NL8101459A

NL8101459A - Werkwijze voor het vervaardigen van een beeldweergeefbuis voorzien van een gasabsorberende laag; beeldweergeefbuis aldus vervaardigd en getterinrichting geschikt voor een dergelijke werkwijze.

Info

Publication number: NL8101459A
Application number: NL8101459A
Authority: NL
Original assignee: Philips Nv
Priority date: 1981-03-24
Filing date: 1981-03-24
Publication date: 1982-10-18
Also published as: IT1150927B; JPS57170446A; GB2095467A; FR2502841A1; US4481441A; IT8220302A0; GB2095467B; FR2502841B1; DE3210162A1

Description

i I

c ΓΗΝ 9998 1 N.V. Philips' Gloeilampenfabrieken te Eindhoven.

Werkwijze voor het vervaardigen van een beeldweergeefbuis voorzien van een gasabsorberende laag; beeldweergeefbuis aldus vervaardigd en getter-inrichting geschikt voor een dergelijke werkwijze.

De uitvinding heeft betrekking qp een werkwijze voor het vervaardigen van een beeldweergeefbuis, waarbij in de buis een getter-inrichting wordt gemonteerd, welke getter inrichting een metalen houder bevat waarin een bron van verdarapbaar gettermetaal en een gasbron van 5 een bij verhitting gas vrijmakend materiaal zijn andergebracht, welke getter inrichting na het evacueren van de buis inductief wordt verhit voor het vrijmaken van het gas uit de gasbron en het verdampen van het gettermetaal uit de bron van gettermetaal.

De uitvinding heeft voorts betrekking qp een aldus ver-10 vaardigde beeldweergeefbuis alsmede qp een getter inrichting, welke geschikt is voor toepassing in de hier genoemde werkwijze.

Een dergelijke werkwijze is bekend uit het Amerikaanse octrooischrift 3.388.955. Daarin bevat de metalen houder van de getter inrichting een te verdampen gettermetaal dat is gemengd met 15 een gasbron van gasvrijmakend materiaal. Tijdens de inductieve verhitting van de getter inrichting wordt eerst het gas uit de gasbron vrijgemaakt en vervolgens het gettermetaal verdampt. Het in een gasatmosfeer verdampen van het gettermetaal heeft tot doel een gelijkmatige verdeling van gettermetaal op een inwendig oppervlak van de 20 weergeefbuis te verkrijgen.

De bekende getterinrichting bevat een gasbron, die bij betrekkelijk lage temperatuur zijn gas afgeeft. Een tot deze categorie behorende en gebruikelijk toegepaste gasbron is bijvoorbeeld ijzemitride (Fe4N), dat reeds bij ongeveer 500°C begint te ontleden.

25 Aan het gebruik van ijzemitride zijn echter een aantal beperkende voorwaarden verbonden, zowel met betrekking tot de vervaardiging van de getterinrichting zelf, als met betrekking tot de vervaardiging van de beeldbuis waarin deze getterinrichting wordt toegepast. Zo beperkt de lage cntledingstemperatuur van ijzemitride de bij het 30 ontgassen van de getterinrichting maximaal toelaatbare temperatuur.

Voorts is ijzemitride niet bestand tegen de inwerking van vochtige lucht van ongeveer 450°C, welke omstandigheid zich bijvoorbeeld bij de vervaardiging van een kleurentelevisiebeeldbuis voordoet, wanneer 8101459 * \ H3N 9998 2 het heeldvenster en de conus van de beeldbuis door middel van een verbindingsglas met elkaar worden verbanden. Het toepassen van ijzer-nitride laat dan niet toe, dat de getter inrichting reeds in de buis wordt gemonteerd voordat het heeldvenster en de conus aan elkaar 5 worden bevestigd. Dit is o.a. een ernstige beperking bij de vervaardiging van de kleurenbeeldbuis voorzien van een inwendig op een deel van de buiswand aangebrachte weerstandslaag, zoals beschreven in het Britse octrooischrift 1.226.728. Deze weerstandslaag bevindt zich nabij de hals-conusovergang van de buis, hetgeen noodzakelijk maakt, 10 dat de getterinrichting op een van de hals-conusovergang verwijderde plaats in de buis moet worden gemonteerd, teneinde het elektrisch kortsluiten van de weerstandslaag door uit de getterinrichting verdampt gettermetaal te vermijden. In dat geval bestaat er, vanwege de veelal moeilijke toegankelijkheid van een dergelijke plaats, een 15 grote behoefte aan de mogelijkheid cm de getterinrichting op een van de hals-conusovergang verwijderde plaats aan te brengen, voordat de conus aan het venster van de buis wordt bevestigd. Deze behoefte bestaat ook, wanneer van de gebruikelijke montage van de getterinrichting door middel van een veerkrachtige metalen strip aan het in de 20 hals van de buis gemonteerde kanonsysteem wordt af gezien, ten einde de door deze metalen strip op het kanonsysteem uitgeoefende veerkracht te vermijden.

Een gasbron, die de hier ten aanzien van ijzemitride gegeven beperkingen niet vertoont is beschreven in het Britse octrooischrift 25 1.405.045. Daarin bevat de gasbron als gasvrijmakend materiaal een germaniumnitride, in het bijzonder Ge^N^. Germaniumnitrlde is een stabiele verbinding, die zonder bezwaar aan vochtige lucht van ten minste 450°C kan worden blootgesteld. Germaniumnitride heeft echter een ten opzichte van ijzemitride relatief hoge ontledingstemperatuur.

30 Dit heeft tot gevolg, dat bij het verhitten van de getterinrichting de daarin ondergebrachte gasbron pas tijdens het verdampen van het gettermetaal zijn stikstof afgeeft. Voor het verkrijgen van een over de gehele dikte pareuze en derhalve goed absorberende laag gettermetaal op een inwendig oppervlak van de buis, is het nodig dat tijdens de 35 verhitting van de getterinrichting het uit de gasbron vrijgemaakte -3 -2 gas reeds een voldoende gasdruk van ongeveer 133.10 tot 666.10 Pa in de buis heeft opgebouwd, voordat het gettermetaal begint te verdampen.

81014 5 9 jr i PHN 9998 3

Het is het doel van de uitvinding een werkwijze voor het vervaardigen van een beeldweergeefbuis te verschaffen, waarbij een getter inrichting wordt toegepast welke is voorzien van een gasbron, die bij een relatief hoge temperatuur zijn gas af geeft, doch waarbij S niettemin deze gasafgifte grotendeels is voltooid voordat het gettermetaal begint te verdampen.

Een werkwijze voor het vervaardigen van een beeldweergeef-buis waarbij in de buis een getter inrichting wordt gemonteerd, welke getter inrichting een metalen houder bevat waarin een bron van verdarrp-10 baar gettermetaal en een gasbron van een bij verhitting gas vrijmakend materiaal zijn cndergebracht, welke getter inrichting na het evacueren van de buis inductief wordt verhit voor het vrijmaken van het gas uit de gasbron en het verdampen van het gettermetaal uit de bron van gettermetaal, heeft daartoe volgens de uitvinding het kenmerk, dat 15 een getter inrichting wordt toegepast, waarin het gasvrijmakende materiaal is geconcentreerd in een laag, welke inwendig aan een wandgedeelte van de metalen houder grenst.

Tijdens de inductieve verhitting van de getterinrichting zal deze het eerst warm werden ter plaatse waar de door het inductie-20 veld in de getterinrichting opgewekte inductiestrcxnen maximaal zijn.

Bij een hoogfrequent inductieveld zal de getterinrichting eerst aan de bodem en de buitenzijde wam worden, dat wil zeggen dat de metalen houder van de getterinrichting in temperatuur voor ijlt ten opzichte van de vulling van de houder. Van dit gegeven maakt de 25 uitvinding gebruik door het gasvrijmakende materiaal te concentreren in een laag welke inwendig aan een wandgedeelte van de metalen houder van de getterinrichting grenst. Aldus wordt bereikt, dat tijdens de inductieve verhitting van de getterinrichting de temperatuur van het gasvrijmakende materiaal voor ijlt ten opzichte van de verdere 30 inhoud van de metalen houder, dat wil zeggen de bron van verdampbaar gettermetaal. Dit heeft tot gevolg, dat het gasvrijmakende materiaal, zelfs wanneer dit een relatief hoge ontledingstemperataiur heeft, zijn gas af geeft voordat uit de metalen houder het gettermetaal begint te verdanpen.

35 De metalen houder van de getterinrichting heeft een voor inductieve verhitting geschikte vorm en bestaat gewoonlijk uit een ringvormige goot of een ronde bak. Zowel de bron van gettermetaal als de gasbron bestaan uit poedervormig materiaal, dat in de metalen houder 8101459 ί £ ΡΗΝ 9998 4 wordt geperst. De gewichtshoeveelheid gasvrijmakend materiaal is echter gering ten opzichte van de gewichtshoeveelheid materiaal waaruit de bron van gettermetaal bestaat. De bron van gettermetaal bestaat gewoonlijk uit een mengsel van nikkelpoeder en een poedervormige 5 legering van aluminium en het gettermetaal, in welk mengsel het gehalte aan nikkelpoeder ongeveer 40-60 gew.% bedraagt. Deze bron van gettermetaal bepaalt nagenoeg het totale vulgewicht van de metalen houder van de getterinrichting. Gewoonlijk bedraagt de gewichtshoeveelheid gasvrijmakend materiaal ongeveer één tot enkele procenten 10 van het totale vulgewicht van de metalen houder. Ter verkrijging van een gelaagde structuur met betrekking tot het gasvrijmakende materiaal en het materiaal van de bron van gettermetaal, is het mogelijk bij het vullen van de metalen houder het gasvrijmakende materiaal afzonderlijk te doseren. Door de per getterinrichting benodigde geringe hoeveel-15 heid gasvrijmakend materiaal worden bij deze methode wel hoge eisen gesteld aan de doseringsnauwkeurigheid van de voor het. vullen van de metalen houder gebruikte vulapparatuur. Veelal werkt de vulapparatuur pas betrouwbaar indien een bepaalde minimale hoeveelheid poeder wordt gedoseerd. Indien deze minimale hoeveelheid groter is dan de per 20 getterinrichting benodigde hoeveelheid gasvrijmakend materiaal kan dit probleem worden qpgelost door het gasvrijmakende materiaal gemengd met een ander poedervormig materiaal te doseren. Dit betekent dat de voor een getterinrichting benodigde hoeveelheid gasvrijmakend materiaal tot ten minste de voor een nauwkeurige dosering benodigde 25 minimale hoeveelheid poeder is aangevuld met genoemd ander poedervormig materiaal. De laag welke inwendig aan een wandgedeelte van de metalen houder van de getterinrichting grenst bestaat dan volgens de uitvinding uit een mengsel van poedervormig gasvrijmakend materiaal en een ander poedervormig materiaal. Dit andere poedervormige 30 materiaal kan uit elk geschikt materiaal bestaan doch bestaat bij voorkeur uit het materiaal waaruit ook de bron van gettermetaal is samengesteld of uit ten minste één van de componenten daarvan.

Volgens een uitvoeringsvorm van de uitvinding grenst de laag waarin het gasvrijmakende materiaal is geconcentreerd aan de 35 bcdemwand van de metalen houder. Het vullen van de metalen houder omvat dan een eerste fase, waarin de metalen houder ten dele wordt gevuld met het gasvrijmakende materiaal al dan niet gemengd met een ander poedervormig materiaal. In een tweede fase wordt dan de metalen .

8101453 ^ 3 PHN 9998 5 houder bijgevuld reet de gewenste hoeveelheid materiaal, welke de bron van het gettermetaal vormt en vervolgens wordt de poedervormige vulling in de houder samengeperst. Het is ook mogelijk met voorgeperste vullichamen te werken en deze vullichamen in de metalen houder na te 5 persen. Deze methode kan zowel net betrekking tot het materiaal van de bron van het gettermetaal als met betrekking tot het gasvrijmakende materiaal gemengd met een ander poedervormig materiaal warden toegepast.

De gasbron bestaat volgens een uitvoeringsvorm van de uitvinding uit een gasvrijmakend materiaal, dat pas bij temperaturen 10 hoger dan ongeveer 700°C zijn gas afgeeft. Het voordeel van een dergelijke gasbron is dat de getter inrichting tot ongeveer 650°C kan worden vocrontgast, waardoor deze grondig wordt bevrijd van gassen, die door de in de buis aangebrachte laag gettermetaal niet zonder meer worden opgenansn, zoals bijvoorbeeld argon. Dit is van belang omdat dergelijke 15 gassen de levensduur van de buis waarin de getter inrichting is toegepast kan verkorten.

Een zeer geschikt gasvrijmakend materiaal bestaat uit een germaniumitride in het bijzonder Ge^. Germaniumnitride is een chemisch bijzonder resistente verbinding, die in vacuum bij ongeveer 20 825°C begint te ontleden en bij ongeveer 90Q°C zeer snel ontleedt.

Wanneer een dergelijke gasbron wordt toegepast in combinatie met een chemisch resistente bron van gettermetaal wordt een getter inrichting verkregen, die ten opzichte van de bekende getter inrichtingen het voordeel heeft, dat hij bij de vervaardiging van een beeldbuis vóór 25 het aan elkaar bevestigden van het venster en de conus van de beeldbuis op zijn plaats binnen de buiscmhulling kan worden gemonteerd. Onder een chemisch resistent materiaal wordt hier verstaan een materiaal, dat gedurende ten minste een uur bestand is tegen aantasting door vochtige lucht van ongeveer 450°C. Zoals reeds vermeld, 30 is dit in het bijzonder van belang bij de vervaardiging van beeldbuizen voorzien van een cp een inwendig wandgedeelte van de buis aangebrachte weerstandslaag.

De resistentie van de getter inrichting tegen de inwerking van de angevingsatmosfeer is als zodanig een groot voordeel, daar 35 dit opslag van de getterinrichting gedurende lange tijd mogelijk maakt, zonder dat daarbij de bruikbaarheid van de getterinrichting vermindert.

Uitvoeringsvormen van de uitvinding worden bij wijze van 81014 5 9

4 V

EHN 9998 6 voorbeeld toegelicht aan de hand van de tekening, waarin figuur 1 een getterinrichting geschikt voor toepassing in een werkwijze volgens de uitvinding gedeeltelijk in doorsnede toont, figuur 2 een andere uitvoeringsvorm van een getter inrichting 5 in doorsnede toont, figuur 3 een axiale doorsnede van een kleurentelevisie-beeldbuis toont, welke onder toepassing van de in figuur 1 weergegeven getter inrichting is vervaardigd.

De getterinrichting volgens figuur 1 cravat een door een 10 bodem 5 en twee zijwanden 6 en 7 gevormde chroora-nikkelstalen goot 1, waarin een poedervormig vulmateriaal 2 is geperst bestaande uit een aan de bodem 5 grenzende laag 4 en een pp de laag 4 aangebrachte laag 3. De laag 4 bevat ongeveer 8 mg. gasvrijmakend materiaal in de vorm van germaniumnitridepoeder (Ge^N^), dat gemengd met ongeveer 15 36 mg bariumaluminiunpoeder en 36 mg nikkelpoeder is gedoseerd. Het gewicht van het poedermengsel in de laag 4 bedraagt dus ongeveer 80 mg, welke hoeveelheid gemakkelijker is te doseren dan de relatief geringe hoeveelheid van 8 mg germaniumnitride. De laag 3 vormt de bron van gettermetaal en bestaat uit ongeveer 1070 mg van een mengsel 20 van bariumaluminiunpoeder en nikkelpoeder in de gewichtsverhouding 1:1.

De bron van gettermetaal, in het onderhavige geval dus de bron van barium, is door een geschikte keuze van de korrelgrootten van het bariumaluminiumpoeder en het nikkelpoeder gedurende ten minste 25 êên uur bestand tegen aantasting door vochtige lucht van ongeveer 450°C. Zoals beschreven in het Amerikaanse octrooischrift 4.077.899, waarvan de inhoud wordt beschouwd als hierin te zijn opgenomen, heeft daartoe bij een dergelijke bron van gettermetaal het nikkelpoeder een gemiddelde korrelgrootte kleiner dan 80 micron en een specifiek 2 30 oppervlak kleiner dan 0,15 m per gram, terwijl de gemiddelde korrelgrootte van het barium-aluminiunpoeder kleiner dan 125 micron bedraagt.

Voor het inductief verhitten wordt de getterinrichting aan een hoogfrequent inductieveld onderworpen, waarbij de veldlijnen de in figuur 1 roet de dubbele pijl 8 aangegeven richting hebben.

35 Tengevolge van dit inductieveld ontstaan in de metalen houder 1 en het vulmateriaal 2 inductiestromen, waardoor de temperatuur van de getterinrichting stijgt. De inductiestromen zullen aan de buitenomtrek 7 en de bodem 5 van de getterinrichting het grootst zijn, zodat 810145 9 FHN 9998 7 <r · i t aldaar de getter inrichting het eerste warm zal warden. Bij de in figuur 1 getaande getter inrichting zal daardoor het germaniumnitride ontleden en zijn stikstof af geven, voordat het barium uit de bron van gettermetaal 3 begint te verdampen.

5 De laag 4 kan ook als voorgeperste ring in de metalen houder 1 warden gébracht. Een in dit verband enigszins gewijzigde uitvoeringsvorm is in figuur 2 weergegeven. De daarin getooide ring 9 bestaat uit een voorgeperst lichaam van dezelfde samenstelling als de laag 4 in figuur 1. In plaats van aan de bodem 5, grenst de ring 9 inwendig 10 aan de wand 7 van de houder 1. Ook bij deze constructie geeft het in de ring 9 opgenanen germaniumnitride zijn stikstof af voordat het barium uit de ode hier met 3 aangegeven bron van gettermetaal begint te verdampen.

Daar een getter inrichting volgens de uitvinding een grote 15 vrijheid geeft met betrekking tot het moment waarop in het vervaar-digingsprocêdê van een beeldbuis de getter inrichting binnen de omhulling van de beeldbuis wordt gemonteerd, is de uitvinding bij uitsték geschikt cm te warden toegepast in de vervaardiging van beeldbuizen waarbij dit moment van montage in een vroeg stadium van het 20 vervaardigingsprocêdê is gelegen. Dit aspect van de uitvinding wordt toegelicht aan de hand van figuur 3. De daarin schematisch weergegeven kleurentelevisiébeeldbuis heeft een hals 10, een conus 11 en een venster 12 van glas. Op de binnenzijde van het venster 12 is een laag 13 van in rood, groen en blauw fluorescerende gebieden 25 aangebracht, die op békende wijze een lijnenpatroon of een stippen-patroan vormen. Voorts bevat de buis een metalen schaduwmasker 15, dat evenals een metalen magnetische afschermkap 17 op een metalen draagraam 16 is bevestigd. In een metalen ringvormige houder 20 van een volgens de uitvinding gekenmerkte getter inrichting bevindt zich 30 een bron van gettermetaal in de vorm van een mengsel van barium-aluminiumpoeder en nikkelpoeder alsmede een bron van stikstof in de vorm zoals deze aan de hand van de figuren 1 of 2 is beschreven.

Aan de houder 20 is een metalen strip 19 gelast, welke bij 22 aan de afschermkap 17 is bevestigd. Het is ook mogelijk de strip 19 35 aan een in de buiswand gesmolten hoogspanningscontact 26 te bevestigen.

Nadat deze getterinrichting op zijn plaats is gebracht, wordt door middel van een verbindingsglas 18 het venster 12 vacuumdicht aan de konus 11 bevestigd. Bij dit proces, dat ongeveer een uur duurt en 8101 459 PHN 9998 8 .

plaatsvindt in een oven bij een temperatuur van ongeveer 450°C, komt uit het verbindingsmateriaal 18 waterdamp vrij. De volgens de uitvinding gekenmerkte getter inrichting kan zonder bezwaar aan deze omstandigheden worden blootgesteld. Na het bevestigingsproces wordt 5 een schematisch aangegeven kanonsysteem 14, waarmee drie elektronenbundels kunnen worden opgewekt, in de hals van de buis geplaatst en de buis geëvacueerd. .

Tenslotte is door een inductieve verhitting de getter-inrichting 20 aan een teirperatuurtraject onderworpen, waarbij eerst ig stikstof door thermische ontleding van het germaniumnitride in de buis wordt gebracht en vervolgens een exotherm verlopende reactie tussen het barium-aluminium en het nikkel op gang wordt gébracht, waarbij het barium verdampt, en door de stikstof verstrooid als een dunne laag gasbindend metaal op oppervlakken gelegen binnen de door 15 het masker 15 en de afschermkap 17 gevormde ruimte neerslaat.

De plaats en ruimtelijke oriëntering van de getterinrichting zijn zodanig, dat van een op het inwendige oppervlak van de buis aangebrachte weerstandslaag 25 het deel gelegen tussen de net 24 aangegeven lijn en het kanonsysteem 14 niet met barium wordt bedekt.

20 Een dergelijke weerstandslaag heeft namelijk ten doel de schadelijke gevolgen, die een eventuele hoogspanningsdoorslag in de buis voor bepaalde componenten in de daarmee verbonden stuurschakeling kan hebben, tot een minimum te beperken. Bij een gebruikelijke bevestiging van de getterinrichting op het kanonsysteem, of op een met dit kanon-25 systeem verbonden element, wordt deze weerstandslaag door het neergeslagen barium weer kortgesloten, hetgeen bij de hierboven aangegeven plaatsen van de getterinrichting wordt voorkomen.

Hoewel de uitvinding beschreven is aan de hand van een getterinrichting, die als bron van gettermetaal een mengsel van bariumr 30 aluminiumpoeder en nikkelpoeder en als bron van gas germaniumnitride bevat, is zij daarop niet beperkt. De uitvinding kan ook worden toegepast onder gebruikmaking van andere gettermetalen zoals strontium, calcium en magnesium. Ter verkrijging van een chemisch resistente bron van gettermetaal kunnen ook andere dan de hier beschreven maat-35 regel worden getroffen. Zo kan bijvoorbeeld het nikkelpoeder in deze bron vervangen worden door een chemisch meer resistente nikkel-titaan-of ijzer-titaanverbinding. Ook is het mogelijk het aan de omgeving 81 01 459 PHN 9998 9 blootgestelde oppervlak van de bron van gettermetaal te bedekken net een beschermlaagje van bijvoorbeeld aluminium of een organo-silicium-verbinding.

5 10 15 20 25 30 8101 459 35

Claims

4 'μ· . * ΕΗΝ 9998 10
1. Werkwijze voor het vervaardigen van een beeldweergeefbuis, waarbij in de buis een getterinrichting wordt gemonteerd, welke getterinrichting een metalen houder bevat, waarin een bron van verdamp-baar gettermetaal en een gasbron van een bij verhitting gasvrijmakend g materiaal zijn ondergebracht, welke getterinrichting na het evacueren van de buis inductief wordt, verhit voor het vrijmaken van het gas uit de gasbron en het verdampen van het gettermetaal uit de bron van gettermetaal, met het kenmerk, dat een getterinrichting wordt toegepast, waarin het gas vrijmakende materiaal is geconcentreerd in 10 een laag, welke inwendig aan een wandgedeelte van de metalen houder grenst.
2. Werkwijze volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat het gasvrijmakende materiaal in de aan een wandgedeelte grenzende laag met een ander poedervormig materiaal is gemengd.
3. Werkwijze volgens conclusie 2, met het kenmerk, dat genoemd ander poedervormig materiaal bestaat uit het materiaal waaruit ook de bron van gettermetaal is samengesteld of uit ten minste één van de componenten daarvan.
4. Werkwijze volgens een voorgaande conclusie, met het kenmerk, 20 dat het gasvrijmakende materiaal is geconcentreerd in een aan de bodem van de metalen houder grenzende laag.
5. Werkwijze volgens een voorgaande conclusie, met het kenmerk, dat de aan een wandgedeelte grenzende laag als voorgeperst lichaam in de metalen houder is aangebracht..
6. Werkwijze volgens een voorgaande conclusie, met het kenmerk, dat de gasbron een gasvrijmakend materiaal bevat, dat bij temperaturen hoger dan ongeveer 700°C zijn gas af geeft.
7. Werkwijze volgens conclusie 6, met het kenmerk, dat het gasvrijmakende materiaal in hoofdzaak bestaat uit een germanium- 30 nitride.
8. Werkwijze volgens conclusie 6 of 7, met het kenmerk, dat het gasvrijmakende materiaal in hoofdzaak bestaat uit Ge^N^.
9. Werkwijze volgens conclusie 6, 7 of 8, met het kenmerk, dat de beeldweergeefbuis een kleurentelevisiebeeldbuis is, waarvan 35 de omhulling een conus- en een vensterdeel bevat, welke door middel van een verbindingsglas vacuumdicht met elkaar worden verbanden en de getterinrichting op een plaats binnen de entailing van de buis wordt gemonteerd voordat het conus- en het vensterdeel met elkaar worden 8101459 PHN 9998 11 « verbanden.
10. Beeldweergeefbuis vervaardigd volgens de werkwijze van een voorgaande conclusie.
11. Getterinrichting bevattende een metalen houder waarin een bron 5 van verdairpbaar gettermetaal en een gasbron van een bij verhitting gas vrijmakend materiaal zijn onder gebracht, met het kenmerk, dat een getterinrichting wordt toegepast, waarin het gas vrijmakende materiaal is geconcentreerd in een laag, welke inwendig aan een wandgedeelte van de metalen houder grenst. IQ 12. Getterinrichting volgens conclusie 11, met het kenmerk, dat het gasvrijmakende materiaal in de aan een wandgedeelte grenzende laag met een ander poedervormig materiaal is gemengd.
13. Getterinrichting volgens conclusie 12, met het kenmerk, dat genoemd ander poedervormig materiaal bestaat uit het materiaal 15 waaruit ook de bron van gettermetaal is samengesteld of uit ten minste één van de componenten daarvan.
14. Getterinrichting volgens één van de conclusies 11 t/m 13, met het kenmerk, dat het gasvrijmakende materiaal is geconcentreerd in een aan de bodem van de metalen houder grenzende laag.
15. Getterinrichting volgens één van de conclusies 11 t/m 14, met het kenmerk, dat de aan een wandgedeelte grenzende laag als voorgeperst lichaam in de metalen houder is aangebracht.
16. Getterinrichting volgens één der conclusies 11 t/m 15, met het kenmerk, dat de gasbron een gasvrijmakend materiaal bevat, 25 dat bij temperaturen hoger dan ongeveer 700°C zijn gas afgeeft.
17. Getterinrichting volgens conclusie 16, met het kenmerk, dat het gasvrijmakende materiaal in hoofdzaak bestaat uit een germaniumnitride.
18. Getterinrichting volgens conclusie 16 of 17, net het 30 kenmerk, dat het gasvrijmakende materiaal in hoofdzaak bestaat uit Ge3N4. 8101459 35