JPS61272366A - 真空装置 - Google Patents
真空装置Info
- Publication number
- JPS61272366A JPS61272366A JP11448485A JP11448485A JPS61272366A JP S61272366 A JPS61272366 A JP S61272366A JP 11448485 A JP11448485 A JP 11448485A JP 11448485 A JP11448485 A JP 11448485A JP S61272366 A JPS61272366 A JP S61272366A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- oil
- pump
- chamber
- trap
- pipe
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J3/00—Processes of utilising sub-atmospheric or super-atmospheric pressure to effect chemical or physical change of matter; Apparatus therefor
- B01J3/006—Processes utilising sub-atmospheric pressure; Apparatus therefor
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は真空装置に関し、上り詳しくは、被排気室内の
気体を所定の真空度となる主で荒引きする荒引き用のポ
ンプと荒引外された被排気室内の気体を排気する油拡散
ポンプとを使用した真空装置に関する。
気体を所定の真空度となる主で荒引きする荒引き用のポ
ンプと荒引外された被排気室内の気体を排気する油拡散
ポンプとを使用した真空装置に関する。
（従来技術）
一般に、スパッタリング装置等の薄膜作成装置において
は、油回転ポンプと油拡散ポンプとを組合わせた真空装
置が使用されている。
は、油回転ポンプと油拡散ポンプとを組合わせた真空装
置が使用されている。
従来、この種の真空装置としては、たとえば第２図に示
すように、被排気室１に対し、この被排気室１内の気体
を所定の真空度となる主で荒引きする荒引き用の油回転
ポンプ２と、荒引きされた被排気室１内の気体を排気す
る油拡散ポンプ３とを設け、油拡散ポンプ３の排気路４
と被排気室１の排気路５とを切換弁６を介して油回転ポ
ンプ２の吸気路７に接続したものが周知である。被排気
室１内の気体の荒引き時には、切換弁６により、油回転
ポンプ２の吸気路７は被排気室１の排気路５に接続され
、被排気室１は所定の真空度となるまで荒引きされる。
すように、被排気室１に対し、この被排気室１内の気体
を所定の真空度となる主で荒引きする荒引き用の油回転
ポンプ２と、荒引きされた被排気室１内の気体を排気す
る油拡散ポンプ３とを設け、油拡散ポンプ３の排気路４
と被排気室１の排気路５とを切換弁６を介して油回転ポ
ンプ２の吸気路７に接続したものが周知である。被排気
室１内の気体の荒引き時には、切換弁６により、油回転
ポンプ２の吸気路７は被排気室１の排気路５に接続され
、被排気室１は所定の真空度となるまで荒引きされる。
その後、切換弁６が切り換えられて油回転ポンプ２の吸
気路７が油拡散ポンプ３の排気路４に接続され、油拡散
ポンプ４と油回転ポンプ２とにより被排気室１内が所定
の真空度となるまで排気される。油拡散ポンプ３の上部
には、この油拡散ポンプ３から被排気室１内への油の逆
流を防止するため、液体窒素等を使用したトラップ８が
設けられており、このトラップ８と被排気室１との間に
は、被排気室１を油拡散ポンプ３に対して開閉するシャ
ッタ９が設けられている。
気路７が油拡散ポンプ３の排気路４に接続され、油拡散
ポンプ４と油回転ポンプ２とにより被排気室１内が所定
の真空度となるまで排気される。油拡散ポンプ３の上部
には、この油拡散ポンプ３から被排気室１内への油の逆
流を防止するため、液体窒素等を使用したトラップ８が
設けられており、このトラップ８と被排気室１との間に
は、被排気室１を油拡散ポンプ３に対して開閉するシャ
ッタ９が設けられている。
ところで、上記のような構成を有する真空装置では、注
入口１０からトラップ８に注入された液体窒素は、油拡
散ポンプ３から被排気室１に逆流しようとする油の蒸気
を冷却し凝集させて油をトラップするのに寄与した後は
、冷気となってトラップ８の排気口８ａから大気中に無
駄に捨てられていた。
入口１０からトラップ８に注入された液体窒素は、油拡
散ポンプ３から被排気室１に逆流しようとする油の蒸気
を冷却し凝集させて油をトラップするのに寄与した後は
、冷気となってトラップ８の排気口８ａから大気中に無
駄に捨てられていた。
（発明の目的）
本発明の目的は、油拡散ポンプのトラップに使用される
液化気体を有効に利用し、被排気室内の気体の荒引き中
に被排気室内に油蒸気が侵入するのを防止するようにし
た真空装置を提供することである。
液化気体を有効に利用し、被排気室内の気体の荒引き中
に被排気室内に油蒸気が侵入するのを防止するようにし
た真空装置を提供することである。
（発明の構成）
このため、本発明は、被排気室と油拡散ポンプとの間に
介装された油逆流防止用のトラップに注入された冷却用
の液化気体がパイプにより荒引き用のポンプの吸気路の
外周部に導かれてこの吸気路が冷却されるようにしたこ
とを特徴としている。
介装された油逆流防止用のトラップに注入された冷却用
の液化気体がパイプにより荒引き用のポンプの吸気路の
外周部に導かれてこの吸気路が冷却されるようにしたこ
とを特徴としている。
すなわち、本発明は、油拡散ポンプから被排気室に逆流
しようとする油の蒸気を冷却し凝結させてトラップする
のに使用された液化気体で荒引き用のポンプの吸気路を
冷却することにより、荒引き用のポンプから被排気室内
に侵入する油をトラップするようにしたものである。
しようとする油の蒸気を冷却し凝結させてトラップする
のに使用された液化気体で荒引き用のポンプの吸気路を
冷却することにより、荒引き用のポンプから被排気室内
に侵入する油をトラップするようにしたものである。
（発明の効果）
本発明によれば、大気中に無駄に捨てられていた油拡散
ポンプのトラップに使用される液化気体を利用して荒引
き用のポンプから被排気室に侵入する油をトラップする
ようにしたので、油拡散ポンプのトラップに使用される
液化気体を有効に利用することができ、しかも、被排気
室内が荒引き用のポンプから侵入する油によって汚染さ
れるのを防止することができる。
ポンプのトラップに使用される液化気体を利用して荒引
き用のポンプから被排気室に侵入する油をトラップする
ようにしたので、油拡散ポンプのトラップに使用される
液化気体を有効に利用することができ、しかも、被排気
室内が荒引き用のポンプから侵入する油によって汚染さ
れるのを防止することができる。
（実施例）
以下、添付図面を参照しっ・本発明の詳細な説明する。
本発明に係る真空装置の一実施例を第１図に示す。
第１図の真空装置は、第２図の真空装置において、被排
気室１と油拡散ポンプ３との間に配置された油逆流防止
用のトラップ８の排気口８ａに銅等の材料からなるパイ
プ１１を接続し、このパイプ１１をその途中で油回転ポ
ンプ２の吸気路７に巻回するようにしたものである。上
記トラップ８の排気口８ａから排出される液体窒素の冷
気は、パイプ１１の一端から油回転ポンプ２の吸気路７
の外周に導かれ、この吸気路７を冷却した後、パイプ１
１の他端から排出される。上記液体窒素に代えて他の液
化気体を使用することもできる。
気室１と油拡散ポンプ３との間に配置された油逆流防止
用のトラップ８の排気口８ａに銅等の材料からなるパイ
プ１１を接続し、このパイプ１１をその途中で油回転ポ
ンプ２の吸気路７に巻回するようにしたものである。上
記トラップ８の排気口８ａから排出される液体窒素の冷
気は、パイプ１１の一端から油回転ポンプ２の吸気路７
の外周に導かれ、この吸気路７を冷却した後、パイプ１
１の他端から排出される。上記液体窒素に代えて他の液
化気体を使用することもできる。
このような構成としておけば、トラップ８の排気口８ａ
から冷気となって大気中に捨てられていた液体窒素は、
パイプ１１により油回転ポンプ２の吸気路７の外周に導
かれ、この吸気路７を冷却した後、大気中に排出される
ことになる。従って、注入口１０からトラップ８に液体
窒素を注入した後、油回転ポンプ２を作動させて、被排
気室１内の気体を荒引きするようにすれば、油回転ポン
プ２から吸気路７を伝って被排気室１内に上昇しようと
する油の蒸気が、上記吸気路７内を上昇する途中でパイ
プ１１内を通る上記冷気により冷却されて凝結し、吸気
路７の内壁を伝わって油回転ポンプ２に戻る。すなわち
、油回転ポンプ２による荒引き中に吸気路７内を上昇す
る油の蒸気はこの吸気路７中でトラップされ、油回転ポ
ンプ２から蒸発した油が被排気室１内に侵入し、この被
排気室１が油で汚染されるのを防止することができる。
から冷気となって大気中に捨てられていた液体窒素は、
パイプ１１により油回転ポンプ２の吸気路７の外周に導
かれ、この吸気路７を冷却した後、大気中に排出される
ことになる。従って、注入口１０からトラップ８に液体
窒素を注入した後、油回転ポンプ２を作動させて、被排
気室１内の気体を荒引きするようにすれば、油回転ポン
プ２から吸気路７を伝って被排気室１内に上昇しようと
する油の蒸気が、上記吸気路７内を上昇する途中でパイ
プ１１内を通る上記冷気により冷却されて凝結し、吸気
路７の内壁を伝わって油回転ポンプ２に戻る。すなわち
、油回転ポンプ２による荒引き中に吸気路７内を上昇す
る油の蒸気はこの吸気路７中でトラップされ、油回転ポ
ンプ２から蒸発した油が被排気室１内に侵入し、この被
排気室１が油で汚染されるのを防止することができる。
上記実施例において、第２図に対応する部分には対応す
る符号を付して示し、重複した説明は省略する。
る符号を付して示し、重複した説明は省略する。
なお、上記実施例において、トラップ８の排気口８ａに
接続されるパイプ１１の巻回位置は、油回転ポンプ２と
切換弁６との間の吸気路７であることが好ましい。これ
は、パイプ１１を被排気室１と切換弁６との間の排気路
５に巻回すると、被排気室１と切換弁６との間に弁がな
いので、被排気室１の排気が終って排気路５が常温に戻
ったときに、排気路５にトラップされた油が蒸発して被
排気室１内に拡散されてしまうからである。
接続されるパイプ１１の巻回位置は、油回転ポンプ２と
切換弁６との間の吸気路７であることが好ましい。これ
は、パイプ１１を被排気室１と切換弁６との間の排気路
５に巻回すると、被排気室１と切換弁６との間に弁がな
いので、被排気室１の排気が終って排気路５が常温に戻
ったときに、排気路５にトラップされた油が蒸発して被
排気室１内に拡散されてしまうからである。
第１図は本発明−二係る真空装置の一実施例の説明図、
第２図は従来の真空装置の説明図である。 １・・・被排気室、 ２・・・油回転ポンプ、３・・
・油拡散ポンプ、４，５・・・排気路、６・・・切換弁
、 ７・・・吸気路、訃・・トラップ、 ８ａ
・・・排気口、１１・・・パイプ。 特許出願人 株式会社村田製作所 代 理 人 弁理士 青 山 葆ほか２名Ｉｎ図
第２図は従来の真空装置の説明図である。 １・・・被排気室、 ２・・・油回転ポンプ、３・・
・油拡散ポンプ、４，５・・・排気路、６・・・切換弁
、 ７・・・吸気路、訃・・トラップ、 ８ａ
・・・排気口、１１・・・パイプ。 特許出願人 株式会社村田製作所 代 理 人 弁理士 青 山 葆ほか２名Ｉｎ図
Claims (1)
- （１）被排気室内の気体を所定の真空度となるまで荒引
きする荒引き用のポンプと荒引きされた被排気室内の気
体を排気する油拡散ポンプとを備え、油拡散ポンプの排
気路と被排気室の排気路とが切換弁を介して荒引き用の
ポンプの吸気路に接続されてなる真空装置において、上
記被排気室と油拡散ポンプとの間に配置された油逆流防
止用のトラップに注入された冷却用の液化気体がパイプ
により荒引き用のポンプの吸気路の外周部に導かれてこ
の吸気路が冷却されるようにしたことを特徴とする真空
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11448485A JPS61272366A (ja) | 1985-05-28 | 1985-05-28 | 真空装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11448485A JPS61272366A (ja) | 1985-05-28 | 1985-05-28 | 真空装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61272366A true JPS61272366A (ja) | 1986-12-02 |
Family
ID=14638902
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11448485A Pending JPS61272366A (ja) | 1985-05-28 | 1985-05-28 | 真空装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61272366A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH029437A (ja) * | 1988-06-28 | 1990-01-12 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 真空排気方法 |
| DE4026174A1 (de) * | 1989-08-16 | 1991-02-21 | Qpl Ltd | Vorrichtungen zum vacuumaufdampfen |
-
1985
- 1985-05-28 JP JP11448485A patent/JPS61272366A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH029437A (ja) * | 1988-06-28 | 1990-01-12 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 真空排気方法 |
| DE4026174A1 (de) * | 1989-08-16 | 1991-02-21 | Qpl Ltd | Vorrichtungen zum vacuumaufdampfen |
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