JPS61270729A - 電極付基板 - Google Patents
電極付基板Info
- Publication number
- JPS61270729A JPS61270729A JP11374585A JP11374585A JPS61270729A JP S61270729 A JPS61270729 A JP S61270729A JP 11374585 A JP11374585 A JP 11374585A JP 11374585 A JP11374585 A JP 11374585A JP S61270729 A JPS61270729 A JP S61270729A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- substrate
- insulating layer
- electrodes
- insulating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/133345—Insulating layers
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
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- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
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- Optics & Photonics (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、たとえば表示装置等に用いられる電極付基板
に関するものである。
に関するものである。
（従来の技術）
現在１表示装置等で広く利用されている電極付基板にお
いては、ｔｓ棒体上電導膜ｔスパッタ等で成膜し、この
上にレジストｔコーティングした後。
いては、ｔｓ棒体上電導膜ｔスパッタ等で成膜し、この
上にレジストｔコーティングした後。
電極形状ｔａ光パターニングし、ウェットエツチング又
はドライエツチングしたのちレジストを除去してミコ咄
た基板であり、従って基体上には、ある程度の隙間な挾
んで電極Ｉ！１′−・隣接する構成となる。
はドライエツチングしたのちレジストを除去してミコ咄
た基板であり、従って基体上には、ある程度の隙間な挾
んで電極Ｉ！１′−・隣接する構成となる。
（発明が解決しようとする問題点］
上記のような構成では、隣接電極間の隙間な小さくする
と短絡等が起こりやすくなるので、隣接ｌ！極間？完全
に絶縁するためには隣接電極間の隙間は、製造時の歩留
等に対する配慮から２０μｍ以上必要となる。
と短絡等が起こりやすくなるので、隣接ｌ！極間？完全
に絶縁するためには隣接電極間の隙間は、製造時の歩留
等に対する配慮から２０μｍ以上必要となる。
このような電極間の隙間は非電極領域となり。
基体上の有効利用領域な狭めるという欠点がある。
これにつき以下液晶表示装置に利用した場合？例にとっ
て従来例の欠点な説明する。
て従来例の欠点な説明する。
液晶表示装置は、基本的には液晶？はさむ電極間の電界
の分布の変化により配列が変化する液晶の特性５Ｉ：元
シャッターとして利用するものであるが、隣接する′電
極間、この場合は透明電極間に隙間ｂ’−ある為、その
隙間の部分では電界の変化がなく液晶が光シヤツターと
して、動作しなくなる。一般に液晶表示族（ｉｉは、液
晶パネルへの透過光あるいは反射光？利用するが、前述
のように光シャツターとして動作しない部分があれば光
の漏れ等、制御不能の要因が現われるため、全体として
コントラスト等の表示特性ｂ′−′−する。特にカラー
液晶パネル等においては、さらに色度や色純度等が悪化
するなど１両津の表示品質？著しく損う。また最近の傾
向として１表示装置における画素数の増加や高密度化に
より、電極パターンの微細化が進行しているｂｔ、現在
の方法では、前記の電極間の隙間？これ以上小さくする
ことが難しいため。
の分布の変化により配列が変化する液晶の特性５Ｉ：元
シャッターとして利用するものであるが、隣接する′電
極間、この場合は透明電極間に隙間ｂ’−ある為、その
隙間の部分では電界の変化がなく液晶が光シヤツターと
して、動作しなくなる。一般に液晶表示族（ｉｉは、液
晶パネルへの透過光あるいは反射光？利用するが、前述
のように光シャツターとして動作しない部分があれば光
の漏れ等、制御不能の要因が現われるため、全体として
コントラスト等の表示特性ｂ′−′−する。特にカラー
液晶パネル等においては、さらに色度や色純度等が悪化
するなど１両津の表示品質？著しく損う。また最近の傾
向として１表示装置における画素数の増加や高密度化に
より、電極パターンの微細化が進行しているｂｔ、現在
の方法では、前記の電極間の隙間？これ以上小さくする
ことが難しいため。
表示品質の低下は重大な問題となる。また、電極間の隙
間の光の漏れなどと、マスク処理等により防いだとして
も１表示画面の、゛電極・間の隙間ｂ′−画慮浅慮表示
接用いられない無駄な領域となるという欠点もある。
間の光の漏れなどと、マスク処理等により防いだとして
も１表示画面の、゛電極・間の隙間ｂ′−画慮浅慮表示
接用いられない無駄な領域となるという欠点もある。
以上のような欠点は、他の表示装置の場合においても、
同様に存在する。
同様に存在する。
そこで本発明では、隣接する電極間の絶縁性？保ちつつ
、高密度の複数電極パターン？可能とする１ｔｆｆｌ付
基板の構成？提供すること？目的とする。
、高密度の複数電極パターン？可能とする１ｔｆｆｌ付
基板の構成？提供すること？目的とする。
（間頂点？解決するための手段）
少なくとも基体と電極とパターン状の絶縁層よりなる電
極付基板に於いて、絶縁層が電極より厚く、かつ絶縁層
のない所では基体上に直接電極が載置され、絶縁層のあ
る所では絶縁層上に電極が載置される電極付基板とする
。
極付基板に於いて、絶縁層が電極より厚く、かつ絶縁層
のない所では基体上に直接電極が載置され、絶縁層のあ
る所では絶縁層上に電極が載置される電極付基板とする
。
（作 用］
絶縁層がｆＩＬ極より厚く、かつ絶縁層のない所で基体
上に直接電極？載置させ、絶縁層のある所では絶縁層上
に電極？載置させる。この様にすると絶縁層のある所と
ない所に於いて電極間に段差な生じ、しかも絶縁層の厚
さが成極より厚い為に電極間ｂ″−立体的に離間して絶
縁状態となる。しかもこの場合、各々の電停間は平面上
は隣接している。
上に直接電極？載置させ、絶縁層のある所では絶縁層上
に電極？載置させる。この様にすると絶縁層のある所と
ない所に於いて電極間に段差な生じ、しかも絶縁層の厚
さが成極より厚い為に電極間ｂ″−立体的に離間して絶
縁状態となる。しかもこの場合、各々の電停間は平面上
は隣接している。
（発明の詳細な
説明は、第１図のように基体（１）上に直接形成された
電＋１ ＋２１と、絶縁層＋３１上に形成された電極（
６）とｂ；、交互に密に配置された構成となっており。
電＋１ ＋２１と、絶縁層＋３１上に形成された電極（
６）とｂ；、交互に密に配置された構成となっており。
絶縁層１３）による′Ｉｔ極（２）と電極（４）との段
差により、該電極間の絶縁がとれるというものである。
差により、該電極間の絶縁がとれるというものである。
これにより該電極間の隙間がなくなるので、基体面の利
用効率が高まるばかりでなく１表示装置に該電極付基板
？用いた場合には画素電極間の隙間による前記のような
問題点？解決した良好な表示特性が得られる。また第ヰ
図のような構成では、電極（４）の形成時にアライメン
トが多少ずれても、該電極間に絶縁層？介在させること
ができるため、常に絶縁性？保たせることができる。以
下図面の第２図から第４図に基いて、製造方法の一例？
説明する。
用効率が高まるばかりでなく１表示装置に該電極付基板
？用いた場合には画素電極間の隙間による前記のような
問題点？解決した良好な表示特性が得られる。また第ヰ
図のような構成では、電極（４）の形成時にアライメン
トが多少ずれても、該電極間に絶縁層？介在させること
ができるため、常に絶縁性？保たせることができる。以
下図面の第２図から第４図に基いて、製造方法の一例？
説明する。
第２図は現在−投に行なわれている、フォトリングラフ
イー、成膜、エツチング等の技術により基体ｍ上に電極
＋２１ ？＋−形成した際の基板の断面図？示している
。この基体（１）及び電極（２）上にスパッタリング等
により、絶縁＋ｆ１ ＋３１及び導電膜（４）ヲ形成し
。
イー、成膜、エツチング等の技術により基体ｍ上に電極
＋２１ ？＋−形成した際の基板の断面図？示している
。この基体（１）及び電極（２）上にスパッタリング等
により、絶縁＋ｆ１ ＋３１及び導電膜（４）ヲ形成し
。
さらにレジスト（５）？コーティングする（第３図参照
）。その後電極パターン？露光、現橡する（第４図参照
）。そして導電膜（４）及び絶縁層（３）馨電極パター
ンにエツチングし、最後にレジスト？溶解剥離して完成
となる（第１図参照）。
）。その後電極パターン？露光、現橡する（第４図参照
）。そして導電膜（４）及び絶縁層（３）馨電極パター
ンにエツチングし、最後にレジスト？溶解剥離して完成
となる（第１図参照）。
上記の例において、絶縁層？形成する絶縁材料や絶縁物
としては、ポリイミド、 Ｓｉｏ□、絶ｉ性ｖ有するカ
ラーフィルタ一層などが例として上げられる。また電極
材料としては、 Ｃｒ、 Ｎｉ、 Ｆｅ。
としては、ポリイミド、 Ｓｉｏ□、絶ｉ性ｖ有するカ
ラーフィルタ一層などが例として上げられる。また電極
材料としては、 Ｃｒ、 Ｎｉ、 Ｆｅ。
Ｃｕ 、 Ａｕ 、 Ａｙ 、Ｐｔ 等の金属及びＩ
ｎ ２０ ｓ、Ｓｎ０２等の透明導電材料などｂ−例
として上げられる。
ｎ ２０ ｓ、Ｓｎ０２等の透明導電材料などｂ−例
として上げられる。
なお、上述の実施例は、単なる一例に過ぎず。
該電極付基板の作成法や、絶縁材料、絶縁物電極材料、
などはこれに限定されるものではない。
などはこれに限定されるものではない。
（発明の効果ン
本発明によれば、該電極付基板において、隣接する電極
間で絶縁性？常に保てるばかりでなく。
間で絶縁性？常に保てるばかりでなく。
隣接する電極間の隙間？なくし、電極パターン？密に作
成できるので、短絡等の異常がまったくなくなり、かつ
、基体上？電極パターンにより有効に利用でき、非１［
ｆｆｌ領域？なくす事が出来る。該電極付基板？、たと
えば液晶表示装置、エレクトロクロミック表示装置等の
表示装置に利用する場合には１画素間の隙ｒＩＪ′ｌｔ
なりシ１画面全体？表示に利用することができ、このた
めコントラスト性。
成できるので、短絡等の異常がまったくなくなり、かつ
、基体上？電極パターンにより有効に利用でき、非１［
ｆｆｌ領域？なくす事が出来る。該電極付基板？、たと
えば液晶表示装置、エレクトロクロミック表示装置等の
表示装置に利用する場合には１画素間の隙ｒＩＪ′ｌｔ
なりシ１画面全体？表示に利用することができ、このた
めコントラスト性。
Claims (1)
- 少なくとも基体と電極とパターン状の絶縁層よりなる電
極付基板に於いて、絶縁層が電極より厚く、かつ絶縁層
のない所では基体上に直接電極が載置され、絶縁層のあ
る所では絶縁層上に電極が載置されている事を特徴とす
る電極付基板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11374585A JPS61270729A (ja) | 1985-05-27 | 1985-05-27 | 電極付基板 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11374585A JPS61270729A (ja) | 1985-05-27 | 1985-05-27 | 電極付基板 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61270729A true JPS61270729A (ja) | 1986-12-01 |
Family
ID=14620045
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11374585A Pending JPS61270729A (ja) | 1985-05-27 | 1985-05-27 | 電極付基板 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61270729A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63228131A (ja) * | 1987-03-17 | 1988-09-22 | Koito Mfg Co Ltd | カラ−表示液晶表示装置 |
| JPS6465524A (en) * | 1987-09-05 | 1989-03-10 | Stanley Electric Co Ltd | Manufacture of liquid crystal display element |
| WO1990001719A1 (de) * | 1988-07-29 | 1990-02-22 | Nokia Unterhaltungselektronik (Deutschland) Gmbh | Flüssigkristalldisplay onhe sichtbare zwischenräume zwischen benachbarten bildelementen |
| JP2005509909A (ja) * | 2001-11-16 | 2005-04-14 | シン フイルム エレクトロニクス エイエスエイ | マトリックス・アドレス指定可能な光電装置と、その電極手段 |
| CN109343262A (zh) * | 2018-09-14 | 2019-02-15 | 信利半导体有限公司 | 改善柔性基板毛刺的方法 |
-
1985
- 1985-05-27 JP JP11374585A patent/JPS61270729A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63228131A (ja) * | 1987-03-17 | 1988-09-22 | Koito Mfg Co Ltd | カラ−表示液晶表示装置 |
| JPS6465524A (en) * | 1987-09-05 | 1989-03-10 | Stanley Electric Co Ltd | Manufacture of liquid crystal display element |
| WO1990001719A1 (de) * | 1988-07-29 | 1990-02-22 | Nokia Unterhaltungselektronik (Deutschland) Gmbh | Flüssigkristalldisplay onhe sichtbare zwischenräume zwischen benachbarten bildelementen |
| EP0357117A1 (de) * | 1988-07-29 | 1990-03-07 | Nokia (Deutschland) GmbH | Flüssigkristalldisplay ohne sichtbare Zwischenräume zwischen benachbarten Bildelementen |
| JP2005509909A (ja) * | 2001-11-16 | 2005-04-14 | シン フイルム エレクトロニクス エイエスエイ | マトリックス・アドレス指定可能な光電装置と、その電極手段 |
| CN109343262A (zh) * | 2018-09-14 | 2019-02-15 | 信利半导体有限公司 | 改善柔性基板毛刺的方法 |
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