JPS61266356A - 炭化珪素のプラズマア−ク焼結 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 発明の背景 本発明はプラズマガス雰囲気中で炭化珪素製品を焼結す
るための効率的な方法に関するものでちる。本発明に従
って製造した炭化珪素製品は、従来の焼結製品よシもす
ぐれた品質を有している。

炭化珪素は、それを高温における構造用とじてすぐれた
材料とならしめる、多くの物理的及び化学的性質を有し
ている。機械的には、炭化珪素は、その分解温度に近い
温度においてすら加えられた応力に対して降伏すること
がない、硬く、剛直な、脆い固体である。その高い熱伝
導性のために、炭化珪素は、熱交換器、マツフル形炉、
るつぼ、ガスタービン機関及び炭素熱的製造及び亜鉛の
蒸留におけるレトルトに対する、すぐれた材料である。

炭化珪素は、電気抵抗素子、セラミックタイル、ボイラ
ー、タッピング周囲穴において、熱処理、焼鈍及び鍜造
炉において、ガス製造炉において、及び高温における強
度、耐衝撃性及び耐鉱滓性を必要とするその他の場所に
おいて、使用することもできる。炭化珪素耐火及びセラ
ミック材料に伴なう性質は、すぐれた強度、高い弾性率
、高い破砕靭性、耐腐食性、耐摩耗性、耐熱性及び低比
重である。

炭化珪素のための従来の焼結方法は一般に、効率的でな
く且つ時間を要する傾向がある。従来の焼結方法を用い
る場合には長い炉内保持時間が必要であシ、それが低い
エネルギー効率、過度の炉がス消費及び高い保守コスト
を与える。

従来、多くのセラミック又は耐火材料が、空気又は酸素
による化石燃料の燃焼によう放出されるエネルギーによ
って焼成するトンネルキルン又は周期キルン中で、焼結
されている。セラミック又は耐火材料を空気及び／又は
燃焼生成物にさらすことができる場合は、キルンの直火
による加熱が可能であシ、その場合には、加熱及びエネ
ルギーの利用は適度に効率的と表る。しかしながら、炭
化珪素の焼結は、望ましくない物理的及び化学的性質を
有する生成物を与えるおそれのある酸化物の生成を防ぐ
ために、酸素又は、水及び二酸化炭素を含む、酸素含有
気体の不在において行なわ蓚ければならない。このよう
な条件下に穴石燃料焼成炉を使用することもできるが、
セラミック又は耐火材料を、燃料の燃焼生成物から隔離
された、たとえばレトルトのような、制御された環境中
に保たねばならない。このような加熱は間接的、非効率
的且つ緩慢である。工業的に規模においては、たとえば
トンネルキルンのような装置は、炭化珪素又はセラミッ
ク材料を焼結するために、約７０〜９０時間（冷却サイ
クルを含む）を必要とする。

従来の電気キルンは制御した雰囲気下にアルファ炭化珪
素セラミック又は耐火製品を焼結するために一層一般的
に用いられているが、やはシエネルギー効率が低く且つ
緩慢な傾向がある。黒鉛加熱素子を備えたキルンの場合
には、電圧を制御することができ且つキルンをかなり高
温まで加熱することができるが、しかし次のようないく
つかの欠点がある：１）加熱素子は限られた寸法と複雑
な形状を有し且つ長い寿命を保つためには厳密に制御さ
れた雰囲気下に保たねばならない；及び２）炉の大きさ
が限定され且つこの種のキルンにおいては加熱素子が輻
射熱のみを提供することによシ均一な温度を達成するこ
とが困難である。輻射的な熱移動並びに加熱素子の大き
さの限定のために、キルンは低い装填密度、限られた生
産性及び貧弱なエネルギー効率を有している。従来の電
気キルンを用いる典型的な焼結サイクル時間は約２４時
間（冷却を含む）である。

最近、炉の必要エネルギー及び保持時間を低下させるた
めに、耐火及びセラミック材料の製造に対してグラズマ
アーク方法が応用されている。耐火及びセラミック材料
のプラズマ焼結は、従来の通常の方法によって製造され
るものよシも高い密度と高い強度の製品を与える。

プラズマアーク焼成ガスは、イオン化し且つ電気と熱を
譲渡することができる荷電した粒子を含有しているとい
う点で、あるいは窒素の場合には、解離して高度に反応
性となるという点で、通常の炉内加熱気体とは著るしく
異なっている。たとえば、窒素プラズマガスはＮ、−分
子、Ｎ−原子、Ｎ＋−イオン及び電子から成る、きわめ
て反応性の混合物に解離する。この解離すなわちイオン
化は、セラミック又は耐火製品の焼結のための反応速度
を著るしく増大させる。たとえば、１気圧において約５
０００℃で解離する窒素は、約１５００〜２０００℃の
通常の炉の焼結条件下には解離しない。かくして、プラ
ズマガスの使用は高度に反応性の環境をもたらし、それ
が反応焼結速度を著るしく増大させる。

プラズマアーク技術は一般的に、高温材料の融解のため
に用いられており、焼結又は反応焼結に対しては用いら
れていない。その理由は、大部分のセラミック又は耐火
材料に対して必要な焼結温度は通常は２５００℃未満で
あるのに対して、プラズマアークトーチで加熱したガス
の平均温度は４０００℃を超えることによる。このよう
な高い温度においては、セラミック又は耐火材料が分解
するおそれがある。たとえば、マツキンノンに対する１
プラズマ焼結”と題する米国特許第へ４３２．２９６号
は、プラズマガスの発生のために無線周波数電磁エネル
ギーを用いて１６５０’Ｇ未満の温度において耐火性酸
化物材料を焼結する方法を開示している。

しかしながら、イオン化又は解離を達成するためにプラ
ズマガスを過熱することができ、一方、次いでセラミッ
ク又は耐火材料を、゛この予熱したガスによって、それ
よりも著るしく低い温度で直接に加熱することができる
。たとえば、約５０００℃に加熱した窒素プラズマがス
は炭化珪素耐火製品を２〜８時間で１０００〜１６００
℃の温度まで上げ、また約４０００℃に加熱した窒素プ
ラズマガスは同じ時間の間に製品を１９００〜２２００
℃の温度まで上げる。かくして、プラズマガスは、炉の
形状、プラズマ入力及び装填密度に依存して、プラズマ
ガスを必要な焼結温度よシも遥かに高い温度に加熱する
ことができる。

発明の要約 本発明はプラズマアークがスを用いる炭化珪素セラミッ
ク又は耐火製品の焼結方法に関するものである。本発明
の方法の使用は、低下したサイクル時間と高い炉の生産
性をもたらす。

本発明の方法においては、炭化珪素粒子から一般に公知
の方法によって、成形した炭化珪素未焼結体を形成せし
める。未焼結体混合物としては、アルファー、非立方晶
系結晶性炭化珪素粒子を用いることがもつとも好適であ
る。次いで成形した未焼結粒子を炉中に入れる。炭化珪
素と共に望ましくない酸化物を形成する可能性がある酸
素含有気体は、焼結前に炉から除去しなければならない
。

プラズマアークガスは炭化珪素製品を３００℃／ルｒ〜
２０００℃／ｈｒの加熱速度で２０００〜２５００℃の
焼結温度に加熱する。製品を焼結温度で１１〜２時間保
ち、次いで５００’Ｃ／Ａｒ〜２０００℃／ｈｒの冷却
速度で冷却することが好ましい。本発明の方法に対して
は全サイクル時間は、冷却及び装填を含めて、約１．５
〜２時間である。

焼結プロセスにおいて使用するガスに応じて種種のプラ
ズマガスエンタルピー（ＢＴＵｌｌｂ）及び焼結温度が
存在する。たとえば、本発明の方法においてプラズマガ
スとして窒素を用いるときは、窒素プラズマガスエンタ
ルピーは２０００Ｂ　Ｔ　Ｕ／　ｔ　ｂ〜４０００ＢＴ
Ｕ／ｌｂであって好適エンタルピーは５０００ＢＴＵ／
ｌｂであり、且つ窒素プラズマガス温度は４０００〜６
０００℃であって、５０００℃が好適窒素ガス温度であ
る。プラズマガスとしてアルゴンを用いる場合には、ア
ルゴンプラズマがスタンタルピーは７００ＢＴＵ／ｌｂ
〜１２０ＣＪＢＴＵ／ｌｂであυ、且つアルゴンプラズ
マガス温［は４０００〜６０００℃である。プラズマガ
スとして窒素を用いるときの好適焼結温度は２６２５℃
である。プラズマガスとしてアルゴンを用いる場合には
、トーチ効率は実質的に低下し、且つ焼結温度は窒素を
用いる場合よシも約１００℃低い。かくして、プラズマ
ガスとしてアルゴンを用いる場合の好適焼結温度は２２
００℃である。

プラズマガスとして窒素を用い；窒素プラズマガスのエ
ンタルピーは約５０００ＢＴＵ／ｌｂであシ；炭化珪素
製品を約２０℃の温度から１０００℃／ｈｒの加熱速度
で２．３時間かけて２３２５℃の焼結温度まで加熱し５
２３２５℃の焼結温度でａ、７５時間保ち；１時間かけ
て１５００℃まで冷却し１次いで１５００℃から２．５
時間かけて３００℃まで冷却することがもつとも好適で
、ある。

装填時間は約−０，５時間を要するので、好適な全サイ
クル時間は約７時間となる。好適加熱速度は焼結させる
炭化珪素製品の厚さに著るしく関係し；比較的厚い製品
は薄い製品よシも低い加熱速度を必要とする。

本発明の方法に従うプラズマアークガスの使用は、高い
熱譲渡速度のために増大した反応速度をもたらす。高い
反応速度は高いエネルギー効率、短かい保持時間及び高
いキルン生産性を与える。

この方法は標準的な耐火又はセラミック炭化珪素成形体
又は、たとえば裏地板、ローター、渦巻形組立物及びノ
ズルのような複雑な形態物の焼結に対して有用である０
本発明の方法の使用は高密度、高強度、高耐腐食性及び
寸法安定性を有する製品を与える。

かくして、本発明の目的は、費用がかからず且つ効率的
な、炭化珪素セラミック又は耐火製品の焼結のための方
法を提供することにある。

本発明の別の目的は、低下したサイクル時間、従って高
い炉の生産性をもたらす、セラミック又は耐火製品の焼
結のための方法を提供することにある。

本発明のさらに他の目的は、複雑な形状の炭化珪素セラ
ミック及び耐火製品の焼結において使用することができ
る方法を提供することにある。

本発明のもう一つの目的は、−貫して、均−且つすぐれ
た品質の製品を与える、炭化珪素製品を焼結するための
方法を提供することにある。

本発明のその他の目的及びその他の適用性の範囲は、図
面と結び付けた以下の詳細な説明から明白となるであろ
う。

好適具体例の説明 先ず、以下の詳細な説明によって、本発明をそのもつと
も広い全体的な局面において記述する。

本発明はプラズマアークガスを用いる炭化珪素セラミッ
ク又は耐火製品を焼結するための方法に関する。本発明
の方法は低下した焼結サイクル時間を有し且つすぐれた
品質の製品を与える。本発明の方法においては、炭化珪
素粒子から製品を成形し、次いでグラズマ焼成炉中で焼
結する。炭化珪素製品をプラズマガスによって３００℃
／ｈｒ〜２０００°Ｑ／ｈｒの加熱速度において２００
０℃〜２５００℃の焼結温度に加熱し、その焼結温度で
０１〜２時間保ち、次いで５００℃／ルｒ〜２０００℃
／ｈデの冷却速度で冷却する。窒素をプラズマガスとし
て用いる場合には、プラズマガスエンタルピーは２００
０ＢＴＵ／ｌｂ〜４０００ＢＴＵ／ｌｂである。アルゴ
ンをプラズマガスとして用いる場合には、プラズマがス
タンタルピーは７００ＢＴＵ／ｌｂ〜１２００ＢＴＵ／
ｌｂである。

未焼結の炭化珪素製品は、この技術分野で一般的な、任
意の手段によって成形する。炭化珪素製品はアルファ、
非立方晶系結晶性炭化珪素から成形することが好ましい
けれども、任意のアルファ、ベータ又は無定形炭化珪素
、又はそれらの混合物を未焼結体混合物として使用する
ことができる。

製品の必要条件に依存して、少量のホウ素、炭素その他
の添加物を未焼結体混合物中に包含させることができる
。適当な未焼結体混合物は、コツ−−ラらによる、１等
軸微細構造を有する焼結したアルファ炭化珪素セラミッ
ク体”と題する、米国特許第４．１７９．２９９号中に
開示されている。

成形した炭化珪素製品を、次いで焼結のために炉中に入
れる。望ましくない物理的及び化学的性質を有する可能
性のある酸化物の形成を防ぐために、焼結前に炉から酸
素含有気体を除去することが好ましい。これらの気体は
、炉を吸引することによって又は炉をたとえば窒素のよ
うな酸素を含まないガスによって７ラツシユすることに
よって、除去することができる。酸化物が生じることが
ないように、焼結プロセスに対して酸素非含有ガスを用
いることもまた好ましい。炭化珪素の焼結のための好適
ガスは窒素、アルゴン、ヘリウム、水素及び／又はネオ
ンであるが、焼結の必要応性に依存して、本発明に従っ
て任意のプラズマガスを用いることができる。

本発明に従って、炭化珪素製品をプラズマガスによって
３００℃〜２０００℃／ｈｒの加熱速度で２０００〜２
５００℃の焼結温度に加熱し、α１〜２．０時間にわた
って焼結温度に保ち、次いで冷却する。本発明の方法に
対して有用な、その他の操作パラメーターは、３００℃
／ｈｒ〜２０００℃／ｈｒの冷却速度、ｓ〜５０１ｂａ
／ｆｇａの炉装填密度、及び約１．５〜２０時間の全サ
イクル時間である。

本発明の方法におけるプラズマガスとして窒素ガスを用
いる場合には、プラズマガスエンタルピーは２０００〜
４０００ＢＴＵ／ｌｂであって、３０００ＢＴＵ／ｌｂ
が好適エンタルピーである。

これは４０００〜６０００℃の窒素プラズマガス温度及
び５０００℃の好適窒素プラズマガス温度に相当する。

アルゴンをプラズマガスとして用いる場合には、プラズ
マガスエンタルピーは７００ＢＴＵ／ｌｂ〜１２００Ｂ
ＴＵ／ｌｂであシ、プラズマガス温度は４０００〜６０
００℃である。

アルゴンをプラズマガスとして用いる場合には、窒素を
用いる場合よシもトーチ効率は低下し、且つ焼結温度は
窒素を用いる場合よシも約１００℃低い。プラズマがス
として窒素を用いる場合の好　。

適焼結温度は２３２５℃であシ、アルゴンを用いる場合
には、好適焼結温度は２２００℃である。

焼結温度とプラズマガスエンタルピーは本発明の方法に
おいて用いるプラズマガスに依って異なる。

本発明の１サイクルに対してもつとも好適な炉操作条件
は、冷却と装填を含めて、次のとおりである： １）　成形した炭化珪素製品を、５０００ＢＴＵ／ｌｂ
のエンタルピーを有する窒素プラズマがスを用いて、１
０００℃／ｈｒの加熱速度で２．３時間かけて２３２５
℃の焼結温度となるまで加熱する； ２）　製品を２５２５℃の焼結温度で［Ｌ５時間保つ； ３）　製品を１時間で１５００℃まで下げる（４８０℃
／ｈｒの冷却速度）； ４）　さらに製品を２．５時間で１５００℃から３００
℃まで冷却する（４８０℃／ｈデの冷却速度）；及び ５）　ｃＬ５時間かけて炉の装入物を交換する。

この好適プロセスサイクルは約７時間の全サイクル時間
を与える。製品の重さに基づく好適な炉の未焼結物装填
密度は１０１ｂｓ／ｆｔａであるが、炉の装填密度は、
炭化珪素製品の形態の複雑性に依存して異なる。加熱及
び冷却速度もまた炭化珪素製品の形態に著るしく依存し
、厚い製品は薄い製品よりも低い加熱及び冷却速度を必
要とする。

７時間の好適サイクル時間に対する全エネルギー必要量
は約５〜９ｋｗｈ／ｌｂである。比較のために、典型的
な従来の電気キルンの操作ノ々ラメ−ターを記すと次の
とおりである２２０時間を超える全サイクル時間；３０
０℃／ｈｒ未満の加熱速度：　３０〜４０　ｋｗｈ／　
ｌｂのエネルギー必要量；及び３〜ｆ３Ｌｂ／ｆｔ”の
未焼結体装填密度。

本発明の方法の実施において有用である他の発明は、本
発明と同日に出願した、ソヨナサンキムらによる、１プ
ラズマ加熱焼結炉”と題する特許願第　　　　　号（代
理人のドケット番号８４−７’−０ｆ９８Ａ）、及びゾ
ヨエルＤカツツらによる１焼結の間の炭化珪素製品の分
解を防止するための方法”と題する特許願第　　　　　
号（代理人のドケット番号８４１’−０６８７）であり
、それらの内容を参考としてここに編入せしめる。

代理人のドケット番号８４−Ｐ−０１９ｆ３Ａは、プラ
ズマ加熱炉及びセラミック又は耐火材料の焼結のための
方法を開示している。好適具体例においては、炉は焼結
室の壁中に非対称的に位置させた少なくとも２つのプラ
ズマトーチ入口、すなわち、焼結室の上端の近くに位置
させた１つのプラズマトーチ入口及び炉の中心の近くに
位置させた他のプラズマトーチ入口、及び焼結室の底部
の近くに位置させた排気出口を包含している。代理人の
ドケット番号８４−Ｐ−０６８７はプラズマ加熱炉中の
炭化珪素セラミック又は耐火製品の焼結方法を開示して
いるが、この方法においては、ふたをしたるつぼの使用
、プラズマトーチ及び排気出口の戦略的な配置及び／又
は炭化珪素製品が焼結する前に分解する炭化珪素の１犠
牲１体の使用によって、炭化珪素製品の分解が防止され
る。

第１，２及び３図は、５００倍に拡大した焼結炭化珪素
の微細構造の写真である。第１図は従来のセントール■
炉中で製造した炭化珪素（倍率５００倍）を示す。炭化
珪素をアルゴン雰囲気中で焼成し、２５０℃／ｈｒの加
熱速度で２１５０℃の温度に加熱し、且つ２１５０℃の
加熱温度で１．５時間保持した。生成物の密度は３．１
３Ｐ／−であった、第２図は本発明に従ってプラズマ炉
中で製造した炭化珪素を示す（倍率５００倍）。炭化珪
素を窒素雰囲気中で焼成し、８００℃／ｈｒの加熱速度
で２３２５℃の温度に加熱し、２３２５℃の焼結温度で
１．５時間保った。生成物の密度は＆１４ｆ／ｍでおっ
た。第５図は本発明に従ってプラズマ炉中で製造した炭
化珪素を示す（倍率５００倍）。炭化珪素を窒素雰囲気
中で焼成し、２０００℃／ｈｒの加熱温度において２３
２５℃の温度に加熱し、且つ２３２５℃の焼結温度で１
．５時間保った。生成物の密度は五１０ｔ／−であった
。第１図においては、石目が大きく且つ一部が細長くな
っていることに注目すべきである。

これは、遥かに小さい石目と細長い石目の不在を示して
いる、第２図と対照的である。第５図は、約２〜３ミク
ロンである一層小さい石目を示す。

高い強度、高い破砕靭性及び高い耐腐食性を与えるため
には製品中における等軸の石目が望ましい。

第４図は、本発明に従って製造した種々の直径の製品の
表面と中心の間の計算した温度差に対する種々の加熱速
度の影響を示している。本発明に対する好適な操作範囲
は、第４図中でＡとＡ／の間の帯状部分で表わされる。

この帯状部分中の区域及びその下の区域は、生成物が高
い密度を有している範囲を表わしている。帯状部分の上
の区域は、製品がひずみや破損を生じる可能性のある区
域を表わす。第４図は、本発明の高い加熱速度は、直径
が約３インチ以内であれば、生成物にひずみを生じさせ
ることが全くないことを示している。

第５図は、本発明に従って製造した炭化珪素生成物の密
度に対する種々の焼結温度と保持時間の影響を示す。生
成物の密度は保持時間の増大及び／又は焼結温度の上昇
と共に増大することが認められる。

本発明をさらに以下の非制限的な実施例によって例証す
るが、これらの実施例中では、本発明に従って、炭化珪
素を未焼結形態に成形し、炉中に入れ、次いで焼成する
。

実施例１〜１１ 炭化珪素製品を種々の温度、加熱速度及び保持時間で焼
結して、生成物の密度に対する影響を調べた。結果を第
１表及び第５図に示す。

何れも好適焼結温度の２３２５℃におけるものである実
施例３〜９を比較すると、生成物の密度は焼結保持時間
と加熱速にの増大につれて僅かに増大することが認めら
れる。実施例１及び３は長い焼結時間を伴なう短かい焼
結温度（実施例１）及び短かい焼結時間を伴なう高い焼
結温度（実施例３）の影響を示す。加熱速度にかかわシ
なく、密度は何れも従来の生成物の密度と匹敵する、受
容しうるものであった。しかしながら、本発明の方法に
おいて用いた加熱速度は、従来の方法の加熱速度よシも
遥かに大であった。

実施例１２〜１６ 炭化珪素製品を異なる焼結温度と保持時間で焼結するこ
とにより、生成物の石目の大きさに対する影響を調べた
。その結果を第２表に示す。

一般に、炭化珪素製品に対しては、約５ンクロン未満の
石目の寸法が望ましい；この石目の大きさは本発明の方
法により１時間未満の処理時間で達成される。

このように、低下したサイクル時間を有し、エネルギー
効率が高く、高いキルンの生産性をもたらし且つすぐれ
た生成物を与える、炭化珪素製品の焼結方法が提供され
た。

本発明をその好適具体例に関して説明したけれども、そ
の他の具体例もまた同様な結果を達成することができる
。本発明の変化及び修飾は、この分野の専門家には自明
のことであシ、そのような修飾及び同効物は、すべて特
許請求の範囲内に含まれるものとする。

【図面の簡単な説明】

第１図は、従来のセントール■炉中で、アルゴン雰囲気
下に、試料を２５０℃／ｈデの加熱速度で２１５０℃ま
で加熱し、且つ試料を２１５０℃で１．５時間保持して
試料を焼成することによって製造した、！Ｌ１３ｆ／ｍ
の生成物密度を有する炭化珪素の微細構造（焼結微細粒
子構造）の５００倍に拡大した写真である。 第２図は、本発明に従って、プラズマ炉中で窒素雰囲気
中において８００℃／ｈデの加熱速度で２３２５℃まで
試料を加熱し、且つ試料を２３２５℃で１．５時間保持
する焼成によって製造した、５．１５の密度を有する炭
化珪素の微細構造（焼結微細粒子構造）の５００倍に拡
大した写真である。 第５図は、本発明に従って、プラズマ炉中で窒素雰囲気
中において２０００℃／んｒの加熱速度で２３２５℃ま
で試料を加熱し、且つ試料を２３２５℃でα７５時間保
持する焼成によって製造した、五１０の密度を有する炭
化珪素の微細構造（焼結微細粒子構造）の５００倍に拡
大した写真である。 第４図は、本発明に従って焼結した種々の直径の炭化珪
素製品に対する、表面と中心の間の計算温度差に対する
異なる加熱速度の影響を表わす図である。 鞭５図は、本発明に従って製造した炭化珪素製品の密度
に対する保持時間と焼結温度の影響を示す図である。 特許出願人　　ケネコット・コーポレーション；ＩＩＬ
度　　（・ｃン

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、下記段階： ａ）炭化珪素製品をプラズマ加熱ガスによつて３００℃
   ／ｈｒ〜２０００℃／ｈｒの加熱速度において２０００
   〜２５００℃の焼結温度にまで加熱し；そして ｂ）製品を０．１〜２時間にわたつて焼結温度において
   保持する ことから成る、プラズマ加熱ガスを用いて成形した炭化
   珪素耐火又はセラミック製品を焼結するための方法。 ２、プラズマ加熱ガスは窒素である特許請求の範囲第１
   項記載の方法。 ３、窒素プラズマガスは２０００ＢＴＵ／ｌｂ〜４００
   ０ＢＴＵ／ｌｂのエンタルピーを有する特許請求の範囲
   第２項記載の方法。 ４、窒素プラズマガスエンタルピーは３０００ＢＴＵ／
   ｌｂである特許請求の範囲第５項記載の方法。 ５、窒素プラズマガス温度は４０００〜６０００℃であ
   る特許請求の範囲第２項記載の方法。 ６、窒素プラズマガス温度は５０００℃である特許請求
   の範囲第５項記載の方法。 ７、焼結温度は２３２５℃である特許請求の範囲第２項
   記載の方法。 ８、プラズマ加熱ガスはアルゴンである特許請求の範囲
   第１項記載の方法。 ９、アルゴンプラズマガスは７００ＢＴＵ／ｌｂ〜１２
   ００ＢＴＵ／ｌｂのエンタルピーを有する特許請求の範
   囲第８項記載の方法。 １０、アルゴンプラズマガス温度は４０００〜６０００
   ℃である特許請求の範囲第８項記載の方法。 １１、焼結温度は２２００℃である特許請求の範囲第８
   項記載の方法。 １２、さらに製品を３００℃／ｈｒ〜２０００℃／ｈｒ
   の速度で冷却する段階を包含する特許請求の範囲第１項
   記載の方法。 １３、全サイクル時間は、冷却及び装入を含めて、１．
   ５〜２０時間である特許請求の範囲第１２項記載の方法
   。 １４、未焼結物装填密度は３ｌｂｓ／ｆｔ＾３〜５０ｌ
   ｂｓ／ｆｔ＾３である特許請求の範囲第１項記載の方法
   。 １５、未焼結物装填密度は１０ｌｂｓ／ｆｔ＾３である
   特許請求の範囲第１４項記載の方法。 １６、炭化珪素はアルファ炭化珪素である特許請求の範
   囲第１項記載の方法。 １７、特許請求の範囲第１又は１６項記載の方法に従つ
   て製造した焼結炭化珪素製品。