JPS61263286A - CuInS2−半導体材料をベ−スとするホトアノ−ドを有する太陽電池及びその製法 - Google Patents

CuInS2−半導体材料をベ−スとするホトアノ−ドを有する太陽電池及びその製法

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JPS61263286A
JPS61263286A JP61105064A JP10506486A JPS61263286A JP S61263286 A JPS61263286 A JP S61263286A JP 61105064 A JP61105064 A JP 61105064A JP 10506486 A JP10506486 A JP 10506486A JP S61263286 A JPS61263286 A JP S61263286A
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semiconductor material
solar cell
cuins
mol
photoanode
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JP61105064A
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ハンス・ゴスロフスキー
ハンス−ヨアヒム・レヴエレンツ
マヌエル・セバスチヤン・フイーヒター
カール−デイーター・フーゼマン
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Hahn Meitner Institut Berlin GmbH
Original Assignee
Hahn Meitner Institut Berlin GmbH
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    • Y02EREDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
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    • Y02E10/50Photovoltaic [PV] energy
    • Y02E10/541CuInSe2 material PV cells

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  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
  • Photovoltaic Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明はCu I nS、−半導体材料なベースとする
ホトアノードを有する太陽電池及びその製法に関する。
従来の技術 特願昭59−175311号明細書から光電化学的太陽
電池に対して、材料系Cu I nSe2又はCuIn
S2の三元化合物(該化合物の均質性範囲及びその場で
形成された表面変性部とを含む)からなる半導体層で構
成された作業電極を使用することは公知である。しかし
この明細書にはCuIn582材料が詳述されているに
すぎない。
この分野におけるその後の研究との関連において高純度
のCuInSe2−材料とは異なり意図した程度で異相
を含み得るCuInS2をベースとする材料が、光エネ
ルギから電気エネルギへの変換率に関して一層高い効率
すなわち約12,5%を有することは予測することがで
きなかった。
更にかなり以前より、太陽電池を半導体−へテロ化合物
で構成することも公知である〔例えば1シン・ソリツP
・フィルムス“(Th1n 5−olid Films
 ) Electronics and 0ptics
 社、第1頁〜第46頁、特に第33/34頁、参照〕
この場合特にノ々ンFギャップの大きい透光性で半電導
性の金属酸化物とノ々ンドギャップの極めて僅かな活性
半導体との対も使用される、すなわちSIS型の構造(
semiconductor / jnsula−to
r / semiconductor )が形成される
活性半導体材料としては、珪素が従来特に広く使用され
た。近年固体の太陽電池に対して他の材料を使用するこ
とも試みられている。
光電化学的太陽電池として構成する場合、その構成手段
に関しては先に記載した特願昭59−175311号明
細書に十分に説明されている。
発明が解決しようとする問題点 上記の特に有望と思われるCuInS2をベースとする
光活性半導体材料の研究結果を考慮し1本発明は適当な
ホトアノードを有する太陽電池を得ることを目的とする
。更に光電化学的太陽電池並びに固体太陽電池に対して
もこの種のホトアノードで所望の高い効率が得られる旨
の独自の説明がなされるべきである。更にもう1つの課
題はこの種の太陽電池を製造する手段並びにホトアノー
ドに使用できる半導体材料を合成するための手段を得る
ことにある。
問題点を解決するための手段 特に以下に記載する特性、材料又は手段は本発明による
解決法並びにその優れた実施態様であるニ ーCuInS2−半導体材料内に異相としてIn2S3
、In及び/又ハCu2−xS(o≦x≦1)をそれぞ
れ5%〜5%の濃度で含み、そのエネルギーギャップは
1.5eVである; −この種の半導体材料からなるホトアノードに関しては
層の表面処理、特に研摩及び/又はエツチングが極めて
重要であるニ ー電気化学的太陽電池では作業電極が有利には低オーム
のフライ接点を有し、フライ接点がIn −Ga−合金
(S合割合=90:10%)及び二成分伝導銀により約
0.2諷の厚さの光活性半導体材料と黄銅支持体との間
に形成され、電気絶縁のためシリコンゴムで被覆されて
いる、 一電解液として主としてCaI21モル、1250mモ
ル及びHI2.5モルの水溶液が使用される;一固体太
陽電池に関しては半導体層の表面処理、例えば表面を変
性させるための電気化学的処理が不可欠であり、フロン
ト接点としてAu及び/又はCrが透光性フィルム、格
子又は同様のものの形で施されている; −フロント接点用のこの種金属フィルムの厚さは約20
Å、最大200Xであってよい;−すべでの場合に全面
フィルムとして構成されたフロント接点に反射防止膜が
有利に施されている; −この種固体太陽電池にフライ接点を形成する場合、ホ
トアノードの表面を変性することが特に重要である; 一フライ接点が例えばIn −Ga−合金(混合割合=
77:23モル%)及び二成分伝導銀により光活性半導
体材料と黄銅支持体との間に形成され、電気絶縁のた゛
めシリコンビムで被覆されている。
固体太陽電池を製造するため本発明はホトアノード用半
導体材料層に、 −まず低オームのフライ接点を配設し、その後 一光活性の半導体材料の表面を変性するため、半導体材
料を電解液としてCaI22.5モル、工。
50mモル及びHl 2モルを含む電気化学的太陽電池
内でカロメルに対し0V〜−〇、4Vの電位で1時間、
20mV/Sの速度へ周期的に分極し、この処理中半導
体層の表面を約250mW/iの照度で露光し、 −この表面変性後半導体材料を電解液から除去し、窒素
ガスを吹付けることにより乾燥し、最後に −フロント接点としての金属フィルム又は格子を最高2
00Xの厚さに熱蒸着させ、二成分伝導銀を用いてリー
ド線に接続する ことを提案する。
更に本発明による太陽電池を製造するため、特にこのた
めに開発された方法を提案する。ホトアノード用のこう
して合成された半導体材料は光電化学的太陽電池並びに
固体太陽電池での使用に適している。この製造方法は、
最終真空度として10−トルな有する密閉容器内で光活
性半導体材料を合成するため、 −Cu及びInを合金として容器の端部に配冒し、−C
u−1n−合金を約1時間以内に7oo℃に加熱し、合
金を融解し、 −その後融液な更に毎時約250℃の割合で1200℃
に加熱し、 また ーSを容器の他端に配置し、 一毎時150℃の平均速度で50o℃にまで加熱し、こ
れにより気相に変え、 その後 一金属融液の温度を1200℃に保ちまた硫黄を場合に
よっては僅かに温度を高めて500℃以上で気相に保ち
ながら、約3時間にわたってCu −In融液中でのC
uIr1S2−結晶又は結晶子の成長を、特にIn2S
3、In及び/又はCu2−xS(o≦X≦1)の異相
を含めて実施し、その際容器の中間部で約700℃以上
で蒸発するIn及び気相で存在するSの1部を反応させ
てIn2S3にし、これを容器壁に副生成物として沈殿
させ、 次いで 一約6時間で室温に冷却する、 ことにある。
この処理の他の実施態様では特に次の手段を含んでいて
よい; 一出発物質であるCu : In : Sをモル比℃℃
2で使用する; 一合成半導体材料を、H2/Arガス流(混合割合は容
量部で2=10である)中で約2分間450℃までの温
度で熱後処理するニ ー出発物質の精製を、 −Inを800℃でH2/ Arガス流(容量部=l:
10の混合割合)中で約3時間以内に還元させ、 −Cuを1100℃でH2/Arカス流(容量部=℃1
0の混合割合)中で約2時間以内に還元させ、 −モル比℃1で使用した、合金化したCu−In−混合
物を800℃でH2/Arガス流(容量部=lニーNo
の混合割合)中で約1時間以内に還元及び均質化する、 ことにより実施し、かつ 一還元処理のために使用したガス混合物を冷却部に導き
、そこで約−70℃で乾燥する。
また本発明にとって光活性半導体材料の合成は極めて重
要である。これまで得られた認識ではIn2S3が形成
すること、すなわち最終生成物以外に全体で約0.1%
のインジウム正味量を有することが重要であると考えら
れる。合成に際してこの結果が生じた試料は、優れたス
ペクトル特性を有しまた光電化学試験装置内で太陽エネ
ルギを電気に変換する際に前記の高い効率を示す。最終
生成物内での結晶及び結晶子の成長に際してインジウム
の封入又はCu2−xS−相(0くx≦1)も観察し得
ることから(この場合CuInS2中のIn25.を含
めこれらの異相の濃度範囲はそれぞれ5%〜5%であっ
た)、これらの成分も本発明を達成する目的にとって決
定的な意味をもつ。
この半導体材料の製造に関しては慣用の方法特にスパッ
タリング技術、電子ビーム蒸発法、気相輸送法又は同様
の方法も挙げることができる。しかし特に有効なものは
上記した方法である。多くの使用分野では半導体材料は
薄層として要求されることから、これらの慣用法は、ブ
ロック体からチップ又は薄板を製造することな除く限り
有利である。
光電化学的太陽電池の組立構造に関しては、先に記載し
た特願昭59−175311号明細書に詳述されている
点を指摘することができる。
これ以上の説明は図面に示した実施例との関連において
記載する。
異相を有するCu I nS2をベースとする新規半導
体材料は一定の前提下に固体太陽電池に対しても適して
いることを示す。これらの前提はこの関係で先に記載し
た手段によって満たすことができる。
本発明のこの種の実施例にとって特に重要なことは、フ
ロント接点として特殊な金属、従って電気的に高い導電
性の材料を使用することである。従って半導体材料に対
する接触電位差の高さは一定であり、これは本発明の場
合n型導電性である。これにより高い接触電位差は半導
体材料の場合仕事関数が低いことから、高い仕事関数を
有する金属、例えばアルミニウム、クロム)銅を金、ニ
ッケル、この族に属するもので得ることができると考え
られた。しかし銅及びニッケルは金及びクロムよりも低
い有効性を有する。このため従来は納得させるに十分な
説明をすることができなかった。
本発明の実施態様では金属製のフロント接点は透光性で
なければならない。これは表面を覆う金属フィルムの場
合その僅かな厚さによって、しかし金属被覆を格子状に
構成するととによっても、この場合有利には金属格子と
半導体材料との間を透明な導電性材料からなる中間フィ
ルムで結合することによって得ることができる、表面を
覆う金属フィルムの場合入射光線を吸収することは明ら
かに欠点であるが、その上に金属格子を有する5IS−
構造に比してその製造が極めて簡単であるとい5長所を
有する。場合によっては表面被覆フィルムとして構成さ
れた金属層に更に反射防止膜を施すこともでき、これ忙
より阻止し得ない損失は実際に吸収にのみ限定され、回
避可能の反射によって更に高まることはない。
また太陽エネルギを電気エネルギに変換する場合、本発
明では容易に製造可能で簡単に処理できる固体の太陽電
池を使用する。この場合金属製のフロント接点は大きな
ポテンシャル障壁及び効果的な充電束のショットキー接
点構造を構成するのに決定的である。Cu I n52
−半導体材料及びそのエネルギーギャップ1.5eVの
光学特性は太陽エネルギーの変換に関して理論的に最高
の前提を提供する。
実施例 本発明の実施例を図面に略記し、その効率を詳述するた
め測定結果を示す。
第1図に示した合成装置は炉内に水平に配置された、栓
で密閉されているレトルトを有する。
これは長さl ” 300 tera及び直径d=22
van(1)石英丸びんである。炉は有利には2個の互
いに独立して作業する加熱装置を備えている。炉内に生
じる温度は温度計により観察可能であり、その1つが図
示されている。しかし実験室規模では1個の加熱装置及
び1個のスリーブを有するだけで十分である。これはレ
トルトの両端を熱的に互いに絶縁し、また他端よりも低
い温度に保つレトルトの1端に冷却剤を吹付けるか又は
噴霧する。
一層高い温度が支配するレトルトの端部で熱分解窒化ホ
ウ素(PBN )からなるるつぼ又はボーP内に銅(C
u )及びインジウム(In)を合金として配置する。
硫黄(S)はレトルトの他端で微細なノズルを有する貯
蔵容器に入れる。
レトルト両端の温度経過を時間との関連において2つの
曲線図に示す。Cu−In−合金が融解し、硫黄が気相
に移行した後所望の反応が生じる。すなわち金属熔融る
つぼ内でxnsCu2−xS(O≦X≦1)及びIn2
S3を含むCuInS2−結晶又は結晶子が成長する。
同様にレトルトの中央部テハ1n2S3が生じ、700
℃の温度でCu−In合金又は熔融からInが蒸発し、
気相で存在する硫黄の1部と反応し、容器壁に沈積する
。半導体障壁の外側に生じるIn2S3の物質から障壁
内の材料組成を推知することができる。半導体障壁は長
さ約10oTm及び直径約lowを有する。
第2図は任意の単位での光電流を、この方法で製造した
光活性の半導体材料に対する光波長との関連で示すもの
である。光電流は可視光線の範囲で極めて高くまたほぼ
一定である。このスペクトル特性は特に太陽電池に対し
て優れたものと評価できる。
第3図に示した光電化学的太陽電池PEC5は、作業電
極牛が存在する室1、変換過程を学問的に探求するのに
役立つが、光エネルギから電気エネルギへの変成器とし
ての太陽電池PEC5の機能にとっては必要のない補助
電極7を有する側室1′及び逆電極6を有する室2を備
えている。逆電極6及び補助電極7は例えば炭素棒から
なる。室1.1’、2には電極壬、6.7を少なくとも
部分的に湿らす電解液3が存在する。作業電極手の湿っ
た端部には、光束8によって照射される半導体板5が設
けられている。
第牛図には半導体板5の接続部材を有する作業電極手の
構造が断面図として描かれている。
半導体板5の背面とリード線12どの間には1n−Ga
アマルガムからなる層10及びAg−プラスチック層1
1が施されている。リード線12はプラスチック層11
の表面又はその、内部に固定されており、電気的に絶縁
してまた耐食的に密閉されて、外部に導かれている。作
業電極の完全に接続された半導体板5は、同様に電気的
に絶縁されかつ耐食性に密閉されて、適当な材料13、
例えばエポキシ樹脂、ガラス又はシリコンビムによって
覆われている。半導体板5のこの表面は電解液と直接接
触していなければならない、すなわち材料13で被覆、
封入又は同゛ 様に処理する際には窓14が開放される
ように注意すべきである。
この構造は本質的には、特願昭59−175311号明
細書に記載されている構造と一致する。本明細書では特
殊なものとしてフライ接点の変更された製法を記載する
。In −Ga−合金(混合比90:10モル%)は層
10を形成し、約0.2■の厚さの結晶板は二成分支持
銀を備え(3M。
A−8)また予め研磨した黄銅支持体に接着されている
。電気的に絶縁するため黄銅ケースをシリコンザム(W
acker Ha A 33 )で被覆スル。
第5図は太陽エネルギを電気に変える際の効率を決定す
るために測定した光電圧に対する光電流の経過を示す。
電極表面は1.5−であった。
市販の太陽シュミレータ(0rtel Corp )で
測定したAMl −条件下で85 mWm−2の光度の
場合、効率は11.3%であった。光度は2個のピラノ
) −fi (Pyranometer 、 Poty
tec社、に1pp−Zonen社)で測定し、同じ値
が得られた。
電解質としてはCaI21モル、I250 mモル、H
a2.5モルの水溶液を使用した。溶液は攪拌せず、空
気中に保った。電極と電池の窓との間隔は約1mであっ
た。
フライ接点の構成は、特殊な使用目的とは無関係に感光
性半導体材料を有する電極の電気特性にとって無視する
ことのできない重要性を有する。これにより、更には感
光性電極面の表面処理によっても、特に太陽エネルギを
電気に変換するための効率は決定的な影響を受ける。
本発明による半導体材料の材料組成に関して更に合成と
の関連において、好ましくない材料影響が生じないよう
に注意すべきである。これは例えばCu−In−混合物
が石英ガラスと直接接触する際に生じ得る。Cu−1n
−混合物に対する例えば熱分解窒化ホウ素(PBN )
からなるポート又は基材はこの種の作用を阻止する。
副生成物又は沈殿生成物として見做すことができまた合
成された半導体材料以外に生じるIn2S3により、所
望の合成を容易に推知することができ、従ってこのこと
は本発明の利点である。
第6図による固体太陽電池用フロント接点の製造は、先
に記載したようにして組み立てた電極をまず、作業電極
(CuInS2)、逆電極(炭素棒)及び補助電極(カ
ロメル電極)からなる電気化学的太陽電池(これらはC
aI22.5モル、1250mモル及びHI 2モルか
らなる電解質によって互いに接続されている)内で1時
間、カロメルに対して○■〜−0.4Vの電位で速度2
0mV/Sで周期的に分極化する。この処理中電極表面
を約250 m W/cm2の照度で照射する。溶液は
空気中に保ち、攪拌しない。電極表面から電池の窓まで
の間隔は約1mである。
表面変性のためのこの処理の後、電極を溶液から除去し
、電極表面をそれぞれ更に処理することなく窒素ガスを
吹き付けて乾燥する。その後電極を直ちに、すなわち6
0秒以内に真空系に入れ、組み立て、系を排気する。l
 O−’ )ル以下の圧力で厚さ200Xの金箔を試料
に蒸着させる。同じ試料で本発明の作業によりガラス支
持体に同じ蒸発源から同じ間隔で比較のため′・に蒸着
させた。
こうして製造した固体太陽電池を電極表面の個所で銀エ
ポキシ樹脂(3M%A−8)によってCu−線と導電結
合する(第6図参照)。
太陽エネルイ変換時の効率を確認するための測定は、光
電流がその最大値を示すまで、照射すべき電極表面が太
陽に向かうように実施した。
フロント接点は抵抗カスケード及び電流測定装置を介し
てフライ接点と接続されている。調整抵抗でのその都度
の光電流値を測定し、電圧をオームの法則で確認した。
露光時の1.46−の大きな電極表面に対する結果は第
7図に示す。
この場合照度は64 m W/adであり、ビラツメ−
タ(Kipp −Zonen社製)で測定した。
第7図に示した測定曲線で乗数係数6.5による金箔の
吸収性を照度との関連において考慮した。この係数は、
太陽の照度を窓として使用する一緒に蒸発されるガラス
板により測定しく12、3 m W/cW/l)か)窓
を使用しない値(81,1・ m W/a/l )と比
較した。この金箔の伝送は第8図に示すが、太陽光スペ
クトルの範囲で約10%〜30%である。
試料表面に同じ処理を施した200XのCrフロント接
点で、同じ結果が得られた。
【図面の簡単な説明】
第1図は容器の両端における温度経過を示すグラフを有
する合成装置の略示図、第2図は本発明により合成され
た材料の光波長に対する光電流の経過を示す曲線図、第
3図及び第4図は本発明による半導体材料からなる作業
電極を有する光電化学的太陽電池の略示図、第5図は、
第3図及び第4図に示した太陽電池の効率測定に際して
の光電圧に対する光電流の経過を示す曲線図、第6図は
本発明による固体太陽電池の略示図、第7図は本発明に
よる固体太陽電池での光電流/充電圧経過曲線図、第8
図は波長との関係における金(200X)での伝送に対
する曲線図である。 1.1’、2・・・室、3・・・電解液、4・・・作業
電極、5・・・半導体板、6・・・逆電極、7・・・補
助電極、8・・・光束、10・・−In −Gaアマル
ガム層、11・・・Ag−プラスチック層、12・・・
リーP線、13・・・被覆材、14・・・窓 第1図 第2図 第3図        第4図 第5図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、CuInS_2−半導体材料をベースとするホトア
    ノードを有する太陽電池において、合成半導体材料内の
    異相であるIn_2S_3、In及び/又はCu_2_
    −_xS(0≦x≦1)がそれぞれ5‰〜5%の濃度で
    存在しかつエネルギーギャップが1.5eVであること
    を特徴とする、CuInS_2−半導体材料をベースと
    するホトアノードを有する太陽電池。 2、合成半導体材料からなる層を表面処理、特に研摩−
    及び/又はエツチング処理したホトアノードを有する、
    特許請求の範囲第1項記載の太陽電池。 3、作業電極が低オームのフライ接点を有する光電化学
    的太陽電池として構成されており、フライ接点がIn−
    Ga−合金(混合割合=90:10モル%)及び二成分
    伝導銀により約0.2mmの厚さの光活性半導体材料と
    黄銅支持体との間に形成され、電気絶縁のためシリコン
    ゴムで被覆されている、特許請求の範囲第1項又は第2
    項記載の太陽電池。 4、電解液がCaI_21モル、I_250mモル及び
    HI2.5モルの水溶液である、特許請求の範囲第3項
    記載の太陽電池。 5、電気化学的処理で変性された表面を有する固体太陽
    電池として構成されかつフロント接点が透光性のフィル
    ム、格子又は同様の形のAu及び/又はCrからなる、
    特許請求の範囲第2項記載の太陽電池。 6、フロント接点が約20Å、最大200Åの厚さの金
    属フィルムである、特許請求の範囲第5項記載の太陽電
    池。 7、全体的に平面のフィルムとして構成されたフロント
    接点が反射防止膜を有する、特許請求の範囲第5項又は
    第6項記載の太陽電池。 8、フライ接点が、In−Ga−合金(混合割合77:
    23モル%)及び二成分伝導銀により光活性半導体材料
    と黄銅支持体との間に形成されており、電気絶縁のため
    シリコンゴムで被覆されている、特許請求の範囲第5項
    から第7項までのいずれか1項に記載の太陽電池。 9、光活性半導体材料の層厚が約0.2mmである、特
    許請求の範囲第8項記載の太陽電池。 10、CuInS_2−半導体材料をベースとするホト
    アノードを有する太陽電池を製造する方法において、 −低オームのフライ接点を配設し、 その後 −光活性の半導体材料の表面を変性するため該材料を、
    電解液としてCaI_22.5モル、I_250mモル
    及びHI2モルを含む電気化学的太陽電池内でカロメロ
    に対し0V〜−0.4Vの電位で1時間、20mV/S
    の速度で周 期的に分極し、この処理中半導体層の表面 を約250mW/cm^2の照度で露光し、−この表面
    変性後半導体材料を電解液から除去し、窒素ガスを吹付
    けることにより乾燥 し、 最後に −フロント接点としての金属フィルムを最高200Åの
    厚さに加熱蒸着させ、二成分伝 導銀を用いてリード線に接続する ことを特徴とする、CuInS_2−半導体材料をベー
    スとするホトアノードを有する太陽電池の製法。 11、CuInS_2−半導体材料をベースとするホト
    アノードを有する太陽電池を製造する方法において、最
    終真空度として10^−^5トルを有する密閉容器内で
    光活性半導体材料を合成するため、 −Cu及びInを合金として容器の端部に配置し、 −Cu−In−合金を約1時間以内に700℃に加熱し
    、合金を融解し、 −その後融液を更に毎時約250℃の割合で1200℃
    に加熱し、 また −Sを容器の他端に配置し、 −毎時150℃の平均速度で500℃にまで加熱し、こ
    れにより気相に変え、 その後 −金属融液の温度を1200℃に保ちまた硫黄を場合に
    よつては僅かに温度を高めて500℃以上で気相に保ち
    ながら、約3時間にわ たつてCu−In融液中でのCuInS_2−結晶又は
    結晶子の成長を、特にIn_2S_3、In及び/又は
    CU_2_−_xS(0≦x≦1)の異相を含めて実施
    し、その際容器の中間部で約700℃以 上で蒸発するIn及び気相で存在するSの1部を反応さ
    せてIn_2S_3にし、これを容器壁に副生成物とし
    て沈殿させ、 次いで −約6時間で室温に冷却する、 ことを特徴とする、CuInS_2−半導体材料をベー
    スとするホトアノードを有する太陽電池の製法。 12、出発物質であるCu:In:Sをモル比1:1:
    2で使用する、特許請求の範囲第11項記載の方法。 13、合成半導体材料を、容量部2:10の混合割合の
    H_2/Ar−ガス流中で約2分間450℃までの温度
    で熱後処理する、特許請求の範囲第11項又は第12項
    記載の方法。 14、出発物質の精製を、 −Inを800℃でH_2/Arガス流(容量部=1:
    10の混合割合)中で約3時間以内に 還元させ、 −Cuを1100℃でH_2/Arガス流(容量部=1
    :10の混合割合)中で約2時間以内 に還元させ、 −モル比1:1で使用した、合金化したCo−In−混
    合物を800℃でH_2/Arガス流(容量部=1:1
    0の混合割合)中で約1時 間以内に還元及び均質化する、 ことにより実施する、特許請求の範囲第11項から第1
    3項までのいずれか1項に記載の方法。 15、還元処理のために使用したガス混合物を冷却部に
    導き、そこで約−70℃で乾燥する、特許請求の範囲第
    14項記載の方法。
JP61105064A 1985-05-10 1986-05-09 CuInS2−半導体材料をベ−スとするホトアノ−ドを有する太陽電池及びその製法 Pending JPS61263286A (ja)

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JP2007515371A (ja) * 2003-12-22 2007-06-14 ショイテン グラースグループ 粉体の処理方法
JP2012510713A (ja) * 2008-11-28 2012-05-10 プロブスト、フォルカー 平坦基板にセレン、硫黄元素処理で半導体層と被覆基板を製造する方法

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