａ、６ｂにまたがって嵌め込まれて
いる。弾性体１３は分割ベーン６ａ、６ｂとともにケー
シング内に組込んだ場合６ａ、６ｂの端部をプラケツ）
４ａ、４ｂの内壁に僅かに押圧するようにしているＯ この場合もロータ端部隙間が完全に密封されるので空気
漏れがほとんど無くなるとともに弾性体がケーシングに
接触するおそれもなくなるＯ〔発明の効果〕 本発明によればドライポンプのロータ側面の隙間が減少
あるいは密封されるのでポンプ性能が向上する効果があ
る。
ン端部とリングシールとによって完全に密封されるので
空気漏れはほとんど無くなる◎第１２〜１４図は特許話
求範囲第３項記載のさらにもう一つの実施例を示すもの
で、ロータ側面にリングシール１５を設けるとともに、
ベーン６を軸方向に６ａ、６ｂに分割し、分割ベーン５
ａ、６ｂが分割部で互に噛合うように段付加工され、噛
合せ部に筒状空間１２を設け、その筒状空間内に弾性体
１３が分割ベーン６ａ、６ｂにまたがって嵌め込まれて
いる。弾性体１３は分割ベーン６ａ、６ｂとともにケー
シング内に組込んだ場合６ａ、６ｂの端部をプラケツ）
４ａ、４ｂの内壁に僅かに押圧するようにしているＯ この場合もロータ端部隙間が完全に密封されるので空気
漏れがほとんど無くなるとともに弾性体がケーシングに
接触するおそれもなくなるＯ〔発明の効果〕 本発明によればドライポンプのロータ側面の隙間が減少
あるいは密封されるのでポンプ性能が向上する効果があ
る。
第１図は特許請求範囲第１項記載の発明の実施例のドラ
イポンプの縦断面図、第２図は第１図の１−１矢視断面
図、第３図は第１図のベーン部の正面図、第４図は第３
図の平面断面図、第５図は特許請求範囲第１項記載の発
、明の他の実施例のドライポンプのベーンの正面図、第
６図は第５図の平面図、第７図は第５図の■−■矢視断
面図、第８図は特許請求の範囲第３項記載の発明の実施
例のドライポンプの縦断面図、第９図は第８図の■−■
矢視断面図、第１０図は特許請求範囲第３項記載の発明
の他の実施例のドライポンプの部分縦断面図、第１１図
は第１０図のベーンの平面断面図、第１２）特許請求の
囲第３項記載の発明の−さらにもう一つの実施例のドラ
イポンプの部分縦断面図、第１３図は第１２図のベーン
の平面図、第１４図は第１２図のベーンのＸＮ−ＸＩＶ
視断面断面図１５図は従来のドライポンプの縦断面図、
第１６図は第１５図のＸＩＶ −Ｘｆｆ矢視断面図、第
１７図は従来の他のドライポンプの縦断面図である。 １：軸、２：ロータ、３：ケーシング、 ４ａ、４ｂニ
ブラケツト、５ａ、５ｂ：軸受、６：ベーン、７：軸シ
ール＃ １０：溝、１１：弾性体、１２：筒状空間、１
３：弾性体、１４：リング状溝、１５：リングシール０ 第１図 第２図 第４図 ｗ！、６図 第８図 第９凶 第１１１！１ １１Ｆ１１３図 第１６図
イポンプの縦断面図、第２図は第１図の１−１矢視断面
図、第３図は第１図のベーン部の正面図、第４図は第３
図の平面断面図、第５図は特許請求範囲第１項記載の発
、明の他の実施例のドライポンプのベーンの正面図、第
６図は第５図の平面図、第７図は第５図の■−■矢視断
面図、第８図は特許請求の範囲第３項記載の発明の実施
例のドライポンプの縦断面図、第９図は第８図の■−■
矢視断面図、第１０図は特許請求範囲第３項記載の発明
の他の実施例のドライポンプの部分縦断面図、第１１図
は第１０図のベーンの平面断面図、第１２）特許請求の
囲第３項記載の発明の−さらにもう一つの実施例のドラ
イポンプの部分縦断面図、第１３図は第１２図のベーン
の平面図、第１４図は第１２図のベーンのＸＮ−ＸＩＶ
視断面断面図１５図は従来のドライポンプの縦断面図、
第１６図は第１５図のＸＩＶ −Ｘｆｆ矢視断面図、第
１７図は従来の他のドライポンプの縦断面図である。 １：軸、２：ロータ、３：ケーシング、 ４ａ、４ｂニ
ブラケツト、５ａ、５ｂ：軸受、６：ベーン、７：軸シ
ール＃ １０：溝、１１：弾性体、１２：筒状空間、１
３：弾性体、１４：リング状溝、１５：リングシール０ 第１図 第２図 第４図 ｗ！、６図 第８図 第９凶 第１１１！１ １１Ｆ１１３図 第１６図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）円筒状ロータの外周に軸方向に切込まれた複数個の
溝に、潤滑性固形材よりなるベーンを摺動自在に嵌め込
み、該ロータを、空気の吸排気口を有するケーシングの
内筒に偏心させて取付け、軸貫通部に軸シールを設け、
ロータを回転させて空気を圧縮または真空引きをするよ
うにしたドライポンプにおいて、前記ベーンを軸に直角
な面で分割し、分割接合部に弾性体を介在させたことを
特徴とするドライポンプ。 ２）特許請求の範囲第１項記載のドライポンプにおいて
、弾性体が、前記分割ベーンの段付き噛合せとした接合
部に設けた筒状空間に両分割ベーンにまたがつて嵌め込
まれてなるドライポンプ。 ３）円筒状ロータの外周に軸方向に切込まれた複数個の
溝に、潤滑性固形材よりなるベーンを摺動自在に嵌め込
み、該ロータを、空気の吸排気口を有するケーシングの
内筒に偏心させて取付け、軸貫通部に軸シールを設け、
ロータを回転させて空気を圧縮または真空引きをするよ
うにしたドライポンプにおいて、前記ロータの両側面に
軸に同心のリング状溝を設け、この溝に端部がケーシン
グのブラケット内壁に当接する潤滑性固形材よりなるリ
ングシールを、前記ベーンの側端部を避けて分割して嵌
め込み固着してなることを特徴とするドライポンプ。 ４）特許請求の範囲第３項記載のドライポンプにおいて
、ベーンが軸に直角な面で分割され、分割接合部に弾性
体を介在させたものであるドライポンプ。 ５）特許請求の範囲第３項記載のドライポンプにおいて
、ベーンが軸に直角な面で、互に噛合せる段付きを設け
て分割され、その接合部に設けた筒状空間に両分割ベー
ンにまたがる、弾性体を嵌め込んでなるドライポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11479885A JPS61272491A (ja) | 1985-05-28 | 1985-05-28 | ドライポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11479885A JPS61272491A (ja) | 1985-05-28 | 1985-05-28 | ドライポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61272491A true JPS61272491A (ja) | 1986-12-02 |
Family
ID=14646947
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11479885A Pending JPS61272491A (ja) | 1985-05-28 | 1985-05-28 | ドライポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61272491A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013224664A (ja) * | 2013-06-17 | 2013-10-31 | Morita Mfg Co Ltd | エアモータ及び医療用ハンドピース |
| KR101407199B1 (ko) * | 2011-12-26 | 2014-06-12 | 한라비스테온공조 주식회사 | 베인 로터리 압축기 |
| JP2016109029A (ja) * | 2014-12-05 | 2016-06-20 | 株式会社デンソー | ベーン式ポンプ、及び、それを用いる燃料蒸気漏れ検出装置 |
-
1985
- 1985-05-28 JP JP11479885A patent/JPS61272491A/ja active Pending
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