JPS6127048A - 低メタンゲツタ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 発明の分野 本発明は、真空管、竹に電子管の残留ガスにおけるメタ
ン量の低減を可能とするゲッタ装置に関係する。

発明の背景 ゲッタ装置は斯界で周知である。これらは、電子管その
他の電子機器のような真空包被体内部での杉低王の発生
と維持の為使用される。これらゲッタ装置は、映像その
他の情報の可視表示の為使用される陰極線管（ＣＲＴ）
において特に広範に使用される。ＣＲＴの寿命に影響を
及ばず可能性のある多くの因子が存在する。ＣＲＴ内の
総残留ガス圧はなるたけ低く維持されなければ々ら々い
一方、例えば炭素含有ガスを低分圧とすることもまた重
要である。こうしたガスは陰極に有害であることが良く
知られている。通常バリウムであるゲッタ皮膜はメタン
に対して無視しさる程の排除速度しか有さないので、メ
タンをできるだけ低分圧とすることが殊に重要である。

メタンは最終的Ｋ、管作動中、スクリーンにおける螢光
層の調製に使用されたケイ酸塩バインｆにより排除され
る可能性はあるけれども、その存在は非常に有害である
。

何故なら、メタンは陰極のイオン衝撃をもたらす恐れが
ありまた炭素付着物による陰極の汚染を招く危険がある
からである。

ＣＲＴ内部でのメタンの存在は明らかにゲッタ装置自体
により生起される。メタンの存在の主原因は炭化バリウ
ムとの化学的反応によるように思われる。炭化バリウム
は、元々ゲッタ装置内に存在する炭素不純物から或いは
一酸化炭素や二酸化炭素のよ５’ｅＣＲＴ内の炭素含有
残留ガスとバリウム皮膜の爾後反応からいずれかによっ
て形成される。真空容器内でのゲッタ装置の蒸発後のメ
タンの存在に対する理由はどうであれ、その分圧を出来
るだけ減少することが必要である。

幾つかの管製造業者は極少量のメタンを許容する。それ
は、少量のメタンは還元雰囲気を生成する傾向があり、
陰極賦活に有益と考えられるからである０しかし、極少
量のメタンでもまだ尚、陰極のイオン衝撃とその結果と
してのその破損或いは炭素付着物による陰極涛声をもた
らしうる。後者については、成る型式の陰極は特に敏感
である。

発明の目的 本発明の目的は、先行技術のゲッタ装置の欠陥の無いゲ
ッタ装置を提供することである。

本発明のまた別の目的は、真空包被体内部のメタン分圧
の減少を生みだしうるゲッタ装置を提供することである
。

本発明の更に別の目的は、陰極賦活の為電子装置内に適
当人気体雰囲気を提供するゲッタ装置を提供することで
ある。

発明の概要 本発明は、真空容器内に存在するメタンの量を、−ｉ高
分子量の有様ガスの発生なく減少しそして同時に陰極賦
活の促進の為還元雰囲気を提供する手段として、ゲッタ
金属皮膜と組合せてアルカリ金属を利用することにある
。

より詳しくは、ゲッタ金属蒸気放出材料とアルカリ金属
源とを備えるゲッタ装置が、ゲッタ金属蒸発の後半期間
中或いはその後アルカリ金属を放出する手段と共に提供
される。

米国特許第２．’０１８，９６５号から、アルカリ金属
がゲッタ材料として使用されうろことは知られている。

しかし、それは少くとも約１５％のアルカリ金属を含有
する合金として使用されねばならず、事実該特許は、バ
リウムとマグネシウム、或いはバリウム、ストロンチウ
ム及びマグネシウムから成る合金が好ましいと述べてい
る。ごく少量のアルカリ金属が別のゲッタ材料と組合せ
て、そうしたゲッタ材料が蒸発せしめられる時発生する
メタンの量の実質的低減をもたらしうろことの示唆は存
在しない。

Ｊ、　Ｖａｃ、　Ｓｃｉ、　＆　Ｔｅｃｈ、　、、Ａｌ
　（１９８３）　１２６５−１２６６頁におけるキャン
プベル等による論文において、−酸化炭素の接触水素添
加の為ニッケルへのアルカリ金属添加剤の使用を記載し
ている。

そこでは、カリウムが高級炭化水素（Ｃ！＋）合成の為
Ｎｉ　（１００）の定年状態率及び選択率における顕著
な増加をもたらしたことまで述べられている。しかし、
驚くべきことＫ、本発明者は、カリウムのようたアルカ
リ金属がバリウムゲッタ皮膜への微量添加剤として使用
される時、真空包被体内で形成されるメタンの量がかな
り減少するだけでなく、高級炭化水素（Ｃ２＋）の発生
はなく水素分圧における増大が生じることを見出した。

形成されるメタンの量の減少と高級炭化水素の発生のな
いことは電子管の陰極がこれら化合物からのイオン衝撃
或いは炭素汚染を受けない点で有益である。更Ｋ、水素
分圧の増加は、陰極の賦活中陰極のその後の良好な作動
を保証するに充分還元、性の雰囲気が存在することを保
証する。

具体的説明 図面、特に第１図を参照すると、内側壁１４及び外側壁
１６を具備する環状リング１２を備えるゲッタ装置１０
が示されている。加えて、内側壁と外側壁とを繋ぐ底壁
１８が示されている。第１図に示す具体例において、底
壁１Ｂにはゲッタ蒸気の蒸発を促進するよう一連の穴２
０．２０’　　が設けられている。環状リング１２はゲ
ッタ金属蒸気放出用材料２２を収納する。本発明の広い
概念において、任意のゲッタ金属蒸気放出用材料が使用
されうる。しかし、好ましい金属蒸気放出用材料は約５
０ｗｔ％ＢａとＡｌとの合金（ＢａＡｌａ　）である。

また別の好ましい金属蒸気放出用材料は、上記バリウム
−アルミニウム合金と約５０％Ｎｉの混合物である。好
ましくは、ゲッタ金属蒸気放出用材料は、約１４９μｍ
より小さな粒寸な有するべきである。Ｎｉ或いはＴｉ−
Ｎｉ化合物のようガ他の添加剤もまた約１４９μｍより
小さ力粒寸を有するべきである。

本明細書において「ゲッタ金属蒸気放出用材料」という
用語は、ゲッタ金属蒸気放出前及びその後の材料両方を
含むことを意図するものである。この用語は、ゲッタ装
置と共に販売させる形の材料及び材料からゲッタ金属の
大半が蒸発されそして管の内面上に皮膜の形にあるよう
な管内で見られる形の材料両方を包括する。

底壁１８には、電子管のガラス壁にゲッタ装置１０を断
熱方式で当接状態に支持する為の環状上ランクリング２
６を保持する結合要素２４が付設されている。結合要素
２４中夫Ｋ、アルカリ金属放出用材料２９を収納する中
空筒の形態のアルカリ金属放出手段２８が付設されてい
る。ゲッタ装置の誘導加熱中、結合要素の中央部は環状
リング１２より遅く昇温するのでアルカリ金属はゲッタ
金属蒸発の後半期間中或いはその後放出される。−第２
図は本発明のゲッタ装置の別の具体例を示し、ここでは
ゲッタ装置１１は円板部材１５に沿って一体に形成され
る内側壁１６を具備し、円板部材１５中夫にアルカリ金
属放出用材料２９を担持する中空筒の形の手段１７が付
設されている。

アルカリ金属放出用材料はゲッタ金属蒸気放出用材料と
混合することが出来、当業者はアルカリ金属の放出がゲ
ッタ金属蒸発の後半段階中或いはその後起ることを保証
する為の適当に対策を講じることか出来る。しかし、１
７及び２８として上述したように別個の容器に材料を用
意することが好ましい。

アルカリ金属放出用材料は、本発明の広い概念において
は加熱に際してアルカリ金属を放出することの出来る任
意の材料である。しかし、一つの好ましい材料系はアル
カリ金属のクロム酸塩或いはニクロム酸塩である。

また別の好ましいアルカリ金属放出用材料系はアルカリ
金属と他の金属との合金である。好ましいアルカリ土属
合金はＢａ−Ｍ−ＡＩ（ここでＭはアルカリ金属であり
、リチウム、ナトリウム、カリウム、ルビジウム或いは
セチウムから選択される）である。特に好ましいアルカ
リ土属合金はＢａ。

Ｍ及びＡｔの新規な三元化合物である。これは、原子％
Ｂａ、原子％Ｍ及び原子％Ａｌで表示した三元組成図に
おいて次により定義される点を角隅とする多角形内に入
る： ａ）　１４．９２５％Ｂａ　−０，０７５％　Ｍ　−８
５％　　Ａｌｂ）　２４．８７５％　Ｂａ　−０，０７
５％　Ｍ　−７５，０５％　　ＡＩｅ）　２４．８７５
％Ｂａ　−０，１２４４Ｍ　−７５％　　ＡＩｄ）１２
．５％　Ｂａ　−１２５％　　Ｍ−７５％　　　ＡＩｅ
）　　７．５％　Ｂａ　−１２，５％　Ｍ−８０％　　
　ＡＩｆ）　　７．５％　Ｂａ−７，５％　　Ｍ−８５
４Ａｌ好ましくは、とのＢａ−Ｍ−ＡＩ　　三元合金は
三元状態図にプロットする侍医の点を角隅とする多角形
内に入る組成を有する：“ ａ’）　１６．６７％　Ｂａ　−０，８８％Ｍ　−８２
，４５％Ａｌｂ’）　１９．００％　Ｂａ　−０，８８
％Ｍ−８０，１２％ＡＩｃ’）　１’９．００−％　Ｂ
ａ　−１０１％　Ｍ　−７９９９％ＡＩｄつ１６．（１
１％Ｂａ　−４，００％　Ｍ　−７９，９９Ｓ　Ａｌｅ
’）　１４．０４％Ｂａ　−４，００％　Ｍ　−８１，
９６％ＡＩｆ　’）　１４．０４％　Ｂａ　−３，５１
％　Ｍ　−８２，４５％　ＡＩ第６図は、原子％Ｂａ、
原子％Ｍ及び原子チＡｌ　で表わした三元組成図におい
て本発明におけるアルカリ金属放出用材料として有用々
三元合金の組成範囲を示す（注：第６図に示した多角形
は概略的なものである）。

これら新規な三元合金のうち、Ｂａ−に−Ａｌ　　合金
が本発明において神に有用である。Ｂａ−に−Ａｌの好
ましい合金は式Ｂ　ａ　ｚ　Ｋｌ　−Ｘ　Ａ　１４　（
ここでＸは０．５〜０．９９５の値を有する）により定
義されるものである。Ｂ　ａ　ｚＫ、　−２Ａ　１４の
ように殊に好ましい合金はＸが０．８〜０．９５の値を
有するものである。

これら新規な三元合金、例えばＢａ−に−Ａｌ　合金は
次のプロセスに従って調製しうる。

元素バリウム、カリウム及びアルミニウムが上記多角形
の範囲内にある重量優においてるつば内に置かれる。る
つぼは誘導炉内に置かれそして後加熱に際してのカリウ
ムの蒸発を防止する為アルゴンのよう力率活性ガスが炉
に充填される。

１０００℃〜１３００℃の範囲内の温度への誘導加熱は
金属を溶解せしめそして冷却に際して三元合金を形成す
る。冷却は不活性算囲気下で行われる。合金が室温まで
冷却されると、合金は炉から取出されそしてインゴット
は所要の粒寸まで粉砕される。

アルカリ金属クロム酸塩が使用されるならそれは好まし
くは還元剤と混合状態で使用される。

還元剤は、アルカリ金属クロム酸塩との緊密混合状態で
加熱される時アルカリ金属蒸気の放出をもたらす任意の
側斜でありうる。適当な還元剤の例は、Ｓｉ、８４％ｚ
ｒ−１６％ＡＩのよう？ｃＺｒ−Ａｌ合金、Ｚｒ−Ｎｉ
合金、Ｚｒ−Ｆｅ合金並びにＺ　ｒ　−Ｖ　−Ｆ　ｅや
Ｚｒ−Ｎｂ−Ｎｉ合金のような三元合金である。アルカ
リ金属放出用材料は好ましくは５００μｍより小さな、
一層好ましくは１４９μｍより小さな粒寸を有しそして
粉末形態の還元剤と緊密混合状態にすべきである。還元
剤は好ましくは５００μｍより小さ力、一層好ましくは
１４９μｍより小さな粒寸を有する。粒状アルカリ金属
放出材料対還元剤の重量比は好ましくは、２０；１〜１
：２０、−一層好ましくは４：１〜１：１の比率である
。アルカリ金属放出用材料の含量がこれより低いと、メ
タン形成の減少をもたらすに不十分のアルカリ金属しか
放出されない。これ以上のアルカリ金属放出用材料含有
量では、アルカリ金属放出反応を満足に完了するには不
十分の還元剤し、か存在せず、放出されるアルカリ金属
の正確な量の管理が出来なくなる。

蒸気されるゲッタ金属の量に対して必要とされるアルカ
リ金属の量は、真空包被体内で発生するメタンの量を満
足のいく態様で減少するような量である。放出されるゲ
ッタ金属対アルカリ金属の重量比は好ましくは９：１〜
９９９：１．一層好ましくは９５：５〜９９：１である
。

アルカリ金属源を収納する中空筒状カプセルは環状リン
グと同軸に位置づけられるので、高周波誘導電流による
ゲッタ装置を加熱するに際してアルカリ金属はバリウム
蒸発の後半期間中及びその後放出される。ゲッタ金属蒸
気の放出に対してアルカリ金属蒸気の放出が開始される
時点は、カプセルの正確な位置決めによりまた還元剤の
適切な選定により精確に制御されうろことが当業者には
明らかであろう。

以下、実際例を述べる。これら例においてチはすべて断
りのない限り重量％で表示されている。

例１（比較例） 本例は、従来からのゲッタ装置の様々の性質を示す為の
比較例として行われた。環状リングに約１０００■のＢ
ａＡｌ４合金とニッケルの等比率の混合物が充填された
。ＢａＡｌａ及びＮｉ両者の粒寸は１４９μｍより小さ
いものとされた。ゲッタ装置は約２５（１９の公称バリ
ウム含量を有した。

ゲッタ装置は約８１の容積を有する真空装置内に置かれ
た。真空装置はその後６．７Ｘ１０　　Ｐａ以下の圧力
にまで排気され、それに際してゲッタ装置は高周波誘導
電流により加熱されてバリウムの蒸発をもたらした。ゲ
ッタ装置によるメタンの発生を模擬する為Ｋ、９．３Ｘ
１０Ｐａの圧力の水蒸気が装置内に導入されそして装置
内の雰囲気が約５分間にわたって質量分析計によって解
析された。−装置内のメタンの分圧が第３図に曲線１と
して示される。装置はその後？Ｓ、７Ｘ１０　　Ｐａ以
下の圧力まで再排気されそして追加量の水蒸気が９．３
Ｘ１０Ｐ＆の圧力まで導入された。メタン分圧が再測定
されそして第３図に曲線２として示される。装置は再度
６．７Ｘ１０−’Ｐａ以下の圧力まで排気されそしてＣ
Ｏが２．７Ｘ１０　　Ｐａの圧力まで導入された。この
量はバリウム皮膜を完全に飽和するよう計算され、従っ
てＣＲＴの作動寿命の終りに向ってのＣＲＴ内の状態を
模擬する。

再度、メタン圧が測定されそして第６図に曲線３として
示される。装置は再度＆７Ｘ１０　　ｐａ以下の圧力ま
で排気されそして追加量の水蒸気が９．３Ｘ１０Ｐ＆の
圧力まで導入された。メタン分圧の測定値が第３図に曲
線４として示される。

水蒸気及び−酸化炭素両方の導入から約５分において、
装置内の水素及び他のガスの分圧もまた測定された。還
元ガス、水素の分圧が表１の欄１に報告される。

本例は本発明のゲッタ装置の様々の性質を示す為に行わ
れた。

ゲッタ装置は例１において使用されたゲッタ装置とすべ
ての点で同等に作製されたが、但しカリウム源がゲッタ
装置の環状リングと同軸に位置づけられた筒形カプセル
の形で供給された。中空筒形カプセルは、約２．５〜３
岬の元素カリウムな放出しうるような量においてクロム
酸カリウムと１６％Ａｌ−８４％Ｚｒ合金を１＝３の重
量比で含む混合物を収納した。例１のガス導入手順が正
しく繰返されそしてメタン圧力が測定された。得られた
曲線を第３図に曲線１１．２’　Ｉ　、　３１及び４１
として示す。更Ｋ、装置内の水素及び他のガスの分圧が
気体導入後約５分において測定した。結果を表１の欄２
に示す。

試験方法 第３図のグラフの基礎となった試験結果は、レイボルド
ヘラエウスＱ２０〇　四極子質量分析計を使用して装置
内雰囲気を分析することにより得た。水蒸気の導入後、
質量分析計は原子質量範囲１４〜１９を反覆的に走査せ
しめられ、以って水（、Ｈｚ　Ｏ”　）の質量１８ビー
クとメタン（ｃＨｓ”　）の質量１５ビークを測定した
。第４図は第３図の曲Ｐｌｆ８４“の基礎となった試験
中得られた質量分析計測定値のチャート記録を示する。

水の質量１８ピークは細線３０として示されそしてメタ
ンの質ぶ“１５ビークは細線６２として示される。

点Ａはゲッタ装置がバリウム（第４図の場合カリウムも
）を蒸発せしめた装置内に水蒸気が丁度導入された試験
開始点を示す。水蒸気の分圧がそれが／＜　ＩＪウム皮
膜と反応しそしてそれにより収着されるにつれ減少する
ことが明らかに見られる。

第４図−のグラフにおけるピークの高さは質量分析計の
予じめの校正により第３図に示されるような圧力（窒素
等量圧力）に変換される。約５分後、試験は点Ｂにおい
て終了しそして質量分析計はｍ／ｅ　　範囲１−６０全
体を走査することにより装置内の雰囲桓を分析せしめら
れた。これには約６分を要した（第４図範囲Ｂ−Ｃ）。

この完全分析は細線３４として示される原子質量２ピー
クとして水素の存在を示す。このピークはＣＯ及びＨ，
Ｏ導入後約６分で記録された。メタンの分解模様３６、
ＣＯ＋Ｎ＊の質量２Ｂピーク（細線３８）及びｃｏ、の
質量４８ピーク（細線３９）の存在も明らかである。

第５図は第４図と同様であるが、但しこれは第３図の曲
線３の基礎となった試軟中即ち従来のゲツタ装置がバリ
ウムを蒸発せしめられた装置へのＣＯの導入後の質量分
析計による分析を示す。ＡｌはＣＯが装置内に導入され
た瞬間を示す。やはり、質量分析計は質量１４〜１９ビ
ークを反覆的に走−査しそしてメタンの質量１５ピーク
（詳細図４０）が記録された。

ＣＯピーク（質量２８）は質量１４〜１９の反覆走査範
囲の外側にあるから記録され力い。約５分後、試験は点
Ｂ１において終了しそして後雰囲気が１〜６０質量範囲
を走査することにより分析された（点Ｂ１からＣ１まで
）。質量２ビーク（Ａ４）、メタン分解模様ピーク（Ａ
６）、ＣＯ＋Ｎ！の質量２８ピーク（Ａ８）及び質量４
８ビーク（Ａ９）の存在が明らかである。

様々の目盛設定が使用されたので水素質量２ピーク（３
４，４４）の相対高さに重要性はなく、分圧（Ｎｔ等量
）に換算された実際の値が表１に報告されている。加え
て、ピーク６８．３９．４８及び４９の目盛設定はピー
ク３４．４４の目盛より約１００倍大きな感度にある。

結果の考察 気体導入のすべてにおいて、それが水蒸気であれ一酸化
炭素であれ、曲線１′、２′、３′、４′　により示さ
れる本発明ゲッタ上方のメタン分圧は、曲線１．２．３
．４により示される従来ゲッタ装置を使用する装置内の
メタン圧よりかなり低いことが第３図かられかる。

表１の欄１及び２の比較により、アルカリ金属を組込ん
だ本発明ゲッタ装置は残留雰囲気中に一層高い水素圧力
を生みだし、従って陰極賦活及び寿命を増進する為の一
層還元性の雰囲気を保証する。

第４及び５図の傾城Ｂ−Ｃ及びＢ’−Ｃ’の雰囲気分析
の結果は同等の構造を示しく大きさは別にして）、従っ
て先に記載した文献から予想されたような高級炭化水素
の発生を示さない。高級炭化水素の発生のないことのま
た別の証拠として、メタン以外の何らかの高級炭化水素
が発生したとするとそれから千切されたような質量帯域
２９．４３及び５８付近での分解模様形成の兆候は全く
々い。

辰　　Ｉ 以上、本発明について詳細に説明したが、本発明の範囲
内で様々の改変を為しうろことを銘記されたい。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明のゲッタ装置の断面図である。 第２図は、また別の具体例の断面図である。 第３図は、従来からのゲッタ装置との比較の下で本発明
のゲッタ装置を使用して行われた幾つかのメタン形成実
験の結果を表すグラフである。 第４及び５図はゲッタ装置を収納する密閉容器内の気体
雰囲気の質量スペクトル図である。 第６図は本発明において有用な合金の原子チでの組成を
示す三元組成図である。 １０．１１ニゲツタ装置 １２　：　環状リング １４　：　内側壁 １６　：　外側壁 １８　：　底壁 ２０．２０１：穴 ２２　：　ゲッタ金属放出用材料 ２４　：　結合要素 ２６　：　セラミックリング ２８．１７：アルカリ金属放出手段 ２９　：　アルカリ金属放出用材料 ｆ咋ム至

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １）（Ａ）ゲツタ金属蒸気放出用材料と、 （Ｂ）前記ゲツタ金属蒸気放出材料からゲツタ金属の蒸
   発をもたらす為の手段と、 （Ｃ）アルカリ金属源と、 （Ｄ）ゲツタ金属蒸発の後半期間中或いはその後アルカ
   リ金属を放出する為の手段と を包含するゲツタ装置。 ２）アルカリ金属源がアルカリ金属クロム酸塩である特
   許請求の範囲第１項記載のゲツタ装置。 ３）アルカリ金属源がアルカリ金属合金である特許請求
   の範囲第１項記載のゲツタ装置。 ４）アルカリ金属源がＢａ＿ｘＭ＿１＿−＿ｘＡｌ＿４
   （ここでＭはＬｉ、Ｎａ、Ｋ、Ｒｕ及びＣｓから成る群
   から選択される）三元合金である特許請求の範囲第１項
   記載のゲツタ装置。 ５）ｘが０．５〜０．９９５の値を有する特許請求の範
   囲第４項記載のゲツタ装置。 ６）ｘが０．８〜０．９５の値を有する特許請求の範囲
   第４項記載のゲツタ装置。 ７）加熱に際して９：１〜９９９：１のゲツタ金属対ア
   ルカリ金属重量比においてゲツタ金属及びアルカリ金属
   を放出する特許請求の範囲第１項記載のゲツタ装置。 ８）（ I ）内側壁、外側壁及び両者を繋ぐ底壁を具備
   する環状リングと、 （II）該リングにより担持されるゲツタ金属放出用材料
   であつて、 （Ａ）１４９μｍより小さな粒寸を有する組成ＢａＡｌ
   ＿４の粒状金属間化合物及び （Ｂ）１４９μｍより小さな粒寸を有する粒状ニッケル をＢａＡｌ＿４：Ｎｉの重量比が２：１〜１：２の範囲
   において緊密に混合して成るゲツタ金属放出用材料と、 （III）（Ａ）１４９μｍより小さな粒寸を有する粒状
   のクロム酸カリウム及び （Ｂ）１４９μｍより小さな粒寸を有する、８４重量％
   Ｚｒ−残部Ａｌの組成を有する粒状Ｚｒ−Ａｌ合金を クロム酸カリウム：ジルコニウム−アルミニウム合金の
   重量比が４：１〜１：１の範囲において緊密に混合して
   成るカリウム源と、 （IV）前記環状リングと同軸的に位置づけられる、カリ
   ウム源を収納する中空筒状カプセルと を包含し、高周波誘導電流によるゲツタ装置の加熱に際
   してカリウムの少くとも一部がバリウム蒸発の後半期間
   後放出され、放出されるバリウム対カリウムの重量比が
   ９５：５〜９９９：１であるような特許請求の範囲第１
   項記載のゲツタ装置。 ９）アルカリ金属源がＢａ−Ｍ−Ａｌ（ＭはＬｉ、Ｎａ
   、Ｋ、Ｒｕ及びＣｓから成る群から選択される）の三元
   化合物であり、該三元化合物が原子％Ｂａ、原子％Ｍ及
   び原子％Ａｌで表した三元組成図において次の点、即ち ａ）１４．９２５％Ｂａ−０．０７５％Ｍ−８５％Ａｌ
   、 ｂ）２４．８７５％Ｂａ−０．０７５％Ｍ−７５．０５
   ％Ａｌ、 ｃ）２４．８７５％Ｂａ−０．１２５％Ｍ−７５％Ａｌ
   、 ｄ）１２．５％Ｂａ−１２．５％Ｍ−７５％Ａｌ、 ｅ）７．５％Ｂａ−１２．５％Ｍ−８０％Ａｌ、 ｆ）７．５％Ｂａ−７．５％Ｍ−８５％Ａｌ、 を角隅とする多角形内に入る組成を有する特許請求の範
   囲第１項記載のゲツタ装置。 １０）アルカリ金属源が式Ｂａ＿ｘＫ＿１＿−＿ｘＡｌ
   ＿４（ここでｘは０．５〜０．９９５の値を有する）の
   三元化合物である特許請求の範囲第１項記載のゲツタ装
   置。 １１）アルカリ金属源が式Ｂａ＿ｘＫ＿１＿−＿ｘＡｌ
   ＿４（ここでｘは０．８〜０．９５の値を有する）の三
   元化合物である特許請求の範囲第１項記載のゲツタ装置
   。 １２）（ I ）内側壁、外側壁及び両者を繋ぐ底壁を具
   備する環状リングと、 （II）該リングにより担持されるゲツタ金属放出用材料
   であつて、 （Ａ）１４９μｍより小さな粒寸を有する組成ＢａＡｌ
   ＿４の粒状金属間化合物及び （Ｂ）１４９μｍより小さな粒寸を有する粒状ニッケル をＢａＡｌ＿４：Ｎｉの重量比が２：１〜１：２の範囲
   において緊密に混合して成るゲツタ金属放出用材料と、 （III）式Ｂａ＿ｘＫ＿１＿−＿ｘＡｌ＿４（ここでｘ
   は０．５〜０．９９５の値を有する）の三元化合物から
   成るカリウム源と、 （IV）前記環状リングと同軸的に位置づけられる、カリ
   ウム源を収納する中空筒状カプセルと を包含し、高周波誘導電流によるゲツタ装置の加熱に際
   してゲツタ金属蒸気放出材料からのバリウムの蒸発が起
   りそしてカリウムの少くとも一部がバリウム蒸発の後半
   期間後放出され、放出されるバリウム対カリウムの重量
   比が９５：５〜９９９：１であるような特許請求の範囲
   第１項記載のゲツタ装置。 １３）アルカリ金属源として有用なＢａ−Ｍ−Ａｌ（Ｍ
   はＬｉ、Ｎａ、Ｋ、Ｒｕ及びＣｓから成る群から選択さ
   れる）の三元化合物であつて、該三元化合物が原子％Ｂ
   ａ、原子％Ｍ及び原子％Ａｌで表した三元組成図におい
   て次の点、即ち ａ）１４．９２５％Ｂａ−０．０７５％Ｍ−８５％Ａｌ
   、 ｂ）２４．８７５％Ｂａ−０．０７５％Ｍ−７５．０５
   ％Ａｌ、 ｃ）２４．８７５％Ｂａ−０．１２５％Ｍ−７５％Ａｌ
   、 ｄ）１２．５％Ｂａ−１２．５％Ｍ−７５％Ａｌ、 ｅ）７．５％Ｂａ−１２．５％Ｍ−８０％Ａｌ、 ｆ）７．５％Ｂａ−７．５％Ｍ−８５％Ａｌ、 を角隅とする多角形内に入る組成を有する三元化合物。 １４）三元化合物が、原子％Ｂａ、原子％Ｍ及び原子％
   Ａｌで表した三元組成図において次の点、即ち ａ′）１６．６７％Ｂａ−０．８８％Ｍ−８２．４５％
   Ａｌ、 ｂ′）１９．００％Ｂａ−０．８８％Ｍ−８０．１２％
   Ａｌ、 ｃ′）１９．００％Ｂａ−１．０１％Ｍ−７９．９９％
   Ａｌ、 ｄ′）１６．０１％Ｂａ−４．００％Ｍ−７９．９９％
   Ａｌ、 ｅ′）１４．０４％Ｂａ−４．００％Ｍ−８１．９６％
   Ａｌ、 ｆ′）１４．０４％Ｂａ−３．５１％Ｍ−８２．４５％
   Ａｌ、 を角隅とする多角形内に入る組成を有する特許請求の範
   囲第１３項記載の三元化合物。